JPS60204846A - 恒電気抵抗合金およびその製造法ならびにその合金を使用したセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は恒電気抵抗合金およびその製造法、さらには該
合金素材を使用したセンサに関するものである。

近年工場や各種現場ではロボットや自動化技術が盛んに
採用されて危険な作業や生産性の向上に貢献している。

これら技術システムの性能はマイク四プロセッサーのイ
ンターフェースへの計測テータを検知するセンサの性能
によって優劣が決まるといってよい。しかしセンサを取
扱う作業現場は良好な場所が少なく、むしろ非常に苛酷
な条件や危険性を伴う場合が普通であった。特に製鉄業
、化学工業、原子力関連産業や宇宙関連産業等における
湿度、圧力あるいは変位等の各種計測に関しては、耐環
境性をクリアし、長期間使用に対して安定性が良く、保
守性に優れ、しかも安全性も良好な優れたセンサがめら
れるようになってきた。

例えば高歩留まり高品位の鉄鋼を一貫生産できる連続鋳
造プロセスの場合、高炉、タンプッシュや鋳型内の原料
パウダー量や溶鋼の湯面レベル等の計測およびスラブの
厚さ、幅や圧延速度等の計測に使用するセンサは８００
〜１０００℃の高温と蒸気に曝されるため、これら厳し
い環境に耐えなければならないばかりでなく特性が長期
間安定していなければならない。上記の計測は従来ｒ＃
ｉ！やＸＩＩ＋！等の電醸放射珈を用いる方式が多く採
用されてきたが、装置がメ、型となり、人体への危険性
も伴うなどの欠点が多かった。そこで近年小型で取扱い
の容易な渦電流式変位計（以下単にセンサと呼ぶ）の使
用が考えられるようになった。

さてセンサの性能はセンサコイル材によって決まるため
、その電気的特性および安定性は特に重要である。例え
ば上記連続鋳造プロセスの場合、８００〜１０００°Ｃ
の高温で数ケ月乃至数年間連続して稼動するため、セン
サコイル材に要求される条件は、電気抵抗の温度係数が
±１００　ｐｐｍ／’Ｃ以下で長期間変化せず、さらに
は耐食性、耐酸化性および加工成形性が良好で、しかも
断線に関係深い耐熱応力破壊性に優れていることも重要
である。センサの特性は高温領域のみならず常温におけ
る較正計測も必要であるので、電気的特性が常温領域に
おいても高温領域と同様に優れたものでなければならな
い。

現在これらの条件に合致したセンサコイル材は全く皆無
であるため、関連産業界からその開発が強く要望されて
いる。

従来この梱七ンサコイル材としては、本発明者、らが先
に提案したパラジウム−銀系合金（特開昭５５−ＩＪ、
２８８９号）およびパラジウム−鉄系合金（特開昭５８
−１１８８８２号）があるが、以下述べるようにいずれ
の合金系においても一長一短がある。

すなわち前者の合金は高温における耐食性、耐酸化性お
よび加工性が良好で、しかも−５０〜６００°Ｃの広い
温度範囲にわたって電気抵抗の温度係数が＋２０　ｐｐ
ｍ／”Ｃ以下で極めて小さい特長を有する反面、−６０
°Ｃ以下および６００°Ｃ以上の温度では電気抵抗の温
度係数が＋１００　ｐｐｍ／’ｃ以上の非常に大きな値
を示すばかりでなく、この素材を使用したセンサを高温
で長期間連続稼動すると素材の結晶粒が粗大化して特性
の劣化が進行するだけでなく、最急の場合断線によるト
ラブルのため生産管理上大きな障害となることもしばし
ばであった。

