JPH0798664B2 - 赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法 - Google Patents
赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法Info
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- JPH0798664B2 JPH0798664B2 JP61086260A JP8626086A JPH0798664B2 JP H0798664 B2 JPH0798664 B2 JP H0798664B2 JP 61086260 A JP61086260 A JP 61086260A JP 8626086 A JP8626086 A JP 8626086A JP H0798664 B2 JPH0798664 B2 JP H0798664B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、赤外線センサー用焦電材料として用いられ
る、チタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マンガン酸鉛（以
下、「PZT−PMnN」という）系焼結体の製造に好適であ
るPZT−PMnN系微粉末の製法に関する。
る、チタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マンガン酸鉛（以
下、「PZT−PMnN」という）系焼結体の製造に好適であ
るPZT−PMnN系微粉末の製法に関する。
冷却装置を必要としない熱型赤外線センサーのうちで、
焦電体磁器を用いたものが最も性能が良く、使用も簡単
であるため注目されているが、その中でもPZT−PMnN系
の焦電体磁器は、チタン酸ジルコン酸鉛（以下、「PZ
T」という）のみからなる系のものと比べて、電圧感度
（Rv）において優れている。
焦電体磁器を用いたものが最も性能が良く、使用も簡単
であるため注目されているが、その中でもPZT−PMnN系
の焦電体磁器は、チタン酸ジルコン酸鉛（以下、「PZ
T」という）のみからなる系のものと比べて、電圧感度
（Rv）において優れている。
このような焦電体磁器を製造する方法として、従来、各
成分元素の酸化物の粉末を所要組成に混合し仮焼した
後、粉砕、成形し、成形物を常圧で焼結する方法が知ら
れている。しかし、この方法で焼結に供される粉末は、
平均粒径が数μｍ以上と大きいため焼結性が低く、その
結果、常圧焼結で得られる焼結体は焼結密度が低く焦電
体磁器として要求される焦電特性は不十分なものとな
る。焼結性を向上させるために粉末にリチウムなどの焼
結助剤を添加して常圧焼結したり、あるいはホットプレ
スにより焼結するという対策がとられるが、焼結助剤は
不純物となって得られる磁器の焦電特性を低下させると
いう弊害があり、またホットプレスには高価で大規模な
装置を必要とするという問題がある。
成分元素の酸化物の粉末を所要組成に混合し仮焼した
後、粉砕、成形し、成形物を常圧で焼結する方法が知ら
れている。しかし、この方法で焼結に供される粉末は、
平均粒径が数μｍ以上と大きいため焼結性が低く、その
結果、常圧焼結で得られる焼結体は焼結密度が低く焦電
体磁器として要求される焦電特性は不十分なものとな
る。焼結性を向上させるために粉末にリチウムなどの焼
結助剤を添加して常圧焼結したり、あるいはホットプレ
スにより焼結するという対策がとられるが、焼結助剤は
不純物となって得られる磁器の焦電特性を低下させると
いう弊害があり、またホットプレスには高価で大規模な
装置を必要とするという問題がある。
そこで、焼結助剤を用いず、しかも通常の常圧焼結法に
より緻密で優れた焦電特性を有する焦電体磁器を得るこ
とができる易焼結性PZT−PMnN系微粉末が望まれてい
る。近年、そのような微粉末の製法として、各成分元素
の化合物を所要組成で溶解した溶液から全成分元素を同
時に沈殿（共沈）させ、得られた沈殿物を仮焼する方法
（共沈法）が提案されている。
より緻密で優れた焦電特性を有する焦電体磁器を得るこ
とができる易焼結性PZT−PMnN系微粉末が望まれてい
る。近年、そのような微粉末の製法として、各成分元素
の化合物を所要組成で溶解した溶液から全成分元素を同
時に沈殿（共沈）させ、得られた沈殿物を仮焼する方法
（共沈法）が提案されている。
しかし、上記の共沈法の場合、一つの沈殿形成液に対す
る各元素の沈殿形成能（例えば、一定pHにおける各元素
