JPS6188538A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPS6188538A JPS6188538A JP59209236A JP20923684A JPS6188538A JP S6188538 A JPS6188538 A JP S6188538A JP 59209236 A JP59209236 A JP 59209236A JP 20923684 A JP20923684 A JP 20923684A JP S6188538 A JPS6188538 A JP S6188538A
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- Japan
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- chip
- signal
- terminal
- output
- circuit
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/3185—Reconfiguring for testing, e.g. LSSD, partitioning
- G01R31/318505—Test of Modular systems, e.g. Wafers, MCM's
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2896—Testing of IC packages; Test features related to IC packages
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/31712—Input or output aspects
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- G—PHYSICS
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- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/31712—Input or output aspects
- G01R31/31717—Interconnect testing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体チップの上に半導体チップを搭載してな
るChip on Chipの半導体装置に係り、チッ
プ単体で、または両方のチップを結線した後の試験がで
きるようにした構成に関する。
るChip on Chipの半導体装置に係り、チッ
プ単体で、または両方のチップを結線した後の試験がで
きるようにした構成に関する。
大規模集積回路(LSI)の高機能化、高集積化により
、近年各種機能の回路を同−LSI内に構成する場合が
多くなってきた。例えばCMOSとTTL、またはアナ
ログとCMO3のディジタル、さらにインタフェイス回
路を設けてCMOSとECL等の構成を有するLSIの
要求に対し、同一チップ内に構成することは困難である
。無理をして強行しても製造工程上、またその歩留りの
上からも極めて不利である。
、近年各種機能の回路を同−LSI内に構成する場合が
多くなってきた。例えばCMOSとTTL、またはアナ
ログとCMO3のディジタル、さらにインタフェイス回
路を設けてCMOSとECL等の構成を有するLSIの
要求に対し、同一チップ内に構成することは困難である
。無理をして強行しても製造工程上、またその歩留りの
上からも極めて不利である。
従って回路機能別に独立のチップを用いれば、それぞれ
に最適なプロセスが適用でき、各機能毎の特徴が生かせ
ることになり、そのため2チ・シブよりなる、所謂Ch
ip on ChipのLSIが検討されるようになっ
た。
に最適なプロセスが適用でき、各機能毎の特徴が生かせ
ることになり、そのため2チ・シブよりなる、所謂Ch
ip on ChipのLSIが検討されるようになっ
た。
この場合LSIは、各チップ単独で、および両チップ結
線後の試験ができるような回路構成であることが望まれ
る。
線後の試験ができるような回路構成であることが望まれ
る。
〔従来の技術と発明が解決しようとする問題点〕入力端
子に入カバソファとして、相補型金属−酸化物一半導体
(CM OS )構造のインバータが接続される場合が
多いが、この場合は片方のチップ、例えば第1のチップ
を単独で試験する際に、入力がフローティングになると
、インバータの電源端子(VDD)と接地端子(Vss
)間に電流が流れ、内部回路に論理的不定状態を伝挿し
、試験ができなくなる。
子に入カバソファとして、相補型金属−酸化物一半導体
(CM OS )構造のインバータが接続される場合が
多いが、この場合は片方のチップ、例えば第1のチップ
を単独で試験する際に、入力がフローティングになると
、インバータの電源端子(VDD)と接地端子(Vss
)間に電流が流れ、内部回路に論理的不定状態を伝挿し
、試験ができなくなる。
またCMO3は基本的に電流を流さないため、DC電流
は1μ八以下であるが、テスタに接続しないフローティ
ングの入力端子が増えると、過大電流が流れて内部回路