また後者の合金の場合では規則−不規則変態点（６００
〜８００℃）以上融点（約１４００℃）近くまでの広い
温度範囲における電気抵抗の温度係数は＋１００　ｐｐ
ｍ／’Ｃ以下で小さく、しかも高温で長期間連続使用し
ても特性は極めて安定しているなどの特長がある反面、
規則−不規則変動点以下の温度では電気抵抗の変化が大
きく不安定であるばかりでなく、高温における耐酸化性
が着しく劣り、加工性も悪いためにその製造上および使
用上においては高度の工夫が必要であるなど多くの欠点
と制約があった。

そこで本発明者らはかかる開運産業の緊急の要請に応え
るべく重速上記のパラジウム−銀系合金およびパラジウ
ム−鉄系合金について比較検討した結果、量産における
製造上の取扱いが容易で、かつ加工性や成形性に優れた
パラジウム−銀糸合金の改良を試みた。

すなわち本発明者らはパラジウム−銀糸合金Ｃ恒電気抵
抗特性は伝導電子の格子振動による散乱と結晶の短範囲
規則性とがバランスした状態では電子の散乱が一定とな
り電気抵抗の変化を少なくするが、−６０℃以下および
６００℃以上ではこｈｃ、、画因子のバランスが崩れる
ため電子の散乱が、多くなり恒電気抵抗特性を失うもの
と考えた。因みに第１図にはパラジウム−銀系合金にお
けるＡｇ量に対する電気抵抗の平均の温度係数を示す。

ここで曲ＩＩ　、Ｉおよび層はそれぞれ０〜４００°Ｃ
１−１５０〜１０００℃および一２００〜１２００°Ｃ
の温度間における電気抵抗の平均の温度係数である。

第１図において、電気抵抗の平均の温度係数が＋１００
　ｐｐｍ　／”Ｃ以下は、曲ＩＩＩの０点（Ａｇ２Ｓ、
２％）〜ｄ点（Ａ、　４６．７％）間および曲ａ＋ｔｎ
のａ点（１９８６，０％）〜ｂ点（Ａ、　４５．５％）
間の組成範囲で、得られるが、曲線璽では全組成にわた
って＋　１００　ｐｐｍ／”（以上で極めて大きい。以
上の説明から、−１５０〜１０００°Ｃの広い温度範囲
における電気抵抗の平均の温度係数が＋１００　ｐｐｍ
７℃以下を示す組成範囲は曲線工および曲１ＩＩｉ１１
においてＣ点〜ａ点問およびｂ点〜ｄ点間の組成を除い
たｆＬ９８６．０　（ａ点）　〜４５．５　（ｂ点）％
間に限定される。

またセンサコイルの断線現象は、加工した材料を長期間
連続加熱することによって再結晶化し１、さらに加熱時
間の増」とともに結晶粒が粗大成長化して、加熱および
冷却の繰り返しによる膨張や収縮等の外的要因が加わっ
て熱応力破壊が発生し、遂には断線するものと予想した
。すなわちセンサの高温安定性に密接に関連のある耐熱
応力破壊性を改善するための解決策としては、まず再結
晶温度を高めて結晶成長を抑止し、結晶粒径を出来るだ
け小さくすればよい。ついでセンサの使用温度および耐
用時間の上限を低く設定することも重要である。前者に
ついては合金の結晶微細化を図るため多元素添加が考え
られる。また後者については合金およびセンサの製造法
に深く関与しており恒電気抵抗特性と相まって最適な加
工法および熱処理法を採用する必要がある。ここで耐熱
応力破壊性の評価法としては、合金の再結晶温度、平均
の結晶粒径ならびに合金素材をセンサコイルに成形加工
後、そのインピーダンスの安定性から判定できる。すな
わち再結晶温度が高く、平均の結晶粒径が小さく、シか
もインピーダンスの経時変化が少ないほど、センサの高
温安定性および耐熱応力破壊性が優れているといえる。

本発明者らは上記の諸問題点を解決して高温でも安定な
恒電気抵抗合金を得るために上述した事実に基づき多く
の実験を行った結果、パラジウム８６、θ〜４６．５％
銀合金に周期率表のＩａ族〜ｖｂ族元素の添加が高温に
おける電気抵抗の平均の温度係数および耐熱応力破壊性
の改善に極めて有効かつ効果的であることを突きとめた
。