の沈殿物の溶解度積）が異なるため必ずしも仕込み組成
と同一組成の沈殿微粒子が得られるとは限らず、また、
沈殿の形成時に凝集して２次粒子を形成し易く、その結
果焼結性は向上するがなお不十分であるという問題があ
る。さらに、チタンの原料化合物としては安価な四塩化
チタンの使用が望まれるが、四塩化チタンが溶解してで
きる塩素イオンは鉛と反応して白色沈殿を形成するため
鉛化合物と同時に使用することができず、そのかわりに
高価な硝酸チタンを使用しなければならないという問題
もある。
る各元素の沈殿形成能（例えば、一定pHにおける各元素
の沈殿物の溶解度積）が異なるため必ずしも仕込み組成
と同一組成の沈殿微粒子が得られるとは限らず、また、
沈殿の形成時に凝集して２次粒子を形成し易く、その結
果焼結性は向上するがなお不十分であるという問題があ
る。さらに、チタンの原料化合物としては安価な四塩化
チタンの使用が望まれるが、四塩化チタンが溶解してで
きる塩素イオンは鉛と反応して白色沈殿を形成するため
鉛化合物と同時に使用することができず、そのかわりに
高価な硝酸チタンを使用しなければならないという問題
もある。
そこで本発明の目的は、焼結助剤を用いずに常圧焼結法
により緻密で優れた焦電特性を有する磁器を製造し得る
易焼結性PZT−PMnN系赤外線センサー用焦電体磁器製造
用微粉末の製法であって、しかも目的組成の微粉末を容
易に製造し得る方法を提供することにある。
により緻密で優れた焦電特性を有する磁器を製造し得る
易焼結性PZT−PMnN系赤外線センサー用焦電体磁器製造
用微粉末の製法であって、しかも目的組成の微粉末を容
易に製造し得る方法を提供することにある。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するものとし
て、 一般式： （１−Ａ）PbZrxTi（１−ｘ）O3−APbMnyNb（１−ｙ）O
3 〔ただし、式中、Ａ、ｘおよびｙはそれぞれ、0.01≦Ａ
≦0.3、0.54≦ｘ≦0.95、0.25≦ｙ≦0.55である。〕で
表わされる組成を有するチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ
酸マンガン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器製造用微
粉末の製法であって、 鉛、ジルコニウム、チタン、マンガンおよびニオブから
選ばれる１〜４種の元素を含む溶液から、前記１〜４種
の元素を含む沈殿物を生成させ、 次に、得られた沈殿物を分散させた状態で、前記５種の
元素のうち残る４〜１種の少なくとも１種の元素を含む
溶液から該４〜１種の少なくとも１種の元素を含む沈殿
物を生成させる操作を必要回数行なって前記５種の元素
をすべて沈殿させ、 次に、得られた前記５種の元素を含む沈殿物を仮焼する
ことからなるチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マンガン
酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法
を提供するものである。
て、 一般式： （１−Ａ）PbZrxTi（１−ｘ）O3−APbMnyNb（１−ｙ）O
3 〔ただし、式中、Ａ、ｘおよびｙはそれぞれ、0.01≦Ａ
≦0.3、0.54≦ｘ≦0.95、0.25≦ｙ≦0.55である。〕で
表わされる組成を有するチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ
酸マンガン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器製造用微
粉末の製法であって、 鉛、ジルコニウム、チタン、マンガンおよびニオブから
選ばれる１〜４種の元素を含む溶液から、前記１〜４種
の元素を含む沈殿物を生成させ、 次に、得られた沈殿物を分散させた状態で、前記５種の
元素のうち残る４〜１種の少なくとも１種の元素を含む
溶液から該４〜１種の少なくとも１種の元素を含む沈殿
物を生成させる操作を必要回数行なって前記５種の元素
をすべて沈殿させ、 次に、得られた前記５種の元素を含む沈殿物を仮焼する
ことからなるチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マンガン
酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法
を提供するものである。
前記一般式において、Ａ、ｘ、およびｙはそれぞれ、0.
01≦Ａ≦0.3、0.54≦ｘ≦0.95および0.25≦ｙ≦0.55の
範囲となるように微粉末を製造する必要がある。Ａ、ｘ
およびｙのいずれか一つでも上記の範囲外であると、微
粉末を焼結させることで得られる磁器の電圧感度は不十
分となる。また、マンガン酸ニオブ酸鉛の割合を過度に
大きくすると得られる磁器の焦電係数は大きくなるが、
その比誘電率も増加する結果、電圧感度はあまり向上し
ない。
01≦Ａ≦0.3、0.54≦ｘ≦0.95および0.25≦ｙ≦0.55の
範囲となるように微粉末を製造する必要がある。Ａ、ｘ
およびｙのいずれか一つでも上記の範囲外であると、微
粉末を焼結させることで得られる磁器の電圧感度は不十
分となる。また、マンガン酸ニオブ酸鉛の割合を過度に
大きくすると得られる磁器の焦電係数は大きくなるが、
その比誘電率も増加する結果、電圧感度はあまり向上し
ない。
本発明の製法は、沈殿を形成する際に鉛、ジルコニウ
ム、チタン、マンガンおよびニオブの５種の元素を同時
に沈殿（共沈）させず、沈殿形成を２段階以上に分けて
行う方法（以下、「多段湿式法」という）を用いる。こ
の方法は、沈殿させる元素の順序、一つの段階で共沈さ
せる元素の組み合わせ、沈殿形成の段階数などを必要に
応じて選択することにより多くの変法が考えられるが、
そのいくつかを具体的に挙げるとこれら５種の元素のう
ち、第１段目で１種の元素を沈殿させ第２段目で残る４
種の元素を共沈させる方法、その逆に、第１段目で４種
の元素を共沈させ、第２段目で残る４種のうち１種を沈
殿させ、第３段目で残る３種を共沈させる方法、５種の
元素ごとに５段階に分けて順次沈殿形成を行なわせる方
法などがある。さらには、１元素を複数の段階に分けて
沈殿形成をさせることで、６段階以上の沈殿形成を行う
方法も挙げられる。通常は、２〜５段に分けて行うのが
一般的である。
ム、チタン、マンガンおよびニオブの５種の元素を同時
に沈殿（共沈）させず、沈殿形成を２段階以上に分けて
行う方法（以下、「多段湿式法」という）を用いる。こ
の方法は、沈殿させる元素の順序、一つの段階で共沈さ
せる元素の組み合わせ、沈殿形成の段階数などを必要に
応じて選択することにより多くの変法が考えられるが、
そのいくつかを具体的に挙げるとこれら５種の元素のう
ち、第１段目で１種の元素を沈殿させ第２段目で残る４
種の元素を共沈させる方法、その逆に、第１段目で４種
の元素を共沈させ、第２段目で残る４種のうち１種を沈
殿させ、第３段目で残る３種を共沈させる方法、５種の
元素ごとに５段階に分けて順次沈殿形成を行なわせる方
法などがある。さらには、１元素を複数の段階に分けて
沈殿形成をさせることで、６段階以上の沈殿形成を行う
方法も挙げられる。通常は、２〜５段に分けて行うのが
一般的である。
本発明の製法に原料として用いることができる、Pb,Zr,
Mn,NbおよびTiの化合物としては、例えば、これら元素
のオキシ塩化物、炭酸塩、オキシ硝酸塩、硫酸塩、硝酸
塩、酢酸塩、ギ酸塩、シュウ酸塩等の有機酸もしくは無
機酸の塩類、水酸化物、塩化物、酸化物などが挙げられ
るが、特にこれらに制限されるものではない。
Mn,NbおよびTiの化合物としては、例えば、これら元素
のオキシ塩化物、炭酸塩、オキシ硝酸塩、硫酸塩、硝酸
塩、酢酸塩、ギ酸塩、シュウ酸塩等の有機酸もしくは無
機酸の塩類、水酸化物、塩化物、酸化物などが挙げられ
るが、特にこれらに制限されるものではない。
これらの化合物を含む溶液を調製する溶媒としては、通
常、水、アルコール、これらの混合液が用いられるが、
これらに限定されるものではない。これら溶媒に可溶で
ない場合は鉱酸を添加して可溶化してもよい。
常、水、アルコール、これらの混合液が用いられるが、
これらに限定されるものではない。これら溶媒に可溶で
ない場合は鉱酸を添加して可溶化してもよい。
本発明は多段湿式法を採用するため、従来の共沈法では
相性が悪いため用いることができなかった化合物でも組
合わせて使用することができる。例えば、前述の四塩化
チタンでも、TiとPbの沈殿を別段階で行なうようにすれ
ば使用することができる。
相性が悪いため用いることができなかった化合物でも組
合わせて使用することができる。例えば、前述の四塩化
チタンでも、TiとPbの沈殿を別段階で行なうようにすれ