を破壊することがある。
は1μ八以下であるが、テスタに接続しないフローティ
ングの入力端子が増えると、過大電流が流れて内部回路
を破壊することがある。
また片方のチップ、例えば第1のチップを単独で試験す
る際に、第2のチップが結線されていないため、この第
1のチップが正常に動作しているかどうかは分からない
。即ち第1のチップの出力信号が正常に出ているかどう
かは不明である。
る際に、第2のチップが結線されていないため、この第
1のチップが正常に動作しているかどうかは分からない
。即ち第1のチップの出力信号が正常に出ているかどう
かは不明である。
つぎにこれらの問題を解決するため第1のチップにデー
タ選択回路を設け、第1のチップを単独で試験する際に
、第1のチップの出力信号を選択するためその制御端子
の電位を固定してしまうと、両チップを結線後試験をす
る際には第2のチップからの選択信号を第1のチップの
制御端子に伝えることはできなかった。
タ選択回路を設け、第1のチップを単独で試験する際に
、第1のチップの出力信号を選択するためその制御端子
の電位を固定してしまうと、両チップを結線後試験をす
る際には第2のチップからの選択信号を第1のチップの
制御端子に伝えることはできなかった。
上記問題点の解決は、
(1)2個の半導体チップが結線されてなり、第2のチ
ップへ送る第1のチップの出力信号を出す出力端子と、
第2チップよりくる第1チップの入力信号を受ける入力
端子と、該出力信号と該入力信号を選択するデータ選択
回路とを第1のチップに設け、第1のチップ単独時は、
第1のチップの出力信号を選択して第1のチップに戻す
ことにより第1のチップの出力信号を試験できるように
し、また両チップ結線時は第1チップの入力信号を選択
してデータ選択回路の出力より内部に送るようにした本
発明による半導体装置、 (2)2個の半導体チップが結線されてなり、第2のチ
ップへ送る第1のチップの出力信号を出す出力端子と、
第2チップよりくる第1チップの入力信号を受ける入力
端子と、該出力信号と該入力信号を選択するデータ選択
回路とを第1のチップに設け、第1のチップ単独時は、
第1のチップの出力信号を選択して第1のチップに戻す
ことにより第1のチップの出力信号を試験できるように
し、また両チップ結線時は第1チップの入力信号を選択
してデータ選択回路の出力より内部に送るようにし、つ
ぎに第1のチップの該データ選択回路の制御端子と電源
電位または接地電位間にインピーダンスを挿入して該制
御端子の電位を固定し、かつ該制御端子に接続する出力
端子と、該出力端子に出力を接続した前記インピーダン
スより低い出力インピーダンスを有するドライバとを第
2のチップに設け、第2のチップよりの選択信号を第1
のチップに伝えられるようにした本発明による半導体装
置、 により達成される。
ップへ送る第1のチップの出力信号を出す出力端子と、
第2チップよりくる第1チップの入力信号を受ける入力
端子と、該出力信号と該入力信号を選択するデータ選択
回路とを第1のチップに設け、第1のチップ単独時は、
第1のチップの出力信号を選択して第1のチップに戻す
ことにより第1のチップの出力信号を試験できるように
し、また両チップ結線時は第1チップの入力信号を選択
してデータ選択回路の出力より内部に送るようにした本
発明による半導体装置、 (2)2個の半導体チップが結線されてなり、第2のチ
ップへ送る第1のチップの出力信号を出す出力端子と、
第2チップよりくる第1チップの入力信号を受ける入力
端子と、該出力信号と該入力信号を選択するデータ選択
回路とを第1のチップに設け、第1のチップ単独時は、
第1のチップの出力信号を選択して第1のチップに戻す
ことにより第1のチップの出力信号を試験できるように
し、また両チップ結線時は第1チップの入力信号を選択
してデータ選択回路の出力より内部に送るようにし、つ
ぎに第1のチップの該データ選択回路の制御端子と電源
電位または接地電位間にインピーダンスを挿入して該制
御端子の電位を固定し、かつ該制御端子に接続する出力
端子と、該出力端子に出力を接続した前記インピーダン
スより低い出力インピーダンスを有するドライバとを第
2のチップに設け、第2のチップよりの選択信号を第1
のチップに伝えられるようにした本発明による半導体装
置、 により達成される。
入力端子にCMOSインバータの代わりにデータ選択回
路を接続し、その制御端子に外部より;Ii:制御信号
を与えて、チップ単独の場合にはデーツユ2択回路はこ
のチップの出力信号を選んでチップ内に戻してダミー回
路(接続される他方のチップの回路に相当する)に入れ
、出力信号が正常に出ているかどうかを試験することが
でき、またこの場合入力端子が開放になっても論理的に
不定状態を発生しない。
路を接続し、その制御端子に外部より;Ii:制御信号
を与えて、チップ単独の場合にはデーツユ2択回路はこ
のチップの出力信号を選んでチップ内に戻してダミー回
路(接続される他方のチップの回路に相当する)に入れ
、出力信号が正常に出ているかどうかを試験することが
でき、またこの場合入力端子が開放になっても論理的に
不定状態を発生しない。
つぎにチップ単独の場合に、データ選択回路が入力信号
を選ぶため制御端子にプルアップまたはプルダウン抵抗
を入れてその電位を固定してしまっても、両チップ結線
