JPH01215643A - ミラーのクリーニング装置 - Google Patents

ミラーのクリーニング装置

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JPH01215643A
JPH01215643A JP63043008A JP4300888A JPH01215643A JP H01215643 A JPH01215643 A JP H01215643A JP 63043008 A JP63043008 A JP 63043008A JP 4300888 A JP4300888 A JP 4300888A JP H01215643 A JPH01215643 A JP H01215643A
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ultrasonic transducer
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直文 藤江
Yasuo Kuwabara
保雄 桑原
Shoji Okada
岡田 尚司
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はフェンダ−ミラー、ドアーミラー等のミラー面
の視認性を維持するミラーのクリーニング装置に関する
もので、特に、ミラー面に付着した水滴、氷、霜、曇等
を除去するミラーのクリーニング装置に関するものであ
る。
[従来の技術] この種のミラーのクリーニング装置の従来例には、実開
昭61−30552号公報等に記載の技術を挙げること
ができる。
第6図は上記公報に掲載された車輌の外部に配設された
バックミラーの断面図である。
図において、車輌の外部に配設されたバックミラーは、
ガラス製のミラー31を取付けたバックミラー本体32
をステー33で支持したもので、前記バックミラー本体
32とステー33の間に、例えば、セラミックス製の超
音波撮動子34を設けたものである。この超音波振動子
34には、車輌内から操作できるように車室内に操作ス
イッチ35が接続されている。そして、前記超音波振動
子34と操作スイッチ35との間には、駆動回路36及
び電源37が直列接続されている。
前記駆動回路36は発振器によって発生された信号を増
幅器で増幅し、それを超音波振動子34に送り、超音波
撮動子34を適当に撮動させるものである。
このように構成された従来の超音波振動子を用いたミラ
ーのクリーニング装置は、次のように動作することがで
きる。
バックミラーのミラー面に水滴等が付着した場合、車室
内の操作スイッチ35を操作して、超音波撮動子34を
撮動させる。この超音波振動子34の振動は、バックミ
ラー本体32の全体を振動させることによってミラー面
に付着した水滴等を除去する。
一方、ミラー面に付着した水滴等をジュール熱で除去す
るものに、特開昭60−193739@公報で開示され
た技術がある。
この種の技術はガラス基板の裏面に設けられて入射光を
反射する金属膜と、この金属膜の裏面の略中央部に設け
た中心電極と、この中心電極を包囲するごとく金属膜裏
面に設けた周囲電極とを籠え、前記電極間への電力供給
によって前記金属膜を発熱させ、除湿、除曇させるよう
にしたものである。
[発明が解決しようとする課題] ところが、霜、曇等をジュール熱で除去するものにおい
ては、霜、曇等の除去が開始されるのが、通電開始後3
〜4分であり、水滴除去機能までこれに求めると通電開
始後7〜10分程度程度間を必要とする。したがって、
ドライバーが車輌を使用したい真冬の朝等には、バック
ミラーが使用できるまで暫く待たなければならないとい
う問題がおった。また、従来のミラーのクリーニング装
置においては、ミラー面に付着した氷や霜の除去につい
ては全く考慮されてはいなかった。
そこで、本発明は上記問題を解決すべくなされたもので
、ミラー面に付着した水滴、氷、霜、曇等を効率良く除
去できるミラーのクリーニング装置の提供を課題とする
ものである。
[課題を解決するための手段] 第一発明にかかるミラーのクリーニング装置は、ミラー