ば使用することができる。
沈殿の形成は、原料化合物を含む水溶液を過剰量の沈殿
形成液に混合することにより行なうのがよい。用いられ
る沈殿形成液としては、例えばアンモニア、炭酸アンモ
ニウム、苛性アルカリ、炭酸ナトリウム、シュウ酸、シ
ュウ酸アンモニウム及びオキシンやアミンなどの有機試
薬などの溶液が挙げられる。これらから選定すればよ
い。
形成液に混合することにより行なうのがよい。用いられ
る沈殿形成液としては、例えばアンモニア、炭酸アンモ
ニウム、苛性アルカリ、炭酸ナトリウム、シュウ酸、シ
ュウ酸アンモニウム及びオキシンやアミンなどの有機試
薬などの溶液が挙げられる。これらから選定すればよ
い。
ある段階の沈殿形成と次の段階の沈殿形成に用いる沈殿
形成液が同じ場合には、前の段階の沈殿形成で得られた
沈殿物を含む溶液にそのまま次の段階で沈殿させようと
する元素を含む溶液を混合すればよく、この場合沈殿形
成液は既に過剰量添加済みであるから場合によっては改
めて添加する必要はない。また、次の段階の沈殿形成液
が前の段階の沈殿形成液と異なり、しかも前の段階で用
いた沈殿形成液が次の段階では存在しない方が望ましい
場合などには、前の段階の沈殿形成後、沈殿物を洗浄し
た後、溶媒または次の段階で沈殿させる元素を含む水溶
液に分散させた状態で次の段階の沈殿形成を実施すれば
よい。
形成液が同じ場合には、前の段階の沈殿形成で得られた
沈殿物を含む溶液にそのまま次の段階で沈殿させようと
する元素を含む溶液を混合すればよく、この場合沈殿形
成液は既に過剰量添加済みであるから場合によっては改
めて添加する必要はない。また、次の段階の沈殿形成液
が前の段階の沈殿形成液と異なり、しかも前の段階で用
いた沈殿形成液が次の段階では存在しない方が望ましい
場合などには、前の段階の沈殿形成後、沈殿物を洗浄し
た後、溶媒または次の段階で沈殿させる元素を含む水溶
液に分散させた状態で次の段階の沈殿形成を実施すれば
よい。
沈殿物を溶媒または溶液中に分散させる方法は特に限定
されず、例えば、通常の撹拌機による撹拌、超音波を作
用させる方法などが挙げられる。
されず、例えば、通常の撹拌機による撹拌、超音波を作
用させる方法などが挙げられる。
得られた沈殿は、洗浄、乾燥後に次の仮焼に供される
が、洗浄はエタノール等のアルコール類を用いることが
望ましく、これにより乾燥、仮焼における凝集を一層抑
制することができる。
が、洗浄はエタノール等のアルコール類を用いることが
望ましく、これにより乾燥、仮焼における凝集を一層抑
制することができる。
得られた沈殿物の仮焼は、空気中もしくは酸素中におい
て550〜750℃、好ましくは600〜700℃において行なう。
仮焼時間は、大体１〜２時間でよい。
て550〜750℃、好ましくは600〜700℃において行なう。
仮焼時間は、大体１〜２時間でよい。
この仮焼によりPMnNがPZTに固溶した均一なPZT−PMnNの
微粉末が得られ、それらは２次粒子の生成が少なく、平
均粒径は通常１μｍ未満と微細なものであるため極めて
易焼結性である。仮焼の温度が550℃未満では固相反応
が完了しないためPbTiO3,PbZrO3,MnOおよびNb2O5の相が
共存した状態となる。また仮焼の温度が750℃を超える
と粒成長が顕著になり易焼結性の微粉末を得ることがで
きない。
微粉末が得られ、それらは２次粒子の生成が少なく、平
均粒径は通常１μｍ未満と微細なものであるため極めて
易焼結性である。仮焼の温度が550℃未満では固相反応
が完了しないためPbTiO3,PbZrO3,MnOおよびNb2O5の相が
共存した状態となる。また仮焼の温度が750℃を超える
と粒成長が顕著になり易焼結性の微粉末を得ることがで
きない。
こうして得られた本発明のPMnN−PZT系微粉末を用いて
焼結体を製造するには、該微粉末を好ましくは粉砕後、
成形し、成形物を1000〜1200℃で焼結すればよく、焼結
の雰囲気としては、空気、酸素あるいはこれらに酸化鉛
蒸気を含めた雰囲気などが挙げられるが、酸化鉛蒸気を
含む酸素中が好ましい。焼結法は常圧焼結および加圧焼
結のいずれでもよいが、常圧焼結で十分である。
焼結体を製造するには、該微粉末を好ましくは粉砕後、
成形し、成形物を1000〜1200℃で焼結すればよく、焼結
の雰囲気としては、空気、酸素あるいはこれらに酸化鉛
蒸気を含めた雰囲気などが挙げられるが、酸化鉛蒸気を
含む酸素中が好ましい。焼結法は常圧焼結および加圧焼
結のいずれでもよいが、常圧焼結で十分である。
以下、本発明を実施例により説明する。
実施例１ 一般式： （１−Ａ）PbZrxTi（１−ｘ）O3−APbMnyNb（１−ｙ）O
3 において、Ａ＝0.033、ｘ＝0.661およびｙ＝0.342で表
わされる組成を有する磁器を製造するために所定量のオ
キシ硝酸ジルコニウム（ZrO（NO3）２）、塩化チタン
（TiCl4）、塩化マンガン（MnCl2）および塩化ニオブ
（NbCl5）を溶解させた水溶液をそれぞれ調製した。こ
れらの水溶液を5N（規定）アンモニア水中に、撹拌しな
がら、同時に滴下し、ジルコニウム、チタン、マンガン
およびニオブの各元素の沈殿物を形成させて、この沈殿
物を30分間撹拌して十分に沈殿物を形成させたのち、さ
らにその溶液を撹拌しながら所定量の硝酸鉛（Pb（N
O3）２）を含む水溶液を滴下して30分間さらに撹拌し、
ジルコニウム、チタン、マンガン、ニオブおよび鉛の共
沈殿物を得た。この共沈殿物を約１時間放置したのち、
濾過し、水そしてイソプロピルアルコールで洗浄した
後、真空乾燥し、得られた微粉末を600℃で１時間仮焼
した。
3 において、Ａ＝0.033、ｘ＝0.661およびｙ＝0.342で表
わされる組成を有する磁器を製造するために所定量のオ
キシ硝酸ジルコニウム（ZrO（NO3）２）、塩化チタン
（TiCl4）、塩化マンガン（MnCl2）および塩化ニオブ
（NbCl5）を溶解させた水溶液をそれぞれ調製した。こ
れらの水溶液を5N（規定）アンモニア水中に、撹拌しな
がら、同時に滴下し、ジルコニウム、チタン、マンガン
およびニオブの各元素の沈殿物を形成させて、この沈殿
物を30分間撹拌して十分に沈殿物を形成させたのち、さ
らにその溶液を撹拌しながら所定量の硝酸鉛（Pb（N
O3）２）を含む水溶液を滴下して30分間さらに撹拌し、
ジルコニウム、チタン、マンガン、ニオブおよび鉛の共
沈殿物を得た。この共沈殿物を約１時間放置したのち、
濾過し、水そしてイソプロピルアルコールで洗浄した
後、真空乾燥し、得られた微粉末を600℃で１時間仮焼
した。
こうして得られた本発明の製法による微粉末について、
それを焼結してできる焼結体の性能を測定するため次の
様な操作を施した。
それを焼結してできる焼結体の性能を測定するため次の
様な操作を施した。
前記の微粉末をボールミルで粉砕後、2t/cm2で成形し、
この成形物をPbO蒸気で飽和した酸素中、1200℃、常圧
で12時間焼結した。
この成形物をPbO蒸気で飽和した酸素中、1200℃、常圧
で12時間焼結した。
得られた焼結体の焼結密度の測定を行った後、焼結体を
1mm厚に研磨し、Agペーストを焼き付けた後、100℃のシ
リコーンオイル中で、１時間、50kV/cmの電場において
分極処理した。分極処理後の試料の焦電係数、比抵抗を
測定し、また、焼結体を2.7×４×0.1mmのチップに加工
し電極を蒸着させた後、その素子の1Hzにおける電圧感
度を測定した。それらの結果を表１に示す。
1mm厚に研磨し、Agペーストを焼き付けた後、100℃のシ
リコーンオイル中で、１時間、50kV/cmの電場において
分極処理した。分極処理後の試料の焦電係数、比抵抗を
測定し、また、焼結体を2.7×４×0.1mmのチップに加工
し電極を蒸着させた後、その素子の1Hzにおける電圧感
度を測定した。それらの結果を表１に示す。
実施例２〜７ 前記実施例１で示した一般式におけるＡ、ｘおよびｙが
表１に示した値となる組成の磁器が得られるように各原
料化合物の溶液を調製した以外は、実施例１と同様な操
作を施して微粉末を得、さらに焼結して焼結体を得、そ
の焼結密度および焦電係数等の測定を行った。各実施例
におけるそれらの測定結果を表１に示す。
表１に示した値となる組成の磁器が得られるように各原
料化合物の溶液を調製した以外は、実施例１と同様な操
作を施して微粉末を得、さらに焼結して焼結体を得、そ
の焼結密度および焦電係数等の測定を行った。各実施例
におけるそれらの測定結果を表１に示す。
比較例 前記一般式において、Ａ＝0.1、ｘ＝0.650およびｙ＝0.
