JPH0448261U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0448261U JPH0448261U JP9065590U JP9065590U JPH0448261U JP H0448261 U JPH0448261 U JP H0448261U JP 9065590 U JP9065590 U JP 9065590U JP 9065590 U JP9065590 U JP 9065590U JP H0448261 U JPH0448261 U JP H0448261U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- manipulator
- vacuum
- holder
- stepping motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の真空蒸着用マニピユレータの
一実施例の要部断面正面図、第２図は第１図の一
部の側面図、第３図は第１図の真空蒸着用マニピ
ユレータを備えた真空装置の縦断面図、第４図ａ
は第１図の基板ホルダ２の正面図、同図ｂは同図
ａの基板ホルダ２の側面図、第５図は基板ホルダ
２の回転角度と回転速度の関係を示すグラフであ
る。 １……フランジ、２……基板ホルダ、３……基
板、４，５，６，７，８，９……傘歯車、１０，
１１，１２，１３……歯車軸、１４……ステツピ
ングモータ、１５……ツメ、１６……回転導入機
構、１７……金具、１８，１９……マグネツト、
２０……モータ取付板、２１……真空槽、２２，
２３……ｋ−セル、２４……真空蒸着用マニピユ
レータ。
一実施例の要部断面正面図、第２図は第１図の一
部の側面図、第３図は第１図の真空蒸着用マニピ
ユレータを備えた真空装置の縦断面図、第４図ａ
は第１図の基板ホルダ２の正面図、同図ｂは同図
ａの基板ホルダ２の側面図、第５図は基板ホルダ
２の回転角度と回転速度の関係を示すグラフであ
る。 １……フランジ、２……基板ホルダ、３……基
板、４，５，６，７，８，９……傘歯車、１０，
１１，１２，１３……歯車軸、１４……ステツピ
ングモータ、１５……ツメ、１６……回転導入機
構、１７……金具、１８，１９……マグネツト、
２０……モータ取付板、２１……真空槽、２２，
２３……ｋ−セル、２４……真空蒸着用マニピユ
レータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空槽に取付けられ、該真空槽内の蒸着源に
より基板に成膜材料の蒸着を行わせるための真空
蒸着用マニピユレータにおいて、 前記基板が搭載された基板ホルダを、該基板ホ
ルダに垂直な直線のまわりに回転させるステツピ
ングモータと、 前記ステツピングモータの回転軸上の基板ホル
ダ取付点またはその近傍の点を中心として、前記
ステツピングモータの回転軸を前記基板ホルダに
垂直な平面内に回転させ、前記基板の蒸着源に対
する角度を設定する基板角度設定機構とを有する
ことを特徴とする真空蒸着用マニピユレータ。 ２ ステツピングモータの回転軸が回転される平
面を変える機構を有する請求項１記載の真空蒸着
用マニピユレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9065590U JPH08362Y2 (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 真空蒸着用マニピュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9065590U JPH08362Y2 (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 真空蒸着用マニピュレータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448261U true JPH0448261U (ja) | 1992-04-23 |
| JPH08362Y2 JPH08362Y2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=31825591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9065590U Expired - Lifetime JPH08362Y2 (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 真空蒸着用マニピュレータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08362Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-08-31 JP JP9065590U patent/JPH08362Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08362Y2 (ja) | 1996-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3672427D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur abscheidung eines duennen filmes. | |
| JPH0448261U (ja) | ||
| JPH0413049U (ja) | ||
| JPS6334166U (ja) | ||
| JPH0421557U (ja) | ||
| JPH0345947Y2 (ja) | ||
| JPH03115660U (ja) | ||
| JPH0217550U (ja) | ||
| JPH0425858U (ja) | ||
| JPH0363569U (ja) | ||
| JPH03120555U (ja) | ||
| JP2595805Y2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPS6334165U (ja) | ||
| JPH037389Y2 (ja) | ||
| JPS6190854U (ja) | ||
| JPH0233257U (ja) | ||
| JPS6430355U (ja) | ||
| JPS61123508U (ja) | ||
| JPH0338356U (ja) | ||
| JPH0444359U (ja) | ||
| JPH01147271U (ja) | ||
| JPH03106356U (ja) | ||
| JPS6389963U (ja) | ||
| JPS63118228U (ja) | ||
| JPS6364489U (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |