JPS58219555A - 位置決め装置 - Google Patents

位置決め装置

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JPS58219555A
JPS58219555A JP58094217A JP9421783A JPS58219555A JP S58219555 A JPS58219555 A JP S58219555A JP 58094217 A JP58094217 A JP 58094217A JP 9421783 A JP9421783 A JP 9421783A JP S58219555 A JPS58219555 A JP S58219555A
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positioning device
printing plate
piston rod
positioning
solenoid valve
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ローラ搬送装置によって露光テーブルに搬送
された印刷版を露光及び現像装置内で位置決めするため
の装置であって、各印刷版を位置決めするための複数の
機構より成っているものに関する。
露光及び現像後、直ちに印刷可能である、写生及び写像
を有する印刷フオーム、例えば印刷版を製造する場合、
第1の帯電工程で印刷版に静電処理を行ない、次いで各
印刷版にオリジナル写像を投影する。次いでこの露光工
程終了後に印刷版は現像剤によって現像され、定着かつ
被覆除去され、これによって印刷版の印刷準備状態が形
成される。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第3012761号明細
書(アメリカ合衆国特許第4334472号明細書)K
よれば、印刷版を搬送ローラによって露光テーブルに供
給及び搬送するための機構が記載されている。印刷版保
持体内に−み重ねられた複数の印刷版のうちの最上部に
ある印刷版は、旋回リフティングシリンダによってつか
まえられて、半円弧状に旋回運動させられて露光テーブ
ルの吸込みプレート上に移行させられる。各列で、吸込
みプレートの両側に配置された搬送ローラは、駆動ベル
トを介して駆動ローラによって駆動させられる。これら
の、各列の初めに位置する(印刷版の運動方向で見て)
搬送ローラは、印刷版が載置される前に各列から外側へ
旋回させられる旋回ブロックに配置されている。これに
よって、印刷版の前方部分はつまることなしに吸込みプ
レート上に持たらされる。印刷版が吸込みプレート上に
載置されると、直ちに、第1の搬送ローラが印刷版の側
方縁に向かって旋回させられる。次いでこの印刷版はそ
の側縁が搬送ローラに設けられた溝内でガイドされつつ
前方に搬送される。印刷版はストン・ξピンに接触する
まで吸込みプレート上で前方に移動させられる。次いで
印刷版がストツノセビンによって位置決めされると、た
だちに吸込みプレートに低圧が供給される。こうして印
刷版はその露光位置で確保される。次いで、印刷版はコ
ロナ装置によって荷電されて続いて露光される。露光後
、ストツノセビンは下方に移動させられるので、印刷版
は搬送ローラによって露光テーブルに搬送させられる。
との公知の装置においては、印刷版は、搬送方向、すな
わち長手方向で位置決めされるだけで、横方向には位置
決めされない。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第3122321号明細
書(アメリカ合衆国5erial A 382288号
明細書)によれば、対で配置されブロックによって2つ
のローラレール上に固定されたローラによって印刷版を
露光テーブルに供給及び搬送する装置が記載されている
。ローラレールは印刷版の搬送方向で露光テーブルの両
側に配置されている。印刷版の搬送方向で見て一番初め
に位置する搬送ローラは、印刷版が載置される前に外側
に旋回させられ、印刷版が載置されると、残りの搬送ロ
ーラと共に印刷版の搬送作業を行なうために再び内側に
戻し旋回させられる。印刷版は、吸込プレート内に下降
させられるストンieと接触するまで吸込プレート上で
前方に搬送される。
印刷版がストツノξによって位置決めされると、低圧が
供給されるので印刷版は露光位置に確保される。
この公知の装置においても、ストツノにによる位置決め
は印刷版の搬送方向でのみ、つまり長手方向でのみ行な
われ、横方向では行なわれない。露光位置において、ロ
ーラレール全体は互いに平行に露光テーブルから離反旋
回させられ、これによつ−C印刷版の外縁部は妨害され
ることなしに露光される。
これらの公知の装置においては、印刷版の位置決めは、
印刷版の後縁部を整列させることなしに、又はストン・
Pの方向で所定の接触圧力を生ぜしめることなしに印刷
版の前線部をストツノξに接触させる仁とによって長手
方向でのみ行なわれる。印刷版の2つの長手方向縁部が
搬送ローラに設けられた溝内でガイドされることは別に
して、横方向の位置決め又は整列は行なわれない。この
ために、これら公知の装置にょれば、印刷版を露光テー
ブルに精確にかつ繰シ返えし整列させることは限定的に
のみ可能である。
本発明の課題は、どのような印刷フオームも、再現可能
な形式でしかも高い精度を有して長手方向及び横方向で
露光テーブルに精確に位置決め出来るような装置を提供
することである。
本発明によれば、この課題は、印刷版を横方向で位置決
めするための機構が、空圧式に操作される押しつけ部材
と、該押しつけ部材とは反対側で露光テーブル上に調節
可能に配置されたストッパピンとから成っており、印刷
版を長手方向で位置決めするための機構が、空圧式に操
作されるすべり部材と、印刷板の前縁部のためのストン
・ξとから成っており、印刷板の位置決め作業が前記2
つの機構によって同時に始められるように構成されてい
る。
本発明の実施態様によれば、押しっけ部材が中空な円筒
形のビンとリングとから成っていて、リフティングシリ
ンダのピストンロッドに支持されており、このリフティ
ングシリンダは、取りつけプレートに固定された保持装
置内に調節可能に配置されている。有利には、押しっけ
部相°は、中空なビンに設けられたスロット内でガイド
されかつピストンロッドを貫通するビンによってピスト
ンロッドに固定されている。
圧縮ばねが中空なビンの内部に配置されており、ピスト
ンロッドが非作業位置にある時に前記圧縮ばねによって
押しっけ部材がビンに対してぶつけられるようになって
いる。
有利には、リフティングシリンダは電磁弁を介して圧力
通路に接続されていて、この電磁弁が励磁された時に前
記圧力通路を通じて圧縮空気が前記リフティングシリン
ダに供給されるようになっており、該圧縮空気によって
ピストンロツrが印刷版の方向に押し出されるように構
成されている。圧縮空気を戻し案内するために、電磁弁
はスロットル型の吸音装置に接続されておシ、電磁弁へ
のエネルギ供給がしゃ断された時に前記吸音装置を介し
て圧縮空気が調節可能に戻し案内されるようになってい
る。
さらに、本発明によれば、取りつけプレートに固定され
た調節可能なセツティングレールが設けられており、仁
のセツティングレールに、マイクロスイッチが配置され
ていて、このマイクロスイッチの脚が押しつけ部材のリ
ングの運動路内に突入している。前記マイクロスイッチ
によって電磁弁が励磁され、この電磁弁によって、圧縮
空気が吸込み式の露光テーブルに接続された真空吸込み
ヘッドに供給されて印刷版が吸い寄せられるようになっ
ている。
印刷版を長手方向で位置決めさせるための機構において
、すべり部材が吸込み式の露光テーブルのガイドスロッ
ト内でガイPされていて、押しつけ部材に設けられたビ
ンを中心にして旋回可能に構成されている。リフティン
グシリンダが移動可能に配置されている吸込式の露光テ
ーブルの下部側に支持部材が設けられており、リフティ
ングシリンダのピストンロッドに押しつけ部材が設けら
れていて、この押しっけ部材の内部に圧縮ばねが配置さ
れている。ピストンロンドは有利には、押しつけ部材の
スロット内でガイドされたピンを備えていて、前記ピス
トンロッドの前縁部が圧縮ばねに当接している。
