JPS6183050A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔腫業上の利用分野〕 不発明は王としてファクシミリやプリンタに使用される
サーマルヘッドの製造方法に関するもので６る。

〔従来の技術〕

現像、定層の必要がなく、ｓ騒音、メインナナ／フリー
であり、信頼性の高いサーマルヘッドが、感熱記録紙の
向上とともに普及している０感熱記録は、基板上に設け
′ｆｉ−抵抗体に、記録域ｆＬｔ−印児し、抵抗体に流
れた磁流によシ生ずるジュール熱を利用して、抵抗体上
に接する感熱紙を発色させたり、熱転写紙のインク層を
溶融させ、４＆転写紙に記録信号情報を印字＆！、漱す
る技術である。

サーマルヘッドの一般構造図ｔ−第９図に示す。

サーマルヘッドは絶縁基板＋ＩＪ上にＡＩ、ムｕ、Ｏｕ
等の良電気導体材料にてｒｆｃ膜技術により構成したり
一ド郡（２１とそれに両端七債絖した膜状のエレメント
抵抗体ｔ３７で全体で発熱素子ｔ−構、収される。

絶縁基板ｔｏ　Ｏｇ　Ｐ＋に框アルミナセラミック基板
又はグレーズ層付フルミナセラミック基板を使用する事
が多い。エレメント抵抗体（３１の材料として護膜方式
の場合はＴａＩＮ、　Ｔ　ａ−８ｉｏ　１．　Ｔ　ａ−
８ｉ。

Ｎｉ−Ｃｕ　Ｔｉ１０ｇ等の材料が用いられるＯ又、厚
膜方式の場合はＲｕ１０．　ＰｔＯ，等の貴金属の酸化
物ｔガラス材と混合して値付して焼結するＯ 図示しないが、エレメント抵抗体（３）を形威しｆｃ後
、これを保護するためのガラス膜を焼成するＯ このプーマルヘッドのリード部両端に一定の砿圧を一定
時間印Ｍｌし九場合、ジュール熱にエフ抵抗体部に熱が
発生するＯこの熱は第１０図の様に樽武する記録ｔｉ、
ｕｆのＡ部分で感熱紙（５）に伝達され感熱紙（６）が
発色してその表面に印画される。なお、弗２図において
、第１図と同一符号は相当部分を示す。Ｐはロール１４
Ｊの押圧方向を示す・ −Ｓに例えばファクシミリ用のプーマルヘッドは、発熱
抵抗体として、１ヘッド当りｆ１２０Ｇ□−のｔ導体が
独立して並列に設けられている。

これらの発熱抵抗体は、そのジュール熱により衣圓温度
が、２５０°Ｃ〜６００°Ｃ程度まで願熱され、この温
度に到達させるに寺しい、印児エネルギーは、サーマル
ヘッド各々の解像度により異なるが、約０．２ｍＪジュ
ール〜ａｍ、Ｔ必要とされるＯ 従来よシこのプーマルヘッドには、抵抗体の製造プロヤ
スおよびその材料の逮いにより、厚膜形と薄膜形および
牛導体杉が６つ九Ｇ＃膜形は、ペースト状の抵抗材料を
用いて、あらかじめ所望とするパターン金スクリーンや
フォトレジスト膜に形成しておき、スクリーン印刷技術
により、抵抗材料を印刷、又は埋込み、後工嶺として焼
成することで発熱抵抗体が形成される０薄膜形は、王と
してタンタル系材料を蒸着又はスパッタリングし、あら
かじめ抵抗体となりうる基本パターンを形成し、その後
、フォトエツチングにより、所望パターンの独立した抵
抗体に仕上げる。半導体形は、たとえばシリコン基材の
一部に抵抗拡紋を行ない、抵抗体を形成しＰ−Ｎ接合面
の発熱を利用するもので牛導体裂遣工程とほぼ同一手段
を用いる◎ 以上３゜厘の製造方法のうち天川化が実施されているの
は、厚膜形と＃膜形でらるＧところで博映形は、その製
造工程は、多大であるが、発熱抵抗体の抵抗値のばらつ
きは少なく微細パターンが形成でさるという大きな利点
を持っている◎反面厚膜形は、比較、的短い製造工程に
よって安価に製造可能であるが、発熱抵抗体の抵抗１直
のばうつきが大きいという重大な欠点を持ち合わせてい
た０感熱記録μ、抵抗体の抵抗値により決定され、発生
するジュール熱を利用するため、抵抗−のぼりつぎは、
当然、その上に印字さ几る、１頁の濃度ムラの糸回とな
る。

第１１図はプーマルヘッド金構成する各エレメント抵抗
体の抵抗１＠Ｒ監、　Ｒ４、−−−−、Ｒｎの一例を示
す口 通常博映形の抵抗値ばらつきに、±５％〜±１５％以内
に均一化されているのに対し、浮説形は±１５％〜±ａ
ＯＸにばらついており、薄膜形より省っているのに一王
流ｔａしているのは、過負荷電力、耐摩耗性に代表され
る信情性の長さと低コストという大きな利点を持ち合わ
せている改でろる。

厚膜形でも最近は、微細パターンの形成ａ薄膜形に省ら
ず、作成することが９龜となった。たとえば導体パター
ンの杉収においては、印刷膜厚な、従来８μｍ以上必要
とされていたが、ａｏｏ。

ｌ以下の尋体訣厚でも構成できる。この利点は７オト工
ツチング時のエツチングファクターが従来２０μｍを要
したのに比べ、薄膜形と同程戚、即ちほぼ零のエラチン
グツアクタとなることによるーー万厚換形の抵抗値のば
らつさの数曲に関しては、メツシュスクリーンやメタル
マスクスクリーンの改良など従来のスクリーン印刷技術
の向上のほかに、たとえば特公昭５９−２２６７５号に
記載されてるる厚涙抵抗不の７オトエツテングや、特公
昭５７−１８５０６号に記載されである厚換抵尻体ｔ″
フォトレジストパターンに埋込む方法は特開昭５４−９
９４４３号に記載しである厚膜抵抗体の辰面研マ処理を
する方決等がある。さらに特開１＠５５−４７５９７記
載の薄暎導体に４涙抵抗全印刷したものがるる。こｎら
は、発熱抵抗体の形状全均一化し、その効果による抵抗
値のばらつきを改禽しようとしたものでるる。

また厚膜抵抗材料の改良も進められてさた。

＃膜抵抗材料とじてに、たとえば、特開昭５８−９５４
４号および特開昭５８−９５４８　　号に記載の酸化ル
テニクと、高融点７リツトガラス％酸化ジルコニクム等
が過当である。しかしこれらに王として、厚映形サーマ
ルヘッドとしての信頼性を保持するために改良されたも
のであり、発熱抵抗値のバラツキの改善とはなっていな
い。

ところで厚膜抵抗体の形状が幾可学的に、Ｒ，膜抵抗体
と同等に蛍ったとしｆ？：、場合、本当に、抵抗値のば
らつきが薄膜抵抗体と同等はなるのかといり疑問かめる
。理論的には抵抗体の抵抗値ａ入代で示されるＯ　Ｒ−
ｆ−舊（２）スクリーンで印刷された発熱抵抗体は通常
、その抵抗体の長き（１）、抵抗体の幅（旬、抵抗体の
厚−）　（１）共に、わずかにばらつくが、終局的に問
題となるのは、厚膜抵抗材料が基本的にるる太ささ０粒
径を保持する酸化ルテニクム、ガラス７リツト、酸化ジ
ルコニクム等の焼成時に生ずる結合度の差異により、生
ずる、抵抗体の比抵抗そのもののばらつきであり、結果
生ずる抵抗値のばらつきでろる。

