JPS6182209U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6182209U JPS6182209U JP16576984U JP16576984U JPS6182209U JP S6182209 U JPS6182209 U JP S6182209U JP 16576984 U JP16576984 U JP 16576984U JP 16576984 U JP16576984 U JP 16576984U JP S6182209 U JPS6182209 U JP S6182209U
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- JP
- Japan
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は接触式の微細形状測定器の１例を示す
略縦断側面図、第２図は光学式の変位検出器の原
理の第１例を示す略側面図、第３図は臨界角プリ
ズムの原理を示す略側面図、第４図は臨界角プリ
ズムにより生じる電位差と変位量との関係を示す
線図、第５図は光学式変位検出器の原理の第２例
を示す略側面図、第６図はレーザダイオードから
投射される光束の断面を示す図、第７図はこの光
束の短径方向の光強度分布を示す線図、第８図は
同じく長径方向の光強度分布を示す線図、第９図
は長径方向に亘り生じる干渉による光束を示す断
面図、第１０図はこの長径方向の光強度分布を示
す線図、第１１図は被測定面を拡大して示す斜視
図、第１２図は光学式変位検出器の原理の第３例
を示す略側面図である。 １：被測定面、２：触針、３：鉄芯、４：コイ
ル、５，６：ばね、７：レーザダイオード、８：
コリメータレンズ、９：偏光ビームスプリツタ、
１０：４分の１波長板、１１：対物レンズ、１２
：ハーフミラー、１３：第一の臨界角プリズム、
１４：第一のフオトダイオード、１５：第二の臨
界角プリズム、１６：第二のフオトダイオード、
１７：円形部分、１８：干渉部分、１９：溝、２
０：シリンドルカルレンズ。
略縦断側面図、第２図は光学式の変位検出器の原
理の第１例を示す略側面図、第３図は臨界角プリ
ズムの原理を示す略側面図、第４図は臨界角プリ
ズムにより生じる電位差と変位量との関係を示す
線図、第５図は光学式変位検出器の原理の第２例
を示す略側面図、第６図はレーザダイオードから
投射される光束の断面を示す図、第７図はこの光
束の短径方向の光強度分布を示す線図、第８図は
同じく長径方向の光強度分布を示す線図、第９図
は長径方向に亘り生じる干渉による光束を示す断
面図、第１０図はこの長径方向の光強度分布を示
す線図、第１１図は被測定面を拡大して示す斜視
図、第１２図は光学式変位検出器の原理の第３例
を示す略側面図である。 １：被測定面、２：触針、３：鉄芯、４：コイ
ル、５，６：ばね、７：レーザダイオード、８：
コリメータレンズ、９：偏光ビームスプリツタ、
１０：４分の１波長板、１１：対物レンズ、１２
：ハーフミラー、１３：第一の臨界角プリズム、
１４：第一のフオトダイオード、１５：第二の臨
界角プリズム、１６：第二のフオトダイオード、
１７：円形部分、１８：干渉部分、１９：溝、２
０：シリンドルカルレンズ。
Claims (1)
- レーザダイオードから投射される断面が楕円形
のレーザ光を集束して被測定面を照射し、この被
測定面からの反射光をフオトダイオードにより検
知して上記被測定面の微細な凹凸を測定する微細
形状測定器に於いて、被測定面を移動させる方向
を上記レーザ光の短径に対応する方向に一致させ
たことを特徴とする微細形状測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16576984U JPS6182209U (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16576984U JPS6182209U (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182209U true JPS6182209U (ja) | 1986-05-31 |
Family
ID=30723609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16576984U Pending JPS6182209U (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182209U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5928608A (ja) * | 1982-08-09 | 1984-02-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 溶接線検出装置 |
| JPS5990007A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-24 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式寸度測定装置 |
-
1984
- 1984-11-02 JP JP16576984U patent/JPS6182209U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5928608A (ja) * | 1982-08-09 | 1984-02-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 溶接線検出装置 |
| JPS5990007A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-24 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式寸度測定装置 |
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