時において前記プルアンプまたはプルダウン抵抗より低
い出力インピーダンスを有する駆動力の大きいドライバ
で駆動することにより選択信号のレヘルを変え、データ
選択回路が入力信号を選べるようにしたものである。
を選ぶため制御端子にプルアップまたはプルダウン抵抗
を入れてその電位を固定してしまっても、両チップ結線
時において前記プルアンプまたはプルダウン抵抗より低
い出力インピーダンスを有する駆動力の大きいドライバ
で駆動することにより選択信号のレヘルを変え、データ
選択回路が入力信号を選べるようにしたものである。
第1図は第1の発明によるChip on Chip
L SIの試験回路図である。
L SIの試験回路図である。
図において、2点鎖線より右側は第1のチップ、左側は
第2のチップを示す。
第2のチップを示す。
第1のチップの入力端子を11.出力端子をOl、制御
端子をCI、データ選択回路を31とし、第2のチップ
のそれらをIz 、 Oz 、 Cz 。
端子をCI、データ選択回路を31とし、第2のチップ
のそれらをIz 、 Oz 、 Cz 。
S2とする。
各チップのデータ選択回路は入力信号■または出力信号
○を選択する。ここでr、o、cは端子記号と同時に入
力信号、出力信号、制御信号を表す。
○を選択する。ここでr、o、cは端子記号と同時に入
力信号、出力信号、制御信号を表す。
1チップ時は、各チップの制御信号Cをハイレヘル“H
”にすると、データ選択回路Sは出力信号Oを選択して
出力し、これをダミー回路に入れて試験することにより
、両チップを結線しなくとも各チップの出力信号0が正
常に出ているかどうかが分かる。
”にすると、データ選択回路Sは出力信号Oを選択して
出力し、これをダミー回路に入れて試験することにより
、両チップを結線しなくとも各チップの出力信号0が正
常に出ているかどうかが分かる。
両チップ結線時は、各チップの制御信号Cをロウレベル
“L”にすると、データ選択回路Sは人力信号Iを選択
して出力する。
“L”にすると、データ選択回路Sは人力信号Iを選択
して出力する。
第2図は第2の発明によるChip on Chip
L SIの第1図に追加する部分を示す試験回路図であ
る。
L SIの第1図に追加する部分を示す試験回路図であ
る。
図において、各チップの制御端子Cとvno間に挿入す
るインピーダンスとして、MΩ程度の高抵抗のプルアッ
プ抵抗Rを挿入する。
るインピーダンスとして、MΩ程度の高抵抗のプルアッ
プ抵抗Rを挿入する。
またはRの代わりにゲート幅/ゲート長(W/L)の小
さい電界効果トランジスタ(FET)を用いてもよい。
さい電界効果トランジスタ(FET)を用いてもよい。
2チップ結線時は、相手のチップに設けられた、Rより
低い出力インピーダンスをもつドライバDで駆動するこ
とにより、相手のチップよりの制御信号を、各チップの
制御端子Cに伝えることができる。即ち、プルアップ抵
抗Rにより“H”に固定された各チップの制御端子Cを
、駆動力の大きいドライバDにより”L”にして、入力
信号Iを内部に伝える。
低い出力インピーダンスをもつドライバDで駆動するこ
とにより、相手のチップよりの制御信号を、各チップの
制御端子Cに伝えることができる。即ち、プルアップ抵
抗Rにより“H”に固定された各チップの制御端子Cを
、駆動力の大きいドライバDにより”L”にして、入力
信号Iを内部に伝える。
プルアップ抵抗Rは拡散抵抗、多結晶珪素層を用いた抵
抗等が用いられるが、いまRの代わりにFETを用いW
/Lの値を、 プルアップFET : Wl /Ll =5150
。
抗等が用いられるが、いまRの代わりにFETを用いW
/Lの値を、 プルアップFET : Wl /Ll =5150
。
ドライバDのFET: Wz /L2 =5015
。
。
とすれば、FETのβ値(伝達コンダクタンスg、の電
圧に依存しない因子)はW/Lに比例するので、ドライ
バDのFETのβ値はプルアップFETのそれの100
倍となり、十分駆動ができることになる。
圧に依存しない因子)はW/Lに比例するので、ドライ
バDのFETのβ値はプルアップFETのそれの100
倍となり、十分駆動ができることになる。
第3図は本発明によるLSIに用いるデータ選択回路の
他の例を示す回路図である。
他の例を示す回路図である。
この回路はトランスファゲートを用いたスイッチにより
データ選択を行う。
データ選択を行う。
図において、pチャネルFETとnチャネルFETを並
列に接続してスイッチを構成し、FETのゲートに制御
信号Cによりスイッチの開閉を行う。
列に接続してスイッチを構成し、FETのゲートに制御
信号Cによりスイッチの開閉を行う。
このデータ選択回路の出力Sには、制御信号Cが“H”
の場合は出力信号Oが選ばれ、制御信号Cが“L”の場
合は入力信号Iが選ばれる。
の場合は出力信号Oが選ばれ、制御信号Cが“L”の場
合は入力信号Iが選ばれる。
第4図は本発明によるLSIをパッケージに組込んだ断
面図である。
面図である。
図において、パッケージ8の上に第1のチップ1を搭載
し、その上に第2のチップ4をフェイスアンプに載せ、
バッド(ボンディングするための接続端子)3.5をワ
イヤ6でポンディングして両チップを結線する。つぎに
第1のチップ1の周辺のバッド2とパッケージ8にメタ
ライズされた内部リード9とをワイヤ7でポンディング
する。
