JPH0798663B2 - 赤外線センサー用焦電体磁器の製法 - Google Patents
赤外線センサー用焦電体磁器の製法Info
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- JPH0798663B2 JPH0798663B2 JP61086259A JP8625986A JPH0798663B2 JP H0798663 B2 JPH0798663 B2 JP H0798663B2 JP 61086259 A JP61086259 A JP 61086259A JP 8625986 A JP8625986 A JP 8625986A JP H0798663 B2 JPH0798663 B2 JP H0798663B2
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- pyroelectric
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- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は赤外線センサー用焦電体として好適な赤外線セ
ンサー用焦電体磁器の製法に関し、特に電圧感度が高い
チタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マンガン酸鉛系磁器の
製法に関するものである。
ンサー用焦電体磁器の製法に関し、特に電圧感度が高い
チタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マンガン酸鉛系磁器の
製法に関するものである。
冷却装置を必要としない熱型赤外線センサーのうちで、
焦電体磁器を用いたものが最も性能が良く、使用も簡単
であるため注目されているが、その中でもチタン酸ジル
コン酸鉛−ニオブ酸マンガン酸鉛（以下、「PZT−PMn
N」という）系の焦電体磁器は、チタン酸ジルコン酸鉛
（以下、「PZT」という）のみからなる系のものと比べ
て電圧感度（Rv）において優れている。このような焦電
体磁器を製造する方法として、従来、各成分元素の酸化
物の粉末を所要組成に混合して成形し、常圧で焼結する
方法およびホツトプレスにより焼結する方法が知られて
いる。常圧焼結の場合には、焼結助剤としてリチウムな
どを添加して焼結性の向上が図られている。また、近
年、各成分元素の化合物を所要組成で溶解した溶液から
全成分元素を難溶性化合物として、同時に沈殿（共沈）
させ、得られた沈殿物を仮焼して微粉末を得、得られた
微粉末を成形後、焼結する方法が提案されている。
焦電体磁器を用いたものが最も性能が良く、使用も簡単
であるため注目されているが、その中でもチタン酸ジル
コン酸鉛−ニオブ酸マンガン酸鉛（以下、「PZT−PMn
N」という）系の焦電体磁器は、チタン酸ジルコン酸鉛
（以下、「PZT」という）のみからなる系のものと比べ
て電圧感度（Rv）において優れている。このような焦電
体磁器を製造する方法として、従来、各成分元素の酸化
物の粉末を所要組成に混合して成形し、常圧で焼結する
方法およびホツトプレスにより焼結する方法が知られて
いる。常圧焼結の場合には、焼結助剤としてリチウムな
どを添加して焼結性の向上が図られている。また、近
年、各成分元素の化合物を所要組成で溶解した溶液から
全成分元素を難溶性化合物として、同時に沈殿（共沈）
させ、得られた沈殿物を仮焼して微粉末を得、得られた
微粉末を成形後、焼結する方法が提案されている。
しかしながら、各成分元素の酸化物の粉末を混合して常
圧焼結する方法によって得られた焦電体磁器は焼結密度
が低いため焦電体磁器として要求される良好な電圧感度
（Rv）などの焦電特性を有していない。
圧焼結する方法によって得られた焦電体磁器は焼結密度
が低いため焦電体磁器として要求される良好な電圧感度
（Rv）などの焦電特性を有していない。
この方法でリチウム等の焼結助剤を添加した場合には、
焼結密度は向上するが弊害として焼結助剤が不純物とな
って焦電特性が不十分になるという問題がある。またホ
ットプレスした場合には、一応満足できる焦電特性を有
する磁器が得られるが、ホツトプレスには高価で大規模
な装置を必要とする問題がある。また、各元素の化合物
を共沈させる方法では、焼結密度は向上するが未だ不十
分であること、一つの沈殿形成液に対する各元素の沈殿
形成能（例えば、一定pHにおける各元素の沈殿物の溶解
度積）が異なり必ずしも仕込み組成と同一組成の仮焼粉
末が得られないために目的とする組成の焦電体磁器が得
難いこと、また原料のチタンはその化合物として安価な
四塩化チタンの使用が望ましいが、四塩化チタンが溶解
してできる塩素イオンは鉛と反応して白色沈殿を形成す
るため鉛化合物と同時に使用することができず、そのか
わりに高価な硝酸チタンを使用しなければならないこと
等の問題点がある。
焼結密度は向上するが弊害として焼結助剤が不純物とな
って焦電特性が不十分になるという問題がある。またホ
ットプレスした場合には、一応満足できる焦電特性を有
する磁器が得られるが、ホツトプレスには高価で大規模
な装置を必要とする問題がある。また、各元素の化合物
を共沈させる方法では、焼結密度は向上するが未だ不十
分であること、一つの沈殿形成液に対する各元素の沈殿
形成能（例えば、一定pHにおける各元素の沈殿物の溶解
度積）が異なり必ずしも仕込み組成と同一組成の仮焼粉
末が得られないために目的とする組成の焦電体磁器が得
難いこと、また原料のチタンはその化合物として安価な
四塩化チタンの使用が望ましいが、四塩化チタンが溶解
してできる塩素イオンは鉛と反応して白色沈殿を形成す
るため鉛化合物と同時に使用することができず、そのか
わりに高価な硝酸チタンを使用しなければならないこと
等の問題点がある。
本発明の目的は、良好な焦電特性を有するPZTPMnN系赤
外線センサー用焦電体磁器を、焼結助剤を用いずに常圧
焼結により、簡便かつ安価に製造できる方法を提供する
ことにある。
外線センサー用焦電体磁器を、焼結助剤を用いずに常圧
焼結により、簡便かつ安価に製造できる方法を提供する
ことにある。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するものとし
て、 一般式： （１−Ａ）PbZrxTi(1-x)O3−APbMnyNb(1-y)O3 〔ただし、式中、Ａ、ｘおよびｙはそれぞれ、0.01≦Ａ
≦0.3,0.54≦ｘ≦0.95,0.25≦ｙ≦0.55である。〕で表
わされる組成を有するチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸
マンガン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器の製法であ
って、鉛、ジルコニウム、チタン、マンガンおよびニオ
ブから選ばれる１〜４種の元素を含む溶液から、前記１
〜４種の元素を含む沈殿物を生成させ、 次に、得られた沈殿物を分散させた状態で、前記５種の
元素のうち残る４〜１種の少なくとも１種の元素を含む
溶液から該４〜１種の少なくとも１種の元素を含む沈殿
物を生成させる操作を必要回数行なって前記５種の元素
をすべて沈殿させ、 次に、得られた前記５種の元素を含む沈殿物を仮焼して
微粉末を得、該微粉末を、成形後、1000〜1200℃で焼結
することからなるチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マン
ガン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器の製法を提供す
るものである。
て、 一般式： （１−Ａ）PbZrxTi(1-x)O3−APbMnyNb(1-y)O3 〔ただし、式中、Ａ、ｘおよびｙはそれぞれ、0.01≦Ａ
≦0.3,0.54≦ｘ≦0.95,0.25≦ｙ≦0.55である。〕で表
わされる組成を有するチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸
マンガン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器の製法であ
って、鉛、ジルコニウム、チタン、マンガンおよびニオ
ブから選ばれる１〜４種の元素を含む溶液から、前記１
〜４種の元素を含む沈殿物を生成させ、 次に、得られた沈殿物を分散させた状態で、前記５種の
元素のうち残る４〜１種の少なくとも１種の元素を含む
溶液から該４〜１種の少なくとも１種の元素を含む沈殿
物を生成させる操作を必要回数行なって前記５種の元素
をすべて沈殿させ、 次に、得られた前記５種の元素を含む沈殿物を仮焼して
微粉末を得、該微粉末を、成形後、1000〜1200℃で焼結
することからなるチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マン