これは、Ｉ９．膜製造工程の、厳密なスクリーン印刷、
および焼成条件、さら１ｃｒｉ、それら発熱抵抗体を製
造の前工程後工程式の改善によっても解決されない。こ
れは、酸化ルテニウム寺の粒径が特開昭５３−９５４４
号に記載にもめるように５μｍと無視できない太ささで
ろるということまた、厚膜抵抗体の抵抗値の決定には王
とじて酸化ルテニクムガラス７リットとの接触界−Ｍｅ
−工ａ−Ｍθ（メメルーインシュレーターメタルンの不
均質給台状悪による原因が終局的にあるからでめる０基
本的に厚膜抵抗材料が、七の焼成温度、ふんいき、焼成
スピードに同一材料にもかかわらず抵抗１＠が大幅に変
化するのは、Ｍｅ”より−Ｍｅの袷台状悪が変化するた
めと推定できる。

そこで戚１ヒルテニクム、ガラス７リツト等の粒径ｔさ
らに緻密化した４膜抵抗材料が最近市販されるようにな
った＠ しかし、目標とする効果は、得られなかった。

以上から、接触界面の不均一による厚換抵尻のばらつさ
ｔ改善しないことには、結局抵抗１直のばらつきが改善
されないことがわかる０ところで抵抗庫のばしつさの改
善に閃しては、従来から、レーデ−トリミング法などを
利用して、ａ抗Ｉ−の、Ｓｉ２歪等を王として厚膜回路
基板、薄膜回路基板等でメ°施されている。また、特開
昭５８−７３６０号又は特開ｆ！８５Ｂ−’１８６０号
記戦の液体噴射記録ヘッドでは、薄膜抵抗素子をノーデ
ートリミングし、越気−熱変換特性に分わせるように抵
抗１己を調姫している０ 〔発明が解決しようとする間組点〕 、厚膜抵抗体の抵抗＋ｌｌｆのばらつさｔ改善する従来
の方法はいやれも不十分なものでめった。発熱抵抗体上
部に位置し感熱紙と圧接する回伝ローラのｍ切による愼
械的裁助がろる几め、衝撃に弱い化学的トリミング方法
は使用できない〇１足、均一な温度分布全必要とするの
で発熱抵抗体の形状も厘要な要素となる之め、レーデ、
ダイヤモンドカット、サンドブラスト等の礪楓カドリミ
ング法では、形状の変化にニジ、テーマルヘッドの注叱
を悪化させるため便用できなかつ九〇 この発明は、厚誤形サーマルヘッドの発熱抵抗体の形状
を諷えることなく、その抵抗値を変化して生産する方決
を提供するＣとｔ自問とするＯ Ｃ間逅点金解決Ｔるための手段〕 この発明に、丈−マルヘッドの発熱を抗体に４圧パルス
ｅ　ｌ”ｌＪ　２７０することにより抵抗貝全賦少させ
、抵抗のばりつさｔ減少せしめる。

Ｃｒｐ用〕 この発明では端圧パルスの印ｇ　＆Ｃよって発熱抵抗体
の抵抗値が減少すること全利用して、抵抗値のばらつき
を著しく減少させることができる。これによりサーマル
ヘッドの印字画質の濃度ムラを著しく減少させるこ七が
できる。

〔発明の実施例〕

この発明によるサーマルヘッドの製造方法は主要な生産
プロセスの後に、発熱抵抗体の抵抗１１を減少させるプ
ロセスｆｃ実施する。即チ、基板上に発熱抵抗体、リー
ド線、保護ガラス映を形成した後に、本発明による抵抗
値を減少させるプロセスを実施する◇ 第１図は本発明によるサーマルヘッドの生態方法のＩＪ
Ｋ理を示す図である。

この発明は厚膜抵抗体に電圧を印加すると抵抗値が低下
するという現象を利用している・この現象はＭ工Ｅ　（
Ｍｅｔａ７−　ｍｕｊａｔｏｒ　−Ｓａｍｉ、ｃｏｎｄ
ｕｃｔｏｒＪ樽造をもつ厚膜抵抗体の絶縁物（工ｎ日ｕ
ｌａｔｏｒ沙五区圧によりブレークスルーするためであ
るとも考えられている。ともかく抵抗体の物理的性質が
電圧印加によシ変化していることは確実でろるる ＠１図は当初の抵抗値がＲ，、Ｒ，、Ｒ−である発熱抵
抗体の抵抗値ｔＲ・に調整する場合を示している。

