JPS6274901A - 光重合性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、゛活性光線に感光する新規な光重合性組成物
に関するものであり、さらに詳しくは、高感度の性能を
与える光重合開始剤に特徴を有する光重合性組成物に関
するものである。

（従来の技術） 光重合性組成物は、プリント基板の製作において、ドラ
イフィルムレジスト、ソルダーレジスト。

あるいはエツチングレジスト祠゛書として広範に使用さ
れているものであり、印刷産業においては感光性樹脂凸
版、オフセソｌ−Ｐ　３版１印刷インキ等に、ざらに塗
料、接着剤としても使用されている。

特に、プリント基板焼付けに使用されるドライフィルム
レジストは、従来の液状レジストを用いる方法に比較し
て高精度化ができるため、最近ますます市場を拡大して
きており、産業用プリント配線板をつくるには欠かすこ
とのできないものとなっている。現在、市販されている
大部分のドライフィルムレジストは、光重合型の感光組
成物であり、バインダーポリマーを多官能性モノマーで
光架橋させることを特徴としているが、この種の光重合
性組成物は光重合開始剤として、ベンゾイン系化合物や
ベンゾフェノン、ミヒラーケトン類のごときカルボニル
化合物を用いているため、フォトポリマーとしては良好
な感度を有しているとはいえなかった。

また近年、レーザー、例えばアルゴンイオンレーザ−を
用いて、直接各基板上の感光層に走査露光させて画像を
形成させる方法が検討されている。

この方式は、銀塩フィルムをまったく使用する必要がな
いため、多大な省力化がはかられ、また。

今後はコンピューター化が進み、その複雑な回路設計は
コンピューターからの電気信号として取り出すことがで
きるようになるので、大いに期待されているものである
。

ところが、このようなレーザーを用いてダイレクトに画
像を形成させるには、基板上に被覆される光重合性組成
物に対してはより高感度のものが要求される。しかしな
がら、上述した光重合型の感光性組成物は、ジアゾ樹脂
に代表されるジアゾ系の感光性材料や、ポリケイ皮酸ビ
ニルに代表される光架橋型感光性樹脂組成物と比較して
高感度とされているが、前述したアルゴンイオンレーザ
−による走査露光の方式では、感度および感光波長域と
も満足するものでなく、特に、可視光レーザー用の感光
材料としては不適当なものであった。

こうした諸問題を解決する方法として、光重合開始剤系
を種々組合わせることにより多数の研究が重ねられてき
た。例えば米国特許第３．４７９．１８５には、２個の
ロフィン残基よりなる２、４．５−トリフェニルイミダ
ゾールダイマーとラジカル発生剤とを含有する光重合性
組成物において、ラジカル発生剤として２−メルカプト
ベンゾイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾー
ル、２−メルカプトコハク酸が有用であることが開示さ
れている。しかしながら、これらの組合わせでは４５０
〜５００ｎｍの可視域に吸収域を有していないので、ア
ルゴンイオンレーザ−用の感剤としては有用ではなかっ
た。

また、特開昭５８−４０３０２号には、可視域に吸収域
を有し、アルゴンイオンレーザ−に感光しうる光重合開
始系として、チオピリリウム塩と２．４．６−トリス（
トリクロロメチル）−３−トリアジンに代表されるハロ
ゲン化合物との組合わせが開示されているが、感度の点
で満足のいくものではなかった。さらに、特開昭５９−
４５３０３号、特開昭５９−１４２２０５号には、チオ
ピリリウム塩と有機過酸化物もしくはアゾ系化合物との
組合わせが開示されているが、前者は熱安定性、貯蔵安
定性の点で問題があり、後者については感度の点で不十
分であり、いずれも工業的には満足のいくものではなか
った。

（問題点を解決するための手段） そこで９本発明者らは鋭意研究の結果、（ａ）一般式（
１） （式中、Ｒ＋、Ｒｚ、Ｒｉは水素原子、アルキル基。

アルコキシ基、アミノ基、水酸基、ニトロ基。

またはハロゲン原子を表わし、Ｘは酸素、硫黄。

またはセレン原子を表わし、Ｙはアニオン官能基を表わ
す。） 示されるピリリウム塩、チオピリリウム塩、またはセレ
ノピリリウム塩と、（ｂ）窒素原子を少なくとも１個含
む５〜７個の原子からなる複素環に結合するチオール基
を有する複素環式化合物とを光重合開始剤として組合わ
せることにより、高感度でかつ可視光に感光する光重合
性組成物が得られることを見い出した。

