JPS59129934A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPS59129934A JPS59129934A JP58003815A JP381583A JPS59129934A JP S59129934 A JPS59129934 A JP S59129934A JP 58003815 A JP58003815 A JP 58003815A JP 381583 A JP381583 A JP 381583A JP S59129934 A JPS59129934 A JP S59129934A
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- Japan
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- film
- axis
- recording medium
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- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 claims description 11
- WAIPAZQMEIHHTJ-UHFFFAOYSA-N [Cr].[Co] Chemical compound [Cr].[Co] WAIPAZQMEIHHTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 9
- 239000008188 pellet Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ULORNNZYVOQJFU-UHFFFAOYSA-N [C].[Cr].[Co] Chemical compound [C].[Cr].[Co] ULORNNZYVOQJFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910020676 Co—N Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- KFDQGLPGKXUTMZ-UHFFFAOYSA-N [Mn].[Co].[Ni] Chemical compound [Mn].[Co].[Ni] KFDQGLPGKXUTMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- FXNGWBDIVIGISM-UHFFFAOYSA-N methylidynechromium Chemical compound [Cr]#[C] FXNGWBDIVIGISM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N oxobarium;oxo(oxoferriooxy)iron Chemical compound [Ba]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/657—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing inorganic, non-oxide compound of Si, N, P, B, H or C, e.g. in metal alloy or compound
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はコバルト・クロム系垂直磁気記録媒体に関する
ものである。
ものである。
磁気記録媒体に高記録密度（短波長）の信号を記録する
場合、記録媒体の面内方向の磁化によって記録を行なう
方法よシも、記録媒体の厚さ方向、すなわち垂直磁化に
よって記録を行なう方法の方が有利であることが知られ
ている。
場合、記録媒体の面内方向の磁化によって記録を行なう
方法よシも、記録媒体の厚さ方向、すなわち垂直磁化に
よって記録を行なう方法の方が有利であることが知られ
ている。
この垂直磁気記録に用いる記録媒体としては、膜面に垂
直な方向に残留磁化を有する垂直磁化膜を必要とし、コ
バルト・クロム（ｃｏ−Ｃｒ）膜、バリウムフェライト
塗膜、コバルト・ニッケル・マンガン・リン（Ｃｏ−Ｎ
ｉ−Ｍｎ Ｐ ）膜などが知られている。なかでも、コ
バルト・クロム（Ｃｏ−Ｃｒ ）膜は、六方晶の結晶構
造を有し、そのＣ軸が膜面に垂直に配向した垂直磁化膜
が、スパッタリングや蒸着によって容易に作成できるこ