先づ最初に各発熱抵抗体の抵抗値を測定し、目４ｉＩと
する抵抗値島と比較する。鳥のようにＲ・より低い抵抗
ｆＬｔもつ発熱抵抗体に対しては電圧パルスは印加しな
い・ 拘より大きい抵抗値Ｒ１＠　Ｒｓ　＃　Ｒａｔ持っ発熱
抵抗体く対し電圧パルスを印加する。

最初に波高値の初期設定がＶ・で６る電圧パルスｔ−ｆ
４］、？ｊＯシて抵抗値を減少させる。

減少後の抵抗値を測定し、その唾がＲ・以上であればＶ
ａ＋ΔＶＯ披高ｌｌｌ０電圧パルスを印加する。

その後抵抗値を測定し、その値がＲ＠以上で６ればＶ・
十８ΔＶの彼高楓をもつ電圧パルスを印加する。このよ
うに抵抗値がＲ・以下になるまで次第に印加電圧パルス
の波高値を高くしながら次第に抵抗画を減少させて行く
。抵抗値がＲ・以下になればそこで調ｇ！１ヲ終了する
。このようにして＠熱体の抵抗値ｔＲ・以下の一定４囲
内に揃える。

抵抗１直のばらつきを少なくするのがこの発明の目的で
あるから、抵抗値がＲｅ以下になりさえすれば良いので
なく％Ｒ・以下の一足範囲内にろることｔ要する・その
ため少しづつ抵抗値を減少させて行さ、Ｒ−以下になっ
た時点で止めるのでるる。

第２図および第３図は本発明の製造方法を実施しなめ場
合と実施した場合の発熱抵抗体の抵抗値の分布を示す図
である。何個かの発熱抵抗体τ−グループとし、その中
の最大値を白丸印、平均値を黒丸叩、最小値２ｘ印で示
して−る。

実施しない場合は抵抗値のばらつきは非常に大きいが、
実施した場合はほとんどばらつきがなくなっていること
がわかる。

男４図はこの発明の生産方法に使用する装置の一例を示
す構灰図である。第５図は第４図の王−ｊｉな信号の彼
杉図である。

（６）は調整対象のサーマルヘッド（７）に探針（プロ
ーグ）を押し当てるプロービング装置、（８１［印加電
圧パルスを所望の発熱抵抗体に導くリレー網、（９）は
電圧印茄七抵抗測定とｔ切シ換えるスイッチ、叫は調整
電圧パルスｔ−発生するパルス発生回路％　ｔｔｌは抵
抗計、（Ｌｌは訂算部、α場はその入出力部、Ｉは中央
演算処理！ｌＩＣ以下ｏｐσと称す〕、四はメモリ、Ｖ
１９はキーボード、（１Ｍはプリンタでるる。

本発明により抵抗ａｔ−ｍ少させる手順について説明す
る。

訂算部口から印ｍ″ｉｔ圧の波高値寝の設定信号、１回
の′電圧印加に含まれるパルス数ｎの設定１直号が与え
られている・訂算部四からのシ圧印Ｗ開始信号８ＴＡＲ
Ｔｆｔ受けるとパルス発生回路−はＥＮＡＢＬＥ信すを
訂算郡に返送する。又スイッチ（９］がパルス発生回ｗ
ｔ四側に切シ換わる。　ＥＮＡＢＬＥ信号が出力されて
いる期間は波高値Ｖａの変更と５ＴＡＲＴ信号の発生は
禁止される。これは電圧パルス印加中においては、波高
値ｖ８の変更ｔすべきではないし、また現在の１圧パル
スの印加が終了するまでは次の電圧パルス印Ｗの開始信
号Ｓ’ｌ’ＡＲＴｔ−発するべきでにないからでるる。