本発明の目的は上述した不具合を解消して、−１６０〜
１０００°Ｃの広Ｉ／２温度範囲において電気却抗の変
化が極めて少なく、耐熱応力破壊性に優れかつ加工成形
が容易な恒電気抵抗合金および恒屯気抵抗特性を具備し
たセンサを提供しようとするものである。

すなわち本発明は、イリジウム（Ｉｒ）　１０％以下、
白金（Ｐｔ）　１０％以下、銅（Ｏｕ）　１０％以下お
よび金（Ａｕ）　２０％以下の１椙あるいは２種以上の
合計０．１〜２０％と銀（Ａｇ）　８６．０〜４６．５
％および残部パラジウム（Ｐｄ）と少量の不純物とから
なる合金を鋳造、鋳辺み後、鍛造、熱間加工およ、び冷
間加工により線材あるいは板材等の所望の形状となし、
非酸化ｇｍ気中または真空中において２００〜１２００
℃で２秒以上１００時間以下加熱する製造法により、−
１５０〜１０００°Ｃの広い温度範囲における電気抵抗
の平均温度係数が±１１００ｐｐ／”Ｃ以下の優れた恒
亀気抵抗特性を有し、耐熱応力破壊性に優れ、かつ耐酸
化性および加工成形性も良好な恒電気抵抗合金を得るこ
とを特徴とするものである。

また本発明合金からなる線材または板材等をスパイラル
またはトロイダル等の所望の形状に成形加工した後、必
要ならばくせ材処理し、これらをそのままで常温用また
は耐熱用絶縁体に固定するかあるいは絶縁体中に埋め込
む等の方法によってセンサとなし、必要ならばさらに非
酸化性雰囲気中または真空中において５１００〜５００
°Ｃで数時間加熱して固形化した後５００〜１１００”
Ｃで２秒以上１００時間以下加熱することにより恒電気
抵抗特性を具備せしめる方法、あるいは本発明合金から
なる線材または板材表面に常温用または耐熱用絶縁体を
塗布、電着等によりコーテング処理後、スパイラルまた
はトロイダル等の所望の形状に成形加工した後、これら
をそのままで常温用または耐熱用絶縁体に固定するかあ
るいは絶縁体中に埋め込む等の方法によってセンサとな
し、必要ならばさらに非酸化性雰囲気中または真空中に
おいて２００〜５００℃で数時間加熱して固形化した後
５００〜１２００℃で２秒以上１００時間以下加熱する
ことにより恒電気抵抗特性を具備せしめる方法、またあ
るいは本発明合金を常温用または耐熱用絶縁体表面に１
ｕ着またはスパッタリング等の適当な方法により薄膜と
して被着した後、所望の形状にエツチング打抜きまたは
トリミング加工を施し為絶縁体に固定するかあるいは絶
縁性ケース内に装填してセンサとなし、必要ならばさら
にこれを非酸化性雰囲気中または真空中において２００
〜５００°Ｃで数時間加熱して固形化した後６００〜１
２００°Ｃで２秒以上１００時間以下加熱することによ
り恒電気抵抗特性を具備せしめる方法によリセンサを作
製することを特徴とするものである。

以上の説明中、恒電気抵抗特性の珀翰について説明する
と、通常の金属合金の電気抵抗が温度変化と共に大きく
変化するのに対して本発明合金のように特定の温度領域
では電気抵抗の変化が極めて少ないか若しくは零、換言
すれば電気抵抗の温度係数が極めて小さいか若しくは零
である性質について名づけだものである。−例として従
来精密抵抗材料として多用されているマンガニン等が常
温付近に限って恒電気抵抗特性を有している。