本発明のさらに別の有利な実施態様は特許請求の範囲第
13項乃至第19項に記載されている。
本発明によれば、印刷版は長手方向及び横′方向で一様
な押しつけ力を有してストン・ぞに向かって押しつけら
れて精確に位置決めされ、この押しつけ力を印刷版の縁
部にダメージへを与えない程度に調節できるという利点
が得られた。
次に図面に示した実施例について本発明の構成を具体的
に説明する。
第1図の部分的な平面図で示した位置決め装置は、印刷
フオーム例えば印刷版1を長手方向で位置決めする機構
と、横方向で位置決めする機構とから成っている。この
j印刷版lは、搬送ローラ(図示せず)によって露光テ
ーブル2上に搬送されている。印刷版1を横方向で位置
決めするだめの機構は、ピン6を備えた押しつけ部材1
0とストン・ξピン4,4′とから成っている。このス
トツノξビン4,4′は押しつけ部材]0の反対側に配
置されていて、この押しつけ部材10から印刷版1の幅
寸法に応じた間隔を保っている。露光テーブル2は吸込
みテーブルとして構成されており、印刷版1が長手方向
及び横方向で位置決めされると直ちに露光テーブル2に
真空が供給される。印刷版1は、押しつけ部材lOのピ
ン6によって、露光テーブル2に調節可能に取りつけら
れた2つのストツノξビン牛、4′に対して押しつけら
れる。
印刷版lを長手方向で位置決めするための、つまり印刷
版1をその搬送方向で整列させるだめの機構は、ガイド
スロット33に沿って移動可能なすべり部材5と、印刷
版1の前縁部のためのストッパ3とから成っている。ま
ず、すべり部材5が下方に旋回させられて印刷版1がこ
のすべり部材5にぶつかることなしに通過させられる。
印刷版1がすべり部材5を通過し終ると、すべり部材5
は上方に旋回させられて印刷版lの後縁部を押してこの
印刷版1をストン・ぞ3に対して押しつける。
印刷版が正しく位置決めされると、横方向位置決め用の
機構によってスイッチが作動され、電磁弁を介して、印
刷版は真空吸込みヘッドによって露光テーブルの表面に
吸いつけられる。
この作業段階の詳細は後で第3図に関連して述べられて
いる。
印刷版の前線部のためのストン・ぞ3は下降可能である
。印刷版が露光テーブル2の表面に吸いつけられると、
ストツノを3と、すべり部材5と、−ン6を備えた押し
つけ部材10とはその初めの位置に戻されて、印刷版は
露光準備位置にある。
印刷版を横方向で位置決めするための機構の詳細は第2
図に示されている。
搬送ローラ(図示せず)によって霧光テーブル2上でほ
ぼ位置決めされた印刷版1は、押しつけ部材lOの一ン
6によって、この−ン6とは反対側に設けられた2つの
ストツノソビン4゜4′に対して押しつけられる(第1
図参照)。押しつけ部材10は円筒形の中空なピン6と
リング20とから成っていて、リフティングシリンダ1
5のピストンロッド19で保持されている。
押しつけ部材10はスロット内でガイドされた一ン7に
よってピストンロッド19に固定されている。非作業位
置において、押しつけ部材10は、ピン6の中空スペー
ス内に配置された圧縮スプリング9によってピン7に対
して押しつけられている。
リフティングシリンダ15は、取りつけプレート16に
固定された保持装置17によって調節される。保持装置
17内のリフティングシリンダ15の位置は、処理しよ
うとする印刷版の幅に応じて移動変化可能である。リフ
ティングシリンダ15は、電磁弁13を介して圧縮空気
通路に接続されており、電磁弁が作動1れると前記圧縮
空気通路を通ってリフティングシリンダ15に圧縮空気
が供給される。圧縮空気がリフティングシリンダに供給
されると、ピストンロッド19がその最大行程まで伸張
される。押しつけ部材10はピストンロッド19が伸張
運動するにつれてこのピストンロッドによって連行され
てビン6の先端表面が印刷版1の長手方向縁部に接触す
る。次いで印刷版lは、押しっけ部材100反対側に配
置されたストッパビン生、4′に同案ta\接触するま
で側方に移動される。ピストンロッド19の伸張運動は
、リフトの最大高さに達するまで押しっけ部材1oの中