８ＴＡＲ’ｌ’信号印加後一定時間ＴＩが経過すると、
パルス発生回路−は波高値がＶのｎ個のパルスをスイッ
チ（９）、リレー網（８）ヲ経てサーマルヘッドけ）の
発熱抵抗体にｌ＝ｌ］ＸＩする一パルス電圧の印′ｘＪ
が終了し′ｆｃ後Ｔ３時間経過後スイッチ（９１は抵抗
計（四側へ切り替えらｎる６そして更に１１時間後には
■心ＴＡ僅号が解除されて次の゛鴫圧印ＷがａＪ鵬にな
る・時間ＴＩの間に抵抗量の測定が行なわれ、その測定
結果が打算部側へ送られる。打算ｓ四では（２）■が測
定値ｔ−前回の測定値と比較する・そして前回の測定値
上基準として一足の範囲内にないゃ高い値でろるか否か
比較するようにするのが最も間車な方法である。以下−
例としてこの方法の場合を述べる・ もし、目ＴＩ１ｇＩｏ測定１直よりも高い値が得られた
ならば、ＯＦσｇ４は、この測定１匣”を採用せず、ブ
ロービング袋ｉｔ　Ｆｉｌに対し、測定対象のサーマル
ヘッド（７）への探針の接！ｉｔ−解き、再接触さるべ
くリグローブ信号を送出する。そして抵抗値の再測定が
行なわれる。第１図から理解できるよりに電圧パルスの
印加によって抵抗値が増那することはろり＃ないのでろ
って、もし増辺することがるればそれは探針（グローブ
ノの接触不良によるものと考えられるからである。

この場合の探針の再接触でろるが、前と同じ１ｉａｉｆ
ｒに再接触したのでは再び９！畦不良になる可能性がる
る・そこで、再接触は、前の一所ではな（、少し離れた
箇所に対して行コ・探針の接触は、リード線の先に設け
られるパッドと呼ば几る箇所にされるが、再接触は同一
パッド内の少し離れた位置にする。

抵抗測定１直が曲回の測定値＝９低ければＣＰｆｆ−は
この測定値を採用してｙ！４憂目係値Ｒ，と比較するｅ
Ｒ＠以下に達していなければｃｐｔｒＨＨ］ｎＮＡＢＬ
１１ぎ号が解除された仮に１ｊ児する１圧パルスのｇＬ
Ｉｌｉ６臘の設疋１匝Ｖｓ　ｉΔＶだけ高めてパルス発
生口！６＋ＩＱｌに与え九後、次回の１圧パルスの印加
の几めの開始１ｄす８ＴＡＲ’ｌ’を発生する。

このようにして、次第に印加電圧パルスの波高値を高め
ながら発熱抵抗体の抵抗１１を減少させて行く＠抵抗値
がｔＡ姫目標ｌ１ｌｉＲ・以下となればその発熱抵抗体
の抵抗−の調査は終了する。

ＲＰＪＬ　Ｔ１＃　Ｔｌ＃　Ｔｌを設けているのはスイ
ッチ（８）、リレー網（８１のチャタリングによる影響
を避けるためである。スイッチ（９ｊ１　リレー網（８
）が完全に切９侠えられる前に、パルス発生回路−から
・域ｆ　パルス七発生させても、そのパルスはサーマル
ヘッド（７）には印加されない。また、スイッチ（９）
、リレー網（８）が完全に切シ侠えられる前に抵抗値の
測定金行っても正Ｓな測定はでさない。