ガン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器の製法を提供す
るものである。
前記一般式において、A,xおよびｙはそれぞれ、0.01≦
Ａ≦0.3,0.54≦ｘ≦0.95および0.25≦ｙ≦0.55の範囲と
なるように磁器を製造する必要がある。A,xおよびｙの
いずれか一つでも上記範囲外であると、電圧感度の高い
磁器が得られない。マンガン酸ニオブ酸鉛の割合を過度
に大きくすると得られる磁器の焦電係数は大きくなるが
その比誘電率も増加する結果、電圧感度はあまり向上し
ない。
Ａ≦0.3,0.54≦ｘ≦0.95および0.25≦ｙ≦0.55の範囲と
なるように磁器を製造する必要がある。A,xおよびｙの
いずれか一つでも上記範囲外であると、電圧感度の高い
磁器が得られない。マンガン酸ニオブ酸鉛の割合を過度
に大きくすると得られる磁器の焦電係数は大きくなるが
その比誘電率も増加する結果、電圧感度はあまり向上し
ない。
本発明の製法は、沈殿を形成する際に鉛、ジルコニウ
ム、チタンおよびニオブの５種の元素を同時に沈殿（共
沈）させず、沈殿形成を２段階以上に分けて行う方法、
（以下、「多段湿式法」という）を用いる。この方法
は、沈殿させる元素の順序、一つの段階で共沈させる元
素の組み合わせ、沈殿形成の段階数などを必要に応じて
選択することにより多くの変法が考えられるが、そのい
くつかを具体的に挙げるとこれら５種の元素のうち、第
１段目で１種の元素を沈殿させ第２段目で残る４種の元
素を共沈させる方法、その逆に、第１段目で４種の元素
を共沈させ、第２段目で残る１種の元素を沈殿させる方
法、第１段目で１種の元素を沈殿させ、第２段目で残る
４種のうち１種を沈殿させ、第３段目で残る３種を共沈
させる方法、５種の元素ごとに５段階に分けて順次沈殿
形成を行なわせる方法などがある。さらには、１元素を
複数の段階に分けて沈殿形成をさせることで、６段階以
上の沈殿形成を行う方法も挙げられる。通常は２〜５段
に分けて行うのが一般的である。
ム、チタンおよびニオブの５種の元素を同時に沈殿（共
沈）させず、沈殿形成を２段階以上に分けて行う方法、
（以下、「多段湿式法」という）を用いる。この方法
は、沈殿させる元素の順序、一つの段階で共沈させる元
素の組み合わせ、沈殿形成の段階数などを必要に応じて
選択することにより多くの変法が考えられるが、そのい
くつかを具体的に挙げるとこれら５種の元素のうち、第
１段目で１種の元素を沈殿させ第２段目で残る４種の元
素を共沈させる方法、その逆に、第１段目で４種の元素
を共沈させ、第２段目で残る１種の元素を沈殿させる方
法、第１段目で１種の元素を沈殿させ、第２段目で残る
４種のうち１種を沈殿させ、第３段目で残る３種を共沈
させる方法、５種の元素ごとに５段階に分けて順次沈殿
形成を行なわせる方法などがある。さらには、１元素を
複数の段階に分けて沈殿形成をさせることで、６段階以
上の沈殿形成を行う方法も挙げられる。通常は２〜５段
に分けて行うのが一般的である。
本発明の製法に原料として用いることができる。Pb,Zr,
Mn,NbおよびTiの化合物としては、例えば、これら元素
のオキシ塩化物、炭酸塩、オキシ硝酸塩、硫酸塩、硝酸
塩、酢酸塩、ギ酸塩、シュウ酸塩等の有機酸もしくは無
機酸の塩類、水酸化物、塩化物、酸化物などが挙げられ
るが、特にこれらに制限されるものではない。
Mn,NbおよびTiの化合物としては、例えば、これら元素
のオキシ塩化物、炭酸塩、オキシ硝酸塩、硫酸塩、硝酸
塩、酢酸塩、ギ酸塩、シュウ酸塩等の有機酸もしくは無
機酸の塩類、水酸化物、塩化物、酸化物などが挙げられ
るが、特にこれらに制限されるものではない。
これらの化合物を含む溶液を調製する溶媒としては、通
常、水、アルコールこれらの混合液が用いられるが、こ
れらに限定されるものではない。これらの溶媒に可溶で
ない場合は鉱酸を添加して可溶化してもよい。
常、水、アルコールこれらの混合液が用いられるが、こ
れらに限定されるものではない。これらの溶媒に可溶で
ない場合は鉱酸を添加して可溶化してもよい。
本発明は多段湿式法を採用するため、相性が悪いため従
来の共沈法では用いることができなかった化合物でも組
合わせて使用することができる。例えば、前述の四塩化
チタンでも、TiとPbの沈殿を別段階で行なうようにすれ
ば使用することができる。
来の共沈法では用いることができなかった化合物でも組
合わせて使用することができる。例えば、前述の四塩化
