JPH10183079A - 電子部品用接着テープ - Google Patents

電子部品用接着テープ

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JPH10183079A
JPH10183079A JP8358155A JP35815596A JPH10183079A JP H10183079 A JPH10183079 A JP H10183079A JP 8358155 A JP8358155 A JP 8358155A JP 35815596 A JP35815596 A JP 35815596A JP H10183079 A JPH10183079 A JP H10183079A
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JP
Japan
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polyimide
mmol
bis
structural unit
measured
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JP8358155A
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English (en)
Inventor
Osamu Oka
修 岡
Takeshi Nishigaya
剛 西ケ谷
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Tomoegawa Co Ltd
Original Assignee
Tomoegawa Paper Co Ltd
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Publication date
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  • Adhesive Tapes (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、比較的低温において接着可能であ
り、リードピンに対する半導体チップ接着の際、半導体
チップへのダメージが最小限で、2回目の熱圧着工程に
おいて1回目の接着部分に軟化を生じることなく、十分
な信頼性を有する電子部品用接着テープを提供する。 【解決手段】基材を介してその両面に、下記式(1)で
表される構造単位を100〜40モル%及び下記式
(2)で表される構造単位0〜60モル%からなる1つ
以上のポリイミドを含有してなり、かつ前記両面の接着
層が互いに異なるガラス転移温度を有することを特徴と
する電子部品用接着テープ。 【化1】 (式中、Xは−SO2−及び/又は−C(=O)−OC
H2CH2O−C(=O)−を示し、Arは芳香環を有
する特定の構造から選ばれた二価の基、Rは炭素数1〜
10のアルキレン基又はメチレン基がSiに結合してい
る−CH2OC64−を示し、nは1〜20の整数を示
す。)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置を構成する
リードフレーム周辺の部材間、例えば、リードピン、半
導体チップ搭載用基板、放熱板、半導体チップ自信等の
接着に使用するための電子部品用接着テープに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、樹脂封止型半導体装置内において
使用される接着テープ等には、リードフレーム固定用接
着テープ、TABテープ等があり、例えば、リードフレ
ーム固定用接着テープの場合には、リードフレームのリ
ードピンを固定し、リードフレーム自体及び半導体アセ
ンブリ工程全体の生産歩留まり及び生産性の向上を目的
として使用されており、一般にリードフレームメーカー
でリードフレーム上にテーピングされて半導体メーカー
に持ち込まれ、ICを搭載した後、樹脂封止される。そ
のため、リードフレーム固定用接着テープには、半導体
レベルにおける一般的な信頼性及びテーピング時の作業
性はもとより、テーピング直後の十分な室温接着力及び
半導体装置組み立て工程における加熱に耐え得る十分な
耐熱性等が要求される。
【0003】従来、このような用途に使用される接着テ
ープとしては、例えば、ポリイミドフィルム等の支持体
上に、ポリアクリロニトリル、ポリアクリル酸エステル
或いはアクリロニトリル−ブタジエン共重合体等の合成
ゴム系樹脂等の単独又は他の樹脂で変性したもの、或い
は他の樹脂又は他の硬化成分と混合したものからなる接
着剤を塗布し、Bステージ状態としたものが使用されて
いる。
【0004】近年、図1〜図3に示されるような構造の
樹脂封止型半導体装置(半導体パッケージ)が開発され
製造されている。図1においては、リードピン3と金属
放熱板2とが、接着層6によって接続され、半導体チッ
プ1が金属放熱板2上に搭載されており、半導体チップ
1とリードピン3との間のボンディングワイヤー4とと
もに、樹脂5によって封止された構造を有している。図
2においては、リードフレームのリードピン3が半導体
チップ1と、接着層6によって固定されており、ボンデ
ィングワイヤー4とともに、樹脂5によって封止された
構造を有している。また、図3においては、ダイパッド
7の上に半導体チップ1が搭載され、また、電極8が接
着層6によって固定されており、そして、半導体チップ
1と電極8との間及び電極8とリードピン3との間は、
それぞれボンディングワイヤー4によって連結され、そ
れらが樹脂5によって封止された構造を有している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記の図1〜図3に示
される構造の樹脂封止型半導体装置における接着層にお
いて、従来の熱硬化型の接着剤を塗布した接着テープを
使用した場合には、耐熱性が十分でないため、発生ガス
がリードを汚染して接着力の低下を招いたり、パッケー
ジクラックの発生原因になる等の問題がある。また、基
材の両面に分子構造が余りにも異なる樹脂を使用した場
合、熱膨張率が近似した樹脂でなければ加熱時に著しい
歪みを生じ易い。そのため、十分な耐熱性、信頼性等を
有する電子部品用接着剤及びそれを用いた電子部品用接
着テープが望まれている。
【0006】本発明者等は、先に下記式(1a)ないし
式(2b)で表される構造単位からなるポリイミドを含
有する接着剤を用いた接着テープの発明(特願平7−1
55474号、特願平7−245149号)を行うこと
により、上記した課題を解消させることができた。しか
しながら、これらの接着テープにも問題があった。例え
ば、図2に示す構造の半導体装置において、先ずリード
ピン3に打ち抜いた接着テープを貼り、次に半導体チッ
プ1を接着する。他面に同一ガラス転移温度の接着剤を
使用しているため、半導体チップ1の接着温度で、リー
ドピン3側の接着剤も軟化し、リードピン3が歪む、あ
るいは移動して接触する等により使用できなくなる問題
があった。また、リードピン3側への接着は、リードピ
ン3を加熱することでガラス転移温度より約80℃高い
温度で接着可能であるが、半導体チップ1に直接加熱で
きないため、前記温度でリードピン3側から加熱して時
間あるいは圧力をかけて半導体チップを接着しなければ
ならなく、半導体チップにダメージを与える可能性があ
った。該問題は、熱可塑性ポリイミド単層接着テープに
おいても同様であった。更に、単層接着テープの場合
は、支持体がないため、加熱工程においてリードピンの
熱膨張による歪みが発生し易く加工が困難になる。半導
体チップを直接接着しない図1あるいは図3の半導体装
置においても、熱圧着工程が2回あり、1回目と同温度
で2回目の工程を行うと接着剤の軟化によるリードピン
の歪みあるいは移動が発生する問題がある。
【0007】本発明は、上記のような問題点を解決する
ことを目的としてなされたものである。すなわち、本発
明の目的は、比較的低温において接着可能であり、リー
ドピンに対する半導体チップ接着の際、半導体チップへ
のダメージが最小限で、2回目の熱圧着工程において1
回目の接着部分に軟化を生じることなく、十分な信頼性
を有する電子部品用接着テープを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、基材を介して
その両面に、下記式(1a)で表される構造単位及び下
記式(1b)で表される構造単位の少なくとも1種を1
00〜40モル%と、下記式(2a)で表される構造単
位及び下記式(2b)で表される構造単位の少なくとも
1種を0〜60モル%とからなる少なくとも1つ以上の
ポリイミドを含有してなる接着層を設けた接着テープで
あって、前記両面の接着層が互いに異なるガラス転移温
度を有することを特徴とする電子部品用接着テープであ
る。
【化4】 (式中、Arは芳香環を有する下記の構造から選ばれる
二価の基を示す。)
【化5】 (式中、R1、R2、R3及びR4はそれぞれ同じでも異な
っていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基
または炭素数1〜4のアルコキシ基を示すが、これらの
全ての基が同時に水素原子であることはない。)
【化6】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチ
レン基がSiに結合している−CH2OC64−を示
し、nは1〜20の整数を意味する。)
【0009】本発明の電子部品用接着テープにおいて、
異なるガラス転移温度(以下、Tgと称す。)を示す接
着層とは、基材の一面に高Tgを示す接着層が、該基材
の他の一面に低Tgを示す接着層が形成されてなるもの
である。また、ガラス転移温度に30℃以上の差異を有
するものであることが好ましい。また、本発明の電子部
品用接着テープの少なくとも一方の接着層は、粒径1μ
m以下のフィラーを0.1〜50重量部含むことが好ま
しく、また、接着層の少なくとも一方の面に、剥離性フ
ィルムを設けることも可能である。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。本発明に使用される基材は、ポリイ
ミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイ
ド、ポリスルホン等からなる耐熱性樹脂フィルムであ
り、耐熱性に加えて絶縁性を有することが好ましい。該
耐熱性樹脂フィルムのTgは300℃以上が好ましく、
より好ましくは宇部興産社から商品名:ユーピレックス
で市販されているポリイミドフィルムのように明確なガ
ラス転移温度を示さない樹脂が好ましい。基材の厚さは
5〜200μmが使用するパッケージの大きさ等によっ
て好ましく選択され、より好ましくは10〜100μm
のものが使用される。
【0011】本発明に使用されるポリイミドは、式(1
a)で表される構造単位及び式(1b)で表される構造
単位の少なくとも1種を100〜40モル%含有するも
のである。この場合、式(1a)で表される構造単位及
び式(1b)で表される構造単位の少なくとも1種と
は、式(1a)で表される構造単位単独からなるもの、
式(1b)で表される構造単位単独からなるもの及びそ
の両者の構造単位からなるもののいずれをも含むもので
ある。
【化7】 また、本発明に使用されるポリイミドは、式(2a)で
表される構造単位及び式(2b)で表される構造単位の
少なくとも1種を0〜60モル%含有するものである。
この場合、式(2a)で表される構造単位及び式(2
b)で表される構造単位の少なくとも1種とは、式(2
a)で表される構造単位単独からなるもの、式(2b)
で表される構造単位単独からなるもの及びその両者の構
造単位からなるもののいずれをも含むものである。
【化8】
【0012】本発明において使用されるポリイミドは、
式(1a)及び(1b)で表される構造単位(以下、こ
れを[(1a)+(1b)]と記す。)が多いほどTg
が高くなり、一方、式(2a)及び式(2b)で表され
る構造単位(以下、これを[(2a)+(2b)]と記
す。)が多いほどTgが低くなる。このため、上記ポリ
イミドは、式(1a)ないし(2b)の含有割合を種々
変更してTgを制御することにより、接着剤の圧着可能
温度を制御することが可能である。
【0013】本発明に使用するポリイミドは、一般的な
ポリイミドの製造方法を用いることにより得ることがで
きる。すなわち、各繰り返し構造単位に対応するテトラ
カルボン酸無水物と、各繰り返し構造単位に対応するジ
アミンまたはジイソシアナートとから製造ができる。具
体的には、上記ポリイミドは下記式(3a)で表される
テトラカルボン酸二無水物、下記式(3b)で表される
化合物と下記式(4)で表される化合物及び下記式
(5)で表されるシロキサン系化合物とを反応させるこ
とにより製造することができる。
【化9】 Y−Ar−Y (4) (式中、Arは芳香環を有する前記の構造から選ばれた
二価の基、Yはアミノ基またはイソシアナート基を示
す。)
【化10】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチ
レン基がSiに結合している−CH2OC64−を示
し、nは1〜20の整数を意味する。Yはアミノ基また
はイソシアナート基を示す。)
【0014】本発明において、ポリイミドの製造原料と
して使用し、得られるポリイミドの基本的な繰り返し構
造単位を構成する上記式(3a)及び式(3b)で表さ
れるテトラカルボン酸二無水物は、3,3’,4,4’
−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物及びエ
チレングリコールビストリメリテート二無水物である。
【0015】また、上記式(4)で表される化合物は、
Arとしては上記したの芳香族環を有する構造から選ば
れた二価の基で示されるものであるが、官能基Yがアミ
ノ基であるジアミン類としては、具体的には次のものが
挙げられる。3,3’−ジアミノビフェニル、3,4’
−ジアミノビフェニル、4,4’−ジアミノビフェニ
ル、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−
ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェ
ニルメタン、2,2−(3,3’−ジアミノジフェニ
ル)プロパン、2,2−(3,4’−ジアミノジフェニ
ル)プロパン、2,2−(4,4’−ジアミノジフェニ
ル)プロパン、2,2−(3,3’−ジアミノジフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−(3,4’−ジ
アミノジフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−
(4,4’−ジアミノジフェニル)ヘキサフルオロプロ
パン、3,3’−オキシジアニリン、3,4’−オキシ
ジアニリン、4,4’−オキシジアニリン、3,3’−
ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジ
フェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルス
ルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、
3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジ
アミノジフェニルスルホン、1,3−ビス[1−(3−
アミノフェニル)−1−メチルエチル]ベンゼン、1,
3−ビス[1−(4−アミノフェニル)−1−メチルエ
チル]ベンゼン、1,4−ビス[1−(3−アミノフェ
ニル)−1−メチルエチル]ベンゼン、1,4−ビス
[1−(4−アミノフェニル)−1−メチルエチル]ベ
ンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼ
ン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、
1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,
4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’
−ビス(3−アミノフェノキシ)ジフェニルエーテル、
3,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルエ
ーテル、3,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ジフ
ェニルエーテル、3,4’−ビス(4−アミノフェノキ
シ)ジフェニルエーテル、4,4’−ビス(3−アミノ
フェノキシ)ジフェニルエーテル、4,4’−ビス(4
−アミノフェノキシ)ジフェニルエーテル、3,3’−
ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−
ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,4’−
ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,4’−
ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−
ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−
ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス
[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、
2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン、2,2−ビス[3−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−
アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス
[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、
2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[3−(4
−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパ
ン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプ
ロパン、9,9−ビス(3−アミノフェニル)フルオレ
ン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、
3,3’−ジアミノ−2,2’,4,4’−テトラメチ
ルジフェニルメタン、3,3’−ジアミノ−2,2’,
4,4’−テトラエチルジフェニルメタン、3,3’−
ジアミノ−2,2’,4,4’−テトラプロピルジフェ
ニルメタン、3,3’−ジアミノ−2,2’,4,4’
−テトライソプロピルジフェニルメタン、3,3’−ジ
アミノ−2,2’,4,4’−テトラブチルジフェニル
メタン、3,4’−ジアミノ−2,3’,4,5’−テ
トラメチルジフェニルメタン、3,4’−ジアミノ−
2,3’,4,5’−テトラエチルジフェニルメタン、
3,4’−ジアミノ−2,3’,4,5’−テトラプロ
ピルジフェニルメタン、3,4’−ジアミノ−2,
3’,4,5’−テトライソプロピルジフェニルメタ
ン、3,4’−ジアミノ−2,3’,4,5’−テトラ
ブチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3’,5,5’−テトラメチルジフェニルメタン、4,
4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチルジ
フェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,
5’−テトラプロピルジフェニルメタン、4,4’−ジ
アミノ−3,3’,5,5’−テトライソプロピルジフ
ェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’,5,
5’−テトラブチルジフェニルメタン、4,4’−ジア
ミノ−3,3’−ジエチル−5,5’−ジメチルジフェ
ニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチル
ジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジ
エチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3’,5,5’−テトラメトキシジフェニルメタン、
4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエト
キシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3’,5,5’−テトラプロポキシジフェニルメタン、
4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトライソ
プロポキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−
3,3’,5,5’−テトラブトキシジフェニルメタ
ン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメトキシジフェ
ニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエトキ
シジフェニルメタン等である。また、式(4)で表され
る化合物において、官能基Yがイソシアナート基である
ジイソシアナート類としては、上記に例示したジアミン
類において、「アミノ」を「イソシアナート」と置き変
えたものを挙げることができる。
【0016】ポリイミドの製造原料として使用する式
(5)で表されるシロキサン系化合物において、官能基
Yがアミノ基であるジアミン類としては、ビス(3−ア
ミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、ビス(10
−アミノデカメチレン)テトラメチルジシロキサン、ア
ミノプロピル末端のジメチルシロキサン4量体及び8量
体、ビス(3−アミノフェノキシメチル)テトラメチル
ジシロキサン等が挙げられ、これらを併用することも可
能である。また、式(5)で表される化合物において、
官能基Yがイソシアナート基であるジイソシアナート類
としては、上記に例示したジアミン類において、「アミ
ノ」を「イソシアナート」と置き変えたものを挙げるこ
とができる。上記式(4)及び式(5)で表される化合
物において、官能基Yがイソシアナート基であるジイソ
シアナート類は、上記に例示した対応するジアミンを常
法に従いホスゲンと反応させることにより容易に製造す
ることができる。
【0017】本発明で使用されるポリイミドは、次のよ
うにして製造することができる。原料として、テトラカ
ルボン酸二無水物とジアミンとを使用する場合、これら
を有機溶媒中、必要に応じて、トリブチルアミン、トリ
エチルアミン、亜リン酸トリフェニル等の触媒の存在下
(反応物の20重量部以下)で、100℃以上、好まし
くは180℃以上に加熱し、直接ポリイミドを得る方
法、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを有機溶媒
中、100℃以下で反応させることにより、ポリイミド
の前駆体であるポリアミド酸を得た後、必要に応じて、
p−トルエンスルホン酸等の脱水触媒(テトラカルボン
酸二無水物の1〜5倍モル)を加え、加熱してイミド化
反応させることによりポリイミドを得る方法、或いはこ
のポリアミド酸を、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水
安息香酸等の酸無水物、ジシクロヘキシルカルボジイミ
ド等のカルボジイミド化合物等の脱水閉環剤と、必要に
応じて、ピリジン、イソキノリン、イミダゾール、トリ
エチルアミン等の閉環触媒(脱水閉環剤及び閉環触媒は
テトラカルボン酸二無水物の2〜10倍モル)を添加し
て、比較的低温(室温〜100℃程度)で化学閉環させ
る方法等がある。
【0018】上記の反応に用いる有機溶媒としては、N
−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトア
ミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホ
キシド、スルホラン、ヘキサメチルリン酸トリアミド、
1,3−ジメチル−2−イミダゾリドン等の非プロトン
性極性溶媒、フェノール、クレゾール、キシレノール、
p−クロロフェノール等のフェノール系溶媒等が挙げら
れる。また、必要に応じて、ベンゼン、トルエン、キシ
レン、メチルエチルケトン、アセトン、テトラヒドロフ
ラン、ジオキサン、モノグライム、ジグライム、メチル
セロソルブ、セロソルブアセテート、メタノール、エタ
ノール、イソプロパノール、塩化メチレン、クロロホル
ム、トリクレン、ニトロベンゼン等を上記の溶媒に混合
して使用することも可能である。
【0019】また、原料として、テトラカルボン酸二無
水物とジイソシアナートとを使用する場合には、上記し
たポリイミドを直接得る方法に準じて製造することが可
能であり、このときの反応温度は室温以上であり、特に
60℃以上であることが好ましい。テトラカルボン酸二
無水物とジアミンまたはジイソシアナートとを等モル量
で反応させることにより、高重合度のポリイミドを得る
ことができるが、必要に応じて、いずれか一方を10モ
ル%以下の範囲で過剰量を用いてポリイミドを製造する
ことも可能である。
【0020】本発明に使用される上記ポリイミドの分子
量は、ポリイミドを構成する繰り返し構造単位の種類に
よって成膜性の発現が異なるので、成膜性に応じて適宜
設定することが好ましい。本発明の電子部品用両面接着
テープに使用する場合、接着層にはある程度の成膜性が
必要であり、また、耐熱性も低下するので、あまり低分
子量のものは好ましくない。本発明においては、一般的
には、数平均分子量が4,000以上であることが必要
である。また、熱可塑性の接着剤として使用する場合、
溶融時の粘性が高すぎると接着性が著しく低化する。こ
の溶融時の粘性を規定する要因の一つとして分子量があ
るが、本発明において使用されるポリイミドは、その数
平均分子量が概ね400,000以下のものであり、そ
れ以上になると、粘性の増加が大きく、接着剤としての
使用が困難になる。なお、分子量の測定に用いたGPC
測定条件は、表1及び表2の後に示した。
【0021】本発明において、基材を介して両面に設け
る接着層には、上記したポリイミドから選ばれるポリイ
ミドを単独で含有してもよいが、Tgを調節するために
それらのポリイミドの2種類以上を適宜混合して含有さ
せることもできる。基材を介して両面に設ける接着層を
形成するポリイミドのTgの差は、電子部品への接着時
間・圧力・温度の関係から、30℃以上の差異を有する
ことが好ましく、より好ましくは40℃以上である。本
発明の接着テープを構成する両面の接着層はいずれも類
似のポリイミドからなるので、該両面の接着層は殆ど同
じ熱膨張率を有する。従って、本発明の接着テープは常
温から加熱時まで歪みが少なく、加工性が良好である。
本発明の電子部品用接着テープは、上記のとおり、基材
を介してその両面に異なるTgを示す接着層が形成され
ているものである。この接着テープにおける接着層は、
従来公知の方法を用いて基材の両面にポリイミドのフィ
ルムを形成することにより得られる。このフィルムの形
成は、例えば、耐熱性フィルムからなる基材の一面にポ
リイミドを含む塗布液を塗工し、これを乾燥させて第1
の接着層を形成し、しかるのち該基材の他の一面に前記
第1の接着層とは異なるTgの接着層となるようなポリ
イミドを含む塗布液を塗工、乾燥させて第2の接着層を
形成させる方法があるがその他の形成方法を採用するこ
とも可能である。例えば、基材の両面にTgの異なるポ
リイミドを含む塗布液を同時に塗工して乾燥する方法、
あるいはポリイミドを含む接着層フィルムを形成した
後、基材と該フィルムとを熱圧着する方法等が採用でき
る。本発明における電子部品用接着テープの厚さは、適
宜選択されるが、通常15〜250μmであることが好
ましい。また、基材の両面の接着層の厚さは、最低限度
の接着力を維持するために5μm以上であることが好ま
しい。
【0022】本発明において、接着層を塗工により形成
するには、上記ポリイミドを適当な溶媒に溶解させると
ポリイミドの塗工用ワニスが得られる。本発明に用いら
れるポリイミドを溶解する溶媒としては、N−メチル−
2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,
N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、ス
ルホラン、ヘキサメチルリン酸トリアミド、1,3−ジ
メチル−2−イミダゾリドン等の非プロトン性極性溶
媒、フェノール、クレゾール、キシレノール、p−クロ
ロフェノール等のフェノール系溶媒、イソホロン、シク
ロヘキサノン、カルビトールアセテート、ジグライム、
ジオキサン、テトラヒドロフラン等の広範な有機溶媒が
挙げられる。更にこれに、メタノール、エタノール、イ
ソプロパノール等のアルコール系溶媒、酢酸メチル、酢
酸エチル、酢酸ブチル等エステル系溶媒、アセトニトリ
ル、ベンゾニトリル等のニトリル系溶媒、ベンゼン、ト
ルエン、キシレン等の芳香族系溶媒、クロロホルム、ジ
クロロメタン等のハロゲン系溶媒等をポリイミドが析出
しない程度に混合して用いることもできる。ポリイミド
溶液の濃度及び粘度は、塗工条件に合わせて適宜変更す
ることが好ましい。本発明において、基材の両面に設け
る接着層には、接着時の特性を制御するために、それぞ
れ粒径1μm以下のフィラーを含ませてもよい。フィラ
ーを配合させる場合の含有量は、全固形分の0.1〜5
0重量部以下が好ましく、より好ましくは0.4〜25
重量部である。フィラー量が50重量部より多くなると
接着力の低下が著しくなり、一方、0.1重量部未満で
はフィラー添加の効果が得られなくなる。フィラーとし
ては、例えば、シリカ、石英粉、マイカ、アルミナ、ダ
イヤモンド粉、ジルコン粉、炭酸カルシウム、酸化マグ
ネシウム、フッ素樹脂等が用いられる。
【0023】本発明においては、接着層の上に膜厚1〜
200μmの剥離性のフィルムを保護層として設けるこ
とも可能である。具体的には、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、フッ素系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、
ポリイミド等の樹脂フィルム或いは紙、ないしはそれら
の表面にシリコーン系離型剤を用いて離型処理を施した
ものが使用される。
【0024】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。まず、本発明に用いられるポリイミド及びそれを含
む塗工用ワニスの合成例を示す。 合成例1 攪拌機を備えたフラスコに、3,4’−ジアミノビフェ
ニル12.34g(67ミリモル)と1,3−ビス(3
−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジ
シロキサン8.20g(33ミリモル)と3,3’,
4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水
物35.83g(100ミリモル)及びN−メチル−2
−ピロリドン(以下、「NMP」と記す。)300ml
を氷温下に導入し、1時間攪拌を続けた。次いで、この
溶液を室温で3時間反応させてポリアミド酸を合成し
た。得られたポリアミド酸に50mlのトルエンと1.
0gのp−トルエンスルホン酸を加えて160℃に加熱
し、反応の進行に伴ってトルエンと共沸してきた水分を
分離しながら、3時間イミド化反応を行った。その後ト
ルエンを留去し、得られたポリイミドワニスをメタノー
ル中に注いで、得られた沈殿物を分離、粉砕、洗浄及び
乾燥させる工程を経ることにより、上記した式で表され
る各構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:
[(2a)+(2b)]=67:33、[(1a):
(1b)=100:0、(2a):(2b)=100:
0]で示されるポリイミド50.0g(収率95%)を
得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定
したところ、1718cm-1及び1783cm-1に典型
的なイミドの吸収が認められた。また、その分子量、T
g及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1
に示す。このポリイミドを、テトラヒドロフラン(以
下、「THF」と記す。)に25重量%の濃度になるよ
う溶解させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0025】合成例2 4,4’−オキシジアニリン13.41g(67ミリモ
ル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,
3,3−テトラメチルジシロキサン8.20g(33ミ
リモル)と3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテ
トラカルボン酸二無水物35.83g(100ミリモ
ル)及びNMP300mlを用いて、合成例1と同様の
方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=67:33、[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド51.0g(収率95
%)を得た。 得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1718cm-1及び1783cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結
果を表1に示す。このポリイミドを、THFに25重量
%の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニ
スを得た。
【0026】合成例3 4,4’−ジアミノジフェニルメタン13.29g(6
7ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−
1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン8.20g
(33ミリモル)と3,3’,4,4’−ジフェニルス
ルホンテトラカルボン酸二無水物35.83g(100
ミリモル)及びNMP300mlを用いて、合成例1と
同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=67:33、[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド52.0g(収率97
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1718cm-1及び1783cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果
を表1に示す。このポリイミドを、THFに25重量%
の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニス
を得た。
【0027】合成例4 4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド14.49g
(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン8.
20g(33ミリモル)と3,3’,4,4’−ジフェ
ニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83g
(100ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、
合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=67:3
3、[(1a):(1b)=100:0、(2a):
(2b)=100:0]で示されるポリイミド51.0
g(収率93%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸
収スペクトルを測定したところ、1718cm-1及び1
780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。
それらの結果を表1に示す。このポリイミドを、THF
に25重量%の濃度になるよう溶解させることにより、
塗工用ワニスを得た。
【0028】合成例5 3,3’−ジアミノジフェニルスルホン16.64g
(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン8.
20g(33ミリモル)と3,3’,4,4’−ジフェ
ニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83g
(100ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、
合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=67:3
3、[(1a):(1b)=100:0、(2a):
(2b)=100:0]で示されるポリイミド51.5
g(収率90%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸
収スペクトルを測定したところ、1715cm-1及び1
783cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。
それらの結果を表1に示す。このポリイミドを、THF
に25重量%の濃度になるよう溶解させることにより、
塗工用ワニスを得た。
【0029】合成例6 2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン15.1
6g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロ
ピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
8.20g(33ミリモル)と3,3’,4,4’−ジ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83
g(100ミリモル)及びNMP300mlとを用い
て、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=6
7:33、[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド5
4.0g(収率97%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定
した。それらの結果を表1に示す。このポリイミドを、
THFに25重量%の濃度になるよう溶解させることに
より、塗工用ワニスを得た。
【0030】合成例7 2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン22.40g(67ミリモル)と1,3−ビス
(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチ
ルジシロキサン8.20g(33ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びNMP3
00mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=67:33、[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド60.0g(収率95%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
721cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開
始温度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポ
リイミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解
させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0031】合成例8 1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン19.
58g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプ
ロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
8.20g(33ミリモル)と3,3’,4,4’−ジ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83
g(100ミリモル)及びNMP300mlとを用い
て、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=6
7:33、[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド5
8.0g(収率97%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定
した。それらの結果を表1に示す。このポリイミドを、
THFに25重量%の濃度になるよう溶解させることに
より、塗工用ワニスを得た。
【0032】合成例9 1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン19.
58g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプ
ロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
8.20g(33ミリモル)と3,3’,4,4’−ジ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83
g(100ミリモル)及びNMP300mlとを用い
て、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=6
7:33、[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド5
8.0g(収率97%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定
した。それらの結果を表1に示す。このポリイミドを、
THFに25重量%の濃度になるよう溶解させることに
より、塗工用ワニスを得た。
【0033】合成例10 1,3−ビス[1−(4−アミノフェニル)−1−メチ
ルエチル]ベンゼン23.08g(67ミリモル)と
1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3
−テトラメチルジシロキサン8.20g(33ミリモ
ル)と3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラ
カルボン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及
びNMP300mlとを用いて、合成例1と同様の方法
で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:
[(2a)+(2b)]=67:33、[(1a):
(1b)=100:0、(2a):(2b)=100:
0]で示されるポリイミド62.5g(収率98%)を
得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定
したところ、1718cm-1及び1783cm-1に典型
的なイミドの吸収が認められた。また、その分子量、T
g及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1
に示す。このポリイミドを、THFに25重量%の濃度
になるよう溶解させることにより、塗工用ワニスを得
た。
【0034】合成例11 4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル2
4.68g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン8.20g(33ミリモル)と3,3’,4,4’
−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.
83g(100ミリモル)及びNMP300mlとを用
いて、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=6
7:33、[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド6
4.0g(収率98%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定
した。それらの結果を表1に示す。このポリイミドを、
THFに25重量%の濃度になるよう溶解させることに
より、塗工用ワニスを得た。
【0035】合成例12 4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルエ
ーテル25.75g(67ミリモル)と1,3−ビス
(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチ
ルジシロキサン8.20g(33ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びNMP3
00mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=67:33、[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド64.0g(収率97%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
718cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開
始温度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポ
リイミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解
させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0036】合成例13 ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホ
ン28.98g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−
アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシ
ロキサン8.20g(33ミリモル)と3,3’,4,
4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物3
5.83g(100ミリモル)及びNMP300mlと
を用いて、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル
比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]
=67:33、[(1a):(1b)=100:0、
(2a):(2b)=100:0]で示されるポリイミ
ド65.0g(収率94%)を得た。得られたポリイミ
ドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1719c
-1及び1785cm-1に典型的なイミドの吸収が認め
られた。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を
測定した。それらの結果を表1に示す。このポリイミド
を、THFに25重量%の濃度になるよう溶解させるこ
とにより、塗工用ワニスを得た。
【0037】合成例14 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン27.50g(67ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン8.20g(33ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びNMP3
00mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=67:33、[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド65.0g(収率96%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
720cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開
始温度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポ
リイミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解
させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0038】合成例15 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]ヘキサフルオロプロパン34.74g(67ミリモ
ル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,
3,3−テトラメチルジシロキサン8.20g(33ミ
リモル)と3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテ
トラカルボン酸二無水物35.83g(100ミリモ
ル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1と同様
の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=67:33、[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド74.0g(収率98
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1715cm-1及び1786cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果
を表1に示す。このポリイミドを、THFに25重量%
の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニス
を得た。
【0039】合成例16 9,9−ビス(4−アミノフェノキシ)フルオレン2
3.35g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン8.20g(33ミリモル)と3,3’,4,4’
−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.
83g(100ミリモル)及びNMP300mlとを用
いて、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=6
7:33、[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド6
0.5g(収率95%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1720cm-1
及び1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定
した。それらの結果を表1に示す。このポリイミドを、
THFに25重量%の濃度になるよう溶解させることに
より、塗工用ワニスを得た。
【0040】合成例17 3,4’−ジアミノビフェニル13.82g(75ミリ
モル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,
1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.21g(2
5ミリモル)とエチレングリコールビストリメリテート
二無水物41.03g(100ミリモル)及びNMP3
00mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=75:25、[(1a):(1b)=0:
100、(2a):(2b)=0:100]で示される
ポリイミド54.0g(収率94%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
718cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開
始温度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポ
リイミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解
させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0041】合成例18 4,4’−オキシジアニリン15.02g(75ミリモ
ル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,
3,3−テトラメチルジシロキサン6.21g(25ミ
リモル)とエチレングリコールビストリメリテート二無
水物41.03g(100ミリモル)及びNMP300
mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造単位
のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2
b)]=75:25、[(1a):(1b)=0:10
0、(2a):(2b)=0:100]で示されるポリ
イミド52.0g(収率89%)を得た。得られたポリ
イミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、171
8cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収が
認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポリイ
ミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解させ
ることにより、塗工用ワニスを得た。
【0042】合成例19 4,4’−ジアミノジフェニルメタン14.87g(7
5ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−
1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.21g
(25ミリモル)とエチレングリコールビストリメリテ
ート二無水物41.03g(100ミリモル)及びNM
P300mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各
構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2
a)+(2b)]=75:25、[(1a):(1b)
=0:100、(2a):(2b)=0:100]で示
されるポリイミド55.0g(収率94%)を得た。得
られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、1718cm-1及び1783cm-1に典型的なイミ
ドの吸収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱
分解開始温度を測定した。それらの結果を表1に示す。
このポリイミドを、THFに25重量%の濃度になるよ
う溶解させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0043】合成例20 4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド16.22g
(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.
21g(25ミリモル)とエチレングリコールビストリ
メリテート二無水物41.03g(100ミリモル)及
びNMP300mlとを用いて、合成例1と同様の方法
で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:
[(2a)+(2b)]=75:25、[(1a):
(1b)=0:100、(2a):(2b)=0:10
0]で示されるポリイミド54.0g(収率90%)を
得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定
したところ、1718cm-1及び1780cm-1に典型
的なイミドの吸収が認められた。また、その分子量、T
g及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1
に示す。このポリイミドを、THFに25重量%の濃度
になるよう溶解させることにより、塗工用ワニスを得
た。
【0044】合成例21 3,3’−ジアミノジフェニルスルホン18.63g
(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.
21g(25ミリモル)とエチレングリコールビストリ
メリテート二無水物41.03g(100ミリモル)及
びNMP300mlとを用いて、合成例1と同様の方法
で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:
[(2a)+(2b)]=75:25、[(1a):
(1b)=0:100、(2a):(2b)=0:10
0]で示されるポリイミド55.5g(収率89%)を
得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定
したところ、1715cm-1及び1783cm-1に典型
的なイミドの吸収が認められた。また、その分子量、T
g及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1
に示す。このポリイミドを、THFに25重量%の濃度
になるよう溶解させることにより、塗工用ワニスを得
た。
【0045】合成例22 2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン16.9
7g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロ
ピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
6.21g(25ミリモル)とエチレングリコールビス
トリメリテート二無水物41.03g(100ミリモ
ル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1と同様
の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、[(1
a):(1b)=0:100、(2a):(2b)=
0:100]で示されるポリイミド57.0g(収率9
4%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1718cm-1及び1783cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結
果を表1に示す。このポリイミドを、THFに25重量
%の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニ
スを得た。
【0046】合成例23 2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン25.07g(75ミリモル)と1,3−ビス
(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチ
ルジシロキサン6.21g(25ミリモル)とエチレン
グリコールビストリメリテート二無水物41.03g
(100ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、
合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:2
5、[(1a):(1b)=0:100、(2a):
(2b)=0:100]で示されるポリイミド67.0
g(収率98%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸
収スペクトルを測定したところ、1721cm-1及び1
783cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。
それらの結果を表1に示す。このポリイミドを、THF
に25重量%の濃度になるよう溶解させることにより、
塗工用ワニスを得た。
【0047】合成例24 1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン21.
92g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプ
ロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
6.21g(25ミリモル)とエチレングリコールビス
トリメリテート二無水物41.03g(100ミリモ
ル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1と同様
の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、[(1
a):(1b)=0:100、(2a):(2b)=
0:100]で示されるポリイミド62.0g(収率9
5%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1718cm-1及び1780cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結
果を表1に示す。このポリイミドを、THFに25重量
%の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニ
スを得た。
【0048】合成例25 1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン21.
92g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプ
ロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
6.21g(25ミリモル)とエチレングリコールビス
トリメリテート二無水物41.03g(100ミリモ
ル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1と同様
の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、[(1
a):(1b)=0:100、(2a):(2b)=
0:100]で示されるポリイミド64.0g(収率9
7%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1718cm-1及び1780cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結
果を表2に示す。このポリイミドを、THFに25重量
%の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニ
スを得た。
【0049】合成例26 1,3−ビス[1−(4−アミノフェニル)−1−メチ
ルエチル]ベンゼン25.84g(75ミリモル)と
1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3
−テトラメチルジシロキサン6.21g(25ミリモ
ル)とエチレングリコールビストリメリテート二無水物
41.03g(100ミリモル)及びNMP300ml
とを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモ
ル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2
b)]=75:25、[(1a):(1b)=0:10
0、(2a):(2b)=0:100]で示されるポリ
イミド67.0g(収率96%)を得た。得られたポリ
イミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、171
8cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収が
認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポリイ
ミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解させ
ることにより、塗工用ワニスを得た。
【0050】合成例27 4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル2
7.63g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン6.21g(25ミリモル)とエチレングリコール
ビストリメリテート二無水物41.03g(100ミリ
モル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、[(1
a):(1b)=0:100、(2a):(2b)=
0:100]で示されるポリイミド69.5g(収率9
8%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1718cm-1及び1780cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結
果を表2に示す。このポリイミドを、THFに25重量
%の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニ
スを得た。
【0051】合成例28 4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルエ
ーテル28.82g(75ミリモル)と1,3−ビス
(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチ
ルジシロキサン6.21g(25ミリモル)とエチレン
グリコールビストリメリテート二無水物41.03g
(100ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、
合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:2
5、[(1a):(1b)=0:100、(2a):
(2b)=0:100]で示されるポリイミド70.0
g(収率97%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸
収スペクトルを測定したところ、1718cm-1及び1
783cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。
それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、THF
に25重量%の濃度になるよう溶解させることにより、
塗工用ワニスを得た。
【0052】合成例29 ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホ
ン32.08g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−
アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシ
ロキサン6.21g(25ミリモル)とエチレングリコ
ールビストリメリテート二無水物41.03g(100
ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1
と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+
(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、
[(1a):(1b)=0:100、(2a):(2
b)=0:100]で示されるポリイミド74.0g
(収率97%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1719cm-1及び17
85cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。
それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、THF
に25重量%の濃度になるよう溶解させることにより、
塗工用ワニスを得た。
【0053】合成例30 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.78g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)とエチ
レングリコールビストリメリテート二無水物41.03
g(100ミリモル)及びNMP300mlとを用い
て、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=7
5:25、[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:100]で示されるポリイミド7
3.0g(収率98%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1720cm-1
及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定
した。それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、
THFに25重量%の濃度になるよう溶解させることに
より、塗工用ワニスを得た。
【0054】合成例31 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]ヘキサフルオロプロパン38.89g(75ミリモ
ル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,
3,3−テトラメチルジシロキサン6.21g(25ミ
リモル)とエチレングリコールビストリメリテート二無
水物41.03g(100ミリモル)及びNMP300
mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造単位
のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2
b)]=75:25、[(1a):(1b)=0:10
0、(2a):(2b)=0:100]で示されるポリ
イミド80.0g(収率97%)を得た。得られたポリ
イミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、171
5cm-1及び1786cm-1に典型的なイミドの吸収が
認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポリイ
ミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解させ
ることにより、塗工用ワニスを得た。
【0055】合成例32 9,9−ビス(4−アミノフェノキシ)フルオレン2
6.14g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン6.21g(25ミリモル)とエチレングリコール
ビストリメリテート二無水物41.03g(100ミリ
モル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、[(1
a):(1b)=0:100、(2a):(2b)=
0:100]で示されるポリイミド66.0g(収率9
5%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1720cm-1及び1780cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結
果を表2に示す。このポリイミドを、THFに25重量
%の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニ
スを得た。
【0056】合成例33 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン20.53g(50ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン12.43g(50ミリモル)と
3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及びNM
P300mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各
構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2
a)+(2b)]=50:50、[(1a):(1b)
=100:0、(2a):(2b)=100:0]で示
されるポリイミド61.0g(収率93%)を得た。得
られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、1715cm-1及び1786cm-1に典型的なイミ
ドの吸収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱
分解開始温度を測定した。それらの結果を表2に示す。
このポリイミドを、THFに25重量%の濃度になるよ
う溶解させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0057】合成例34 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びNMP3
00mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=75:25、[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド65.0g(収率94%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
720cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開
始温度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポ
リイミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解
させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0058】合成例35 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン32.84g(80ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン4.97g(20ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びNMP3
00mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=80:20、[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド68.0g(収率97%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
720cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開
始温度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポ
リイミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解
させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0059】合成例36 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン36.95g(90ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン2.49g(10ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びNMP3
00mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=90:10、[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド69.0g(収率97%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
720cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解開
始温度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポ
リイミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶解
させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0060】合成例37 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物17.91g(50ミリモル)とエチレングリ
コールビストリメリテート二無水物20.53g(50
ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1
と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+
(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、
[(1a):(1b)=50:50、(2a):(2
b)=50:50]で示されるポリイミド68.5g
(収率95%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1715cm-1及び17
86cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。
それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、THF
に25重量%の濃度になるよう溶解させることにより、
塗工用ワニスを得た。
【0061】合成例38 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物8.96g(25ミリモル)とエチレングリコ
ールビストリメリテート二無水物30.77g(75ミ
リモル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1と
同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、[(1
a):(1b)=25:75、(2a):(2b)=2
5:75]で示されるポリイミド69.5g(収率95
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1715cm-1及び1786cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果
を表2に示す。このポリイミドを、THFに25重量%
の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワニス
を得た。
【0062】合成例39 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)と3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物26.87g(75ミリモル)とエチレングリ
コールビストリメリテート二無水物10.26g(25
ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、合成例1
と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+
(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:25、
[(1a):(1b)=75:25、(2a):(2
b)=75:25]で示されるポリイミド66.0g
(収率94%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1715cm-1及び17
86cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。
それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、THF
に25重量%の濃度になるよう溶解させることにより、
塗工用ワニスを得た。
【0063】合成例40 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス[(アミノフェノキシ)メチル]−1,1,3,3
−テトラメチルジシロキサン9.42g(25ミリモ
ル)と3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラ
カルボン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及
びNMP300mlとを用いて、合成例1と同様の方法
で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:
[(2a)+(2b)]=75:25、[(1a):
(1b)=100:0、(2a):(2b)=100:
0]で示されるポリイミド69.0g(収率95%)を
得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定
したところ、1720cm-1及び1783cm-1に典型
的なイミドの吸収が認められた。また、その分子量、T
g及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表2
に示す。このポリイミドを、THFに25重量%の濃度
になるよう溶解させることにより、塗工用ワニスを得
た。
【0064】合成例41 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と下記一般
式(5)で示されるアミノプロピル末端のジメチルシロ
キサン4量体(Y=NH2、R=プロピレン、n=3)
10.72g(25ミリモル)と
【化11】 3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及びNM
P300mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各
構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2
a)+(2b)]=75:25、[(1a):(1b)
=100:0、(2a):(2b)=100:0]で示
されるポリイミド67.0g(収率91%)を得た。得
られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、1712cm-1及び1783cm-1に典型的なイミ
ドの吸収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱
分解開始温度を測定した。それらの結果を表2に示す。
このポリイミドを、THFに25重量%の濃度になるよ
う溶解させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0065】合成例42 4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチ
ルジフェニルメタン31.04g(100ミリモル)と
3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及びNM
P300mlとを用いて、合成例1と同様の方法で、各
構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2
a)+(2b)]=100:0、[(1a):(1b)
=100:0、(2a):(2b)=0:0]で示され
るポリイミド58.8g(収率93%)を得た。得られ
たポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、
1720cm-1及び1780cm-1に典型的なイミドの
吸収が認められた。また、その分子量、Tg及び熱分解
開始温度を測定した。それらの結果を表2に示す。この
ポリイミドを、THFに25重量%の濃度になるよう溶
解させることにより、塗工用ワニスを得た。
【0066】合成例43 4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチ
ルジフェニルメタン15.52g(50ミリモル)と
3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物13.34g(37.5ミリモル)とエチ
レングリコールビストリメリテート二無水物5.13g
(12.5ミリモル)及びNMP300mlとを用い
て、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=1
00:0、[(1a):(1b)=75:25、(2
a):(2b)=0:0]で示されるポリイミド29.
6g(収率92%)を得た。得られたポリイミドの赤外
吸収スペクトルを測定したところ、1720cm-1及び
1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。
また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定し
た。それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、T
HFに25重量%の濃度になるよう溶解させることによ
り、塗工用ワニスを得た。
【0067】合成例44 4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチ
ルジフェニルメタン15.52g(50ミリモル)と
3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物8.89g(25ミリモル)とエチレング
リコールビストリメリテート二無水物10.26g(2
5ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、合成例
1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+
(1b)]:[(2a)+(2b)]=100:0、
[(1a):(1b)=50:50、(2a):(2
b)=0:0]で示されるポリイミド29.6g(収率
92%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペク
トルを測定したところ、1720cm-1 及び1780c
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その
分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。それらの
結果を表2に示す。このポリイミドを、THFに25重
量%の濃度になるよう溶解させることにより、塗工用ワ
ニスを得た。
【0068】合成例45 4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチ
ルジフェニルメタン7.76g(25ミリモル)とビス
(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン6.
21g(25ミリモル)と3,3’,4,4’−ジフェ
ニルスルホンテトラカルボン酸二無水物17.91g
(50ミリモル)及びNMP300mlとを用いて、合
成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=50:5