印加する電圧パルスは、単一パルスで与えても艮いが、
むしろｇ個のパルスからなるパルス群で与える方が制御
が容易でａる＠−電圧パルスエネルーは波高値とパルス
中Δｔによって規定されるが、これがめ１りに大さくな
ると発熱抵抗体が破壊される０そこで゛４圧パルスのエ
ネルギーがある程直で６って発熱抵抗体七破壊する危険
かめるときは電圧パルスの波高値に応じてパルス中を減
少させるように調愛しなければならな一０単二パルスの
パルス中を調整する二りはむしろ、複数のパルスからな
るパルス群の各／＜　Ａ／　Ｘの巾Δｔは一足としてお
いて、パルス周期でとパルス中Δｔとの比Δｔ／Ｔｆｓ
波高１直の便化に応じて発熱抵抗体を破壊しない値以下
に調贅する万が容易でろる０るるいに、Δｔ／Ｔを一定
としておき、波高値の父化に応じてパルス群を構成する
パルスａｎｔ″又化させても良ｉ・電圧パルスのエネル
ギーが十分小さい４合は単一パルス又はパルス群のいう
れで与えても艮１／１（１＃］２７ＩＩＩする１圧パル
スの波高値が低いと抵抗値が減少する現象は見られなく
なる。そこで抵抗値の減少が期待できるよりな値から処
１回の電圧パルスの印加は開始される◎第１図の■ｏに
第１回の印那電圧パルスの波高値を示す。

ｉＩ＃１ｆｆｉ目標抵抗１−Ｒ・、パルスＩｌ数ｎの変
更はキーボード（１１を使って行なわ几る◎１１長後の
抵抗値及びＣＰＵＵ４１の打算結果はプリンタ同に打ち
田さ几るＯ 第６図は第４図の装置による発熱抵抗体の抵抗ｌ１ｌｉ
調歪方法の７０−チャート図である。

ステップ四では反高値Ｖａ　、パルス数ａ等のノイルス
条佇の初期設定を行うＯ？ＸいてステップφＭでブロー
ビング装置＋６１によるプーマルヘッド（７）へのブロ
ービングと、リノー網（８）の切換えと七行う。その後
ステップ固、＠では設定された波高楓【もつｎ個のパル
ス列を印加し、抵抗値の測定を行う、今回の測定隠と前
回の測定値との比較器ステップ（至）で行い、前回の測
定値エフ犬であればステップ□□□で再びブロービング
を行う。

−ｒＪｌ！１２］測尼１直より小であれば調姫目標抵抗
値Ｒ，との比ｅｔステップＡで行うＯ測定値かＲ・以下
でめｎｄその発熱抵抗体についての調姫に終了すゐ。Ｒ
，以下になっていなけｎば、印那鴫圧ノくルスの波向１
直ｔΔＶだけ増してノ（ルスを印加する（ステップ２７
１）。

Ｃ＋／）工うにして調姫ｒ１１．測定１直がＲ・以下と
なるｌでボス１」として続けられる。７′ｃだし中ｖｃ
ｒＣ／櫂ルス戒圧τいくら印加しても抵抗値が減少しな
い特異な素子もある。又パルス発生回路（ｌＯ）が発生
しうるパルス延圧の波晟１直ＩＣは制限がろるＯそこで
、抵抗値がＲ，以下とならなくても／＜ルス也圧の印加
回数がろる一定数ｖｃ廟するとそこで調［ｋ終了する０
ステツプ鏝μそのために設けらｎでいる。

数個の発熱抵抗体ｔ−グループとして抵抗値の測定が行
なわ几ることは既に第２図、第３図で述ベア’Ｃ。

一グループの調整が終るとＣＰＵ圓は平Ｊ’ｌ　＋ｖｉ
。

標準偏差ｔ−求めるための演算ΣＲ，ΣＲｉ行う・（−
してプリンタ同は−グループの最大１貝、平均直、最小
値が第８図のよりにプリントされるＯサーマルヘッドの
全発熱抵抗について調整が終るとＣＰＵ圓は標準偏差σ
ｔ−打算する。その結果はプリンタｑηに打ち出される
Ｇ 第７図は第４図のパルス発生回路（１０ｊの詳細祝明図
である・ 図において、銅、に）、−は７リツプ７０ツブ回烏、籾
、（７）、に）はタイマ回路、ｇ３はパルス発生ａ、ｃ
３４に単安定マルチ回路、曽はトランジスタ、＠は延圧
ＬＬ＠は訂畝器、■は比較器である。