（本発明の目的） 本発明の目的は、光重合性組成物（いわゆるフィトレジ
ストの１つのタイプ）に用いる高感度の光重合開始系を
提供することである。

本発明の他の目的は、少なくとも１個の末端エチレン性
不飽和基を有する付加重合可能な化合物を含む光重合性
組成物の感光速度を増大させる光重合開始系を提供する
ことである。

本発明のさらに他の目的は、４５０〜５ＱＯｎｍの可視
領域で感光でき、アルゴンイオンレーザ−により重合可
能な光重合性組成物を提供することである。

本発明のさらに他の目的は、以下の記述から明らかにな
るであろう。

（本発明の概要） 本発明は、少なくとも１個の末端エチレン性不飽和基を
有する付加重合可能な化合物、および光重合開始系を含
む光重合性組成物において、該光重合開始系が（ａｌ一
般式（１）で示されるビリリウム塩、チオピリリウム塩
、またはセレノピリリウム塩と、（ｂ）窒素原子を少な
くとも１個含む５〜７個の原子からなる複素環に結合す
るチオール基を有する化合物との組合わせにより達成さ
れた。

一般式（１）で示されるピリリウム塩、チオピリリウム
塩またはセレノピリリウム塩において。

ＲＩ＋Ｒ２＋Ｒ３は水素原子、アルキル基、アルコキシ
基、アミン基、水酸基、ニトロ基、またはハロゲン原子
を表わし、その中でもアルキル基、アルコキシ基が好ま
しい。また、Ｘは酸素、硫黄、またはセレン原子を表わ
し、その中でも硫黄原子が好ましい。さらにＹで表され
るアニオン官能基としては２例えばバークロレート　フ
ルオロボレートクロロアルミネート、クロロフエレート
、サルファアセテート、メタサルフェートチオシアナー
ト、フルオロアンチモネート、フルオロホスホネート、
硫酸塩、硝酸塩、酢酸塩などがあげられるが、その中で
もバークロレート、フルオロボレートが好ましい。

一般式（Ｉ）で示されるピリリウム塩、チオピリリウム
塩またはセレノピリリウム塩の具体例としては、２，４
．６−）リフェニルピリリウムバークロレート、２，４
．６−）リフェニルチオピリリウムテトラフルオロボレ
ート、４−（４−メトキシフェニル）−２，６−ジフェ
ニルビリリウムバークロレート、４−（４−メトキシフ
ェニル）−２，６−シフエニルチオピリリウムテトラフ
ルオロボレート２．６−ビス（４−メトキシフェニル）
−４−フェニルピリリウムバークロレート、２．６−ビ
ス（４−メトキシフェニル）−４−フェニルピリリウム
テトラフルオロボレート、２．６−ビス（４−メトキシ
フェニル）−４−フェニルチオピリリウムテトラフルオ
ロボレート、２．６−ビス（４−メトキシフェニル）−
４−フェニルチオピリリウムヘキサフルオロアンチモネ
ート　４−（４−ブトキシフェニル）−２，８−ジフェ
ニルピリリウムバークロレート、４−（４−ブトキシフ
ェニル）−２，６−シフエニルチオビリリウムテトラフ
ルオロボレー）、６−（４−エトキシフェニル）−２゜
４−ジフェニルピリリウムテトラフルオロボレート、６
−（４−エトキシフェニル）−２，４−ジフェニルチオ
ピリリウムバークロレート　２＋４＋６−トリス（４−
メトキシフェニル）−チオピリリウムテトラフルオロボ
レート、２，４．６−）リフェニルセレノピリリウムパ
ークロレート２，６−ビス（４−エチルフェニル）−４
−（４−メトキシフェニル）−ピリリウムテトラフルオ
ロボレートなどがあげられる。