チタンでも、TiとPbの沈殿を別段階で行なうようにすれ
ば使用することができる。
沈殿の形成は、原料化合物を含む水溶液を過剰量の沈殿
形成液に混合することにより行なうのがよい。用いられ
る沈殿形成液としては、例えばアンモニア、炭酸アンモ
ニウム、苛性アルカリ、炭酸ナトリウム、シュウ酸、シ
ュウ酸アンモニウム及びオキシンやアミンなどの有機試
薬などの溶液が挙げられる。これらから選定すればよ
い。
形成液に混合することにより行なうのがよい。用いられ
る沈殿形成液としては、例えばアンモニア、炭酸アンモ
ニウム、苛性アルカリ、炭酸ナトリウム、シュウ酸、シ
ュウ酸アンモニウム及びオキシンやアミンなどの有機試
薬などの溶液が挙げられる。これらから選定すればよ
い。
ある段階の沈殿形成と次の段階の沈殿形成に用いる沈殿
形成液が同じ場合には、前の段階の沈殿形成で得られた
沈殿物を含む溶液にそのまま次の段階で沈殿させようと
する元素を含む溶液を混合すればよく、この場合沈殿形
成液は既に過剰量添加済みであるから場合によっては改
めて添加する必要はない。また、次の段階の沈殿形成液
が前の段階の沈殿形成液と異なり、しかも前の段階で用
いた沈殿形成液が次の段階では存在しない方が望ましい
場合などには、前の段階の沈殿形成後、沈殿物を洗浄し
た後、溶媒または次の段階で沈殿させる元素を含む水溶
液に分散させた状態で次の段階の沈殿形成を実施すれば
よい。
形成液が同じ場合には、前の段階の沈殿形成で得られた
沈殿物を含む溶液にそのまま次の段階で沈殿させようと
する元素を含む溶液を混合すればよく、この場合沈殿形
成液は既に過剰量添加済みであるから場合によっては改
めて添加する必要はない。また、次の段階の沈殿形成液
が前の段階の沈殿形成液と異なり、しかも前の段階で用
いた沈殿形成液が次の段階では存在しない方が望ましい
場合などには、前の段階の沈殿形成後、沈殿物を洗浄し
た後、溶媒または次の段階で沈殿させる元素を含む水溶
液に分散させた状態で次の段階の沈殿形成を実施すれば
よい。
沈殿物を溶媒または溶液中に分散させる方法は特に限定
されず、例えば、通常の撹拌機による撹拌、超音波を作
用させる方法などが挙げられる。
されず、例えば、通常の撹拌機による撹拌、超音波を作
用させる方法などが挙げられる。
得られた沈殿は、洗浄、乾燥後に次の仮焼に供される
が、洗浄はエタノール等のアルコール類を用いることが
望ましく、これにより乾燥、仮焼における凝集を一層抑
制することができる。
が、洗浄はエタノール等のアルコール類を用いることが
望ましく、これにより乾燥、仮焼における凝集を一層抑
制することができる。
得られた沈殿物の仮焼は、空気中もしくは酸素中におい
て550〜750℃、好ましくは600〜700℃において行なう。
仮焼時間は、大体１〜２時間でよい。
て550〜750℃、好ましくは600〜700℃において行なう。
仮焼時間は、大体１〜２時間でよい。
この仮焼によりPMnNがPZTに固溶した均一なPZT−PMnNの
微粉末が得られ、それらは、２次粒子の生成が少なく、
平均粒径は通常１μｍ未満と微細なものであるため極め
て易焼結性である。仮焼の温度が550℃未満では固相反
応が完了しないためPbTiO3,PbZrO3,MnOおよびNb2O5の相
が共存した状態となる。また、仮焼の温度が750℃を超
えると粒成長が顕著になり易焼結性の微粉末を得ること
はできない。
微粉末が得られ、それらは、２次粒子の生成が少なく、
平均粒径は通常１μｍ未満と微細なものであるため極め
て易焼結性である。仮焼の温度が550℃未満では固相反
応が完了しないためPbTiO3,PbZrO3,MnOおよびNb2O5の相
が共存した状態となる。また、仮焼の温度が750℃を超
えると粒成長が顕著になり易焼結性の微粉末を得ること
はできない。
こうして得られたPZT−PMnN系微粉末を用いて焼結体を
製造するには、該微粉末を好ましくは粉砕後、成形し、
成形物を1000〜1200℃で焼結する。1000℃未満の焼結温
度では、得られる焼結体の相対密度が比較的低いため、
焦電特性は不十分である。また、1200℃を超えるとPbO
の蒸発が顕著になって目的組成からのずれや異常粒成長
が起る等のため、焼結体は不均一な組成となり、また焼
結密度も低く、焦電特性は不十分なものとなる。焼結の
雰囲気としては、空気、酸素あるいはこれらに酸化鉛蒸
気を含めた雰囲気などが挙げられるが、酸化鉛蒸気を含
む酸素中が好ましい。焼結法は常圧焼結および加圧焼結
