JPH01123856U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01123856U JPH01123856U JP1672588U JP1672588U JPH01123856U JP H01123856 U JPH01123856 U JP H01123856U JP 1672588 U JP1672588 U JP 1672588U JP 1672588 U JP1672588 U JP 1672588U JP H01123856 U JPH01123856 U JP H01123856U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- recess
- chamber
- filling
- airtight chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成を示す構成図
、第２図は本考案の他の実施例の構成を示す構成
図、第３図は従来例の構成を示す構成図である。 主要部分の符号の説明、１０……チエンバ、１
１，２０……位置合せステージ、１３ａ〜１３ｃ
……Ｏリング、１４，２１……開閉扉、１５，２
３……排気口、１６，２２……充填口、１７……
ガス供給系、１８……ガス処理系、１９……フオ
トマスク。
、第２図は本考案の他の実施例の構成を示す構成
図、第３図は従来例の構成を示す構成図である。 主要部分の符号の説明、１０……チエンバ、１
１，２０……位置合せステージ、１３ａ〜１３ｃ
……Ｏリング、１４，２１……開閉扉、１５，２
３……排気口、１６，２２……充填口、１７……
ガス供給系、１８……ガス処理系、１９……フオ
トマスク。
Claims (1)
- チエンバ内に載置されたフオトマスク上にレー
ザ光を照射して前記フオトマスクの欠陥を修正す
るフオトマスク修正装置であつて、前記フオトマ
スクを載置するための凹部を有し、前記フオトマ
スクの欠陥位置を前記レーザ光の照射位置に合わ
せる位置合せ機構と、前記チエンバと前記位置合
せ機構の凹部とにより形成される気密室の内部の
排気を行う排気手段と、前記排気手段により排気
された前記気密室の内部に不活性ガスを充填する
充填手段とを設け、前記充填手段により不活性ガ
スが充填された前記気密室において前記位置合せ
機構の凹部への前記フオトマスクの装脱着を行う
ようにしたことを特徴とするフオトマスク修正装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1672588U JPH01123856U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1672588U JPH01123856U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01123856U true JPH01123856U (ja) | 1989-08-23 |
Family
ID=31229901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1672588U Pending JPH01123856U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01123856U (ja) |
-
1988
- 1988-02-10 JP JP1672588U patent/JPH01123856U/ja active Pending
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