これらのビ゛リリウム塩、チオピリリウム塩、またはセ
レノピリリウム塩は、相当する芳香族アルデヒド類とア
セトフェノン類とを出発原料とし。

公知の方法２例えば、　１ｉｅｌｖ、　ｃｈｉｍ、　Ａ
ｃｔａ、　３９．５（１９５６）およびｌ１ｅｌｖ、　
ｃｈｕｍ、　Ａｃｔａ、　３９．２０７　（１９５６）
に開示されている方法により容易に合成することができ
る。

また、少なくとも１個の窒素原子を含む５〜７個の原子
からなる複素環に結合するチオール基を有する複素環式
化合物としては、２−メルカプトイミダゾール、２−メ
ルカプトオキサゾール、２−メルカプトチアゾール、３
−メルカプト−１，２゜４−トリアゾール、２−メルカ
プトベンゾイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサ
ゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカ
プトオキサジアゾール、２−メルカプトチ７ジアプール
、５−メチルメルカプト−２−メルカプトオキサジアゾ
ール、５−メルカプト−１−フェニルテトラソール、６
−クロロ−２−メルカプトベンゾイミダゾール、６−ク
ロロ−２−メルカプトベンゾオキサゾール、６−クロロ
−２−メルカプトベンゾチアゾール、６−メドキシー２
−メルカプトベンゾイミダゾール、６−メドキシー２−
メルカプトベンゾオキサゾール、６−メドキシー２−メ
ルカプトベンゾチアゾール、６−フェニル−２−メルカ
プトベンゾイミダゾール、６−フェニル−２−メルカプ
トベンゾオキサゾール、６−フェニル−２−メルカプト
ベンゾチアゾール、２−メルカプトナフトイミダゾール
、２−メルカプトナフトオキサゾール、２−メチルカプ
トナフトチアゾール、２−メルカプト−４（３Ｈ）−キ
ナゾリノンなどがあげられるが、その中でも２〜メルカ
ブトペンヅイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサ
ゾール、２−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。

また２本発明の光重合性組成物における少なくとも１個
の末端エチレン性不飽和基を有する付加重合可能な化合
物とは、該光重合性組成物が活性光線の照射を受けた場
合、光重合開始系の光分解生成物の作用により付加重合
することにより硬化し、実質的に不溶化をもたらすよう
なエチレン性不飽和二重結合を有する単量体、二量体、
三量体。

もしくはオリゴマー、さらには主鎖もしくは側鎖にエチ
レン性不飽和二重結合を有する重合体、およびそれらの
混合物である。それらの例としては。

不飽和カルボン酸およびその塩、不飽和カルボン酸と脂
肪族ポリオール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸
と芳香族ポリオール化合物とのエステル、不飽和カルボ
ン酸と多価カルボン酸および前述の脂肪族ポリオール化
合物、芳香族ポリオール化合物等の多価ポリオール化合
物とのエステル化反応により得られるエステル等があげ
られる。

不飽和カルボン酸およびその塩の具体例としては、アク
リル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレ
イン酸およびそれらの酸のナトリウム塩、カリウム塩な
どがある。

不飽和カルボン酸と脂肪族ポリオール化合物とのエステ
ルの具体例としては、エチレングリコールジアクリレー
ト、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレ
ングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコー
ルジアクリレート。

テトラメチレングリコールジアクリレート　トリメチロ
ールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタン
トリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエ
リスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリト
ールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールへキ
サアクリレート、グリセロールアクリレート等のアクリ
ル酸エステル；エチレングリコールジメタクリレート　
ジエチレングリコールジメタクリレート　トリエチレン
グリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコー
ルジメタクリレート　トリメチロールプロパントリメタ
クリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート
、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリ
スリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトール
テトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ
メタクリレート、ジペンタエリスリトールへキサメタク
リレート、グリセロールメタクリレート等のメタクリル
酸のエステル；エチレングリコールシイタコネート、プ
ロピレングリコールシイタコネート、テトラメチレング
リコールシイタコネート、ペンタエリスリトールトリイ
タコネート。

ソルビトールシイタコネート等のイタコン酸エステル；
エチレングリコールジクロトネート、ジエチレングリコ
ールジクロトネートペンタエリスリトールトリクロトネ
ート　ソルビトールジクロトネート等のクロトン酸エス
テル；エチレングリコールジマレエート　トリエチレン
グリコールジマレエート、ペンタエリスリトールジマレ
エート。