の裏面に接合した超音波撮動子の駆動時間制御モードを
形成する制御モード設定回路と、超音波撮動子の駆動時
間制御モードを択一的に選択する選択スイッチによって
、所定の制御モードを超音波撮動子に出力し、ミラー面
に付着した水滴、氷、霜、曇等に対応したモードにより
、水滴、氷、霜、曇等を効率良く除去するものである。
第二発明にかかるミラーのクリーニング装置は、ミラー
の裏面に接合した超音波振動子の駆動時間制御モードを
形成する制御モード設定回路と、超音波振動子の駆動時
間制御モードを択一的に選択する選択スイッチによって
、所定の制御モードを超音波撮動子に出力し、前記ミラ
ー及び/または前記超音波撮動子の温度上昇を検出する
温度センサの出力で、前記選択スイッチで選択した制御
モード設定回路の出力を拘束するものである。
[作用] 第一発明においては、超音波振動子の駆動時間制御モー
ドを形成する制御モード設定回路の出力を、駆動時間制
御モードを択一的に選択する選択スイッチで選択する。
この選択された超音波撮動子の駆動時間制御モードはミ
ラーの裏面に接合した超音波振動子に印加される。それ
によってミラーには駆動時間制御モードに応じた超音波
振動が生ずる。したがって、駆動時間制御モードを超音
波振動の発生を主体としたモードとし、ミラー表面に付
着した水滴、曇等を霧化または凝集により落下させたり
、駆動時間制御モードを超音波振動子の加熱を主体とし
たモードとし、ミラー表面に付着した氷、霜、曇等を解
凍または蒸発共に霧化または凝集させることができる。
また、第二発明においては、前記ミラー及び/または前
記超音波振動子の温度上昇を検出する温度センサによっ
て、ミラー及び/または前記超音波撮動子の温度上昇が
ミラー及び超音波振動子を劣化させない程度の温度に設
定しておけば、前記温度センサの出力によって前記選択
スイッチで選択した制御モード設定回路の出力をゲート
回路で拘束でき、ミラー及び/または超音波振動子の温
度上昇を所定の温度以下に抑えることができる。
[実施例] ここで、本発明の実施例について説明する。
第1図は本発明の一実施例のミラーのクリーニング装置
を示す全体構成回路図である。また、第2図は本発明の
一実施例のミラーのクリーニング装置を示す断面図で、
第3図は第2図の実施例の超音波振動子の配置を示した
正面からみた説明図である。そして、第4図は第1図の
実施例で用いたパルスパターン発生回路によるパルスパ
ターンの出力例を示すタイミングチャートである。
第2図及び第3図において、車輌のボディ(図示せず)
に固定された合成樹脂製のミラーケース1内には、金属
製のフレーム2がタッピングビス3によって固定されて
いる。フレーム2には合成樹脂製のミラーベース4が自
在球(図示せず)を用いて上下左右に傾動自在に固定さ
れている。また、フレーム2にはミラー位@駆動装@5
がビスによって固定されている。ミラー位置駆動装置5
はそれぞれ独立して駆動可能な2本の出力ロット(図示
せず)を有している。2本の出力ロンドの一端は、それ
ぞれミラーベース4の一面の異なる位置に接続されてい
る。・ミラーベース4は車輌の乗員の操作により1本ま
たは2本の出力ロンドが駆動されると、上下または左右
に傾動する。ミラー位置駆動装置5の2本の出力ロット
は、それぞれ合成ゴム製のカバー6またはカバー7で覆
われている。カバー6またはカバー7の一端はミラー位
置駆動装置5のハウジングにそれぞれ接合されており、
カバー6またはカバー7の他端はミラーベース4に接合
されている。なお、前記カバー6またはカバー7は、ミ
ラーベース4の傾動を妨げないようにするため、蛇腹の
ベローズを用いている。
ミラーベース4には合成樹脂製のミラーフレーム8が接
合されている。ミラーフレーム8の外周には係止部11
が設けられており、この係止部11で板状のミラー12
の全周を挾持し、ミラー12を固着している。また、ミ
ラーフレーム8には、複数の突部8a、 8b、3cが
設けられており、ミラーフレーム8とミラー12が部分
的に接触するようになっている。ミラーフレーム8とミ
ラー12の間には、第3図に示すように、六つの超音波
撮動子10a、10b、10c、10d。
10e、10fがそれぞれ接合されている。
本実施例の超音波撮動子108〜10fは、2行3列の
71〜リクスを形成するように配置されている。特に、
本実施例では、前記超音波振動子1Oa〜10fとして
ピエゾ効果素子を利用した圧電素子を使用している。
また、ミラー12の裏側とミラーフレーム8との間には
、ミラー12の温度が検出できるように温度センサとし
てサーミスタ13がミラー12の裏側に接合されている
そして、ミラーベース4のミラーケース1側には、ミラ
ーケース1との間に振動子制御装置14が配設されてい
る。
次に、第1図を用いて振動子制御装置14に内蔵してい
る駆動制御回路について、第1図の本実施例の全体構成
回路図を用いて説明する。
図において、公知のコルピッツ(Colpitts)形
発掘回路等からなる発振回路20は、超音波撮動子10
8〜10f(以下、特定の超音波振動子を指さない場合
には、単に「10」と記す)に対応した数の回路数を有
している。これらの発振回路20a〜2Ofは、同一回
路を使用しているので、ここではその図示を省略する。
この発振回路20の発振周波数toを概略的に説明する
第1図のコンデンサC1及びコンデンサC2を、C=C
1・C2/ (C1+02 )とすれば、発振周波数f
Oは fO=1/2πF[7σ となる。因に、本実施例の発振周波数foは1.7MH
2としている。このとき、トランジスタQOは増幅用、
抵抗R1、R2、R3は直流バイアス設定用で、コンデ
ンサ03.C4はバイパス用である。また、コンデンサ
C5は電源安定化用、チョークコイルL1は直流バイア
ス用である。
温度検出回路21は湿度センサとしてのサーミスタ13
を抵抗R4、R5、R6、R7からなる抵抗ブリッジの
一辺に組込んだ回路である。また、比較回路22は前記
温度検出回路21の出力を、直列抵抗R20と抵抗R2
1との分圧電圧として得る所定の閾値vthと比較し、
所定の閾値vth以上のとき、その出力電圧を“H(ハ
イレベル)パとし、所定の閾値vth未渦のとき、その
出力電圧を“L(ローレベル)″とするものである。前
記閾値ythは温度検出回路21のサーミスタ13が、
ミラー12の検出温度の60℃程度以下に相当する閾値
電圧に設定される。前記比較回路22の出力が“H″の
とき、抵抗R22及びダイオードD1を介してトランジ
スタQ1をオンとし、前記比較回路22の出力が“L″
のとき、トランジスタQ1をオフとする。トランジスタ
Q1のオンはコレクタ側の電位をアース電位とし、トラ
ンジスタQ1のオフはコレクタ側の電位をその印加電圧
に依存させる。
トランジスタQ2はパルスパターン発生回路23の出力
の“L op・“H″によってオン・オフし、また、ト
ランジスタQ3は1〜ランジスタQ1のオフのとき、1
〜ランジスタQ2のオン・オフによってオン・オフする
。そして、トランジスタQ1のオンのとき、トランジス
タQ2のオン・オフに無関係にオフとなる。1−ランジ
スタQ3のオン・オフによってリレーRYはその接点r
yをオン・オフし、発振回路20 (20a〜2Of>
を発振状態または停止状態とする。
前記パルスパターン発生回路23は、所定のクロックパ
ルス発生器の出力パルスを適当に分周する分周回路、更
に、その分周したパルスを計数するバイプリカウンタ及
びフリップフロップ及び論理回路で形成される。本実施
例では前記パルスパターン発生回路23の出力として、
第4図のパルスパターンの出力例のように、3種類のパ
ルスパターンが用意されている。第4図(a)のパルス
パターン出力は100m5ecの” L ” (100
m5eCの“H°′)の8パルスを1サイクルとするパ
ルスパターンで、第4図(b)のパルスパターン出力は
700 m5ecの”L” 、100m5ecの”L”
(2Q Q m5ecの“H″)の4パルスを1ナイク
ルとするパルスパターンである。また、第4図(C)の
パルスパターン出力は400m5ec、200m5ec
ioomsecの” L ”  (200m5eCの”
I−1”)の6パルスを1サイクルとするパルスパター
ンである。
これらのパルスパターンの出力は、水滴除去スイッチS
W1、霜・曇除去第1スイツチSW2、霜・曇除去第2