以下、本発明を図面を参照して詳細に説明する。

第２図、第３図、第４図および第５図はそれぞれパラジ
ウム−銀系合金の一１５０〜１０００℃間における電気
抵抗の平均の温度係数におよぼすそれぞれＩｒ　、　Ｐ
ｔ　、　ＧｕおよびＡｕ添加量の効果を示す。

また第６図にはｐｄ　−４０％Ａｇ合金に工ｒ　、　Ｐ
ｔ　、　Ｏｕ又はＡｕを添加した合金の−１６０〜１０
００”０間における電気抵抗の平均の温度係数と工ｒ　
、　Ｐｔ　、　Ｏｕ又はＡｕ添加量との関係を示す。こ
れら第２図乃至第６図からも明らかなように、−１５０
〜１０００°Ｃ間における電気抵抗の平均の温度係数が
±１００、ｐｐｍ／”（：以下を有するＩｒ　、　Ｐｔ
　、　ＯｕあるいはＡｕの添加量はそれぞれ１０％以下
、１０％以下、１０％以下あるいは２０％以下であるこ
とがわかる。

つぎに本発明合金およびセンサの製造法について詳細に
説明する。

まず本発明合金を造るにはＩｒ　１０％以下、Ｐｔ１０
％以下、０ｕｌＯ％以下およびＡｕ　２０％以下の１種
あるいは２１１以上の合計０．１〜２０％と、Ａ９３８
〜４５．５％および残部Ｐｄと少量の不純物の遺址を非
酸化性雰囲気中または真空中において適当な溶解炉を用
いて溶解し、充分攪拌して組織的に均一な溶融合金を得
る。つぎに溶融合金を適当な形および大きさの鉄型に鋳
込み健全な鋳塊を得た後、鋳塊表面のスケール、疵類等
を研削して取り除き、さらに鍛造工程を経て種々の熱間
加工および冷間加工、例えばスェージング、伸線、圧延
または潰し等の方法によって所望の形状のもの、例えば
九俸、細線または薄板にする。つぎにこれらの形状のも
のを非酸化性雰囲気中または真空中において２００〜１
２００”Ｃで２秒以上１００時間、以下加熱することに
より電気抵抗の温度係数が一１５０〜１０００℃の温度
範囲において±１００１）ｐＨｌ／”Ｃ以下の恒電気抵
抗特性および優れた耐熱応力破壊性を有することが可能
となる。

また本発明合金を発熱素子やセンサ等に応用する場合に
は通常コイル状に成形加工して使用するため、以下に説
明するいずれかの方法によって本発明合金の恒電気抵抗
特性を十分に発揮し得る電気的および熱的絶縁処理を施
こさねばならな鱒。

（１）本発明合金の線材または板材等をマイカ等の常温
用絶縁体またはセラミック等の耐熱用絶縁体に直接巻き
つけるかあるいは絶縁体で挾むなどの方法により固定し
た後、必要ならば非酸化性雰囲気中または真空中におい
て絶縁体中の有害ガスや有機物を蒸発せしめるため２０
０〜６００”Ｃで数時間加熱後さらに５００〜１２００
”Ｃで２秒以上１００時間以下加熱する。

（２ン　本発明合金の線材あるいは板材等をスパイラル
またはトロイダル等の形状に成形加工したものを非酸化
性雰囲気中または真空中において５００〜１２００°Ｃ
で２秒以上１００時間以下加熱してくせ付処理後そのま
まの状態で水ガラス等の常温用絶縁体またはセラミック
ペースト等の耐熱用絶縁体からなる溶液中に浸漬し２０
０〜６００℃で数時間加熱して固形化した後絶縁ケース
内に装填して密閉し、必要ならばさらに非酸化性雰囲気
中または真空中において５００〜１２００℃で２秒以上
１００時間以下加熱する。