ソルビトールジマレエート等のマレイン酸のエステルが
あげられる。

不飽和カルボン酸と芳香族ポリオール化合物とのエステ
ルの具体例としては、ハイドロキノンジアクリレートハ
イドロキノンジメタクリレートレゾルシンジアクリレー
ト、レゾルシンジメタクリレート　ピロガロールトリア
クリレート等があげられる。

不飽和カルボン酸と多価カルボン酸および前述の脂肪族
ポリオール化合物、芳香族ポリオール化合物等の多価ポ
リオール化合物とのエステル化反応により得られるエス
テルの具体例としては、アクリル酸、フタル酸、および
エチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸
、およびジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸
、テレフタル酸、アクリル酸、グリセリンの縮合物等が
あげられる。

主鎖にエチレン性不飽和二重結合を有する重合体として
は９例えば、不飽和二価カルボン酸とジヒドロキシ化合
物との重縮合反応により得られるポリエステル、不飽和
二価カルボン酸とジアミンとの重縮合反応により得られ
るポリアミド等がある。

側鎖にエチレン性不飽和二重結合を有する重合体として
は２例えば、イタコン酸、プロピリデンコハク酸、エチ
リデンマロン酸等とジヒドロキシまたはジアミン化合物
との重縮合体がある。また。

側鎖に水酸基でクロロメチル基およびアミノ基のごとき
反応活性基を有する重合体１例えばポリビニルアルコー
ル、ポリ　（２−ヒドロキシエチルメタクリレート）、
ポリエピクロルヒドリン、ポリクロロメチルスチレン、
ポリアリルアミン等とアクリル酸、メタクリル酸、イタ
コン酸などの不飽和カルボン酸との高分子反応により得
られる重合体がある。

本発明の光重合組成物中に含有される光重合開始剤の量
は、エチレン性不飽和基を有する付加重合可能な化合物
１００重量部に対し、成分（ａ）は０．１〜１０．好ま
しくは０．５〜５重量部、成分（ｂ）は０．１〜１０．
好ましくは０．５〜７重量部の割合で用いられる。また
、光重合開始剤の成分重量の比（ａ）：（ｂ）は１００
：１〜１：１００゜好ましくは２０：１〜１：２０の割
合で用いられる。

本発明の光重合組成物は、前述の各構成成分の他に、さ
らに公知の結合剤（バインダーポリマー）。

熱重合開始剤２着色剤、可塑剤などの添加剤を必要に応
じて含有させることができる。特に、後述するように、
ドライフィルムに代表されるフォトレジストとして使用
する場合には、結合剤（バインダーポリマー）を併用さ
せる必要がある。結合剤は、相溶性、皮膜形成能、現像
性、剥離性等の改善目的に応じて適宜選択すればよい。

例えば。

結合剤として水可溶性の有機高分子重合体を用いると、
水現像が可能になる。このような有機高分子重合体とし
ては、側鎖にカルボキシル基を有する付加重合体１例え
ばアクリル酸共重合体、メタクリル酸共重合体、イタコ
ン酸共重合体１部分エステル化マレイン酸共重合体、ク
ロトン酸共重合体等があり、また同様に、側鎖にカルボ
キシル基を有する酸性セルロール変性体がある。この他
。

水溶性有機高分子重合体として、ポリエチレンオキシド
やポリビニルピロリドン等が有用である。

また、１，１．１−トリクロルエタン、二塩化エチレン
に代表される有機溶剤で現像可能な有機高分子重合体と
しては、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレンな
どの塩素化ポリオレフィン；ポリブチルアクリレート、
ポリメチルアクリレート、ポリブチルアクリレートなど
の（メタ）アクリル酸エステル系重合体；この他に、ポ
リ酢酸ビニル、ポリスチレン、ポリ−α−メチルスチレ
ン。

アクリロニトリルとブタジェン、スチレンとの共重合体
などがある。これらの結合剤は、エチレン性不飽和基を
有する付加重合可能な化合物に対して１重量比率で５０
０％以下、好ましくは２００％以下の範囲で用いられる
。

