JPS6344451Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6344451Y2 JPS6344451Y2 JP1984132284U JP13228484U JPS6344451Y2 JP S6344451 Y2 JPS6344451 Y2 JP S6344451Y2 JP 1984132284 U JP1984132284 U JP 1984132284U JP 13228484 U JP13228484 U JP 13228484U JP S6344451 Y2 JPS6344451 Y2 JP S6344451Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vapor deposition
- glass
- particles
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は蒸着防止用フイルタを備えた観察用覗
き窓に関する。
き窓に関する。
［従来の技術］
排気されたチヤンバ内で基板上に金属等の蒸着
を行なう場合、一般にその蒸着状態をチヤンバ壁
に取り付けられた覗き窓から観察している。しか
し乍ら、この覗き窓にも蒸着が行なわれてしま
い、短時間で観察不能となつてしまう。
を行なう場合、一般にその蒸着状態をチヤンバ壁
に取り付けられた覗き窓から観察している。しか
し乍ら、この覗き窓にも蒸着が行なわれてしま
い、短時間で観察不能となつてしまう。
そこで、第２図に示す様に、チヤンバ壁１にシ
ールして取り付けられた覗き窓ガラス２のチヤン
バ内部側３に、該覗き窓ガラスの近傍に直接又は
蒸着防止ガラス４を介して第３図ａ、及びそのＡ
−Ａ断面を示す第３図ｂに示す如き多数のスリツ
トS1，S2，S3，…，Soを有する蒸着防止用フイル
タ５を設け、該スリツトを介してチヤンバ内を観
察するように成した覗き窓が提案されている。こ
の様な覗き窓によれば、覗き窓全面が観察不能に
なる厚さ迄覗き窓ガラスが蒸着されるのに可成の
時間が掛る事になり、長時間観察が可能となる。
ールして取り付けられた覗き窓ガラス２のチヤン
バ内部側３に、該覗き窓ガラスの近傍に直接又は
蒸着防止ガラス４を介して第３図ａ、及びそのＡ
−Ａ断面を示す第３図ｂに示す如き多数のスリツ
トS1，S2，S3，…，Soを有する蒸着防止用フイル
タ５を設け、該スリツトを介してチヤンバ内を観
察するように成した覗き窓が提案されている。こ
の様な覗き窓によれば、覗き窓全面が観察不能に
なる厚さ迄覗き窓ガラスが蒸着されるのに可成の
時間が掛る事になり、長時間観察が可能となる。
［考案が解決しようとする問題点］
さて、チヤンバ内部において、イオンプレーテ
イング等を行なつた場合、チヤンバ内には、成膜
すべき金属の中性粒子、＋イオン及び−イオンが
発生している。これらの内、中性粒子と−イオン
は少数で、大多数は＋イオンである。しかも、こ
の少数の中性粒子は直進するので、前記蒸着防止
用フイルタ５に衝突するが、多数のイオンはチヤ
ンバ内に電界が発生しているのでランダムにしか
も曲線状に動く。その為、該イオン化した粒子
は、前記蒸着防止用フイルタのスリツトを回り込
み、蒸着防止ガラス４に衝突して該蒸着防止ガラ
スに付着する。従つて、チヤンバ内にイオン化し
た粒子を発生させる場合に前記の如き覗き窓を使
用しても充分役に立たない。又、該イオン化した
粒子は密着性が良く、該蒸着防止ガラスに付着し
た膜は擦つても中々取れない。
イング等を行なつた場合、チヤンバ内には、成膜
すべき金属の中性粒子、＋イオン及び−イオンが
発生している。これらの内、中性粒子と−イオン
は少数で、大多数は＋イオンである。しかも、こ
の少数の中性粒子は直進するので、前記蒸着防止
用フイルタ５に衝突するが、多数のイオンはチヤ
ンバ内に電界が発生しているのでランダムにしか
も曲線状に動く。その為、該イオン化した粒子
は、前記蒸着防止用フイルタのスリツトを回り込
み、蒸着防止ガラス４に衝突して該蒸着防止ガラ
スに付着する。従つて、チヤンバ内にイオン化し
た粒子を発生させる場合に前記の如き覗き窓を使
用しても充分役に立たない。又、該イオン化した
粒子は密着性が良く、該蒸着防止ガラスに付着し
た膜は擦つても中々取れない。
［問題点を解決するための手段］
本考案の観察用覗き窓は、イオン化した粒子を
発生させるように成したチヤンバの壁に、チヤン
バ内部を覗く為のガラス窓をシールして取り付
け、該ガラス窓のチヤンバ内部側に多数のスリツ
ト又は多数の孔を有する導電板を配置し、該導電
板に正の電圧を印加するように成した事を特徴と
する。
発生させるように成したチヤンバの壁に、チヤン
バ内部を覗く為のガラス窓をシールして取り付
け、該ガラス窓のチヤンバ内部側に多数のスリツ
ト又は多数の孔を有する導電板を配置し、該導電
板に正の電圧を印加するように成した事を特徴と
する。
［実施例］
第１図は本考案の一実施例を示した覗き窓の概
略図で、前記第２図で使用した番号と同一番号の
付したものは同一構成要素である。
略図で、前記第２図で使用した番号と同一番号の
付したものは同一構成要素である。
６ａ，６ｂは金属製の蒸着防止用フイルタ５と
チヤンバ壁１とを絶縁し且つ該フイルタを該チヤ
ンバ壁に固定する為の絶縁碍子である。該絶縁碍
子６ｂには前記蒸着防止用フイルタ５とチヤンバ
外部に設けられた直流電源７を接続するリード８
が埋め込まれている。
チヤンバ壁１とを絶縁し且つ該フイルタを該チヤ