訂″卑部（６）から開始信号５ＴＡＲＴ信８を受けると
７リツグフロツプ回路鋼、輪はセットされる。

７リツグ７０ツブ回路−からは訂算部へＢ１１ＮＡＢＬ
Ｆｉ　ｎｄ号が送られる）ＥＮＡＢＬＥ信号が継続して
イルｍ　ｎ　１Ｋ　８１ｍ　ｉｍ　９　ｖ　ａの変更ト
、５ＴＡＲＴ信号の発生は禁止される。フリツプフロツ
プ回路−の出力ＶＣより、スイッチ（９）のコイルａυ
が通１し、接点潤、鏝が図とは反対側に＋ｊ′Ｊ賛えら
れる。

７リツプ７０ツブ回路−がセットさｎてかうＴＩ埒間仮
にタイマ回路Ｏυは出力する。これによりフリツプフロ
ツプ回路（至）がセットされるとゲート例が開かれ、パ
ルス発生４Ｑの発生したパルスが単安定マルチ回路（７
）に与えられる。

単安定マルチ回路μｓはパルス発生器に）のパルス巾ｔ
”Ｐｊｒｉのパルス巾Δｔ２もつパルスに歪形する◎Δ
ｔｉ単安定マルチ回路（７）中の抵抗とコンデンＶＶこ
よって定めら几る。第８図にパルス発生器（至）の出力
パルス波形と単安定マルチ回路（至）の出力波形を示す
〇 単安定マルチ回路曽のパルスにより、トランジスタ（至
）のゲートドライブ１流が・共Ｍ！されてトランジスタ
（至）はパルスが存在する期間ΔｔはＯＮ状悪トなる・
トランジスタに）がＯＮ状態の期間に１圧厄源助の出力
電圧がスイッチ（９）の接Ｑ［（晴、リン−網（８）を
経てサンプルに印加される〇゛１圧′４源（２）の波高
１１１ｉは訂算部四からの波高１直１言号Ｖｓ　ｉｃよ
って決定されている。

ゲート（へ）ｉｃ通過するパルスはカクンタ＠ｖｃ↓つ
て打数される０カクンタ（至）のｌｆｆ数１直は比較器
に）によって訂算鄭四から与えられる数ｎと比奴される
。打数値がｎＫ達すると比較４四の出力により７リツプ
７０ツブ回路に）をリセットする・こ九にエフゲート（
至）は閉じられ、サンプルへの一回のパルス１圧の印加
が終了する。

比較器に）の出力はタイマ回路−にも与えら几る。時限
Ｔ、後にタイマ回路−に出力し、これによって７リツプ
７０ング祷はリセットされ、スインチ（９）は抵抗計測
に切替えられる０スイツチ（９）が切換えられると、接
点−、−は１示の位置に切替えられ、抵抗計（１りによ
ってプンプルの発熱抵抗体の抵抗値が測定される。

タイマ回路（６）が出力してからＴ、時間経過するとタ
イマ回路に）が出力し、それにより７リツプ７０ツブ回
路−がリセットされＱ端子出力ば１Ｈ″レベルとなり、
　Ｅ　ＮＡＢ　ｉ信号は消滅する◎これにより欠の電圧
パルスの印加が０Ｊ能になる。

本元明による抵抗層の変化のメ験結果の一例を示すと、
本発明を実施しない場合は絶体値で±２０％標＊＊差Ｉ
が５．６％であるのに対し、本発明を天旌すると杷体値
で±３％標準偏差が０．４％になる等大幅のばらつきが
改善された。

こ几によってサーマルヘッドの印字の娘反ムツをほとん
どなくすることかでさた。

発明者等は抵抗１直の調整のために印加する１圧パルス
の波高値の初Ｐ８設定臘（第１図Ｖｏ）ｆ：’０−　十
Ｖ　＋　！”ＩＪ　２７１１１ハルス’４圧のＩＬｇｌ
ｌ毎のｍｍ分Δｖ’２１■ないし畝Ｖ、１回の電圧印加
に含壕れるパルスｄｎｔｌＯ〜２０１１＋固のパルス巾
Δｔ’＜ｉμないし数μ秒、パルス間隔ｔ″数十μ秒と
して発熱体の抵抗値の調整を行った。

