JPS647250Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS647250Y2 JPS647250Y2 JP1982162963U JP16296382U JPS647250Y2 JP S647250 Y2 JPS647250 Y2 JP S647250Y2 JP 1982162963 U JP1982162963 U JP 1982162963U JP 16296382 U JP16296382 U JP 16296382U JP S647250 Y2 JPS647250 Y2 JP S647250Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evacuation
- mesh
- high vacuum
- sample chamber
- exhaust port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は真空用室内の排気口部にダスト対策用
のメツシユを有するもので、排気速度の向上を可
能にする高真空排気装置に関するものである。
のメツシユを有するもので、排気速度の向上を可
能にする高真空排気装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来の真空装置ではポンプ内部をダスト等によ
る汚染から防ぐ目的で試料室内の排気口を金属製
メツシユで覆つている。一方、上記メツシユは、
試料室の排気の際には排気抵抗として作用し、所
要真空度に達するるまでの時間を長びかせる不都
合を有する。例えば、上記メツシユを構成する細
線の直径と空隙の幅が等しい場合には、有効な排
気口面積は、メツシユがない場合の1/4となる。
試料室の高真空排気において排気速度が排気口の
コンダクタンスによつて規制されている場合、有
効排気口面積が1/4になると、所要高真空度に到
達するまでの排気時間が約４倍になる。
る汚染から防ぐ目的で試料室内の排気口を金属製
メツシユで覆つている。一方、上記メツシユは、
試料室の排気の際には排気抵抗として作用し、所
要真空度に達するるまでの時間を長びかせる不都
合を有する。例えば、上記メツシユを構成する細
線の直径と空隙の幅が等しい場合には、有効な排
気口面積は、メツシユがない場合の1/4となる。
試料室の高真空排気において排気速度が排気口の
コンダクタンスによつて規制されている場合、有
効排気口面積が1/4になると、所要高真空度に到
達するまでの排気時間が約４倍になる。
考案の目的
本考案は、上記の様な欠点を除去するためにな
されたもので、試料室が荒引きされて圧力が低下
し、試料室内のダストが排気時の気流により排気
口からポンプへ吸入されるという可能性がなくな
つた時、上記メツシユを上方へ移動させて排気口
のコンダクタンスを大きくし、排気時間を短縮す
ることのできる高真空排気装置を提供することを
目的とする。
されたもので、試料室が荒引きされて圧力が低下
し、試料室内のダストが排気時の気流により排気
口からポンプへ吸入されるという可能性がなくな
つた時、上記メツシユを上方へ移動させて排気口
のコンダクタンスを大きくし、排気時間を短縮す
ることのできる高真空排気装置を提供することを
目的とする。
考案の構成
本考案の構成は、真空用室内排気口を覆つてい
るメツシユを、排気中に試料室へ着脱自在に移動
させることのできる機構を備えた高真空排気装置
であり、これによると、真空用室内が大気圧から
排気される過程で、初期排気時にはダスト対策用
のメツシユを排気口部に配し、真空度が高まり、
気流によるダスト対策が不要になつた時点で上記
メツシユを排気口部から外すことによつて、排気
時間の短縮が可能になる。
るメツシユを、排気中に試料室へ着脱自在に移動
させることのできる機構を備えた高真空排気装置
であり、これによると、真空用室内が大気圧から
排気される過程で、初期排気時にはダスト対策用
のメツシユを排気口部に配し、真空度が高まり、
気流によるダスト対策が不要になつた時点で上記
メツシユを排気口部から外すことによつて、排気
時間の短縮が可能になる。
実施例の説明
本考案をその実施例をもつて説明する。
図に本考案による可動メツシユを備えた高真空
排気装置を示す。１は高真空に排気すべき試料
室、２はメツシユであり、２ａは荒引き時のメツ
シユ位置、２ｂは高真空排気時のメツシユ位置、
３は試料室の排気口、４は荒引き用バルブ、５は
高真空排気用バルブである。
排気装置を示す。１は高真空に排気すべき試料
室、２はメツシユであり、２ａは荒引き時のメツ
シユ位置、２ｂは高真空排気時のメツシユ位置、
３は試料室の排気口、４は荒引き用バルブ、５は
高真空排気用バルブである。
まず大気圧からの荒引きは従来通りメツシユ２
を２ａの位置において行なう。これはメツシユ本
来の目的である排気系の内部汚染防止のためであ
る。
を２ａの位置において行なう。これはメツシユ本
来の目的である排気系の内部汚染防止のためであ