熱重合禁止剤としては１例えばハイドロキノン。

ｐ−メトキシフェノール、ピロガロール、ｔｅｒｔ’−
ブチルカテコール、ハイドロキノンモノメチルエーテル
、クロラニル、β−ナフトール、２．６−ジｔｅｒ　ｔ
−ブチル−ｐ−クレゾールなどがあり、これらの熱重合
禁止剤は、前述のエチレン性不飽和基を有する付加重合
可能な化合物１００重量部に対し０．００１〜５．好ま
しくは０．０１〜３重量部の範囲で用いられる。

着色剤としては１例えば酸化チタン、カーボンブラック
、酸化鉄などの顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔
料やビクトリアピュアブルー、メチレンブルー、クリス
タルバイオレット　ローダミンＢ、フクシン、オーラミ
ンなどの染料、アゾ系染料、アントラキノン系染料、シ
アニン系染料などがあり、これらの着色剤は、エチレン
性不飽和基を有する付加重合可能な化合物１００重量部
に対し０．０１〜１０．好ましくは０．１〜５重量部の
範囲で用いられる。

可塑剤としては１例えばジメチルフタレート。

ジエチルフタレート　ジブチルフタレート　ジオクチル
フタレート、オクチルカプリルフタレート。

ジシクロへキシルフタレート、ジアリルフタレー　トな
どのフタル酸エステル類；トリエチレングリコールシカ
プリレートなどのグリコールエステル類；トリタレジル
ホスフェート、トリフェニルホスフェートなどのリン酸
エステル類；ジイソブチルアジペート、ジオクチルアジ
ペート、ジブチルセバケート、ジブチルマレエートなど
の脂肪族二塩基酸エステル類；クエン酸トリエチル、グ
リセリントリアセチルエステル、ラウリン酸ブチルなど
があり、これらの可塑剤は、エチレン性不飽和基を有す
る付加重合可能な化合物１００重量部に対し０．０１〜
２０．好ましくは０．１〜１０重量部の範囲で用いられ
る。

本発明の光重合性組成物は、適当な溶剤に溶解して溶液
となし、これを支持体上に塗布し、溶剤を除去して感光
材料して用いるのが、最も一般的な本発明の光重合組成
物の用い方である。

溶剤としては９例えばメチルエチルケトン、メチルイソ
ブチルケトン、シクロヘキサノン、ジブチルケトンなど
のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル、プ
ロピオン酸エチル、フタル酸ジメチル、安息香酸エチル
などのエステル頚；トルエン、キシレン、モノクロルベ
ンゼンなどの芳香族炭化水素；四塩化炭素、トリクロル
エチレン、トリクロルエタン、パークロルエチレンなど
のハロゲン化炭化水素；メチルセロソルブ、エチルセロ
ソルブ、ブチルセロソルブなどのエーテル類；ジメチル
ホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラヒドロフ
ランなどがある。

本発明の光重合組成物を用いて感光材料を調整する際に
適用される支持体としては１例えばアルミニウム、マグ
ネシウム、！Ｆｉｔ、亜鉛、クロム、ニッケル、鉄など
の金属、またはそれらを主成分とした合金のシート、上
質紙、アート祇、剥離紙のような紙類；ガラス、セラミ
ックスのごとき無機シート；ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレン、ポリプロピレン、６−ナイロン、６
・６−ナイロン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−塩化ビ
ニリデン共重合体、再生セルロース、セルローストリア
セテートのようなポリマーシートなどがある。

また１本発明の光重合組成物は、酸素による感度の低下
や保存安定性の劣化を防止するため１例えば、感光層上
に剥離可能な透明カバーシートを設けたり、酸素透過性
の小さいロウ状物質、水溶性ポリマーなどによる被覆層
を設けることができる。

本発明の光重合組成物に適用しうる光源としては１例え
ばカーボンアーク灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセ
ノンランプ、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングス
テンランプ、アルゴンイオンレーザ−など、波長が１８
０ｎｍ〜６００ｎｍの範囲の紫外線および可視光線を含
む汎用の光源を使用しうる。