スイツチSW3が押圧され゛Hパが入力されることによ
って出力される。即ち、水滴除去スイッチSW1、霜・
曇除去第1スイツチSW2、霜・曇除去第2スイツチS
W3には、抵抗R11と抵抗R12との直列回路、抵抗
R13と抵抗R14との直列回路、抵抗R15と抵抗R
16との直列回路によって、各スイッチがオンのとき“
H′″が入力される。これらの水滴除去スイッチSW1
、霜・曇除去第1スイツチSW2、霜・曇除去第2スイ
ツチSW3は、運転者が自由に操作できるように車内に
設置されている。
なお、図中、R1−R9,R11〜R16,R2o〜R
2Bは抵抗、C1〜C5はコンデンサで、D1〜D4は
ダイオードである。
上記のように構成された本実施例のミラーのクリーニン
グ装置は、次のように動作するものである。
まず、水滴除去スイッチSW1を特徴とする特許パルス
パターン発生回路23から第4図(a)のパルスパター
ンが出力される。700 m5ecの“L eeのパル
スの間、トランジスタQ2はオンとなり、それによって
トランジスタQ3がオンとなり、リレーRYを励磁して
その接点ryを閉じる。これによって、発掘回路20 
(20a〜2Of>は、発振周波数TO=1.7MHz
で発撮し、超音波振動子108〜10fはその周波数で
ミラー12を振動させ、ミラー12の反射面に付着した
水滴を瞬時に噴霧化して除去する。また、水滴の一部は
ミラー12が加振されたときに重力によって下方に滴下
し、ミラー12から除去される。
通常、1サイクルの繰返しパルスの印加によって加わる
超音波撮動子10a〜10fの撮動により、ミラー12
の反射面に付右した水滴を噴霧化または重力によって下
方に滴下してミラー12から除去されるが、不十分の場
合には、繰返し、水滴除去スイッチSWIをオンとし、
パルスパターン発生回路23から所定のパルスパターン
を出力する。
この間に、温度検出回路21のサーミスタ13が、ミラ
ー12の検出温度が60℃程度以上に上昇すると、温度
検出回路21の出力が所定の閾値vth以上となり、比
較回路22の出力が“HjeとなってトランジスタQ1
をオンとする。トランジスタQ1がオンとなると、トラ
ンジスタQ3のベース電圧をアース電位に抑えるから、
パルスパタ−ン発生回路23からのパルスパターン出力
に関係なく、発掘回路20には電力外供給されないから
、発振回路20は発掘を行なわない。したがって、ミラ
ー12の検出温度が60℃程度以上に上昇することがな
く、超音波撮動子10の温度上昇も抑えることができる
また、霜・曇除去第2スイツチSW3をオンとすると、
パルスパターン発生回路23から第4図(b)のパルス
パターンが出力される。この第4図(b)のパルスパタ
ーンの出力は、50m5ecのL nパルス及び200
 m5ecの“H″パルスらなるパルスを1サイクルと
するパルスパターンで、その“L″パルス間、トランジ
スタQ2はオンとなり、それによってトランジスタQ3
もオンとなり、リレーRYを励磁してその接点ryを閉
じる。これによって、発振回路20は発振し、超音波振
動子10はその発振周波数1”Oでミラー12を振動さ
せ、ミラー12の反射面に付着した水滴を瞬時に噴霧化
して除去する。また、水滴の一部はミラー12が加振さ
れたときに重力によって下方に滴下し、ミラー12から
除去される。
このとき、超音波振動子10は第5図の超音波振動子に
よる加熱と従来のジュール熱による加熱との温度特性図
に示すように、ミラー12の反射面の温度を40〜60
℃程度以上に温度上昇させる。したがって、ミラー12
の反射面に付着した水滴、氷、霜、曇等を蒸発させたり
、頑固にミラー12の反射面に付着している氷、霜を解
凍し、更に、ミラー12の振動で、ミラー12の反射面
に付着した解凍された水滴を瞬時に噴霧化して除去し、
解凍途中の氷及び霜、解凍された水滴は下方に滴下し、
ミラー12から除去される。特に、第5図からも分るよ
うに、本実施例による超音波撮動子10による加熱では
、ジュール熱による加熱よりも温度上昇に対する応答性
が高いから、ミラー12の反射面に付着している氷、霜
を急速に解凍することができる。
同様に、霜・曇除去第1スイツヂSW2をオンとすると
