JPH09167309A - 磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 難削材製のコア用の対象部材を効率良く加工
することができかつ対象部材の研削された部分に磁性膜
を均一に形成することができる磁気ヘッドのコア用の部
材の加工方法を提供すること。 【解決手段】 磁気ヘッドのコア用の難削材の対象部材
１０を研削して、磁性膜を形成するための対象面１４を
この対象部材１０に加工する際に、回転砥石５０を回転
して、回転砥石の切刃砥粒２２ｄの非転写部位で対象部
材１０の対象面１４を研削加工する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドのコア
用の難削材の対象部材を研削して、磁性膜を形成するた
めの対象面をこの対象部材に加工する磁気ヘッドのコア
用の部材の加工方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】このような磁気記録再生装置において
は、画質等を向上させるために信号をデジタル化して記
録するデジタル記録が進められており、これに対応して
記録の高密度化、記録周波数の高周波化がなされてい
る。ところで、磁気記録の高密度化、高周波化が進むに
つれ、記録再生に使用する磁気ヘッドには、高周波で出
力が高く、ノイズの少ないことが要求される。例えば、
従来ＶＴＲ用磁気ヘッドとして多用されるフェライト材
に金属磁性膜を成膜し、巻き線を施した所謂複合型メタ
ル・イン・ギャップヘッドでは、インダクタンスが大き
く、インダクタンス当たりの出力低下のため、高周波領
域で出力が低く、高周波、高密度が必要とされるデジタ
ル画像記録に充分対処することが難しい。このような状
況から、磁気ヘッドを薄膜形成工程で作製する所謂薄膜
磁気ヘッドが、高周波対応の磁気ヘッドとして検討され
ている。

【０００３】薄膜磁気ヘッドは、セラミック基板のよう
な難削材にフォトリソグラフィ等の薄膜形成手法によっ
て渦巻き状にコイルを形成し、その上にアルミナ等の酸
化物で保護膜を形成して作製される。この難削材の対象
部材（セラミック基板）に対してコイルの磁路を形成す
るための磁性膜を、たとえばスパッタにより形成するこ
とがある。そのために、セラミックスのような難削材の
加工性の改善が要求されている。従来このような難削材
を研削加工する場合には、たとえば電鋳砥石等のボンド
材（結合材）の硬い砥石の使用の検討が行われている。
しかし、セラミックスを加工する場合に、フェライト並
の研削面粗度を確保しつつ、高速加工するのは容易では
ない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、セラミック
スのような難削材を研削加工する場合には、セラミック
スの加工性の改善を図って、加工精度の向上および加工
効率の向上が望まれている。

【０００５】従来のフェライトを使用したビデオテープ
レコーダ用の磁気ヘッドのコア用の対象部材（基板）１
は、図１４に示すように、複数本の溝３を、砥石２によ
り矢印Ｘ方向に研削していく必要がある。この溝３の傾
斜面４は、磁性膜５をスパッタ等により形成する面であ
る。この対象部材１は、後工程で縦方向および横方向に
切断されることで、コア６が多数作られるようになって
いる。このコア６の磁性膜５には、図示しないコイルを
薄膜で形成するようになっている。

【０００６】このような傾斜面４を対象部材１に対して
形成する場合には、図１４の砥石２を用いる。この砥石
２は、予めθで形成された研削周囲面７を有しており、
この砥石２は、矢印Ｚ方向に下げることにより、対象部
材１に対して溝３を形成するための溝入れを行い、且つ
対象部材１は、矢印Ｘ方向に直線移動される。この時の
対象部材１の矢印Ｘ方向の加工スピードは、たとえば３
５０〜５００ｍｍ／分で行っている。これに対して、セ
ラミックスで作られた対象部材１を用いる場合には、セ
ラミックスの加工性が悪いために、研削加工スピードを
上げると、砥石２の砥石摩耗が進んだり、あるいはセラ
ミックスの所謂むしれ現象が発生するために、加工スピ
ードはたとえば１００ｍｍ／分程度にしか上げることが
できない。

