JPS61178408A - 窒化ケイ素粉末の製造方法 - Google Patents
窒化ケイ素粉末の製造方法Info
- Publication number
- JPS61178408A JPS61178408A JP60019000A JP1900085A JPS61178408A JP S61178408 A JPS61178408 A JP S61178408A JP 60019000 A JP60019000 A JP 60019000A JP 1900085 A JP1900085 A JP 1900085A JP S61178408 A JPS61178408 A JP S61178408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon nitride
- silicon
- powder
- gas
- nitride powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60019000A JPS61178408A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | 窒化ケイ素粉末の製造方法 |
| DE19863602647 DE3602647A1 (de) | 1985-02-02 | 1986-01-29 | Herstellung von siliziumkeramik-pulvern |
| US06/825,571 US4719095A (en) | 1985-02-02 | 1986-02-03 | Production of silicon ceramic powders |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60019000A JPS61178408A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | 窒化ケイ素粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178408A true JPS61178408A (ja) | 1986-08-11 |
| JPH0536363B2 JPH0536363B2 (mo) | 1993-05-28 |
Family
ID=11987273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60019000A Granted JPS61178408A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | 窒化ケイ素粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61178408A (mo) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20240031296A (ko) | 2021-07-05 | 2024-03-07 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 일산화규소의 제조 방법 |
| JP2023036398A (ja) | 2021-09-02 | 2023-03-14 | 信越化学工業株式会社 | 一酸化珪素粉末及びリチウムイオン二次電池用負極活物質 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913611A (ja) * | 1982-07-08 | 1984-01-24 | Fumio Hori | Si↓3N↓4の超微粉の製造方法ならびに製造装置 |
-
1985
- 1985-02-02 JP JP60019000A patent/JPS61178408A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913611A (ja) * | 1982-07-08 | 1984-01-24 | Fumio Hori | Si↓3N↓4の超微粉の製造方法ならびに製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0536363B2 (mo) | 1993-05-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0151490B1 (en) | Process for producing ultra-fine ceramic particles | |
| JPS60255602A (ja) | 酸化物超微粒子の製造方法 | |
| JPH05193909A (ja) | 金属酸化物粉末の製造方法 | |
| US4719095A (en) | Production of silicon ceramic powders | |
| JPS61178408A (ja) | 窒化ケイ素粉末の製造方法 | |
| JP2868039B2 (ja) | 低級金属酸化物の製造方法 | |
| JPH01131100A (ja) | 炭化ケイ素短繊維の製造方法 | |
| JPS61178413A (ja) | 炭化ケイ素粉末の製造方法 | |
| JPH05193928A (ja) | シリカガラス粉末の製造方法 | |
| JP2929815B2 (ja) | 炭化物粉末の製造方法 | |
| JPS63176303A (ja) | 炭化珪素粉末の製造方法 | |
| JP3225073B2 (ja) | 金属酸化物粉末の製造方法 | |
| CN100411981C (zh) | V型或圆锥型热解火焰合成碳纳米管燃烧器及合成方法 | |
| JPS6259507A (ja) | Ti窒化物超微粉の製造方法及びその装置 | |
| JPH01167215A (ja) | 高度分散酸化アルミニウム粒子の製造方法および製造装置 | |
| TW202319343A (zh) | 一氧化矽的製造方法 | |
| JPS60251112A (ja) | ケイ素の製造方法及び装置 | |
| JPS6257642A (ja) | 超微粉の製造方法及びその装置 | |
| JPS60246212A (ja) | 無定形超微粒子状窒化珪素とその製造法 | |
| JPS6117764B2 (mo) | ||
| JPH02217308A (ja) | 酸化物粉末の製造方法 | |
| JPS6479001A (en) | Production of composite oxide powder | |
| JPS63201011A (ja) | 炭化珪素粉末の製造方法 | |
| JPS60166025A (ja) | セラミツク超微粒子の製造方法 | |
| JPH02192591A (ja) | プラズマ加熱炉のNOx低減方法 |