時限ＴＩ　、　Ｔｓは１０　ｍ秒前後に、時限Ｔ、は数
ｍ秒に設定して発閤者等は抵抗１＠の調整上行なったＯ 抵抗値のＳ藍に用いるパラメータの具体的な数！は以上
に述゛べた一例に限られるものではなく、この発明の効
果上奏する範囲内で種々の数値をとりうろことは言５″
！でもない。

第６図のステップｇ４に３いては前回の抵抗測定値と大
小比較を行なっているが、これに代えて、曲回の抵抗測
定値に比して一足の範囲内、洞えば０．９〜１．０倍の
範囲内ＶＣあるか否かを確認し、この４＠囲内にないと
＠鉱抵抗楓の再測定をするようにしても良い。

この発明に係るサーマルヘッドの製造方法に　　　　・
去彪する装置の一例を第４図、第７図に示したが、この
発明はこ几らに阪らｎない。

パルスジ圧の波高値ｖ８とパルス該ｎｔ訂算部四からパ
ルス発生回路（ｌＯ）に自助的に与えているが、これら
上手切操作にて設定する二うにする事もできる。それに
、パルス発生回路に波高値■ａとパルス数ｎｔ設定する
スイッチを設けることによって容易に実施でさる。又打
算ｓ四からの自ｗＪ設定と手助操作の両者を併用しても
良へスイッチ（９）は、第７図の例でにコイル０υに通
―して接点−、ａ２１を駆動するリレーでるるか、こ几
に代えてプイリスタスイッチを用いることもｉＪ能でめ
る。

〔発明の効果〕

この発明に係るサーマルヘッドの製造方法は４圧パルス
七発熱抵抗坏に印加して抵抗値を減少させるようにした
ので、サーマルヘッドの発熱抵抗体の抵抗層のばらつ＠
を少なくして、サーマルヘッドめ印芋−反のむらを著し
く減少させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るサーマルヘッドの製造方法の厘
理説明図、第２図、第８図はこの発明に係るサーマルヘ
ッドの製造方法を実施しない場合と、実施した場合の抵
抗値の分布を示す図、第４図はこの発明に係るサーマル
ヘッドの製造方法に実施する装置の一実施例を示す構成
図、第５図は第４図の主要部の波形図、第６図サーマル
ヘッドの一般構成図、第１０図に感熱記録装置における
サーマルヘッドの使用状態を説明する図、第１１図は一
般的なサーマルヘッドにおける抵抗（１ｉ！の分布の一
１１！ｌＩＪ　’に示す図でめる０図において、１１１
は絶縁基板、（２１はり一ド猟、＋３１は発熱抵抗素子
、（６１ｉよプロービング装置、（７）にサーマルヘッ
ド、（８）はリレー網、（９＋１’！スイツチ、１１０
１はパルス発生回路、（ｌｌ）は抵抗計、四は訂′＃郡
、１１４１ｉ　ＣＰ　ｕ、Ｇ３Ｌ　ｔ４．１１ａｉタイ
マ回路、−はパルス発生器、に）に単安定マルチ回路、
（ロ）ζ紙圧ζ源、＠は打数器、燭は比較器である。 なお、各丙申の同一符号は同−又に相当部分ｔボす０

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）サーマルヘッドの発熱抵抗体に電圧パルスを印加
   した後前記発熱抵抗体の抵抗量を測定し、抵抗値が所定
   値以上であるときは、より波高値の高い電圧パルスを印
   加し、抵抗値が所定値以下のとさは電圧パルスを印加し
   ないことを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。
2. （２）電圧パルスが単一パルスでるることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載のサーマルヘッドの製造方法
   。
3. （３）電圧パルスが複数のパルスからなるパルス群であ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のサーマ
   ルヘッドの製造方法。