とから注目されている。この膜では大きい結晶異方性エ
ネルギーをもつコバルト（Ｃｏ）の大方晶形の結晶構造
を基本とし、非磁性のクロム（Ｃｒ）を１０〜３０ａｔ
％添加することによって飽和磁化Ｍｓを低下させ、垂直
磁化膜を実現している。
直な方向に残留磁化を有する垂直磁化膜を必要とし、コ
バルト・クロム（ｃｏ−Ｃｒ）膜、バリウムフェライト
塗膜、コバルト・ニッケル・マンガン・リン（Ｃｏ−Ｎ
ｉ−Ｍｎ Ｐ ）膜などが知られている。なかでも、コ
バルト・クロム（Ｃｏ−Ｃｒ ）膜は、六方晶の結晶構
造を有し、そのＣ軸が膜面に垂直に配向した垂直磁化膜
が、スパッタリングや蒸着によって容易に作成できるこ
とから注目されている。この膜では大きい結晶異方性エ
ネルギーをもつコバルト（Ｃｏ）の大方晶形の結晶構造
を基本とし、非磁性のクロム（Ｃｒ）を１０〜３０ａｔ
％添加することによって飽和磁化Ｍｓを低下させ、垂直
磁化膜を実現している。
垂直磁化膜としては、コバルト・クロム（Ｃｏ−Ｃｒ）
六方晶のＣ軸が膜面に垂直な方向に揃っているほどすぐ
れておシ、それは、０面のＸ線回折強度が強く、ロッキ
ング・カーブの分散角Δθ刀が小さい、ことにおいて判
定できる。
六方晶のＣ軸が膜面に垂直な方向に揃っているほどすぐ
れておシ、それは、０面のＸ線回折強度が強く、ロッキ
ング・カーブの分散角Δθ刀が小さい、ことにおいて判
定できる。
理想的な垂直磁化膜では△０ｓｏ−０，’のはずである
が、現実にはＣ軸が垂直方向からずれるため、△θ９は
、ある大きさく例えば７〜１ｏ０）をもつものが一般で
ある。
が、現実にはＣ軸が垂直方向からずれるため、△θ９は
、ある大きさく例えば７〜１ｏ０）をもつものが一般で
ある。
これ壕での検討により、Ｃ軸の配向性がすぐれているほ
ど、記録密度特性も向上することが明らかになってお如
、よシ配向性の良いコバルト・クロム（Ｃｏ −Ｃｒ）
ｔは磁化膜が求められている。
ど、記録密度特性も向上することが明らかになってお如
、よシ配向性の良いコバルト・クロム（Ｃｏ −Ｃｒ）
ｔは磁化膜が求められている。
本発明の目的はＣ軸の配向性を、さらに高めたコバルト
・クロム垂直磁化膜を提供することにある。
・クロム垂直磁化膜を提供することにある。
本発明の垂直磁気記録媒体は、コバルト・クロム垂直磁
気記録媒体において、第３の構成元素として、カーボン
を含有していることを特徴とする。
気記録媒体において、第３の構成元素として、カーボン
を含有していることを特徴とする。
次に、本発明の実施例について説明する。
スパッタ装置内に配置する４インチのコバルト（Ｃｏ）
ターゲット上に５ ｍｔｎ角・厚さｌ ｍｍのクロム（
Ｃｒ）ベレットを面積比で１７外、置き、さらに直径５
ｍｍ ・厚さｌ ｍｍのカーボン（Ｃ）ベレットを
面積比で６係置いた。そして、このターゲットを下記条
件でスパッタリングして、ガラス基板上に力！ボンを含
有するコバルト・クロム・カーボン（Ｃｏ Ｃｒ −Ｃ
） ＩＪＲを０．５〜ｌｐｍ厚で形成した。
ターゲット上に５ ｍｔｎ角・厚さｌ ｍｍのクロム（
Ｃｒ）ベレットを面積比で１７外、置き、さらに直径５
ｍｍ ・厚さｌ ｍｍのカーボン（Ｃ）ベレットを
面積比で６係置いた。そして、このターゲットを下記条
件でスパッタリングして、ガラス基板上に力！ボンを含
有するコバルト・クロム・カーボン（Ｃｏ Ｃｒ −Ｃ
） ＩＪＲを０．５〜ｌｐｍ厚で形成した。
スパッタパワ ３００Ｗ
アルゴンガス圧 ２Ｘ１０−２Ｔｏｒｒ基板温度
５０°に の試料のカーボン含有量は０．５〜０６俤の範囲であっ
た。以上の条件で得られたコバルト・クロム・カーボン
（ＣｏＣｒＣ）膜の磁気特性を図に示す。図において、
１．２はそれぞれ膜面に垂直方向及び面内方向に磁界を
印加した場合のヒステリシス曲線である。また、Ｘ線回
折によ多結晶性を調べた結果、得られたコバルト・クロ
ム・カーボン（Ｃｏ−Ｃｒ −Ｃ） ｇは稠密六方晶構
造を有し、そのＣ軸は膜面に垂直方向に配向していた。
５０°に の試料のカーボン含有量は０．５〜０６俤の範囲であっ
た。以上の条件で得られたコバルト・クロム・カーボン
（ＣｏＣｒＣ）膜の磁気特性を図に示す。図において、
１．２はそれぞれ膜面に垂直方向及び面内方向に磁界を
印加した場合のヒステリシス曲線である。また、Ｘ線回
折によ多結晶性を調べた結果、得られたコバルト・クロ
ム・カーボン（Ｃｏ−Ｃｒ −Ｃ） ｇは稠密六方晶構
造を有し、そのＣ軸は膜面に垂直方向に配向していた。
この配向の程度をクロム（Ｃｒ）を、同じ量だけ含有す
るがカーボン（Ｃ）を含有しない従来のコバルト・クロ
ム（Ｃｏ、−Ｃｒ ）膜と比較した結果を、表に示す。
