JPS622242U - - Google Patents
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- JPS622242U JPS622242U JP9360985U JP9360985U JPS622242U JP S622242 U JPS622242 U JP S622242U JP 9360985 U JP9360985 U JP 9360985U JP 9360985 U JP9360985 U JP 9360985U JP S622242 U JPS622242 U JP S622242U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate support
- fixing base
- parallel
- semiconductor
- fitting
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は
基板支持体の一実施例の正面図、第３図は第２図
の支持体の固定台との組み合わせ状態を示す側面
図、第４図は第２図の支持体の別の実施例の固定
台との組み合わせ状態を示す側面図、第５図は本
考案による治具の直径の異なる基板の支持方法を
示す側面図である。 １：シリコン板、２：固定台、３：基板支持体
、３：溝、５，６：凹部、７：突起。
基板支持体の一実施例の正面図、第３図は第２図
の支持体の固定台との組み合わせ状態を示す側面
図、第４図は第２図の支持体の別の実施例の固定
台との組み合わせ状態を示す側面図、第５図は本
考案による治具の直径の異なる基板の支持方法を
示す側面図である。 １：シリコン板、２：固定台、３：基板支持体
、３：溝、５，６：凹部、７：突起。
Claims (1)
- 半導体材料よりなり上部に長手方向に垂直方向
の複数の平行溝を有する棒状の基板支持体と、石
英ガラス材よりなり互いに連結される二本の平行
な桁部を有する固定台とを備え、基板支持体と固
定台が長手方向を互いに垂直にして嵌合により組
み合わされたことを特徴とする熱処理用半導体基
板支持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9360985U JPS622242U (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9360985U JPS622242U (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622242U true JPS622242U (ja) | 1987-01-08 |
Family
ID=30651443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9360985U Pending JPS622242U (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS622242U (ja) |
-
1985
- 1985-06-20 JP JP9360985U patent/JPS622242U/ja active Pending
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