し、その上に第2のチップ4をフェイスアンプに載せ、
バッド(ボンディングするための接続端子)3.5をワ
イヤ6でポンディングして両チップを結線する。つぎに
第1のチップ1の周辺のバッド2とパッケージ8にメタ
ライズされた内部リード9とをワイヤ7でポンディング
する。
内部リード9はパッケージの外部リード10に接続され
ている。11はパッケージの蓋を示す。
ている。11はパッケージの蓋を示す。
実施例では両チップの結線をボンディングで行ったが、
バンプ(導電層の隆起部)、ビームリードで行ってもよ
い。
バンプ(導電層の隆起部)、ビームリードで行ってもよ
い。
以上説明したように本発明によれば、1チップ時は、両
チップを結線しなくとも、このチップの出力信号が正常
に出ているがどうかが試験できる。
チップを結線しなくとも、このチップの出力信号が正常
に出ているがどうかが試験できる。
また入力端子がフローティングになっても、内部回路に
論理的不定状態を伝播しない。
論理的不定状態を伝播しない。
また両チップ結線時は、相手のチップよりの入力信号を
各チップに伝えることができる。
各チップに伝えることができる。
第1図は第1の発明によるChip on Chip
L SIの試験回路図、 第2図は第1の発明によるChip on Chip
L SIの第1図に追加する部分を示す試験回路図、第
3図は本発明によるLSIに用いるデータ選択回路の他
の例を示す回路図、 第4図は本発明によるLSIをパッケージに組込んだ断
面図である。 図において、 ■は入力端子、または入力信号、 0は出力端子、または出力信号、 Cは制御端子、または制御信号、 Sはデータ選択回路、 (以上の記号に対する添字は チップ番号を示す) Rはプルアンプ抵抗、 1は第1のチップ、 2,3.5はバンド、4は第2
のチップ、 6.7はワイヤ、8はパッケージ、
9は内部リード、10は外部リード、 11は蓋 を示す。 ネI 図 革2区 第3 固 一ド 第4図
L SIの試験回路図、 第2図は第1の発明によるChip on Chip
L SIの第1図に追加する部分を示す試験回路図、第
3図は本発明によるLSIに用いるデータ選択回路の他
の例を示す回路図、 第4図は本発明によるLSIをパッケージに組込んだ断
面図である。 図において、 ■は入力端子、または入力信号、 0は出力端子、または出力信号、 Cは制御端子、または制御信号、 Sはデータ選択回路、 (以上の記号に対する添字は チップ番号を示す) Rはプルアンプ抵抗、 1は第1のチップ、 2,3.5はバンド、4は第2
のチップ、 6.7はワイヤ、8はパッケージ、
9は内部リード、10は外部リード、 11は蓋 を示す。 ネI 図 革2区 第3 固 一ド 第4図
Claims (2)
- (1)2個の半導体チップが結線されてなり、第2のチ
ップへ送る第1のチップの出力信号を出す出力端子と、
第2チップよりくる第1チップの入力信号を受ける入力
端子と、該出力信号と該入力信号を選択するデータ選択
回路とを第1のチップに設け、第1のチップ単独時は、
第1のチップの出力信号を選択して第1のチップに戻す
ことにより第1のチップの出力信号を試験できるように
し、また両チップ結線時は第1チップの入力信号を選択
してデータ選択回路の出力より内部に送るようにしたこ
とを特徴とする半導体装置。 - (2)2個の半導体チップが結線されてなり、第2のチ
ップへ送る第1のチップの出力信号を出す出力端子と、
第2チップよりくる第1チップの入力信号を受ける入力
端子と、該出力信号と該入力信号を選択するデータ選択
回路とを第1のチップに設け、第1のチップ単独時は、
第1のチップの出力信号を選択して第1のチップに戻す
ことにより第1のチップの出力信号を試験できるように
し、また両チップ結線時は第1チップの入力信号を選択
してデータ選択回路の出力より内部に送るようにし、つ
ぎに第1のチップの該データ選択回路の制御端子と電源
電位または接地電位間にインピーダンスを挿入して該制
御端子の電位を固定し、かつ該制御端子に接続する出力
端子と、該出力端子に出力を接続した前記インピーダン
スより低い出力インピーダンスを有するドライバとを第
2のチップに設け、第2のチップよりの選択信号を第1
のチップに伝えられるようにしたことを特徴とする半導
体装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59209236A JPS6188538A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 半導体装置 |
| US06/782,931 US4697095A (en) | 1984-10-05 | 1985-10-02 | Chip-on-chip semiconductor device having selectable terminal connections |
| DE8585112588T DE3585309D1 (de) | 1984-10-05 | 1985-10-04 | "chip-on-chip" halbleitergeraet. |
| KR1019850007311A KR900005148B1 (ko) | 1984-10-05 | 1985-10-04 | 칩온칩(chip-on-chip)반도체 장치 |