333で表わされる組成を有する磁器を製造するために、
所定量のPbO,ZrO2,TiO2,MnOおよびNb2O5の各酸化物粉末
をボールミルで混合し、800℃で仮焼した。こうして得
られた粉末から製造される焼結体の性能を測定するため
に、その粉末を成形し、成形物を1200℃で常圧で焼結
し、得られた磁器について実施例１と同様にして焼結密
度および焦電係数等を測定した。それらの測定結果を表
１に示す。
333で表わされる組成を有する磁器を製造するために、
所定量のPbO,ZrO2,TiO2,MnOおよびNb2O5の各酸化物粉末
をボールミルで混合し、800℃で仮焼した。こうして得
られた粉末から製造される焼結体の性能を測定するため
に、その粉末を成形し、成形物を1200℃で常圧で焼結
し、得られた磁器について実施例１と同様にして焼結密
度および焦電係数等を測定した。それらの測定結果を表
１に示す。
〔発明の効果〕 本発明の製法により得られるPZT−PMnN系赤外線センサ
ー用焦電体磁器製造用微粉末は通常平均粒径がサブミク
ロンオーダーで２次粒子の生成も少ないため、易焼結性
が優れている。比較的低温における常圧焼結により緻密
なPZT−PMnN系赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉
末を製造することができ、得られた磁器は焦電特性の優
れたものであり、圧電体としても有用である。また、本
発明の製法は、目的組成を有するPZT−PMnN系赤外線セ
ンサー用焦電体磁器製造用微粉末を容易に製造すること
ができる。
ー用焦電体磁器製造用微粉末は通常平均粒径がサブミク
ロンオーダーで２次粒子の生成も少ないため、易焼結性
が優れている。比較的低温における常圧焼結により緻密
なPZT−PMnN系赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉
末を製造することができ、得られた磁器は焦電特性の優
れたものであり、圧電体としても有用である。また、本
発明の製法は、目的組成を有するPZT−PMnN系赤外線セ
ンサー用焦電体磁器製造用微粉末を容易に製造すること
ができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−47784（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−53113（ＪＰ，Ａ) 特公 昭60−22453（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (1)
- 【請求項１】一般式： （１−Ａ）PbZrxTi（１−ｘ）O3−APbMnyNb（１−ｙ）O
3 〔ただし、式中、Ａ、ｘおよびｙはそれぞれ、0.01≦Ａ
≦0.3、0.54≦ｘ≦0.95、0.25≦ｙ≦0.55である。〕で
表わされる組成を有するチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ
酸マンガン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器製造用微
粉末の製法であって、 鉛、ジルコニウム、チタン、マンガンおよびニオブから
選ばれる１〜４種の元素を含む溶液から、前記１〜４種
の元素を含む沈澱物を生成させ、 次に、得られた沈澱物を分散させた状態で、前記５種の
元素のうち残る４〜１種の少なくとも１種の元素を含む
溶液から該４〜１種の少なくとも１種の元素を含む沈澱
物を生成させる操作を必要回数行なって前記５種の元素
をすべて沈澱させ、 次に、得られた前記５種の元素を含む沈澱物を仮焼する
ことからなるチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マンガン
酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61086260A JPH0798664B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61086260A JPH0798664B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62241826A JPS62241826A (ja) | 1987-10-22 |
| JPH0798664B2 true JPH0798664B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=13881849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61086260A Expired - Lifetime JPH0798664B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798664B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1983462B (zh) * | 2002-10-24 | 2010-11-03 | 精工爱普生株式会社 | 强电介质膜的制造方法、和强电介质电容器的制造方法 |
| JP3791614B2 (ja) | 2002-10-24 | 2006-06-28 | セイコーエプソン株式会社 | 強誘電体膜、強誘電体メモリ装置、圧電素子、半導体素子、圧電アクチュエータ、液体噴射ヘッド及びプリンタ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5947784A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-17 | Hitachi Medical Corp | 圧電磁器組成物 |
| JPS6022453A (ja) * | 1983-07-19 | 1985-02-04 | Seiko Epson Corp | Ｄｃモ−タ |
| JPS6153113A (ja) * | 1984-08-18 | 1986-03-17 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 湿式法による易焼結性ペロブスカイト及びその固溶体の原料粉末の製造方法 |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP61086260A patent/JPH0798664B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62241826A (ja) | 1987-10-22 |
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Legal Events
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |