JPH1069625A - 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】磁気コアをスライダの側面より突出させること
なく、巻線を磁気コアの両側の脚部に施すことを可能に
するとともに、インダクタンスを低下させる。 【解決手段】スライダ１１のいずれか一方の側面には、
段差３１が形成されるとともに、巻線溝１６が形成され
ている。磁気コア２１は、磁気ギャップ２０が形成さ
れ、スライダ１１の側面の段差３１に貼り付け固定され
ている。前記スライダ１１の側面の段差３１及び巻線溝
１６以外の面と、前記磁気コア２１のスライダ１１に貼
り付けた面とは反対側の面とは同一平面を成すように形
成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は磁気コアをスライ
ダに貼り付けた磁気ヘッドスライダ及びその製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの普及に
ともない、固定磁気ディスク装置や大容量フロッピーデ
ィスク装置等の磁気ストレージ装置は、急速な勢いで大
容量，低価格化が進められている。その心臓部ともゆう
べき磁気ヘッドスライダにおいては、インダクティブ薄
膜ヘッド、ＭＲヘッドなどと並んでＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ
ｉｎ Ｇａｐ）コアを用いたコンポジット型磁気ヘッド
スライダが依然主流の一角を成している。

【０００３】ＭＩＧコアを用いたコンポジット型磁気ヘ
ッドスライダの中でも性能面で特にに優れたものの一つ
として、磁気コアをスライダの側面に貼り付ける側面貼
り付け型磁気ヘッドスライダが実用化されている。

【０００４】図１１はこのような従来の磁気ヘッドスラ
イダを示す斜視図である。

【０００５】図１１におていて、従来の磁気ヘッドスラ
イダ１１０は、非磁性体で形成されたスライダ１１１と
磁気コア１２１から構成される。スライダ１１１の媒体
に相対する面の両側にスキー１１２，１１３が形成され
ている。スキー１１２，１１３の一端側には、テーパー
部１１４，１１５が形成されている。磁気コア１２１
は、磁気ギャップ１２０が形成され、スライダ１１１の
側面に取り付け固定されている。スライダ１１１には巻
線溝１１６が形成されている。磁気コア１２１にも、巻
線溝１２２が形成されている。磁気コア１２１は、これ
ら巻線溝１１６，１２２を介してコイルを巻き付けるよ
うになっている。また、磁気コア１２１には、トラック
幅設定用の切り欠き１２３を形成している。

【０００６】このような磁気コアの製造方法を図面を参
照して以下に説明する。

【０００７】図１２及び図１３は図１１に示した磁気ヘ
ッドスライダの製造工程を示す説明図であり、図１２
（ａ）は一体化する前のスライダと磁気コアとを示し、
図１２（ｂ）は一体化した後のスライダと磁気コアとを
示し、図１２（ｃ）はテーパー部の加工を示し、図１３
は巻線を示している。

【０００８】図１２（ａ）において、まず、セラミック
等で出来たスライダ１１１に巻線を巻くための巻線溝１
１６を形成するとともに、媒体摺動方向に沿って２本の
スキー１１２，１１３を形成する。次に、スパッタリン
グ等の方法によりガラス薄膜を形成した磁気コア１２１
をスライダ１１１の側面に密着させ、加熱することによ
ってガラス薄膜を溶融し、図１２（ｂ）に示すように、
両者を一体化する。この後、スライダ１１１のスキー１
１２，１１３の表面と磁気コア１２１の媒体に相対する
面を同時にラッピングし、磁気コア１２１の磁気ギャッ
プ１２０のデプスを所定の寸法に仕上げ、図１２（ｃ）
に示すように、更に磁気コア１２１の先端を斜めに加工
することによりトラック幅設定用の切り欠き１２３を形
成してトラック幅を所定の寸法に仕上げる。これによ
り、磁気コア１２１にトラック面１２４を形成する。そ
の後、スキー１１２，１１３にテーパー部１１４，１１
５を加工する。これにより、図１１に示した状態の磁気
ヘッドスライダが得られる。この後、図１３に示すよう
に、コイル１３０による巻線を磁気コア１２１の両側の
脚部１２５，１２６に施す（以下、バランス巻きと称
す）。

【０００９】図１４及び図１５はそれぞれ図１１に示し
た磁気ヘッドスライダの平面図及び正面図である。

【００１０】図１４及び図１５に示すように、磁気コア
１２１がスライダ１１１の側面より突出する形になって
いる。このため、磁気コア１２１のトラック面もスライ
ダ１１１の側面より突出する。

【００１１】このような磁気ヘッドスライダは、巻線を
磁気コア１２１の両側の脚部１２５，１２６に施すこと
ができるため、外部誘導ノイズをほぼ０にできる。この
ため、片側にしか巻線できない従来の埋め込みタイプの
ＭＩＧコアスライダに比べ大幅にＳ／Ｎを改善される。
しかしながら、磁気コア１２１がスライダ１１１の側面
より突出する形になっているため、磁気ギャップ１２０
と記録媒体との接触あるいは距離が不安定になりやすい
という欠点があった。また、リムーバルディスクに用い
る場合、磁気コアが突出することにより起こるトラック
面１２４の面だれやダストが混入した場合の磁気コアの
ダメージの受けやすいなどが問題として挙げられてい
た。さらにこのタイプに限らずＭＩＧコアを用いた磁気
ヘッドスライダの共通問題として、インダクティブ薄膜
ヘッドに対してインダクタンスが大きいことが指摘され
ており、今後ますます進む高記録密度化に対しては不利
であった。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の磁気コ
アの磁気コアは、磁気コアがスライダの側面より突出す
る形になっているため、磁気ギャップと記録媒体との接
触あるいは距離が不安定になりやすい。リムーバルディ
スクに用いる場合、トラック面の面だれやダストが混入
した場合の磁気コアのダメージの受けやすいなどが問題
として挙げられていた。さらに、インダクティブ薄膜ヘ
ッドに対してインダクタンスが大きいという問題があっ
た。

【００１３】この発明は上記問題点を除去し、磁気コア
をスライダの側面より突出させることなく、巻線を磁気
コアの両側の脚部に施すことを可能にするとともに、イ
ンダクタンスを低下させることができる磁気ヘッドスラ
イダ及びその製造方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の磁気ヘッ
ドスライダは、磁気コアと；いずれか一方の側面に段差
が形成され、該段差に磁気コアを貼り付けるスライダ
と；を具備し、前記スライダの側面の段差以外の面と、
前記磁気コアのスライダに貼り付けた面とは反対側の面
とが同一平面を成すことを特徴とする。

【００１５】請求項２記載の磁気ヘッドスライダは、請
求項１記載の磁気ヘッドスライダであって、前記磁気コ
アの厚さを３０μｍ以下に設定したことを特徴とする。

【００１６】請求項３記載の磁気ヘッドスライダの製造
方法は、スライダのいずれか一方の側面に段差を形成す
る工程と；前記段差に磁気コアを貼り付ける工程と；前
記スライダの段差を形成した側面の段差以外の面と、前
記磁気コアのスライダに貼り付けた面とは反対側の面と
を同一平面に仕上げる工程と；を具備したことを特徴と
する。

【００１７】請求項４記載の磁気ヘッドスライダの製造
方法は、前記磁気コアが複数個縦につながった磁気コア
バーと、前記スライダが複数個縦に繋がったスライダバ
ーとを用い、請求項３記載の磁気ヘッドスライダの加工
を複数個同時に行うことを特徴とする。

【００１８】請求項５記載の磁気ヘッドスライダの製造
方法は、前記磁気コアが複数個縦につながった磁気コア
バーと、前記スライダが複数個縦横に繋がったスライダ
ウエハとを用い、請求項３記載の磁気ヘッドスライダの
加工を複数個同時に行うことを特徴とする。

【００１９】請求項１乃至５記載の構成によれば、スラ
イダの側面に磁気コアを埋め込む形になるので、磁気コ
アをスライダの側面より突出させることなく、巻線を磁
気コアの両側の脚部に施すことを可能にするとともに、
スライダと一体化した後の磁気コアの薄くすることが可
能になり、インダクタンスを低下させることができる。

【００２０】請求項３乃至５記載の磁気ヘッドスライダ
の製造方法によれば、請求項１及び２記載の磁気ヘッド
スライダを製造することができる。

【００２１】請求項４乃至５記載の磁気ヘッドスライダ
の製造方法によれば、請求項１及び２記載の磁気ヘッド
スライダを容易に大量生産することができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。

【００２３】図１は本発明に係る磁気ヘッドスライダの
発明の実施の形態をハードディスクドライブ（ＨＤＤ）
用の磁気ヘッドスライダに適用した場合を示す斜視図で
ある。

【００２４】図１においては、磁気ヘッドスライダ１０
は、非磁性体で形成されたスライダ１１と磁気コア｛本
発明の実施の形態の場合ＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ ｉｎ Ｇ
ａｐ）｝２１から構成される。スライダ１１の媒体に相
対する面の両側にスキー１２，１３が形成されている。
スキー１２，１３の一端側には、テーパー部１４，１５
が形成されている。スライダ１１のいずれか一方の側面
には、段差３１が形成されるとともに、巻線溝１６が形
成されている。磁気コア２１は、磁気ギャップ２０が形
成され、スライダ１１の側面の段差３１に貼り付け固定
されている。前記スライダ１１の側面の段差３１及び巻
線溝１６以外の面と、前記磁気コア２１のスライダ１１
に貼り付けた面とは反対側の面とは同一平面を成すよう
に形成されている。また、磁気コア２１にも巻線溝２２
が形成されている。磁気コア２１は、これら巻線溝１
６，２２を介してコイルを巻き付けるようになってい
る。また、磁気コア２１には、トラック幅設定用の切り
欠き２３を形成している。スライダ１１には、磁気コア
２１の切り欠き２３と同一平面を成す切り欠き１７が形
成されている。

【００２５】このような磁気コアの製造方法を図面を参
照して以下に説明する。

【００２６】図２及び図３は図１に示した磁気ヘッドス
ライダの第１の製造工程を示す説明図であり、図２
（ａ）は切り欠きを形成する前のスライダを示し、図２
（ｂ）は一体化する前のスライダと磁気コアとを示し、
図２（ｃ）は一体化した後のスライダと磁気コアとを示
し、図３（ａ）は磁気ギャップのデプスを設定するため
の加工を示し、図３（ｂ）は磁気ギャップのトラック幅
の加工を示している。

【００２７】図２（ａ）において、まず、セラミック等
で出来たスライダ１１に巻線を巻くための巻線溝１６を
形成するとともに、媒体摺動方向に沿って２本のスキー
１２，１３を形成する。次に、図２（ｂ）において、ス
ライダ１１の側面に段差３１を形成し、スパッタリング
等の方法によりガラス薄膜を形成した磁気コア２１をス
ライダ１１の段差３１に密着させ、加熱することによっ
てガラス薄膜を溶融し、図２（ｃ）に示すように、該段
差３１に磁気コア２１を貼り付ける。この後、図３
（ａ）に示すように、スライダ１１の側面の段差３１及
び巻線溝１６以外の面と、前記磁気コア２１のスライダ
１１に貼り付けた面とは反対側の面を研削あるいはラッ
ピングによって所定の寸法だけ追い込んで同一平面に仕
上げ、かつ磁気コア２１が所定の厚み（本発明の実施の
形態では３０μｍ以下に設定している）となるように仕
上げる。この後、スライダのスキー１２，１３の表面と
磁気コア２１の媒体に相対する面を同時にラッピング
し、磁気コア２１の磁気ギャップ２０のデプスを所定の
寸法に仕上げ、図３（ｂ）に示すように、更に磁気コア
２１の先端及びスライダ１１の側面の媒体側を斜めに加
工することによりトラック幅設定用の切り欠き２３と同
一平面を成す切り欠き１７が形成しトラック幅を所定の
寸法に仕上げる。これにより、磁気コア２１にトラック
面２４を形成する。その後、スキー１２，１３にそれぞ
れテーパー部１４，１５を加工する。図１に示した状態
の磁気ヘッドスライダが得られる。この後、図示しない
がコイルによる巻線を磁気コア２１の両側の脚部２５，
２６に施す。

【００２８】図４及び図５はそれぞれ図１に示した磁気
ヘッドスライダの平面図及び正面図である。

【００２９】図４及び図５に示すように、磁気コア２１
がスライダ１１の側面に埋め込まれる形になっている。
このため、磁気コア２１のトラック面２４も斜線に示す
磁気ヘッドスライダスライダの媒体摺動面から突出する
ことがない。また、磁気コア２１をスライダ１１と一体
にしてから薄くできるので、磁気コア２１の厚みを３０
μｍ以下に容易に設定できる。この結果、磁気コアが突
出することに起因した側面貼り付け型磁気ヘッドスライ
ダの欠点である記録媒体との接触あるいは浮遊量の不安
定，トラック面の面だれ、ダスト混入時の磁気コアのダ
メージなどが一気に解消される。もちろん、バランス巻
によって外部誘導ノイズをキャンセルし、高いＳ／Ｎが
得られることは従来通りである。さらに、磁気コア２１
の厚みを薄くでき、インダクタンスも従来の半分以下に
下げることができ、ＭＩＧコアを用いたコンポジット型
磁気コアスライダでも、インダクティブ薄膜ヘッドと同
等あるいはそれ以下の低インダクタンス化が可能にな
る。

【００３０】以上説明したように、このような発明の実
施の形態によれば、前記スライダの側面に磁気コアを埋
め込む形になるので、磁気コアをスライダの側面より突
出させることなく、巻線を磁気コアの両側の脚部に施す
ことを可能になり、記録媒体との接触あるいは浮遊量の
不安定，トラック面の面だれ、ダスト混入時の磁気コア
のダメージなどが一気に解消でき、これに加え、スライ
ダと一体化した後の磁気コアの薄くすることが可能にな
り、インダクタンスを低下させ、磁気記録密度を高める
ことができる。

【００３１】図６乃至図８は図１に示した磁気ヘッドス
ライダの第２の製造工程を示す説明図であり、図６
（ａ）はスライダバーを示し、図６（ｂ）は一体化する
前のスライダバーと磁気コアバーとを示し、図７（ａ）
は一体化した後のスライダバーと磁気コアバーとを示
し、図７（ｂ）は一体化した後のスライダバーと磁気コ
アバーとの加工を示し、図８（ａ）は分割した後の磁気
ヘッドスライダを示し、図８（ｂ）はスキーの加工を示
している。

【００３２】第２の製造工程では、まず、図６（ａ）に
示すように、スライダ複数個に相当する大きさのセラミ
ックに、巻線溝１６を複数形成することによりスライダ
バー４１を形成する。その後、図６（ｂ）に示すよう
に、スライダバー４１に段差４２を形成する。この後、
この段差４２に、巻線溝１６と同じピッチで磁気コアが
縦に繋がった磁気コアバー４３をはめ込み、加熱するこ
とによってガラス薄膜を溶融し、図７（ａ）に示すよう
に、段差３１に磁気コアバー４３を貼り付ける。この
後、図７（ｂ）に示すように、スライダバー４１の一方
の側面（図中上面）の段差４２及び巻線溝１６以外の面
と、前記磁気コアバー４３のスライダバー４１に貼り付
けた面とは反対側の面を研削あるいはラッピングによっ
て所定の寸法だけ追い込んで同一平面に仕上げ、かつ磁
気コアバー４３が所定の厚みとなるように仕上げる。こ
の後、図中の一点鎖線に沿って切断することにより、図
８（ａ）に示すスライダバー４１の段差３１に磁気コア
２１を取り付けた磁気ヘッドスライダ５０を得る。この
後、スライダバー４０の媒体摺接面を両側を残して研削
することにより、図８（ｂ）に示すスライダ１１にスキ
ー１２，１３が形成された磁気ヘッドスライダを得る。
この場合の磁気ヘッドスライダは、図３（ａ）と同様と
なり、以下、図３と同様の工程で磁気ヘッドスライダを
完成させる。

【００３３】このような発明の実施の形態によれば、複
数の磁気コアとスライダを一度に貼り付け、スライダと
磁気コアの側面を同一平面に仕上げることができるの
で、図１の磁気ヘッドスライダを容易に大量生産するこ
とができる。

【００３４】図９及び図１０は本発明に係る磁気ヘッド
スライダの第２の発明の実施の形態の製造工程を示す説
明図であり、図９（ａ）はスライダウエハを示し、図９
（ｂ）は一体化する前のスライダウエハと磁気コアバー
とを示し、図１０（ａ）は分割した後の磁気ヘッドスラ
イダを示し、図１０（ｂ）はスキーの加工を示し、図３
（ｂ）は磁気ギャップのトラック幅の加工を示してい
る。

【００３５】製造工程では、まず、図９（ａ）に示すよ
うに、スライダを縦横に複数個並べた相当する大きさの
セラミックに、前後を通して繋がる巻線溝５１を複数形
成すことにより、スライダが複数個縦横に繋がったスラ
イダウエハ５２を形成する。この後、図９（ｂ）に示す
ように、複数列の段差５３を形成し、この後、この複数
の段差５３に、巻線溝５１と同じピッチで磁気コアが縦
に繋がった複数の磁気コアバー５４をはめ込み、加熱す
ることによってガラス薄膜を溶融し、複数の段差５３に
それぞれ複数の磁気コアバー５４を貼り付ける。この
後、スライダウエハ５２の一方の側面の段差５３及び巻
線溝５１以外の面と、前記磁気コアバー５４のスライダ
ウエハ５２に貼り付けた面とは反対側の面を研削あるい
はラッピングによって所定の寸法だけ追い込んで同一平
面に仕上げ、かつ磁気コアバー５４が所定の厚みとなる
ように仕上げる。この後、切断することにより、図１０
（ａ）に示す磁気ヘッドスライダ６０を得る。この場
合、スライダ６１の巻線溝６２は、スライダ６１の一方
の側面に前後通して形成されている。段差６４には磁気
コア６５が貼り付けられている。この後、スライダ６１
の媒体摺接面の両側を残して研削することにより、図８
（ｂ）に示すスライダ６１にスキー６６，６７が形成さ
れた磁気ヘッドスライダ７０を得る。この後、図１０
（ｃ）に示すように、更に磁気コア６５の先端及びスラ
イダ６１の側面の媒体側を斜めに加工することによりト
ラック幅設定用の切り欠き６８と同一平面を成す切り欠
き６９が形成しトラック幅を所定の寸法に仕上げる。こ
れにより、磁気コア６５にトラック面８０を形成する。
その後、スキー６６，６７にテーパー部７１，７２を加
工する。

【００３６】これにより、図１と同等の機能を有する磁
気ヘッドスライダを得る。

【００３７】このような発明の実施の形態によれば、図
６乃至図８に示した製造工程より多くの複数の磁気コア
とスライダを一度に貼り付け、スライダと磁気コアの側
面を同一平面に仕上げることができるので、磁気ヘッド
スライダをさらに容易に大量生産することができる。

【００３８】尚、図１乃至図１０に示した発明の実施の
形態では、磁気コアにＭＩＧコアを用いたが、他にフェ
ライトコアやラミネートコア等、他の磁気コアであって
も同様の効果が得られる。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、磁気コアをスライダの
側面より突出させることなく、巻線を磁気コアの両側の
脚部に施すことを可能にするとともに、インダクタンス
を低下させることができるので、記録媒体との接触ある
いは浮遊量の不安定，トラック面の面だれ、ダスト混入
時の磁気コアのダメージなどが一気に解消でき、磁気記
録密度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドスライダの発明の実施
の形態を示す斜視図。

【図２】図１の磁気ヘッドスライダの第１の製造工程を
示す第１の説明図。

【図３】図１の磁気ヘッドスライダの第１の製造工程を
示す第２の説明図。

【図４】図１に示した磁気ヘッドスライダの平面図。

【図５】図１に示した磁気ヘッドスライダの正面図。

【図６】図１の磁気ヘッドスライダの第２の製造工程を
示す第１の説明図。

【図７】図１の磁気ヘッドスライダの第２の製造工程を
示す第２の説明図。

【図８】図１の磁気ヘッドスライダの製造工程を示す第
７の説明図。

【図９】本発明に係る磁気ヘッドスライダの第２の発明
の実施の形態の製造工程を示す第１の説明図。

【図１０】本発明に係る磁気ヘッドスライダの第２の発
明の実施の形態の製造工程を示す第２の説明図。

【図１１】従来の磁気ヘッドスライダを示す斜視図。

【図１２】図１１に示した磁気ヘッドスライダの第１の
製造工程を示す説明図。

【図１３】図１１に示した磁気ヘッドスライダの第２の
製造工程を示す説明図。

【図１４】図１１に示した磁気ヘッドスライダの平面
図。

【図１５】図１１に示した磁気ヘッドスライダの正面
図。

【符号の説明】

１０ 磁気ヘッドスライダ １１ スライダ ２１ 磁気コア ３１ 段差

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小貫 明男 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33 株式会 社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 近江 邦夫 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33 株式会 社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 新井 慎 東京都港区新橋３丁目３番９号 東芝エ ー・ブイ・イー株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気コアと；いずれか一方の側面に段差
   が形成され、該段差に磁気コアを貼り付けるスライダ
   と；を具備し、前記スライダの側面の段差以外の面と、
   前記磁気コアのスライダに貼り付けた面とは反対側の面
   とが同一平面を成すことを特徴とする磁気ヘッドスライ
   ダ。
2. 【請求項２】 前記磁気コアの厚さを３０μｍ以下に設
   定したことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスラ
   イダ。
3. 【請求項３】 スライダのいずれか一方の側面に段差を
   形成する工程と；前記段差に磁気コアを貼り付ける工程
   と；前記スライダの段差を形成した側面の段差以外の面
   と、前記磁気コアのスライダに貼り付けた面とは反対側
   の面とを同一平面に仕上げる工程と；を具備したことを
   特徴とする磁気コアの製造方法。
4. 【請求項４】 前記磁気コアが複数個縦につながった磁
   気コアバーと、前記スライダが複数個縦に繋がったスラ
   イダバーとを用い、請求項３記載の磁気ヘッドスライダ
   の加工を複数個同時に行うことを特徴とする磁気コアス
   ライダの製造方法。
5. 【請求項５】 前記磁気コアが複数個縦につながった磁
   気コアバーと、前記スライダが複数個縦横に繋がったス
   ライダウエハとを用い、請求項３記載の磁気ヘッドスラ
   イダの加工を複数個同時に行うことを特徴とする磁気コ
   アスライダの製造方法。