0、[(1a):(1b)=100:0、(2a):
(2b)=100:0]で示されるポリイミド27.4
g(収率91%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸
収スペクトルを測定したところ、1720cm-1及び1
780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定した。
それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、THF
に25重量%の濃度になるよう溶解させることにより、
塗工用ワニスを得た。
【0069】合成例46 4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチ
ルジフェニルメタン11.64g(37.5ミリモル)
とビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサ
ン3.11g(12.5ミリモル)と3,3’,4,
4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物1
7.91g(50ミリモル)及びNMP300mlとを
用いて、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比
が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=
75:25、[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド2
9.6g(収率92%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1720cm-1
及び1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定
した。それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、
THFに25重量%の濃度になるよう溶解させることに
より、塗工用ワニスを得た。
【0070】合成例47 4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラメチ
ルジフェニルメタン12.72g(50ミリモル)とエ
チレングリコールビストリメリテート二無水物20.5
1g(50ミリモル)及びNMP300mlとを用い
て、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=1
00:0、[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:0]で示されるポリイミド29.
5g(収率94%)を得た。得られたポリイミドの赤外
吸収スペクトルを測定したところ、1720cm-1及び
1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。
また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定し
た。それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、T
HFに25重量%の濃度になるよう溶解させることによ
り、塗工用ワニスを得た。
【0071】合成例48 4,4’−ジアミノ−3,3’,5,5’−テトラエチ
ルジフェニルメタン15.52g(50ミリモル)とエ
チレングリコールビストリメリテート二無水物20.5
1g(50ミリモル)及びNMP300mlとを用い
て、合成例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=1
00:0、[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:0]で示されるポリイミド31.
8g(収率93%)を得た。得られたポリイミドの赤外
吸収スペクトルを測定したところ、1720cm-1及び
1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。
また、その分子量、Tg及び熱分解開始温度を測定し
た。それらの結果を表2に示す。このポリイミドを、T
HFに25重量%の濃度になるよう溶解させることによ
り、塗工用ワニスを得た。
【0071】
【表1】
【0072】
【表2】
【0073】表1及び表2において、ポリイミドの分子
量測定は、THFを溶離液とし、カラムはShodex
80M×2を使用して行った。分子量値は、GPCによ
る数平均分子量であり、ポリスチレン換算によるもので
ある。Tgは示差熱分析(窒素中、10℃/分で昇温)
により測定し、また、熱分解開始温度は、熱重量分析
(窒素中、10℃/分で昇温)により測定したものであ
る。
【0074】実施例1 上記合成例42で得られたポリイミドを含む塗工用ワニ
スを塗布液とし、基材である膜厚50μmのポリイミド
フィルム上に、バーコーターを用いて乾燥時の層厚が2
5μmになるように塗布し、その塗布層を熱風循環型乾
燥機にて150℃で5分間乾燥させて基材の一面に接着
層を形成させた。次いで、基材の他の一面に合成例2で
得られたポリイミドを含む塗工用ワニス(合成例42の
ポリイミドとはTgが異なる。)を塗布液とし、乾燥時
の層厚が25μmになるように塗布し、その塗布層を熱
風循環型乾燥機にて150℃で10分間乾燥させること
により、基材の両面にTgの異なるポリイミドの接着層
を形成した総厚100μmの接着テープを作製した。
【0075】実施例2〜40 合成例1〜48で得られたポリイミドを使用して、実施
例1と全く同様にして、実施例2〜40の本発明による
接着テープを作製した。なお、実施例37の低Tg接着
層及び実施例38の高Tg接着層には、粒径0.05μ
mのアルミナフィラー(昭和電工社製)10重量%を配
合した。また、実施例39の低Tg接着層及び実施例4
0の高Tg接着層には0.07μmのシリカフィラー
(荒川化学社製)10重量%を配合した。
【0076】各実施例1〜40に使用した接着層の塗工
用ワニス、フィラーの種類と添加量及び形成された接着
層の接着温度を、それぞれ表3及び表4に示す。なお、
表3及び表4に示す高Tg接着層及び低Tg接着層のT
gは、表1及び表2に記載された対応する合成例のTg
に相当する。
【0077】比較例1 合成例10で得られたポリイミドを含む塗工用ワニスを
塗布液とし、実施例1と同様にして基材の両面に同Tg
のポリイミド接着層を形成した比較用の接着テープを作
製した。
【0078】比較例2 ポリイミド系ワニス(ラークTPI、三井東圧化学社
製)のN−メチル−2−ピロリドン20重量%溶液を用
意した。この溶液を実施例1で使用した50μmのポリ
イミドフィルムの一面に乾燥時の接着層の膜厚が25μ
mになるように塗布し、熱風循環型乾燥機中にて150
℃で1時間乾燥させ、更に同じ溶液を該ポリイミドフィ
ルムの他の一面に乾燥時の接着層の膜厚が25μmにな
るように塗布し熱風循環型乾燥機中にて150℃で1時
間乾燥させた後、更に250℃で1時間乾燥させ、比較
用の接着テープを作製した。なお、比較例1及び比較例
2についても実施例に示したと同様に塗工用ワニス、フ
ィラー添加量及び接着層の接着温度を表5に示した。
【0079】
【表3】
【0080】
【表4】
【0081】
【表5】
【0082】上記各実施例及び比較例で得られた接着テ
ープを評価するために、以下の作業を行った。 (リードフレームの組み立て)図2に示す半導体パッケ
ージに用いられるリードフレームを、次に示す手順で組
み立てた。 (a)接着テープの打ち抜き 金型による接着テープの短冊状打ち抜き。 (b)リードフレーム組み立て 短冊状に打ち抜いた接着テープをリードフレームに位置
合わせし、加熱したホットプレート上で加熱加圧して、
リードフレームと接着テープの高Tg接着層側を貼り合
わせる(4kgf/cm2/1秒)ことによりリードフ
レームを組み立てた。この時の接着温度は、高Tg接着
層の接着温度として表3、表4及び表5に示した。
【0083】(半導体パッケージの組み立て)次に、上
記で得られたリードフレームを使用し、以下の手順で半
導体パッケージを組み立てた。リードフレーム組み立て
時に接着条件が異なるのは、各接着テープの特性が異な
るためである。ここでは、各接着テープに最適の接着条
件を選定し、それに基づいて接着させた。 (c)ダイボンディング 前記(b)で得られたリードフレームに貼り合わせた接
着テープの低Tg接着層に半導体チップを貼り合わせ
た。貼り合わせはホットプレート上で加熱加圧して(4
kgf/cm2/1秒)行った。この時の接着温度は、
低Tg接着層の接着温度として表3、表4及び表5に示
した。 (d)ワイヤーボンディング ワイヤーボンダーにより、金線で半導体チップ上のワイ
ヤーパッドとインナーリード線端部の銀メッキ部分とを
配線する。 (e)モールディング エポキシ系モールド剤でトランスファーモールドする。 (f)仕上げ工程 ホーミング、ダムカット及びアウターリード部のメッキ
等の工程を含め、パッケージに仕上げる。
【0084】(接着テープ及び半導体パッケージ(n=
10)の評価結果) (A)接着力 銅板にリードフレーム組み立て時の条件で接着テープを
貼着(テーピング)した後、その10mm幅のテープの
室温における90°ピール強度を測定した。その結果、
実施例1〜40の接着テープの強度は、35〜50g/
10mmであるのに対し、比較例1のものは35〜50
g/10mmであり問題はなかったが、比較例2のもの
は10〜40g/10mmで変動幅が大きかった。 (B)リードの埋没状態 リードフレームの組み立ての際の接着テープにリードピ
ンが埋め込まる状態を観察した。実施例1〜40の接着
テープでは、高Tg側に埋め込まれたリードピンは、
(b)のリードフレーム製造時の貼着状態のままであっ
たが、比較例1、2のものは(c)の半導体チップ貼り
合わせ時に、リードピンが歪んだり移動してその平坦性
を損なっているものがあった。 (C)半導体パッケージの評価 前述のようにして得られたパッケージに対して、PCB
T試験(Pressure Cooker Biase
d Test)を行った。この試験条件は、5ボルトに
印加し、121℃、2atm、100%RHにおいて実
施し、電気的信頼性テストを行った。その結果、実施例
1〜40のものは、1000時間経過でもショートが生
じなかった。これに対し、比較例1と2には第1回目の
接着層が軟化したためリードピンの移動による接触でシ
ョートの発生したものがあった。
【0085】以上の結果から、本発明の接着テープを用
いた場合には、良好な半導体パッケージを作製すること
ができるのに対し、比較例の接着テープを用いた場合
は、リードが埋め込まれてしまったり、電気的信頼性試
験でショートが発生する、接着力の変動幅が大きい等の
問題があり、電子部品作製に適していないことは明らか
である。
【0086】
【発明の効果】本発明の電子部品用接着テープは、上記
した試験結果に見られるように、十分な耐熱性及び接着
性を有しているから、電子部品の接着に極めて信頼性の
高い良好なものであり、例えば、リードフレーム固定
用、TAB用、半導体装置を構成するリードフレーム周
辺の部材間、すなわち、リードピン、半導体チップ搭載
用基板、放熱板、半導体チップ自身等の接着に好適に使
用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置の一例の断面図である。
【図2】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置の他の一例の断面図である。
【図3】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置のさらに他の一例の断面図である。
【符号の説明】
1…半導体チップ、2…プレーン(金属放熱板)、3…
リードピン、4…ボンディングワイヤー、5…樹脂、6
…接着層、7…ダイパッド、8…電極

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基材を介してその両面に、下記式(1
    a)で表される構造単位及び下記式(1b)で表される
    構造単位の少なくとも1種を100〜40モル%と、下
    記式(2a)で表される構造単位及び下記式(2b)で
    表される構造単位の少なくとも1種を0〜60モル%と
    からなる少なくとも1つ以上のポリイミドを含有してな
    る接着層を設けた接着テープであって、前記両面の接着
    層が互いに異なるガラス転移温度を有することを特徴と
    する電子部品用接着テープ。 【化1】 (式中、Arは芳香環を有する下記の構造から選ばれる
    二価の基を示す。) 【化2】 (式中、R1、R2、R3及びR4はそれぞれ同じでも異な
    っていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基
    または炭素数1〜4のアルコキシ基を示すが、これらの
    全ての基が同時に水素原子であることはない。) 【化3】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチ
    レン基がSiに結合している−CH2OC64−を示
    し、nは1〜20の整数を意味する。)
  2. 【請求項2】 基材の両面に設けられた接着層が、ガラ
    ス転移温度に30℃以上の差異を有するものであること
    を特徴とする請求項1に記載の電子部品用接着テープ。
  3. 【請求項3】 少なくともー方の接着層が、粒径1μm
    以下のフィラーを0.1〜50重量部含むことを特徴と
    する請求項1または2に記載の電子部品用接着テープ。
  4. 【請求項4】 接着層の少なくとも一方の面に、剥離性
    フィルムを設けることを特徴とする請求項1〜3のいず
    れか1項に記載の電子部品用接着テープ。
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