るがカーボン（Ｃ）を含有しない従来のコバルト・クロ
ム（Ｃｏ、−Ｃｒ ）膜と比較した結果を、表に示す。
カーボン（Ｃ）を添加することによシ、Ｘ線によるＣ軸
の回折強度は１．５〜２倍になシ、しかも、このＣ軸の
配向性を示すＸ線によるロッキングカーブの分散角△輸
は、７°から５°へと小さくなっており、Ｃ軸の配向性
が向上している。これと同様の傾向が、ポリイミド基板
を用いた時にも見られた。
の回折強度は１．５〜２倍になシ、しかも、このＣ軸の
配向性を示すＸ線によるロッキングカーブの分散角△輸
は、７°から５°へと小さくなっており、Ｃ軸の配向性
が向上している。これと同様の傾向が、ポリイミド基板
を用いた時にも見られた。
以上述べた様に、本発明に係るコノ（ルト・クロム・カ
ーボン（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｃ）膜は、従来のコノくルト・ク
ロム（Ｃｏ−Ｃｒ）膜よシも磁化容易軸であるＣ軸の配
向性が良いので、高密度記録用垂直磁気記録媒体として
適している。なおコノ（ルト・クロム・カーボン膜にお
けるカーボン量は膜の種々の磁的特性や記録媒体として
必要な特性を劣化させない範囲に限定されることは当然
である。
ーボン（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｃ）膜は、従来のコノくルト・ク
ロム（Ｃｏ−Ｃｒ）膜よシも磁化容易軸であるＣ軸の配
向性が良いので、高密度記録用垂直磁気記録媒体として
適している。なおコノ（ルト・クロム・カーボン膜にお
けるカーボン量は膜の種々の磁的特性や記録媒体として
必要な特性を劣化させない範囲に限定されることは当然
である。
図は、本発明に係るコノくルト・クロム・カーボン（Ｃ
ｏ −Ｃｒ −Ｃ）膜のヒステリシス特性図。 代理人ブ［理士 内 原 晋
ｏ −Ｃｒ −Ｃ）膜のヒステリシス特性図。 代理人ブ［理士 内 原 晋
Claims (2)
- （１） カーボンを含有していることを特徴とするコ
バルト・クロム系垂直磁気記録媒体。 - （２） カーボンの量が０．５％以上であ°る特許請
求の範囲第１項記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58003815A JPS59129934A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58003815A JPS59129934A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59129934A true JPS59129934A (ja) | 1984-07-26 |
| JPH039532B2 JPH039532B2 (ja) | 1991-02-08 |
Family
ID=11567679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58003815A Granted JPS59129934A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59129934A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7323259B2 (en) * | 2002-03-29 | 2008-01-29 | Seagate Technology Llc | Multilayer perpendicular media with high-boron or high-carbon additives to CoCr films |
-
1983
- 1983-01-13 JP JP58003815A patent/JPS59129934A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7323259B2 (en) * | 2002-03-29 | 2008-01-29 | Seagate Technology Llc | Multilayer perpendicular media with high-boron or high-carbon additives to CoCr films |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH039532B2 (ja) | 1991-02-08 |
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