| EP85112588A EP0180776B1 (en) | 1984-10-05 | 1985-10-04 | Chip-on-chip semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59209236A JPS6188538A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6188538A true JPS6188538A (ja) | 1986-05-06 |
| JPH0351306B2 JPH0351306B2 (ja) | 1991-08-06 |
Family
ID=16569610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59209236A Granted JPS6188538A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 半導体装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4697095A (ja) |
| EP (1) | EP0180776B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6188538A (ja) |
| KR (1) | KR900005148B1 (ja) |
| DE (1) | DE3585309D1 (ja) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2605687B2 (ja) * | 1986-04-17 | 1997-04-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
| US4825098A (en) * | 1986-12-17 | 1989-04-25 | Fujitsu Limited | Bidirectional semiconductor device having only one one-directional device |
| JPH06105757B2 (ja) * | 1987-02-13 | 1994-12-21 | 富士通株式会社 | マスタ・スライス型半導体集積回路 |
| US4761567A (en) * | 1987-05-20 | 1988-08-02 | Advanced Micro Devices, Inc. | Clock scheme for VLSI systems |
| KR910003593B1 (ko) * | 1987-12-30 | 1991-06-07 | 삼성전자 주식회사 | 고집적도 메모리용 모드 선택회로 |
| US4866309A (en) * | 1988-07-18 | 1989-09-12 | Western Digital Corporation | Multiplexed bus architecture for configuration sensing |
| US5162675A (en) * | 1989-04-14 | 1992-11-10 | Digital Communications Associates, Inc. | Dual personal computer architecture peripheral adapter board and circuit |
| JP2839547B2 (ja) * | 1989-05-02 | 1998-12-16 | 株式会社東芝 | 半導体集積回路装置 |
| NL8902964A (nl) * | 1989-12-01 | 1991-07-01 | Philips Nv | Op substraat geintegreerd teststelsel. |
| US5079442A (en) * | 1990-03-28 | 1992-01-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Apparatus adaptable for use as a replacement output driver in a signal generating circuit |
| US5128723A (en) * | 1991-05-06 | 1992-07-07 | Xerox Corporation | Scavengeless development system having toner deposited on a doner roller from a toner mover |
| CA2067599A1 (en) * | 1991-06-10 | 1992-12-11 | Bruce Alan Smith | Personal computer with riser connector for alternate master |
| US5714802A (en) * | 1991-06-18 | 1998-02-03 | Micron Technology, Inc. | High-density electronic module |
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