る。
荒引き終了と共に上記メツシユを２ｂの位置に
持ち上げ本引きに移る。荒引き終了程度の真空度
になると、試料室１内の気流は穏やかであり、メ
ツシユを移動させることにより新たに生じたダス
ト等の異物を排気系に吸い込むだけの流量はな
い。即ち、メツシユ２を２ａの位置から排気口系
の1/2程度だけ持ち上げた２ｂの位置に移動させ
るならば、メツシユ２と排気口３間に空隙が生じ
るためメツシユ２の存在による実効的排気能力に
支障はない。また試料室１内に存在する落下性の
異物があつても既に試料室１が高真空度に保たれ
ているために鉛直に落下し、排気口３上ではメツ
シユ２上に落下する。従つて上記メツシユを持ち
上げることにより排気口への異物の侵入を防ぎつ
つ実効的な排気面積を拡げることが出来る。
持ち上げ本引きに移る。荒引き終了程度の真空度
になると、試料室１内の気流は穏やかであり、メ
ツシユを移動させることにより新たに生じたダス
ト等の異物を排気系に吸い込むだけの流量はな
い。即ち、メツシユ２を２ａの位置から排気口系
の1/2程度だけ持ち上げた２ｂの位置に移動させ
るならば、メツシユ２と排気口３間に空隙が生じ
るためメツシユ２の存在による実効的排気能力に
支障はない。また試料室１内に存在する落下性の
異物があつても既に試料室１が高真空度に保たれ
ているために鉛直に落下し、排気口３上ではメツ
シユ２上に落下する。従つて上記メツシユを持ち
上げることにより排気口への異物の侵入を防ぎつ
つ実効的な排気面積を拡げることが出来る。
考案の効果
以上説明したように本考案によれば、排気系の
内部汚染を排気口部に配したメツシユで防ぐとと
もに高真空排気の際には同メツシユを排気口から
外して、有効排気面積を拡大し、排気時間を短縮
することが出来る。
内部汚染を排気口部に配したメツシユで防ぐとと
もに高真空排気の際には同メツシユを排気口から
外して、有効排気面積を拡大し、排気時間を短縮
することが出来る。
図は本考案の高真空排気装置を示す。
１……試料室、２……メツシユ、２ａ……荒引
き時のメツシユ（位置）、２ｂ……高真空排気時
のメツシユ（位置）、３……試料室の排気口、４
……荒引き用バルブ、５……高真空排気用バル
ブ。
き時のメツシユ（位置）、２ｂ……高真空排気時
のメツシユ（位置）、３……試料室の排気口、４
……荒引き用バルブ、５……高真空排気用バル
ブ。
Claims (1)
- 高真空に排気すべき試料室と、該試料室に接続
され、荒引き用排気路と高真空排気路とを有する
排気口と、同排気口と前記試料室との接続開口部
近傍で、前記試料室の側に設置された可動メツシ
ユと、前記荒引き用排気路による排気時に前記可
動メツシユを前記接続開口部を覆う位置に、前記
高真空排気路による排気時に前記可動メツシユを
前記接続開口部から離間した位置に設定する移動
機構とを具備することを特徴とする高真空排気装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16296382U JPS5967590U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 高真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16296382U JPS5967590U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 高真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5967590U JPS5967590U (ja) | 1984-05-08 |
| JPS647250Y2 true JPS647250Y2 (ja) | 1989-02-27 |
Family
ID=30357708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16296382U Granted JPS5967590U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 高真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5967590U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5529269B2 (ja) * | 1974-05-20 | 1980-08-02 |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP16296382U patent/JPS5967590U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5967590U (ja) | 1984-05-08 |
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