（８）　本発明合金の機材または板材等表面にホルマー
ル等の常温用絶縁体を塗布またはコーテングするか、あ
るいはぎリイミド樹脂やマグネシャ等の耐熱用絶縁体を
電着またはスパッタリング等の適当な方法により被鶏し
た後、スパイラルまたはトロイダル等の形状に巻線成形
加工し２００〜５００℃で数時間加熱して有害ガスや有
機物等を蒸発揮散させ、絶縁ケース内に装填して密閉し
、必要ならばさらに非酸化性雰囲気中または真空中にお
いて５００〜１２ｏＯ°Ｃで２秒以上１００時間以下加
熱する〇 （４）本発明合金をガラスやセラミック等の絶縁体表面
に電着またはスパッタリング等の適当な方法により被着
した後、所望の形状にエツチング打抜きまたはトリミン
グ加工を施し、必要ならば絶縁体に固定するかあるいは
絶縁性ケース内に装填する。その後２００〜５００°Ｃ
で数時間加熱して均質化処理を行い、必要ならばさらに
非酸化性雰囲気中または真空中において５００〜１２０
０°Ｃで２秒以上１００時間加熱する。

以上のような工程により完成した成品の特性は本発明合
金のそれと全く同じであって、恒電気抵抗特性や耐熱応
力破壊性を十分に発揮し得ることが明らかになった。

つぎに本発明合金およびセンサの製造法について、実施
例によって具体的に述べる。

実施例　１ 合金番号ＰＡＭ−１（組成Ｐｄ−５６，６％、Ａリ−４
２，０％。

Ｉｒ−２，５％） 合金およびセンサの製造 原料としては純度９９．９％のＰｄ　ｒ　ＡｇおよびＩ
ｒを用いた。試料を造るには全ｍｆｔ１ｏｏＶの原料、
を高純度アルミナ坩堝に入れ、アルゴンガスを吹きつけ
ながら高周波誘導電気炉によって溶解し、よく攪拌して
均質な溶融合金とした後、内径７關、高さ１８０ｍ１の
鉄型に鋳込み、鋳塊表面の疵を取り除いた。その後鍛造
および熱間ロールにより直１１０１１１１にし、スェー
ジングおよび糊引等の令聞加工により直径０．５　ｍの
細線にしたものから長さ約１０ｃ＋ｉに切り取り電気抵
抗測定用試料とした。

電気抵抗は真空中−１６０〜１１００℃の温度範囲で測
定した。また上記線材（０，５１１１１φ）にマグネシ
アのコルイド溶液を塗布し乾燥後軸径ｇｗのセラミック
製ボビンに２０〜５０回巻きつけてセンサコイルを造り
、これをセラミック製ケース内に装填後セラミックペー
ストで密閉した。さらに２００′Ｃで１時間、４００°
Ｃで８０分ついで１０００°Ｃで８０分加熱焼成した。

ついでこのセンサのインピーダンス変化率 、をブリッジ回路法により測定した。測定周波数は１　
ｋＨｚであった。ここでη。およびηＴはそれぞれ測定
開始時および時間Ｔ後におけるセンサコイルのインピー
ダンスである。

尚線材試料と比較合金ＰＡ−４（組成Ｐｄ−５８％。

Ａ、　−４２％）の温度対電気抵抗曲線を第７図に示す
。またこの曲線からめた電気抵抗の平均の１　ΔＲ 温度係数−・−および本発明合金ＰＡＷ　−１の線ＲΔ
Ｔ 材を使用したセンサを８００°Ｃ以上の高温で長期間連
続使用した場合のセンサの性能、インピーダンスの変化
率は第１表に示すとおりである。因みに本発明合金ＰＡ
Ｍ−１と同様な方法で作製した比１合金ＰＡ−４のセン
サフィルは、８００℃で５日後に断線したが、本発明合
金ＰＡＭ　−１のセンサコイルは１０００’Ｃで１ケ月
以上経過後も正常に作動し断線しなかった。