のいずれでもよいが常圧焼結で十分である。
製造するには、該微粉末を好ましくは粉砕後、成形し、
成形物を1000〜1200℃で焼結する。1000℃未満の焼結温
度では、得られる焼結体の相対密度が比較的低いため、
焦電特性は不十分である。また、1200℃を超えるとPbO
の蒸発が顕著になって目的組成からのずれや異常粒成長
が起る等のため、焼結体は不均一な組成となり、また焼
結密度も低く、焦電特性は不十分なものとなる。焼結の
雰囲気としては、空気、酸素あるいはこれらに酸化鉛蒸
気を含めた雰囲気などが挙げられるが、酸化鉛蒸気を含
む酸素中が好ましい。焼結法は常圧焼結および加圧焼結
のいずれでもよいが常圧焼結で十分である。
以下、本発明を実施例により具体的に説明する。
実施例１ 一般式： （１−Ａ）PbZrxTi(1-x)O3−APbMnyNb(1-y)O3におい
て、Ａ＝0.033、ｘ＝0.661およびｙ＝0.342で表わされ
る組成を有する磁器を製造するために、所定量のオキシ
硝酸ジルコニウム（ZrO（NO3）２）、塩化チタン（TiCl
4）、塩化マンガン（MnCl2）および塩化ニオブ（NbC
l5）を溶解させた水溶液をそれぞれ調製した。これらの
水溶液を5N（規定）アンモニア水中に、撹拌しながら、
同時に滴下し、ジルコニウム、チタン、マンガンおよび
ニオブの各元素の沈殿物を形成させて、この沈殿物を30
分間撹拌して十分に沈殿物を形成させたのち、さらにそ
の溶液を撹拌しながら所定量の硝酸鉛（Pb（NO3）２）
を含む水溶液を滴下して30分間さらに撹拌し、ジルコニ
ウム、チタン、マンガン、ニオブおよび鉛の共沈殿物を
得た。この共沈殿物を約１時間放置したのち、濾過し、
水そしてイソプロピルアルコールで洗浄した後、真空乾
燥した。得られた粉末を600℃で１時間仮焼し、ボール
ミルで粉砕後、2t/cm2で成形した。この成形物をPbO蒸
気で飽和した酸素中、1200℃、常圧下で10時間焼結し
た。
て、Ａ＝0.033、ｘ＝0.661およびｙ＝0.342で表わされ
る組成を有する磁器を製造するために、所定量のオキシ
硝酸ジルコニウム（ZrO（NO3）２）、塩化チタン（TiCl
4）、塩化マンガン（MnCl2）および塩化ニオブ（NbC
l5）を溶解させた水溶液をそれぞれ調製した。これらの
水溶液を5N（規定）アンモニア水中に、撹拌しながら、
同時に滴下し、ジルコニウム、チタン、マンガンおよび
ニオブの各元素の沈殿物を形成させて、この沈殿物を30
分間撹拌して十分に沈殿物を形成させたのち、さらにそ
の溶液を撹拌しながら所定量の硝酸鉛（Pb（NO3）２）
を含む水溶液を滴下して30分間さらに撹拌し、ジルコニ
ウム、チタン、マンガン、ニオブおよび鉛の共沈殿物を
得た。この共沈殿物を約１時間放置したのち、濾過し、
水そしてイソプロピルアルコールで洗浄した後、真空乾
燥した。得られた粉末を600℃で１時間仮焼し、ボール
ミルで粉砕後、2t/cm2で成形した。この成形物をPbO蒸
気で飽和した酸素中、1200℃、常圧下で10時間焼結し
た。
得られた焼結体の焼結密度の測定を行った後、焼結体を
1mm厚に研磨し、Agペーストを焼き付けた後、100℃のシ
リコーンオイル中で、１時間、50kV/cmの電場において
分極処理した。分極処理後の試料の焦電係数、比抵抗を
測定し、また、焼結体を2.7×４×0.1mmのチップに加工
し電極を蒸着させた後、その素子の1Hzにおける電圧感
度を測定した。それらの結果を表１に示す。
1mm厚に研磨し、Agペーストを焼き付けた後、100℃のシ
リコーンオイル中で、１時間、50kV/cmの電場において
分極処理した。分極処理後の試料の焦電係数、比抵抗を
測定し、また、焼結体を2.7×４×0.1mmのチップに加工
し電極を蒸着させた後、その素子の1Hzにおける電圧感
度を測定した。それらの結果を表１に示す。
実施例２〜７ 前記実施例１で示した一般式におけるＡ、ｘおよびｙが
表１に示した値となる組成の磁器が得られるように各原
料化合物の溶液を調製した以外は、実施例１と同様な操
作を施して微粉末を製造し、焼結密度および焦電係数等
の測定を行った。各実施例におけるそれらの測定結果を
表１に示す。
表１に示した値となる組成の磁器が得られるように各原
料化合物の溶液を調製した以外は、実施例１と同様な操
作を施して微粉末を製造し、焼結密度および焦電係数等
の測定を行った。各実施例におけるそれらの測定結果を
表１に示す。
比較例 前記一般式において、Ａ＝0.1、ｘ＝0.650およびｙ＝0.
333で表わされる組成を有する磁器を製造するために、
所定量のPbO,ZrO2,TiO2,MnOおよびNb2O5の各酸化物粉末
をボールミルで混合し、800℃で仮焼後、成形し、成形
物を1200℃で常圧で焼結し、得られた磁器について実施
例１と同様にして焼結密度および焦電係数等を測定し
た。それらの測定結果を表１に示す。
333で表わされる組成を有する磁器を製造するために、
所定量のPbO,ZrO2,TiO2,MnOおよびNb2O5の各酸化物粉末
をボールミルで混合し、800℃で仮焼後、成形し、成形
物を1200℃で常圧で焼結し、得られた磁器について実施
例１と同様にして焼結密度および焦電係数等を測定し
た。それらの測定結果を表１に示す。
〔発明の効果〕 本発明の製法によると、焼結助剤を用いず、常圧下、比
較的低温における焼結により優れた焦電特性を有するPZ
T−PMnN系赤外線センサー用焦電体磁器を簡便にかつ安
価に製造することができる。また、得られた赤外線セン
サー用焦電体磁器は高い焼結密度を有しており、圧電体
としても有用である。
較的低温における焼結により優れた焦電特性を有するPZ
T−PMnN系赤外線センサー用焦電体磁器を簡便にかつ安
価に製造することができる。また、得られた赤外線セン
サー用焦電体磁器は高い焼結密度を有しており、圧電体
としても有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−47784（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−53113（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−241826（ＪＰ，Ａ) 特公 昭60−22453（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭60−16373（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】一般式： （１−Ａ）PbZrxTi(1-x)O3−APbMnyNb(1-y)O3 〔ただし、式中、Ａ、ｘおよびｙはそれぞれ、0.01≦Ａ
≦0.3、0.54≦ｘ≦0.95、0.25≦ｙ≦0.55である。〕で
表わされる組成を有するチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ
酸マンガン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器の製法で
あって、 鉛、ジルコニウム、チタン、マンガンおよびニオブから
選ばれる１〜４種の元素を含む溶液から、前記１〜４種
の元素を含む沈澱物を生成させ、 次に、得られた沈澱物を分散させた状態で、前記５種の
元素のうち残る４〜１種の少なくとも１種の元素を含む
溶液から該４〜１種の少なくとも１種の元素を含む沈澱
物を生成させる操作を必要回数行なって前記５種の元素
をすべて沈澱させ、 次に、得られた前記５種の元素を含む沈澱物を仮焼して
微粉末を得、該微粉末を成形後、1000〜1200℃で焼結す
ることからなるチタン酸ジルコン酸鉛−ニオブ酸マンガ
ン酸鉛系赤外線センサー用焦電体磁器の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61086259A JPH0798663B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 赤外線センサー用焦電体磁器の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61086259A JPH0798663B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 赤外線センサー用焦電体磁器の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62241825A JPS62241825A (ja) | 1987-10-22 |
| JPH0798663B2 true JPH0798663B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=13881821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61086259A Expired - Lifetime JPH0798663B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 赤外線センサー用焦電体磁器の製法 |
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-
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- 1986-04-14 JP JP61086259A patent/JPH0798663B2/ja not_active Expired - Lifetime
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