ンバ壁に固定する為の絶縁碍子である。該絶縁碍
子６ｂには前記蒸着防止用フイルタ５とチヤンバ
外部に設けられた直流電源７を接続するリード８
が埋め込まれている。
さて、斯くの如き観察用覗き窓を例えば、イオ
ンプレーテイング装置のチヤンバ壁に取り付けた
場合の動作について説明する。
ンプレーテイング装置のチヤンバ壁に取り付けた
場合の動作について説明する。
先ず、直流電源から蒸着防止用フイルタ５に正
の電圧を印加すると、チヤンバ内で発生した粒子
の多数を占める＋イオン粒子の内、観察用覗き窓
の方向に飛んで来たものは該蒸着用スリツト５で
反発し、チヤンバ内で該覗き窓から離れる方向に
飛んで行く。この場合、前記蒸着防止用フイルタ
に印加する正の電圧の大きさによるが、該フイル
タからの反発力に負けないで該フイルタを通過
し、蒸着防止ガラス４に到達する＋イオン粒子も
あるが、極めて少ない。又、たとえ、該蒸着防止
ガラス４に少量のイオン粒子が到達しても弱い密
着力で該化ガラス４に付着する。
の電圧を印加すると、チヤンバ内で発生した粒子
の多数を占める＋イオン粒子の内、観察用覗き窓
の方向に飛んで来たものは該蒸着用スリツト５で
反発し、チヤンバ内で該覗き窓から離れる方向に
飛んで行く。この場合、前記蒸着防止用フイルタ
に印加する正の電圧の大きさによるが、該フイル
タからの反発力に負けないで該フイルタを通過
し、蒸着防止ガラス４に到達する＋イオン粒子も
あるが、極めて少ない。又、たとえ、該蒸着防止
ガラス４に少量のイオン粒子が到達しても弱い密
着力で該化ガラス４に付着する。
前記実施例ではイオンプレーテイング装置のチ
ヤンバ壁に本考案の観察用覗き窓を使用する例を
示したが、他のチヤンバ内でイオン粒子を発生さ
せる装置のチヤンバ壁にも使用可能である。
ヤンバ壁に本考案の観察用覗き窓を使用する例を
示したが、他のチヤンバ内でイオン粒子を発生さ
せる装置のチヤンバ壁にも使用可能である。
［効果］
本考案によれば、観察用覗き窓をイオン粒子が
発生するチヤンバの壁に取り付けても、該観察用
覗き窓に向かつて来るイオン粒子の大部分は蒸着
防止ガラスには到達しないので、長時間の観察が
可能である。又、到達して付着した少量のイオン
粒子や中性粒子の膜は極めて取れ易い。
発生するチヤンバの壁に取り付けても、該観察用
覗き窓に向かつて来るイオン粒子の大部分は蒸着
防止ガラスには到達しないので、長時間の観察が
可能である。又、到達して付着した少量のイオン
粒子や中性粒子の膜は極めて取れ易い。
第１図は本考案の一実施例を示した観察用覗き
窓の概略図、第２図は本考案の前に提案されてい
る観察用覗き窓の概略図、第３図ａ，ｂは蒸着防
止用フイルタの一例図である。 １：チヤンバ壁、２：覗き窓ガラス、４：蒸着
防止ガラス、５：蒸着防止用フイルタ、６ａ，６
ｂ：絶縁碍子、７：直流電源。
窓の概略図、第２図は本考案の前に提案されてい
る観察用覗き窓の概略図、第３図ａ，ｂは蒸着防
止用フイルタの一例図である。 １：チヤンバ壁、２：覗き窓ガラス、４：蒸着
防止ガラス、５：蒸着防止用フイルタ、６ａ，６
ｂ：絶縁碍子、７：直流電源。
Claims (1)
- イオン化した粒子を発生させるように成したチ
ヤンバの壁に、チヤンバ内部を覗く為のガラス窓
をシールして取り付け、該ガラス窓のチヤンバ内
部側に多数のスリツト又は多数の孔を有する導電
板を配置し、該導電板に正の電圧を印加するよう
に成した観察用覗き窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984132284U JPS6344451Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984132284U JPS6344451Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61116761U JPS61116761U (ja) | 1986-07-23 |
| JPS6344451Y2 true JPS6344451Y2 (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=30690851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984132284U Expired JPS6344451Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6344451Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55141562A (en) * | 1979-04-23 | 1980-11-05 | Ricoh Co Ltd | Metallizing method |
| JPS59132284U (ja) * | 1983-02-21 | 1984-09-05 | 三菱電機株式会社 | イルミネ−テツドスピ−カシステム |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP1984132284U patent/JPS6344451Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61116761U (ja) | 1986-07-23 |
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