【０００７】またセラミックス製の対象部材１の傾斜面
４の面粗度を、フェライト製の対象部材１の傾斜面の面
粗度並にするためには、砥石粒度を微細化する必要があ
るが、このように微細化すると、砥石摩耗とむしれ現象
が更に発生してしまうために、セラミックス製の対象部
材１の研削する場合には、フェライト製の対象部材１を
研削する場合に比べて粗い砥石で加工する必要がある。
このために、セラミックス製の対象部材１の加工面の粗
度がフェライトの対象部材１の加工面粗度に比べて悪化
してしまうので、傾斜面４に対して磁性膜５を均一にス
パッタすることができなくなってしまう。この磁性膜
は、後工程で形成するコイルの磁路を構成するものであ
り、従って磁気ヘッドの特性の劣化が生じたり、あるい
は磁性膜の膜の付着強度の低下が生じ、磁性膜の膜が剥
がれてしまうという問題が発生する。

【０００８】そこで本発明は上記課題を解消するために
なされたものであり、難削材製のコア用の対象部材を効
率良く加工することができ、かつ対象部材の研削された
部分に磁性膜を均一に形成することができる磁気ヘッド
のコア用の部材の加工方法を提供することを目的として
いる。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、磁気ヘッドのコア用の難削材の対象部材を研削
して、磁性膜を形成するための対象面をこの対象部材に
加工する際に、回転砥石を回転して、回転砥石の切刃砥
粒の非転写部位で対象部材の対象面を研削加工する磁気
ヘッドのコア用の部材の加工方法により、達成される。
本発明では、対象部材に対して、磁性膜を形成するため
の対象面を加工する際に、回転砥石を回転して、回転砥
石の切刃砥粒の非転写部位を用いて、対象部位の対象面
を研削加工する。

【００１０】これにより、回転砥石の切刃砥粒が、対象
部材の対象面には転写されないので、切刃砥粒の凹凸に
関係なく平滑な対象面を対象部材に加工することができ
る。従ってこの平滑な対象面に磁性膜が均一に形成で
き、膜付着強度の低下による膜剥がれの問題を解消する
ことができる。また切刃砥粒の非転写部位で対象部位の
対象面を研削加工するので、高速加工を行っても、対象
面の面粗度は良好に保つことができ、研削加工スピード
を上げることができる。。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。

【００１２】図１は、本発明の磁気ヘッドのコア用の部
材の加工方法を実施するための研削加工装置の一例を示
している。磁気ヘッドのコア用の部材１０は、研削をす
るための対象部材であり、図２に示すような平板状の部
材である。この対象部材１０は、難削材であるセラミッ
クスにより作られている。セラミックスとしては、たと
えばＭｎＯ−ＮｉＯ系のセラミックス等を採用すること
ができる。

【００１３】図１の研削加工装置は、この対象部材１０
に対して図２のように複数本の溝１２を形成するための
加工装置である。各溝１２は、傾斜面１４と垂直面１６
および底面１８を備えている。図１の研削加工装置は、
テーブル２０、研削部２２および制御部２４等を備えて
いる。テーブル２０は、図２の対象部材１０を水平面Ｈ
Ｌに対して所定の切込角度θで傾斜してしっかりと保持
するテーブルである。この所定の切込角度θは、たとえ
ば４５度である。テーブル２０は対象部材１０を矢印Ｘ
方向および矢印Ｙ方向に移動可能である。このテーブル
２０は、Ｙ方向に向いたレール２６と、Ｘ方向に向いた
レール２８と、保持部３０等を備えている。レール２６
は、レール２８を矢印Ｙ方向に案内するものであり、モ
ータ３２を作動して送りネジ３４を回すことで、この送
りネジ３４と噛み合ったナット３６とともにレール２８
を矢印Ｙ方向に移動および位置決め可能である。

【００１４】またレール２８は保持部３０を矢印Ｘ方向
に直線移動可能である。つまりモータ３８を作動して送
りネジ４０を回転することにより、送りネジ４０に噛み
合ったナット４２が保持部３０とともに矢印Ｘ方向に移
動をするようになっている。この保持部３０は対象部材
１０を着脱可能に保持する。

【００１５】研削部２２は、研削砥石５０と、モータ５
２およびＺ方向移動手段５４等を備えている。モータ５
２は、この研削砥石５０を矢印Ｒ方向に回転するもので
あり、Ｚ方向移動手段５４は、モータ５２と研削砥石５
０を矢印Ｚ方向に上下動及び位置決め可能になってい
る。制御部２４は、上述したモータ３２，３８，５２お
よびＺ方向移動手段５４の作動を制御する。

【００１６】次に、図１と図２の対象部材１０に対し
て、図２の溝１２を形成する研削加工例を図１と図３を
参照して説明する。図１のモータ５２を作動して研削砥
石５０を回転するとともに、Ｚ方向移動手段５４を作動
して、モータ５２および研削砥石５０を矢印Ｚ１方向に
下降する。これにより、研削部２２の断面ほぼＶ字型と
なったテーパ部２２ａ，２２ａが、図３のようにして対
象部材１０に対して垂直下方に切り込んでいく。これに
よりテーパ部２２ａ，２２ａと一致した形状の溝１２が
図３に示すように対象部材１０に対して形成されること
になる。

【００１７】このテーパ部２２ａ，２２ａは、図３に示
すように交差角αを有するように形成されているが、こ
の交差角αは、たとえば９０度である。従って、溝１２
は、図３と図２に示すように傾斜面１４と垂直面１６お
よび底面１８から画成されることになる。詳細に言え
ば、垂直面１６は一方のテーパ部２２ａにより研削さ
れ、底面１８はもう一方のテーパ部２２ａにより研削さ
れる。そして後工程で研性膜を形成するのに重要な傾斜
面１４は、研削砥石５０の回転側面２３により研削され
る。

【００１８】このようにして回転側面２３が回転しなが
ら研削砥石５０の半径方向に切り込みながら矢印Ｘ方向
に傾斜面１４を研削加工すると、砥石の摩耗が少なくし
かも傾斜面１４の面粗度を、小さくすることができる。
この理由は、次の通りである。

【００１９】図４は、通常の平型の回転型の研削砥石１
００の周囲面１００ａにより対象部材１０を研削する場
合の例を示し、図５は、同じ研削砥石５０の回転側面２
３により対象部材１０を研削する例を示している。図４
の通常の研削砥石１００の周囲面１００ａを構成してい
る各砥粒１００ｃは対象部材１０に対して矢印Ｒ方向に
回転しながら各砥粒１００ｃのプロフィールをそのまま
対象部材１０に対して転写して研削してしまう。従っ
て、対象部材１０の研削面１０ａは、面粗度が大きくな
ってしまう。

【００２０】これに対して、図５のように研削砥石５０
の回転側面２３を用いて、しかも矢印Ｚ１方向にこの研
削砥石１００を移動しながら対象部材１０を研削する
と、最大の切刃砥粒２２ｄの側方への砥粒高さが、対象
部材１０の研削取り代Ｌを得るので、対象部材１０の研
削面１０ｅには他の切刃砥粒１００ｄのプロフィールが
転写されにくく、所謂非転写部位となり、この研削面１
０ｅの面粗度は極めて小さいものになる。このような理
由から、図３の傾斜面１４は、研削砥石５０の回転側面
２３により砥粒の非転写部位として研削することができ
る。図１の研削部２２の研削砥石５０が矢印Ｚ１方向に
下がって、モータ３８が作動することにより対象部材１
０は矢印Ｘ方向（図１の紙面から手前向かう方向）に移
動するので、図２に示すような溝１２を形成することが
できる。

【００２１】一本目の溝１２が形成された後には、次に
研削砥石５０は一旦上昇して、モータ３２が作動して、
保持部３０と対象部材１０は、所定のピッチ分矢印Ｙ
（矢印Ｙ１方向）に所定のピッチ分移動する。これによ
り、上述したような動作を繰り返すと２本目の溝１２が
１本目の溝１２と平行に形成される。そして図２の３本
目の溝１２は、同様な要領で１本目および２本目の溝１
２と平行に形成されることになる。各溝１２の傾斜面１
４は、上述したように研削砥石５０の回転側面２３で形
成されるので、面粗度は小さくなり、しかも傾斜面１４
上のむしれを極力小さくすることができる。この結果、
研削砥石５０の研削加工速度を上げても、傾斜面の面粗
度を良好に保つことができる。

【００２２】次に、図６と図７を参照する。図６は、従
来のフェライト製の対象部材に対して、４５度の傾斜面
を傾斜した場合における傾斜面の面粗度の一例を示して
いる。また図７は、本発明のセラミックス製の対象部材
１０に対して４５度の傾斜面を形成した場合におけるそ
の傾斜面の面粗度の測定結果の一例を示している。図７
は、研削砥石５０の回転側面２３でセラミックスの対象
部材１０を研削加工した時に、従来のフェライト製の対
象部材を研削した場合の面粗度と比較している。図７の
セラミックス製の対象部材を研削した例では、砥石粒度
を幾つか変えて、しかもストレート砥石（平面砥石）
と、図１４のような従来の研削周囲面７を有する研削砥
石２を用いた場合の面粗度を比較示している。

【００２３】研削加工条件としては、セラミックス製の
対象部材が、ＭｎＯ−ＮｉＯ系セラミックスであるのに
対して、従来のフェライト製の対象部材は、ＭｎＺｎ単
結晶のフェライトである。使用する砥石は、電鋳砥石＃
４０００、＃３０００、＃２５００、＃２０００、＃１
５００、＃８００の砥石である。砥石の周速は、５００
０ｍ／分であり、対象部材の加工スピードは２５０ｍｍ
／分であって、切込量は０．１５ｍｍである。

【００２４】図７を参照すると、＃８００のストレート
砥石によるセラミックスの対象部材の面粗度は、図６の
フェライトの対象部材の面粗度よりも悪くなっている
が、＃１５００のストレート砥石以上は、フェライト面
粗度よりも良いことから、ストレート砥石は＃１５００
以上を用いると、フェライトを研削する場合と同等以上
の面粗度で傾斜面を加工することができることが分かっ
た。これに対し、従来の４５度の修正砥石（図１４の研
削砥石２）を用いると、粒度が粗くなると面粗度も悪化
してしまい、使用できるのは＃２５００以上であること
が判明した。この原因は、既に述べたように砥石の側面
では砥粒の突き出しがすべて加工面に転写されないため
に砥粒粒度の影響を受けにくく（図５参照）、これに対
して図１４のような４５度の研削周囲面７で対象部材１
を研削すると各砥粒の突き出し量がすべて加工面に転写
されて、傾斜面４の面粗度が粒度の影響を受けることに
なるからである。

【００２５】本発明の加工方法は、このような結果を元
にして、図１と図３に示すような研削砥石５０を用い、
かつその回転側面２３が傾斜面１４を研削するようにし
ている。そして、基板である対象部材１０は、所定の角
度θ（たとえば４５度）で傾けて、電鋳砥石＃１５００
以上で交差角α（たとえば９０度）を有する研削砥石５
０を用いて傾斜面１４を研削加工している。この結果、
従来より粒度の粗い研削砥石５０を用いても、傾斜面１
４の面粗度は悪くならず、加工性が良くなり、従来電鋳
＃２５００の研削砥石で加工スピード１００ｍｍ／分で
行っていた研削加工は、本発明の加工方法では加工スピ
ードは２５０ｍｍ／分で行っても、セラミックス製の対
象部材１０の傾斜面１４の面粗度は、従来のフェライト
製の対象部材の傾斜面の面粗度と同等の面粗度が得られ
る。しかもセラミックス製の対象部材１０における砥石
摩耗の進行や傾斜面１４におけるむしれの問題がないこ
とも確認できている。

【００２６】図８は、本発明の加工方法の別の例を示し
ている。図８の加工方法では、ストレート型の研削砥石
（平型の回転砥石）１５０を用いた後に、再びこの研削
砥石１５０を用いて、結果として図３に示したような傾
斜面１４、垂直面１６および底面１８を有する溝を形成
するようになっている。研削砥石１５０は、やはり電鋳
砥石であって、＃１５００を使用している。まずセラミ
ックス製の対象部材１０を図８（Ａ）のように、所定の
角度θ（４５度）で傾斜して保持し、図１の要領と同様
にして、第１の溝を研削砥石１５０をＲ方向に回転しな
がらＺ１方向に下降して第１溝１２ａを形成する。これ
によって研削砥石１５０の回転側面１２３が傾斜面１４
を形成する。

【００２７】次に、図８（Ｂ）のように、対象部材１０
の傾斜角度θを０度にして、即ち対象部材１０を水平に
おいて固定し、そして研削砥石１５０を更に回転しなが
ら第２溝１２ｂを矢印Ｚ１方向に下げて形成する。これ
によって、傾斜面１４と垂直面１６および底面１８を有
する溝１２が形成できることになる。図８の加工方法で
は、ストレート砥石である研削砥石１５０を二度対象部
材１０に対して切り込むことで、所定の溝１２を形成し
ている。つまり研削砥石１５０を二度用いることにより
溝１２を最終的に形成することで各一回分の研削加工量
が減るので、加工スピードをそれぞれたとえば５００ｍ
ｍ／分に更に上げることが確認できた。

【００２８】また平型の回転砥石である研削砥石１５０
自体の角度修正作業が不要であることから、研削砥石１
５０のドレッシングを行った後に直ぐ対象部材１０の加
工ができることも確認できている。またこの加工方法で
は、第２溝１２ｂがヘッド摺動面にならないために、面
粗度をフェライト製の対象部材の傾斜面並にする必要が
ないことから、更に粗度を粗くして加工スピードを上げ
ることも勿論できる。

【００２９】次に、図９の本発明の別の加工方法につい
て説明する。図９の加工方法では、対象部材１０が、や
はり所定角度θ（４５度）で傾斜して保持されている。
まず第１段階では、ストレート型の研削砥石１５０が対
象部材１０に対して矢印Ｚ１方向に切り込まれる。これ
により第１溝１２ａが形成されて、傾斜面１４が回転側
面１２３により形成される。次に、対象部材１０はやは
り所定の角度θで傾斜して保持されている状態で、図１
の研削砥石５０を用いて、第２溝１２ｂを形成する。但
し、この研削砥石５０の回転側面２３は既に所定の面粗
度で形成されている側面１２３を研削する必要がないこ
とから、破線で示すように少しずらして第２溝１２ｂを
形成する。つまり研削砥石５０の回転側面２３が傾斜面
１４に接触しないようにする必要がある。

【００３０】以上説明したように、本発明の加工方法の
実施の形態では、図１のワークである対象部材１０を水
平面に対して所定の角度、たとえば４５度に傾けて研削
砥石５０の回転側面２３で傾斜面１４を形成する。この
傾斜面１４は、後工程で磁性膜をスパッタするための面
であり、傾斜面の面粗度はたとえセラミックス製の対象
部材１０であっても、従来のフェライト製の対象部材１
０の傾斜面と同等以上の品質の面粗度加工する必要であ
るが、本発明の加工方法ではそれを達成することがで
き、しかも高速加工が可能である。

【００３１】また、図８のように、第１溝１２ａは、ス
トレート型の研削砥石１５０を用いて傾斜面１４を形成
して従来のフェライト製の対象部材１０の傾斜面と同等
の面粗度を確保し、そして対象部材１０を水平にセット
し直して、同じストレート型の研削砥石１５０を用いて
第２溝１２ｂを形成する。このような２度切り研削加工
により最終的に溝１２を形成できるので、研削砥石１５
０自体の角度の修正加工が不要であるとともに、特に第
２溝１２ｂは、傾斜面１４と関係がないので、高速加工
を行うことができる。

【００３２】従って、セラミックスのような難削材でで
きたコア用の部材（対象部材）を加工する場合において
その効果が発揮され、磁性膜をスパッタする必要のある
傾斜面は、研削砥石の側面で加工することで、加工速度
のアップによる加工効率の改善と、加工面の粗度の向上
によるヘッド特性の改善を同時に達成することができ
る。図２のように複数本の溝１２が形成された対象部材
１０は、後工程で必要な溝加工やガラスを融着させたり
あるいは切断等の工程、および図２の溝の傾斜面１４に
対応してコイルを形成することにより、図１３に示すよ
うな磁気ヘッドのチップを得ることができる。ここで、
後工程の一例について説明する。図１０は、この後工程
の溝加工工程とガラスの融着工程を示しており、図１０
（Ａ）は、対象部材１０に対して傾斜面１４等を有する
溝１２が複数本形成された状態を示している。図１０
（Ｂ）は、これらの溝の傾斜面１４等に磁性膜１０７等
が形成された状態を示し、図１０（Ｃ）は、薄膜コイル
を形成するための溝１１０と、磁路を形成する上で不要
な磁性膜部分を除去する溝１１１を、溝１２に直交して
形成した状態を示している。この傾斜面１４上の磁性膜
１０７は、薄膜コイル用の磁路を形成するために必要な
部分であり、傾斜面１４の面粗さは溝１２を画成する他
の垂直面１６と底面１８（図２参照）よりも小さくなけ
ればならない。