第　１　表 実施例　２ 合金番号Ｐムト１９（組成Ｐ（１−５５，２１％、ム９
−４１．８％。

Ｐｔ　−８，５％） 合金およびセンサの製造 原料は実施例１と同じ純度のＰＣｌ　、ムりおよびＰｔ
を用いた。試料の製造法および実験法は実施例１と全く
同様である。合金試料とセンサの電気的特性ならびにセ
ンサの性能については第８図および第２表に示すとおり
で、実施例１の結果と類似している。

第　２　表 実施例　８ 合金番号ＰλＭ−２５（１Ｍ成ｐｄ−ｓ４．ｓ％、Ａク
ー４０．５％。

Ｏｕ　−５，０％） 合金およびセンナの製造 原料は実施例１と同じ純度のｐａ　ｓ　ＡｇおよびＯＵ
を用いた。試料の製造法および実験法は実施例１と全く
同様である。合金試料とセンサの電気的特性ならびにセ
ンサの性能については第９図およびＪｌａ表に示すとお
りで、実施例１の結果と類似している。

第　８　表 実施例　番 合金番号ＰＡＮ−８８（組成Ｐｄ−４９，ａ％、　Ａｇ
−８８，１％。

ムｕ　−１ｇ、ｏ％） 合金およびセンサの製造 原料は実施例１と同じ純度のＰｄ、ムりおよびムＵを用
いた。試料の製造法および実験法は実施例１と全゛く同
様である。合金試料とセンサの電気的時。

鉄ならびにセンサの性能については第１０図おＪび第４
表に示すとおりで、実施例１の結果と類似している。

第　４　表 上述の実施例の他に多くの合金についても実験を行った
が、第す表には代表的な合金試料の電気的特性、再結晶
温度、平均の結晶粒径ならびに本発明合金線材を用−た
センサについて８００℃で１０日間加熱保持した場合の
インピーダンス変化率を示す。

、以上実施例１〜実施例１および第５表かられかるよう
に、工ｒ　、　ｐｔ　、　ａｕおよびＡｕの１種あるい
は２種以上の合計０．１〜２０％と、１９８６．０〜４
５．５％および残部Ｐｄと少量の不純物からなる合金は
、−１５０〜１０００°Ｃの広い温度範囲において±１
００　ｐｐＶ’Ｃ以下の恒電気抵抗特性および俊才た耐
熱応力破壊性を有しており、第７図〜第１０図にみるよ
うに電気抵抗の温度に対する変化が高温では著しく改善
されているのが大きな特徴である。

また本発明合金を使用したセンサの性能も第５れの約Ｖ
０゜の±０．０１６％以下で極めて小さく、高温安定性
に優れ、本発明合金の特性を十分に発揮し得ることがわ
かる。

ここで本発明合金の組成において、ＩｒｌＯ％以下、Ｐ
ｔｌＯ％以下、０ｕｌＯ％以下およびＩｕ２０％以下の
１種あるいは２種以上の合計０．１〜２０％と、Ａｇ８
６．０〜４５．５％に限定した理由は、第１図〜第６図
、実施例１〜実施例４および第６表からも明らかなよう
に、−１５０〜１０００°Ｃ間における電気抵抗の平均
の温度係数が±１１００ｐｐ／’Ｃ以下の恒電気抵抗特
性を示し、またセンサの高温におけるインピーダンス変
化率が±０．０１５％以下で長時間にわたって非常に安
定しているが、組成がこの範囲をはずれると電気抵抗の
平均の温度係数が±１ｏ　Ｏｐｐｍ／”Ｃ以上で大きく
なり恒電気抵抗合金あるいは高温における安定性の優れ
たセンサとしては不適当となるからである。

