JPS6025397B2 - グレ−ズドセラミック基板の製造方法 - Google Patents

グレ−ズドセラミック基板の製造方法

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JPS6025397B2
JPS6025397B2 JP18823580A JP18823580A JPS6025397B2 JP S6025397 B2 JPS6025397 B2 JP S6025397B2 JP 18823580 A JP18823580 A JP 18823580A JP 18823580 A JP18823580 A JP 18823580A JP S6025397 B2 JPS6025397 B2 JP S6025397B2
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JP
Japan
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ceramic substrate
glass
glazed ceramic
manufacturing
glazed
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JP18823580A
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良雄 毛利
勉 池田
巍 広石
欣二 佐野
泰裕 山本
雄二 山本
良二 中島
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Central Glass Co Ltd
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Central Glass Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はセラミック基板上にガラスを被覆した所謂グレ
ーズドセラミック基板の製造方法に関し、表面平坦度の
高いグレーズドセラミック基板を提供しようとするもの
である。
セラミック基板上にガラスを被覆したグレーズドセラミ
ックは集積回路基板あるいはサーマルヘッド(サーマル
プリンタの感熱印字部等)基板などの電気回路用基板と
して汎〈採用されるようになって来ている。
前記した電気回路はグレーズドセラミック基板上に真空
蒸着法、スパッタリング法などによって薄膜を形成し、
それをフオトリングラフィなどによってパターニングし
て形成されるものであり、グレーズドセラミック基板に
は高い平坦度が要求される。セラミック基板上にガラス
を被覆する方法としてはスプレー法、ローラー法、転写
法、沈降法等があるが、本発明は、効率の点では優れて
いるものの平坦度が十分でなかったスクリーン印刷を採
用可能とし、高い生産性でグレ−ズドセラミック基板を
製造し得るようにするものであり、更には従来法の共通
の欠点とされていた発泡による平坦度の低下も大幅に改
善させた。
即ち本発明のグレーズドセラミック基板の製造方法はペ
ースト化したガラスフリットをセラミック基板上にスク
リーン印刷した後これを焼成し、焼成された該セラミッ
ク基板上のガラス表面に再びペースト化したガラスフリ
ツトを印刷し、次いで焼成することを特徴とするもので
ある。本発明者らはスクリーン印刷法によってセラミッ
ク基板上に形成されたガラス被覆について鋭意研究し、
以下の知見を得ることにより本発明を完成させたもので
ある。
即ちセラミック基板上にガラスをスクリーン印刷法によ
ってコーティングするに際しては、所望の物性を有する
ガラスを一旦フリット化し、これに混練剤、粘度調節剤
などを加えてペースト化し、それをセラミック基板上に
スクリーン印刷するが、1回だけスクリーン印刷したも
のではその後の焼成工程でガラスとセラミックが反応し
て表面凹凸が発生し、実用に供し得るグレーズドセラミ
ック基板にはならないが、再度スクリーン印刷し、これ
を焼成、冷却すると、前記反応による表面凹凸は是正、
改善され、極めて良好な表面平坦度になる。セラミック
基板にコーティングするガラスの組成としては従来のS
i02−Pb○系のものでもよいが、本発明者等が開発
したSj0250〜60重量%、AI20310〜30
重量%、Ca○十Mg015〜30重量、Zr022〜
6重量%を主要成分とし、それにTi02,B20,Z
n0,PO0,P205,B203,Na20,K20
の1種以上を上記主要成分の一部と置換して又は単なる
付加で、必要に応じて加えたものを用いると、耐熱性お
よび耐薬品性向上に一層効果がある。
なおセラミック基板としてはアルミナ、ベリリヤ、マグ
ネシア、ステアタイト、フオルステラィト、ジルコニア
各基板などの適宜のものを用いることができる。本発明
の特徴は、セラミック基板上にペースト化したガラスフ
リットをスクリーン印刷した後これを加熱焼成し、冷却
したのち更にその上に再び上記ペースト化したガラスフ
リットをスクリーン印刷し、加熱焼成することにある。
このようにすると、ガラスとセラミックの反応による発
泡で表面凹凸が発生するという従来技術が有していた欠
点を除去して表面を平滑にすることができる。即ちグレ
ーズドセラミックの製造に際してはガラスフリットの製
造過程においてガラス中に含まれていた泡などの気体成
分、あるいは焼成工程中に混入する空気が溶融過程にお
いて発泡し、ガラス表面に凹部を形成することがあり、
これが従来法の主要欠陥の1つであるが、本発明におい
ては熔融ガラス層が2度に分けて形成されることから、
各溶融ガラス層は薄くなり(1′2になる)この結果容
易に脱泡される、また1層目に凹凸が生じたとしても2
層目コーティングでこれが補修される、等により、欠陥
発生は大幅に抑制し得るという大きな効果を収めること
ができる。またこの発明の方法によれば転移温度の高い
ガラス層が得られる。なお本発明の実施に際しては必要
に応じて更に多段階に亘ってガラス被覆を形成してもよ
く、また各段階において形成されるガラス被覆の厚みは
全て等しくする必要はなく、条件に応じて適当に変更し
得る。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 ペースト化したガラスフリツトをセラミツク基板上
    にスクリーン印刷した後これを焼成し、焼成された該セ
    ラミツク基板上のガラス表面に再びペースト化したガラ
    スフリツトをスクリーン印刷し、次いで焼成することを
    特徴とするグレーズドセラミツク基板の製造方法。
JP18823580A 1980-12-27 1980-12-27 グレ−ズドセラミック基板の製造方法 Expired JPS6025397B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH02211093A (ja) * 1989-02-08 1990-08-22 Sony Corp ステッピング・モータの制御回路

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JPS5998586A (ja) * 1982-11-29 1984-06-06 富士通株式会社 グレ−ズドセラミツク基板

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JPH02211093A (ja) * 1989-02-08 1990-08-22 Sony Corp ステッピング・モータの制御回路

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