【００３３】次に、図１０（Ｄ）のように各溝にガラス
１１２を充填して、図１０（Ｅ）のようにトラック溝を
規制するための溝１１３を形成する。図１０（Ｆ）のよ
うに溝１１３にガラス１１７を充填してから表面を平坦
にして、図１０（Ｇ）のエッチングした窪み１１４に薄
膜コイルを成形する。図１１（Ａ）はギャップ膜をスパ
ッタし、図１１（Ｂ）は端子を切り離すための溝４４０
を入れる。このように加工して得られる図１２の対象部
材１０，１０は、向かい合わせで貼り付けられて、図１
１の切断線ＣＣＬに沿って切断することにより、図１３
の磁気ヘッドのチップを得ることができる。

【００３４】図１３の磁気ヘッドのチップは、ビデオテ
ープレコーダのビデオテープに対して信号を記録したり
あるいは信号を再生することができる。ところで本発明
は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の
加工方法により得られる磁気ヘッドは、ビデオテープレ
コーダに限らず、ディジタルオーディオテープレコーダ
（ＤＡＴ）等の他の情報記録装置の磁気ヘッドのコア用
の部材の加工方法にも適用することができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
解消するためになされたものであり、難削材製のコア用
の対象部材を効率良く加工することができかつ対象部材
の研削された部分に磁性膜を均一に形成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法
を実現するための研削加工装置の一例を示す図。

【図２】図１の研削加工装置の対象部材に対して溝が加
工された状態を示す図。

【図３】対象部材に対して溝を確保する様子を示す図。

【図４】従来の研削砥石の周囲面により対象物が研削さ
れていることで、研削砥石の砥粒のプロフィールが対象
物に対して転写された状態を示す図。

【図５】本発明の研削砥石を用いて傾斜面を研削する様
子を示す図。

【図６】従来のフェライト製の傾斜面の面粗度の一例を
示す図。

【図７】本発明の加工方法における面粗度の一例を示す
図。

【図８】本発明の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法
の別の実施の形態を示す図。

【図９】本発明の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法
の更に別の実施の形態を示す図。

【図１０】本発明の加工方法を行った後の加工手順の例
を示す図。

【図１１】図１０の加工の続きを示す図。

【図１２】１つの半体ともう１つの半体を重ねる様子を
示す図。

【図１３】得られた磁気ヘッドのチップの例を示す図。

【図１４】従来の加工方法を示す図。

【符号の説明】

１０ 対象部材 １０ｅ 研削面（非転写部位、傾斜面） １４ 傾斜面（対象面） ２２ｄ 切刃砥粒 ５０ 研削砥石（回転砥石） θ （所定の角度、切込角度）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ヘッドのコア用の難削材の対象部材
   を研削して、磁性膜を形成するための対象面をこの対象
   部材に加工する際に、 回転砥石を回転して、 回転砥石の切刃砥粒の非転写部位で対象部材の対象面を
   研削加工することを特徴とする磁気ヘッドのコア用の部
   材の加工方法。
2. 【請求項２】 回転砥石は平型の砥石であり、切刃砥粒
   の非転写部位は、回転砥石の回転側面であって、回転砥
   石の切込方向は回転砥石の半径方向である請求項１に記
   載の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法。
3. 【請求項３】 磁性膜はスパッタにより形成される磁性
   薄膜である請求項１に記載の磁気ヘッドのコア用の部材
   の加工方法。
4. 【請求項４】 回転砥石の回転周囲面の付近は、テーパ
   部を備えている請求項２に記載の磁気ヘッドのコア用の
   部材の加工方法。
5. 【請求項５】 回転砥石の半径方向と対象部材の配置方
   向とは、所定の切込角度分傾斜している請求項４に記載
   の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法。
6. 【請求項６】 磁気ヘッドのコア用の難削材の対象部材
   を研削して、磁性膜を形成するための対象面をこの対象
   部材に加工する際に、 平型の回転砥石の半径方向を対象部材の配置方向に対し
   て、所定の切込角度分傾けて、この平型の回転砥石の回
   転側面で対象面を研削加工し、 次にテーパ部を有する回転砥石の半径方向を対象部材の
   配置方向に対して、直交する方向に配置して、このテー
   パ部を有する回転砥石で対象面付近の部位を研削加工す
   ることを特徴とする磁気ヘッドのコア用の部材の加工方
   法。
7. 【請求項７】 所定の切込角度は、４５度である請求項
   ６に記載の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法。