本発明の光重合性組成物は広範囲にわたって利用可能で
あり９例えば、プリント配線板やＩＣの作成のためのフ
ォトレジスト、ドライフィルムとして、平版、凹版、凸
版など印刷版の作成用として、その他光硬化性のインキ
、塗料、接着剤などに利用できるが、特に、アルゴンイ
オンレーザ−などの可視光線を用いる応用分野に有用で
ある。

以下、実施例ならびに比較例をもって本発明をさらに具
体的に説明するが２本発明はこれに限定されるものでは
ない。

（実施例） 実施例１〜８．比較例１〜３ く光重合性組成物の調製〉 常法により調製したアクリル系ポリマー〔メタクリル酸
メチル／メタクリル酸／アクリル酸エチル＝７０／２０
／ｌｏ　（重量比）の共重合体３１０ｇ、　　ペンタエ
リスリトールトリアクリレート１０ｇ、ハイドロキノン
モノメチルエーテル６０ｍｇおよびビクトリアピュアブ
ルー６０■をメチルエチルケトン１００ｇに溶解したの
ち９表１に示した光重合開始剤を所定量添加して光重合
組成物を調製した。

この組成物を、１．６■粛厚のガラスエポキシ銅張積層
板上にバーコーターを用いて乾燥膜厚が２０μｍとなる
ように塗布し９次いで８０℃で５分間乾燥した。さらに
、その表面に２５μｍ厚のポリエステルフィルムを圧着
して試料を作成した。

感光性試験は、可視光（波長４９０ｎｍ単色光）を用い
て行った。すなわち、試料上にネガフィルムを密着し９
次いで、５００ｗのキセノンランプを光源とし、東芝色
ガラスフィルターＹ−４７および干渉フィルターＫｌ、
−４９を通して所定の時間露光した。そして、安胚電気
０勾製光パワーメタ−（ＡＱ−１１２５）で４９０ｎｍ
に分光感度を有するセンター（ＡＱ−１９５８）を用い
て測定した露光面での光強度は。

２ｍ　ｗ　／　ｃｉであった。

その後ポリエステルフィルムを除去し、４０℃で１％の
炭酸ナトリウム水溶液中に１分間振動浸漬することによ
り、未硬化部分を溶出させ。

ネガフィルムを復元するに要する時間をもって光重合性
組成物の感度とした。表１にその結果を示す。

表１より２本発明の光重合組成物は、比較例に比べて短
時間の露光で硬化し、高怒度であることが明らかである
。

表　　　１ ｉｔ）（）内は重量部を表す。

＊ｌ＆５００秒間露光してもパターンが形成されなかっ
たものを表す。

ＢＭ’ｒ：　　　２，６−ビス（４−メトキシフェニル
）−４−７エニルチオピリリウムテトラフルオロネレー
トＢＤＴ：　　　４−（４−プトキシフェニＩｔ）−２
，６−ジフエニ１１チオピリリウムバークＵレートＢＤ
Ｐ：　　　４−（４−ブトキシフェニル）−２，６−シ
メトキシピリリウムへキリフォスフェート実施例９ 実施例１で用いた試料に対し、アルゴンイオンレーザ−
（ＮＥＣ製）による走査露光を行った。波長４８８ｎｍ
のレーザー光線を試料表面上でビーム径２５μｍに集光
し、光強度２００ｍｗ、走査速度２０　、８　ｍ／ｓｅ
ｃの条件下で露光した。実施例１と同様な現像を行った
結果、線幅２５μｍの硬化画像を得た。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 少なくとも１個の末端エチレン性不飽和基を有する付加
   重合可能な化合物および光重合開始系を含む光重合性組
   成物において、該光重合開始系が、（ａ）一般式（ I
   ） ▲数式、化学式、表等があります▼（ I ） （式中、Ｒ＿１、Ｒ＿２、Ｒ＿３は水素原子、アルキル
   基、アルコキシ基、アミノ基、水酸基、ニトロ基、また
   はハロゲン原子を表わし、Ｘは酸素、硫黄、またはセレ
   ン原子を表わし、Ｙはアニオン官能基を表わす。） で示されるピリリウム塩、チオピリリウム塩、またはセ
   レノピリリウム塩と、 （ｂ）窒素原子を少なくとも１個含む５〜７個の原子か
   らなる複素環に結合するチオール基を有する複素環式化
   合物との組合わせであることを特徴とする光重合性組成
   物。