空空間内で持続される。この場合、圧縮ばね゛  9が
圧縮されてビン゛rが印刷版に向かってスロット8内で
移動させられる。ビン6を介して印刷版に作用しこの印
刷版を2つの固定されたストン・ξビン4.4′に対し
て押しつける圧力は、もっばら押しつけ部材lOの圧縮
ばね9によって形成される。この場合、最大に伸びきっ
たピストンロッド19はこの圧・縮□ばね9によって緩
衝されるので、ビン6は印刷版1の長手方向縁部に剛性
には作用せず弾性的に作用する。これによって、印刷版
の縁部は伸びきったピストンロッドによって損傷を蒙る
ことはない。
電磁弁はスロットル型の吸音装置を備えており、電磁弁
13へのエネルギ供給がしゃ断されると、圧縮空気18
がこの吸音装置を通って大きなノイズを生じることなし
に戻し案内され、またこの吸音装置によって、ピストン
運動がコントロールされる。電磁弁36へのエネルギ供
給がしゃ断されると、吸込式の露光テーブルに供給され
た低圧が無効になるので、印刷版lは露光テーブル2か
ら取り除かれる。
第3図に関連して後で詳細が述べられてい石長手方向の
位置決め作業は、前記横方向の位置決め作業と同時に開
始される。
第2図による調節可能なセツティングレール12は取り
つけプレート16に配置されている。
マイクロスイッチ11はセツティングレール12上に設
けられてい゛る。マイクロスイッ712の脚35はリン
グ20の運動路に侵入している。
押しつけ部材10が、第2図の実線で示された位置から
出発して、ビン6が印刷版1の長手方向縁部に接触する
、1点鎖線で示された位置に達すると、マイクロスイッ
チ11の脚35はリング20によって作動される。この
マイクロスイッチ11が作動されると第3図に示された
別の電磁弁36が励磁される。この電磁弁36が励磁さ
れることによって、圧縮空気が、露光テーブル2に接続
された真空吸込みヘッド37に供給される。
印刷版1が露光テーブル2に吸いつけられると、真空が
維持されている間、図示していない真空ス・イツチによ
って電磁弁13へのエネルギ供給がしゃ断されるので、
圧縮空気18は、電磁弁13のスロットル型の吸音装置
14を通って戻し案内される。これによって、圧縮空気
18はもはやリフティングシリンダ15内に存在しない
ので、ピストンロッド19ひいては押しつけ部材10は
、リフティングシリンダ15内に設けられた圧縮ばね(
図示せず)が戻ることによってその始めの位置に引き戻
される。こうして吸い寄せられた印刷版1は露光テーブ
ル上に精確に位置決めされて露光準備状態が得られる。
さて、第3図に関連して、印刷版1の長手方向位置決め
作業のだめの機構の詳細を以下に述べる。すべり部材5
は、露光テーブル2のガイドスロット33内でガイドさ
れるようになっており、かつ押しつけ部材28に設けら
れたビン34を中心にして旋回可能である。
露光テーブル2上に印刷版1が案内される際に、この印
刷版1は傾斜位置に下方旋回させられた、長手方向位置
決めのための機構のすべり部材5上を通過する。露光テ
ーブル2の下部側には支持部材24が設けられている。
横方向位置決め用のリフティングシリンダ15と同様の
リフティングシリンダ23は、この支持部材24内で移
動可能に配置されている。リフティングシリンダ23の
ピストンロッド25には、押しつけ部材28が設けられ
ている。この押しつけ部材28の内部には圧縮ばね29
が配置されている。横方向位置決め作業と同時に、電磁
弁21が励磁されて、ピストンロッド25が圧縮空気2
2によって第3図で右方向へ押しやられる。
i光ケーブル2の下部側に、この露光テーブル2のガイ
ドスロット33内に突入するストン・eプレート26が
設けられている。このストッパプレート26は、アング
ル形状を有しており、リフティングシリンダ23のピス
トンロッド25が引き戻されると、つまり第3図で左側
に移動させ、もれると、すべり部材δはストン・ξプレ
ート26に押しつけられて、ピン34を中心にして下方
旋回させられるようになっている。すべり部材5の先端
表面は傾斜させられており、この傾斜は、すべり部材5
がその下方に傾斜させられた位置を占める時に、露光テ
ーブル2の表面から下方へ約1mm〜2簡の間隔を保つ
