JPS6339457A - リニアステッピングモータの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はリニアステッピングモータに関し、特に加工精
度を向上した小型のリニアステッピングモータに関する
。

〔従来の技術〕

従来、この種の小型のリニアステッピングモータは、そ
の励磁コイルを有するヨークの先端の歯の形成は砥石に
よる加工で行っており、このヨークの先端の歯と対向す
るくし歯状のベースはハーフエツチングにより形成して
いたが、これらの方法によると、加工精度はそれぞれに
ついて±１０μｍ及び±２０μｍであった。しかしなが
ら、装置の小型化が進むと小型リニアステッピングモー
タの位置決め精度はさらに高精度なものが要求され、従
来の方法では満足できなくなっていた。

そこで、励磁コイルを有するヨークの先端の歯をワイヤ
放電加工することにより、歯のピッチ精度は±５μｍ以
下、形状精度は±１μｍ以下に形成するように改善され
てきている。またこのヨークの歯と対向するハーフをく
し歯を有する薄板とベースに分離し、くし歯を有する薄
板をフルエツチングで形成することにより、くし歯状の
ピッチを１３μｍ以下、形状精度を±０．５μｍｎ以下
に形成できるようになっている。また、このくし歯を有
する薄板とベースを拡散接合することにより、確実に接
合できる、１うにもなっている。

（発明か解決しようとする間圧点、） 上述した従宋のリニアステラピンクモータは、くし歯を
有する薄板とベースを分離し、くし歯をフルエツチング
で形成することにより、ピッチ精度や形状精度を大幅に
向上させることかできている。しかしなから、高精度な
くし歯を有する薄板をベースにＷ、散接合した際、ピッ
チ方向に数１０／ｌＩｎの仲ひを生じるという欠点があ
る。くし歯を有する薄板とベースを分離し、それぞれの
精度は白土させ得たが、これらの拡散接合の段階で精度
劣化を牛してしまうという欠点かある。

本発明の目的は上記のような欠点をなくし、ベースとく
し歯状薄板とが高精度を維持した状態で拡散接ａされ、
位置決め精度の良好な小型のリニアステラピンクモータ
を提１ルすることにある。

１問題点を解決するための手段］ 本発明のリニアステラピンクモータは、微小の空隙をも
ってヨークぴ）市と対向するくし歯状薄板と該くし歯状
薄板にベースを重ねてなり、前記くし歯状薄板と前記ベ
ースとを重ね合わぜさらにｎｉｒ記くし歯状薄板のくし
歯と同方向、同ピッチで１１つ前記くし歯の幅より狭い
歯を有する二枚の熱圧着治具によって前記くし歯状薄板
と前記ベースとを上下から挟んで拡散接合１−でなる。

〔作用〕

本発明はくし歯状薄板とベースの拡散接合において、く
し歯状薄板の伸びを押えるために全面で圧接するのでは
なく、くし歯状薄板のくｉ−由と同方向、同ピッチで目
つ前記くし由の幅より狭い南を存する熱圧着治具によっ
て部分的な拡散接合をするものである。これにより、く
し歯状薄板のくし歯は部分的に且つ薄板のくし歯方向に
若干法がる傾向になるが、ピッチ間方向の寸法には影響
がない。従って、クシ１打方向の精度は高精度である・
ピ・要はないが、送り方向すなわちくし歯状薄板の長手
方向の精度を極めて高精度にする必要性が満足される。

（実り龜ｆ列　１ １’Ｊ、干、本発明について図面を参照して詳細に説明
する。

第１　ｒ：ａ　（ａ　）　、　　（））　）　、　　（
ｃ　）は本発明の一実施ρりの分解斜視図、第２図は本
実施例の拡散接合に用いる熱圧着治り、の斜視図である
。

本実施（５１はヨーク１、永久磁石２、励磁コイル３、
くし歯状薄板４、くし歯５及びベース６かｊ。

なり、また本実施例の拡散接合に際して熱圧着泊１Ｈ，
７，７′及び小ピッチ歯８．８′を用いる。

ヨーク１は先端の市がワイヤ放電加工によって形成され
、永久磁石２かその中央部に固着されている。ｌ１ｉｌ
ｌ　ＧＢ、　：フイル３はヨーク１の歯部分に挿入され
る。くし歯状薄板４は数］　０　）ｔ　ｍのけい素鋼板
にくし歯５をフルエツチングで加二「シたものである。

このくし歯状薄板４をフルエツチングで加二［すること
により、くし歯５のピッチ精度を５　）Ｌｍｌ？１．下
、形状精度を±１７ｚｍに形成することかできる。ベー
ス６は＜Ｌ、ｍ状薄板４を重ね合わせて拡散接合するこ
とにより、一体止するものである。

第２国に示ずように、熱圧着冶す７及び７′はくし歯状
薄板４にす１゛するくし歯５＆＋方向と同じ方向に同し
ピッチで小ピッチ歯８及び８′を設けている。

このような構成の本実施例により拡散接合を行うに当っ
ては、くし歯状薄板４とベース０を重ね音わせ、さらに
くし南５と小ピッチ歯８，８′を位置決めし、上下から
熱圧着泊１ルア及び７′で挟持した後に、加圧力２〜４
　ｋｇ　／　ｍ　ｍ　２、加熱温度４（’１０〜７００
°Ｃ１加熱時間１〜２時間の接合条件によって、くし歯
状薄板４とベース６の接合を行う。

〔発明の効果〕

以−Ｆ説明したように本発明は、くし歯と同方向。

同ピッチの歯を設けた熱圧着治具を用いてくしｍ状薄板
とベースとを熱圧着することにより、くし歯方向の寸法
は若干延びるかもしれないが、くし歯と直角方向すなわ
ちピッチ間方向の寸法は殆んと延びない。これはくシ由
状薄板を部分的にしか押圧しないためであって、微小部
分での延びはあるか、ピッチ誤差への影響を極めて小さ
くできる効果がある。

すなわち、実際の測定結果としては、伸びを全体として
数ミクロン以下に抑えることができたため、１ピッチ当
りの誤差に換算するとサブミクロン以下であり、使用上
の問題はない。この結果、本発明による位置決め精度は
１５μｍを確保することかできた。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）は本発明の一実施例の分
解斜視図、第２図は本実施例の拡散接合に用いる熱圧着
治具の斜視図である。 ■・・・ヨーク、２・・・永久磁石、３・・・励磁コイ
ル、４・・・くし歯状薄板、５・・・くし歯、６・・・
ベース、７゜−７＝ ２泉ん６屓 Ｓ４どＬ書

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 微小の空隙をもってヨークの歯と対向するくし歯状薄板
   と該くし歯状薄板にベースを重ねて成るリニアステッピ
   ングモータにおいて、前記くし歯状薄板と前記ベースと
   を重ね合わせさらに前記くし歯状薄板のくし歯と同方向
   、同ピッチで且つ前記くし歯の幅より狭い歯を有する二
   枚の熱圧着治具によって前記くし歯状薄板と前記ベース
   とを上下から挟んで拡散接合してなることを特徴とする
   リニアステッピングモータ。