JPS6454992U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6454992U JPS6454992U JP14713787U JP14713787U JPS6454992U JP S6454992 U JPS6454992 U JP S6454992U JP 14713787 U JP14713787 U JP 14713787U JP 14713787 U JP14713787 U JP 14713787U JP S6454992 U JPS6454992 U JP S6454992U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- sensor
- projection unit
- difference
- processing section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
第１図は本考案に係る電子ビーム加工装置の模
式図、第２図は電子ビームの投射部と電子ビーム
用センサとの関係を示す説明図、第３図はセンサ
出力とテーブルの位置ずれとの関係を示す説明図
、第４図はＸ軸方向の位置ずれに対する調整過程
を示すフローチヤート、第５図はＸ軸方向の調整
過程におけるテーブルの移動軌跡を示す説明図、
第６図はＹ軸方向の調整過程におけるテーブルの
移動軸跡を示す説明図、第７図は従来装置の模式
図、第８図は同じくマーカの平面図、第９図はマ
ーカからの反射電子ビームとそのセンサとの関係
を示す部分拡大図、第１０図はテーブルに位置ず
れが無い場合と有る場合とのセンサ出力を示す波
形図である。 １……電子ビームの投射部、２……テーブル、
３……被加工物、４……センサ、５……対物レン
ズ系、６……偏向レンズ系、７……パレツト、８
……位置補正処理部、９……位置調整部、なお、
図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
式図、第２図は電子ビームの投射部と電子ビーム
用センサとの関係を示す説明図、第３図はセンサ
出力とテーブルの位置ずれとの関係を示す説明図
、第４図はＸ軸方向の位置ずれに対する調整過程
を示すフローチヤート、第５図はＸ軸方向の調整
過程におけるテーブルの移動軌跡を示す説明図、
第６図はＹ軸方向の調整過程におけるテーブルの
移動軸跡を示す説明図、第７図は従来装置の模式
図、第８図は同じくマーカの平面図、第９図はマ
ーカからの反射電子ビームとそのセンサとの関係
を示す部分拡大図、第１０図はテーブルに位置ず
れが無い場合と有る場合とのセンサ出力を示す波
形図である。 １……電子ビームの投射部、２……テーブル、
３……被加工物、４……センサ、５……対物レン
ズ系、６……偏向レンズ系、７……パレツト、８
……位置補正処理部、９……位置調整部、なお、
図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 電子ビームを投射する投射部と、電子ビームに
よる被加工物を載置し、前記投射部に対して移動
可能としたテーブルと、該テーブル上に固定され
た電子ビーム検出用のセンサと、テーブルが所定
位置にあるときの前記センサの出力信号を基準値
とし、これと前記センサの検出値との差を求め、
この差に相応した補正信号を出力する位置補正処
理部と、該位置補正処理部の補正信号に基づきテ
ーブルの位置を調整する位置調整部とを具備する
ことを特徴とする電子ビーム加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14713787U JPS6454992U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14713787U JPS6454992U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6454992U true JPS6454992U (ja) | 1989-04-05 |
Family
ID=31417270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14713787U Pending JPS6454992U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6454992U (ja) |
-
1987
- 1987-09-24 JP JP14713787U patent/JPS6454992U/ja active Pending
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