また本発明合金およびセンサの恒電気抵抗特性、、。

を示す温度範囲を一１５０〜１０００°Ｃ間に限定した
理由は、第１図〜第６図、実施例１〜実施例４、第５表
からも明らかなように、上記の温度範囲内における電気
抵抗の平均の温度係数が±１１００ｐｐ／’ｃ以下の恒
電気抵抗特性を示すが、この温度領域からはずれると電
気抵抗の平均の温度係数が±１００　ｐｐｍ／’Ｃ以上
となり本発明合金の要求特性に合致しないばかりでなく
センサの性能を十分に発揮し得ないため、恒電気抵抗合
金あるいは高温における安定性の優れたセンサとしては
不適ぎとなるからである。

さらにまた本発明合金およびセンサの製造法において、
熱処理として２００〜１２００°Ｃで２秒以上１００時
間以下に限定した理由は、この温度範囲内および時間内
では加工による内部歪が十分に取り除かれ、さらに一層
安定した恒電気抵抗特性が得られるが、２００°Ｃ以下
で２秒以下加熱処理した場合には加工による残留応力の
ため恒電気抵抗特性が得られずセンサを高温で使用する
場合非常に不安定となる。また１２００℃以上で１００
時間以上加熱処理した場合には結晶粒の粗大化によって
耐熱応力破壊性が悪化し、しかも含有銀の蒸発によって
恒電気抵抗特性が得られないだけでなく蒸発銀の汚染に
より電気絶縁特性が悪化することもある。したがって上
記の熱処理条件からはずれた場合には、恒電気抵抗特性
あるいは高温における安定性の優れたセンサとしては不
適当となるからである。