程度である。
ピストンロッド25が右側へ移動させられると、すべり
部材5はストッパプレート26から離されて、押しつけ
部材28に設けられたねじシばね27によって起こされ
て、このすべり部材5によって、印刷版1がストン・8
3(第1図参照)に対して押しつけられる。印刷版1が
ストン、eδと接触すると、このストソノ?3はすべり
部材5に一定のわずかな圧力を加え、これによってすべ
り部拐5は停止して、それぞれの位置にとどまる。ピス
トンロツ)′25がさらに数ミリメートル前進させられ
ると、押しつけ部材内に配置された圧縮スプリング28
が圧縮される。
ピストンロッド25は、押しつけ部材28のスロット内
でガイドされるピン30を備えている。ピストンロッド
25の先端は圧縮ばね29に接触している。つ寸り、最
大限伸張されたピストンロッドの運動は圧縮ばね29に
よって緩衝される。圧縮ばね29は、ストン・e3とす
べり部材5との間に配置された印刷版1をピストンロッ
ドによるダメ−・ジから保護する。このように位置決め
された印刷版1の吸い寄せ作業は、前記第2図に関連し
て述べた側方位置決め機構によってトリガーされる。
電磁弁21の入口又は出口には空気圧縮装置32が配置
されている。この空気圧縮装置32によって、ピストン
ロッド運動の速度がコントロールされる。電磁弁21に
はスロットル型の吸音装置14が接続されていて、電磁
弁21へのエネルギ供給がしゃ断されると、この吸音装
置14を通って圧縮空気が制御可能な形式で戻し案内さ
れる。露光テーブル内で所望の真空状態が得られると、
ただちに電磁弁21へのエネルギ供給φ(しゃ断される
リフティングシリンダ23の内部に配置された圧縮げね
(図示せず)によって、ピストンロツ125はリフティ
ングシリンダ内に戻される。
前述のように、すペシ部利5は、ストッパプレート26
によって傾斜位置に持たらされるまで、ブ!イドスロッ
ト33内で左側へ移動させられる。
印刷版1の露光終了後、別の印刷版がすペシ部材5土を
搬送されて再び位置決めされる。
露光テーブル2に低圧を供給するために、露光テーブル
2は真空吸込みヘッド37を介して電磁弁36に接続さ
れている。電磁弁36が励磁されると、圧縮空気が露光
テーブル2に供給される。真空吸込ヘッド37が吸音装
置38に接続されておシ、この吸音装置38を通って圧
縮空気が戻し案内される。これによって、真空吸込ヘッ
ドがベンチュリ管の原理に従って作業する間、真空吸込
ヘッド内に低圧が形成される。
第4図では、第3図による押しつけ部材28とすべり部
材δとから成る部分を拡大した斜視図が示されている。
3部よシ成るねじυばね27の脚27′は、押しつけ部
材28の上部側に設けられた溝39に係合する。その他
の、ねじりばね27の脚27“及び27 ///はフォ
ーク状部材41の脚部40を受容しており、このねじり
ばね27の2つの脚27“、27“′の端部はフォーク
状部材41の脚部40の縁部付近に設けられた溝に係合
する。無負荷状態では、脚27′と1脚27“及び27
“′とが互いに離れた位置にある。フォーク状部材41
は、押しつけ部材28の細い部分をゆったりと取り囲ん
でいてピン34によって貫通されている。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明による位置決め装置の部分的な平面図、
第2図は第1図による位置決め装置における、印刷版を
横方向で位置決めするだめの機構の部分的な横断面図、
第3図は印刷版を長手方向で位置決めするための機構の
部分的な横断面図、第4図は第3図によるすべり部材と
ねじりばねとを拡大した斜視図である。 l・・・印刷版、2・・・露光テーブル、3・・・スト
ン・ξ、4,4′・・・ストン・ξビン、5・・・すべ
り部材、6.7・・・ピン、8・・・スロット、9・・
・圧縮ばね、IO・・・押しつけ部材、11・・・マイ
クロスイッチ、12・・・セツティングレール、13・
・・電磁弁、l牛・・吸音装置、15・・・リフティン
グシリンダ、16・・・取りつけプレート、17・・・
保持装置、18・・・圧縮空気、19・・・ピスト・、
ンロッド、20・・・リング、21・・・電磁弁、22
・・圧縮空気、23・・・リフティングシリンダ、24
・・・支持部材、25・・・ピストンロッド、26・・
・ストツノクプレート、27・・・ねじりばね、27/
 、 27// 、 27///・・・脚、28・・・
押しっけ部材、29・・・圧縮ばね、3o・・・ビン、
31・・・スロット、32・・・空気圧縮装置、33・
・・ガイドスロット、34・・・ビン、35・・・脚、
36・・・電磁弁、37・・・真空吸込ヘッド、38・
・・吸音装置、39・・・溝、4o・・・脚部、41・
・・フォーク状部材 Fig、 1 Fig、2

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 ローラ搬送装置によって露光テーブルに搬送され
    た印刷版を露光及び現像装置内で位置決めするための装
    置であって、各印刷版を位置決めするだめの複数の機構
    より成っている形式のものにおいて、印刷版(1)を横
    方向で位置決めするだめの機構が、空圧式に操作される
    押しつけ部材(10)と、該押しっけ部材(lO)とは
    反対側で露光テーブル(2)上に調節可能に配置された
    ストツノξビン(4,4’)とから成っており、印刷版
    (1)を長手方向で位置決めするだめの機構が、空圧式
    に操作されるすべり部材(5)と、印刷版(1)の前縁
    部のためのストン・ξ(3)とから成っており、印刷版
    (1)の位置決め作業が前記2つの機構によって同時に
    始められるように構成されていることを特徴とする、位
    置決め装置。 2、 前記押しつけ部材(10)が、中空な円筒形のビ
    ン(6)とリング(20)とから成っていて、リフティ
    ングシリンダ(15)のピストンロッド(19)に支持
    されている、特許請求の範囲第1項記載の位置決め装置
    。 3、 前記リフティングシリンダ(15)が取シつけプ
    レート(16)に固定された保持装置(17)内に調節
    可能に配置されている、特許請求の範囲第2項記載の位
    置決め装置。 4、押しつけ部材(10)が、中空なビン(6)に設け
    られたスロット(8)内でガイドされかつピストンロッ
    ド(19)を貫通するビン(7)によってピストンロッ
    ド(19)に固定されている、特許請求の範囲第2項記
    載の位置決め装置。 5、圧縮ばね(9)が中空なビン(6)の内部に設けら
    れており、ピストンロッド(19)が非作業位置にある
    時にこの圧縮ばね(9)によって押しつけ部材(10)
    がビン(7)に当接している、特許請求の範囲第2項記
    載の位置決め装置。 6 前記リフティングシリンダ(15)が電磁弁(13
    )を介して圧力通路に接続されていて、この電磁弁(1
    3)が励磁された時に前記圧力通路を通じて圧縮空気(
    18)が前記リフティングシリンダ(15)に供給され
    るようになっており、該圧縮空気(18)によってピス
    トンロッド(19)が印刷版(1)の方向に押し出され
    るように構成されている、特許請求の範囲第3項記載の
    位置決め装置。 7、 電磁弁(13)がスロットル型の吸音装置(14
    )に接続されており、電磁弁(13)へのエネルギ供給
    がしゃ断された時に前記吸音装置(14)を介して圧縮
    空気−(18)が調節可能に戻し案内されるようになっ
    ている、特許請求の範囲第6項記載の位置決め装置。 8、取りつけプレー)(16)が調節可能なセツティン
    グレール(12)を有しており、該セツティングレール
    (12)にマイクロスイッチ(11)が設けられていて
    、このマイクロスイッチ(11)の脚(35)が押しつ
    け部材(10)のリング(20)の運動路に突入してい
    る、特許請求の範囲第3項記載の位置決め装置。 9、前記マイクロスイッチ(11)によって電磁弁(3
    6)が励磁され、該電磁弁(36)によって、印刷版(
    1)を吸い寄せるための圧縮空気が、吸込み式の露光テ
    ーブル(2)に接続された真空吸込みヘッド(37)に
    供給されるように構成されている、特許請求の範囲第8
    項記載の位置決め装置。 10、すべり部材(5)が、吸込み式の露光テーブル(
    2)のガイドスロット(33)内でガイドされていて、
    押しつけ部材(28)に設けられたビン(34)を中心
    にして旋回可能に構成されている、特許請求の範囲第1
    項記載の位置決め装置。 11、吸込み式の露光テーブル(2)の下部側に支持部
    材(24)が設けられており、該支持部材(24)内に
    リフティングシリンダ(23)が移動可能に配置されて
    いて、該リフティングシリンダ(23)のピストンロッ
    ド(25)に押しつけ部材(28)が設けられており、
    該押しつけ部材(28)の内部に圧縮ばね(29)が配
    置されている、特許請求の範囲第10項記載の位置決め
    装置。 12、  ピストンロッド(25)が、押しつケ部材(
    28)のスロット(31)内でガイドされたビン(30
    )を備えていて、前記ピストンロッ・I’(25)の前
    端部が圧縮ばね(29)に当接している、特許請求の範
    囲第11項記載の位置決め装置。 13、  リフティングシリンダ(23)が電磁弁(2
    1)に接続されていて、該電磁弁(21)の空気入口ラ
    イン又は空気出口ラインにピストンロッドのスピードを
    制御する空気圧縮装置(32)が設けられている、特許
    請求の範囲第11項記載の位置決め装置。 14、  スロットル型の吸音装置(14)が電磁弁(
    21)に接続されていて、この電磁弁(21)へのエネ
    ルギ供給がしゃ断された時に、圧縮空気(22)が前記
    吸音装置(14)を介して制御可能に戻し案内されるよ
    うになっている、特許請求の範囲第13項記載の位置決
    め装置。 15、吸込式の露光テーブル(2)の下部側に、この露
    光テーブル(2)のガイドスロット(33)内に突入す
    るストツ/eプレート(26)が設けられている、特許
    請求の範囲第13項記載の位置決め装置。 16、  ストツハソレー)(26)が、ピストンロツ
    F’(25)が引き込み案内された時にすべり部材(5
    )がストツノにプレー)(,26)によってビン(34
    )を中心にして下方へ傾斜旋回tせられるような、アン
    グル形状を有している、特許請求の範囲第15項記載の
    位置決め装置。 17、すべり部材(5)が、下方へ旋回させられた時に
    吸込式の露光テーブル(2)の下側表面から約IWM乃
    至2闇の間隔を保つような傾斜した先端面を有している
    、特許請求の範囲第16項記載の位置決め装置。 18  ねじりばね(27)が押しつけ部材(28)に
    配置されていて、すべり部材(5)がストン・ξシレー
    )(26)から離れると直ちに直立するようにこのすべ
    り部材(5)に係合している。特許請求の範囲第16項
    記載の位置決め装置。 19、ねじりばね(27)が3つの脚(27’ 、 2
    7“、27“′)より構成されておシ、該3つの脚のう
    ちの1つの脚(27’)が押しつけ部材(28)の上部
    側に設けられた溝(39)に係合していて、残りの2つ
    の脚(27” 、 27” ’)がフォーク状部材(4
    1)の脚部(40)を取り囲んで該脚部(40)の端部
    付近に設けられた溝に係合している、特許請求の範囲第
    18項記載の位置決め装置°。
JP58094217A 1982-06-03 1983-05-30 位置決め装置 Granted JPS58219555A (ja)

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EP0096294A3 (en) 1986-01-22
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