要するに本発明合金およびセンサは一１５０〜１０００
°Ｃの温度範囲において電気抵抗の平均のｍ−１度係数
が±１００　ｐｐｍ／”Ｃ以下の恒電気抵抗特性および
耐熱応力破壊性に優れ、しかも高温で長期間使用しても
インピーダンス変化率が±０．０１５％以下で非常に少
なく安定性に優れているなどの特徴を有しており、これ
らの合金およびセンサを利用したデバイス複合体や各種
計測機器の主要な部品、例えば発熱素子、熱線風速計、
抵抗温度計や熱定電流安定器等の基準抵抗体等に応用し
ても本発明合金およびセンサの有する優れた特性を十分
に発揮することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はパラジウム−銀系合金の０〜４００°Ｃ（Ｉ）
、−１５０〜１０００°Ｃ（Ｕ）および−２００〜１２
００’Ｃ（［の温度間における電気抵抗の平均の温度係
数とＡ、量との関係を示す特性図、 第２図、第８図、第４図および第５図はそれぞれ（Ｐｄ
　−Ａ　ｇ）＋　Ｉｒ系、（Ｐｄ−Ａｇ）＋Ｐｔ系、（
Ｐｄ−Ａ９　）　＋　ａｕ系および（Ｐｄ　−Ａｇ　）
　＋　Ａｕ系合金の一１５０〜１０００°Ｃにおける電
気抵抗の平均の温度係数とＡ、量との関係を示す特性図
、 、第６図はＰ（１−４０％Ａｇ合金に工ｒ　、　ｐｔ　
、　ｃｕ又はｌｕを添加した場合の各元素添加量と一１
５０〜１０００℃における電気抵抗の平均の温度係数と
の関係を示す特性図、 第７図〜第１０図は合金番号ＰＡＷ−１、ＰＡＭ−１９
，。 ＰＡＷ　−２５、ＰＡＷ　−８８ならびに比較合金ＰＡ
−４の電気抵抗と測定温度との関係を示す特性図である
。 特許出願人　財団法人電気磁気材料研究所第１図 Ａｑ（′／ａ） 第２図 Ａグ（２） 第３図 Ａ９（％」 第４図 第５図 第６図 Ｓ　Ｉｒ、　Ｐｅ、　Ｃｔｔ　ｚｌ；ｔ　Ａｗ　添刀０
量　（％）遇 く） 第７図 須り定ツＵＡ’ｃ） 第８図 須＋１　ｅ　７１１ｋＪＥ　（’Ｃ） 第９図 ７１１ＩＩ定湿鷹（０ｃ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　１ｉｆｔ比にてイリジウム１０％以下、白金１０％
   以下、銅１０％以下および金２０％以下の１１ｍあるい
   は２種以上の合計０．１〜２０％と、ｍ　８６．０〜４
   ５．５％および残部パラジウムと少量の不純物とからな
   り、−１５０〜１０００°Ｃの温度範囲における電気抵
   抗の平均温度係数が±１００　Ｐｐｍ／’Ｃ以下の恒電
   気抵抗特性および耐熱応力破壊性を有することを特徴と
   する恒電気抵抗合金。 ｚ　瓜鼠比にてイリジウム１０％以下、白金１０１１％
   以下、銅ｌＯ％以下および金２０％以下の１種あるいは
   ２ａ！以上の合計０．１〜２０％と、銀８６．０〜４６
   ．５％および残部パラジウムと少量の不純物とからなる
   合金を、鋳造、鍛造および熱間加工および冷間加工によ
   り線材または板材等の所望の形状となし、非酸化性雰囲
   気中または真空中において２００〜１２００°Ｃで２秒
   以上１００時間以下加熱することを特徴とする恒電気抵
   抗合金の製造法。 ＆　重量比にてイリジウム１０％以下、白金１０％以下
   、銅１０％以下および金２０％以下の１種あるいは２種
   以上の合計０．１〜２０％と、銀８６．０〜４５．５％
   および残部パラジウムと少量の不純物とからなる恒１！
   気抵抗合金の素材を、スパイラルまたはトロイダル等の
   所望の形状となし、これをそのままの状態で常温用また
   は耐熱用絶縁体に固定するか絶縁体中に埋め込むことに
   より絶縁体に取付けて作製することを特徴とする渦電流
   式センサ。 表　前記センサを、非酸化性雰囲気中または真空中にお
   いて２００〜５００℃で数時間加熱して固形化した後さ
   らに５００〜１２００°Ｃで２秒以上１００時間以下加
   熱することを特徴とする特許請求の範囲第８項記載のセ
   ンサ。 五　重量比にてイリジウム１０％以下、白金１゜襲以下
   、銅ｌＯ％以下および金２０％以下の１拙あるいは２ａ
   １以上の合計０．１〜２０％と、銀８０．０〜４５．５
   ％および残部パラジウムと少量の不純物とからなる恒電
   気抵抗合金の素材表面に、常温用または耐熱用絶縁体を
   塗布、電着等によりコーティング処理後、スパイラルま
   たはトロイダル等の所望の形状となし、これをそのまま
   の状態で常温用または耐熱用絶縁体に固定するか絶縁体
   中に埋め込むことにより絶縁体に取付けて作製すること
   を特徴とする渦電流式センサ。 ＆　前記センサを、非酸化性雰囲気中または真空中にお
   いて２００〜５００°Ｃで数時間加熱して固形化した後
   さらに５００〜１２００°Ｃで２秒以上１００時間以下
   加熱することを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の
   センサ。 ？、Ｊｕｔ比にてイリジウム１０％以下、白金１０％以
   下、銅１０％以下および金２０％以下の１ａｆＩあるい
   は２種以上の合計０．１〜２０％と、銀８６．０〜４６
   ．５％および残部パラジウムと少量の不純物とからなる
   恒電気抵抗合金を、常温用または耐熱用絶縁体表面に電
   着またはスパッタリング等の適当な方法により被着した
   後、エツチング打抜きまたはトリミング加工を施して所
   望の形状となし、これを絶縁体に固定するかあるいは絶
   縁性ケース内に装填することにより絶縁体に取付けて作
   製することを特徴とする渦電流式センサ。 ＆　前記センサを、非酸化性雰囲気中または真空中にお
   いて２００〜６００℃で数時間加熱して固形化した後さ
   らに６００〜］１００’Ｃで２秒以上１００時間以下加
   熱することを特徴とする特許請求の範囲第７項記載のセ
   ンサ。