、パルスパターン発生回路23から第4図(C)のパル
スパターンが出力される。この第4図(C)のパルスパ
ターン出力は、400m5ecのパルス1個及び200
 m5ecのパルス2個及び100m5ecのパルス3
個からなる“L toの計6パルスを1す゛イクルとす
るパルスパターンで、その“L eenパルス間、トラ
ンジスタQ2及び1−ランジスタQ3はオンとなり、リ
レーRYを励磁してその接点ryを閉じる。これによっ
て、発振回路20は発振周波数fOでミラー12を振動
させ、ミラー12の反射面に付着した水滴を瞬時に噴霧
化して除去する。また、水滴の一部はミラー12が加振
されたときに重力によって下方に滴下し、ミラー12か
ら除去する。このとき、超音波撮動子10は400 m
5ec+ 200 m5ec+200 m5ecの断続
使用により、ミラー12の反射面全体が温度上昇するよ
うに熱伝導時間を設定し、ミラー12の反射面の温度を
上昇させる。したがって、ミラー12の反射面に付着し
た水滴、氷、霜、曇等を蒸発させたり、頑固にミラー1
2の反射面に付着している氷、霜を解凍し、更に、ミラ
ー12の撮動で、ミラー12の反射面に付着した解凍さ
れた水滴を瞬時に噴霧化して除去し、解凍途中の氷及び
霜、解凍された水滴は下方に滴下し、ミラー12から除
去される。
このように、上記実施例のミラーのクリーニング装置は
、ミラー12の裏面に接合した超音波撮動子10と、前
記超音波振動子10の複数の駆動時間制御モードを形成
するパルスパターン発生回路23及び発振回路20から
なる制御モード設定回路と、前記超音波撮動子10の複
数の駆動時間制御モードを択一的に選択する水滴除去ス
イッチSW1、霜・曇除去第1スイツチSW2、霜・曇
除去第2スイツチSW3からなる選択スイッチと、前記
ミラー12の温度上昇を検出する温度センυとしてのサ
ーミスタ13と、前記サーミスタ13、の出力によって
水滴除去スイッチSW1、霜・曇除去第1スイツチSW
2、霜・曇除去第2スイツチSW3からなる選択スイッ
チで選択した制御モード設定回路の出力を拘束するトラ
ンジスタQ1で形成したゲート回路からなるものでおる
したがって、駆動時間制御モードを超音波振動の発生を
主体としたモードとし、ミラー12の表面に付着した水
滴、曇等を霧化または凝集により落下させたり、或いは
駆動時間制御モードを超音波振動子10の加熱を主体と
したモードとし、ミラー12の表面に付着した氷、霜、
曇等を解凍または蒸発共に霧化または凝集させることが
できる。
或いは超音波振動子10の撮動発生及び超音波振動子1
0の加熱の両特性を併用したモードとすることができる
また、ミラー12の温度上昇を検出する温度セン勺によ
って、ミラー12の温度上昇がミラー12を劣化させな
い程度の温度に設定しておけば、前記温度センサとして
のサーミスタ13の出力によって水滴除去スイッチSW
1、霜・曇除去第1スイツチSW2、霜・曇除去第2ス
イツチSW3等の選択スイッチで選択した制御モード設
定回路の出力をゲート回路で拘束でき、ミラー12の温
度上昇を所定の温度以下に抑えることができる。
ところで、上記実施例のミラー12の裏面に接合した超
音波撮動子10は、6個の超音波撮動子108〜10f
を接着したものであるが、本発明を実施する場合には、
これに限定されるものではなく、単数または複数の超音
波振動子を配設したものであればよい。また、その配置
に関しても、任意に設定すればよい。特に、超音波撮動
子は、1MH2以上の振動周波数とすることにより、高
効率の霧化が期待できる。
また、上記実施例の超音波振動子10の複数の駆動時間
制御モードを形成する制御モード設定回路は、パルスパ
ターン発生回路23及び発振回路20からなるものであ
るが、本発明を実施する場合には、タイマ、単安定回路
、マイクロコンピュータ等とすることができる。即ち、
本発明を実施する場合には、超音波撮動子10の駆動時
間制御モードを、超音波振動子10の撮動及び加熱を利
用するパターンに設定できればよい。その最も簡単なパ
ターンとしては、所定パルス幅員の出力とすることもで
きる。
そして、上記実施例の超音波振動子10の複数の駆動時
間制御モードを択一的に選択する選択スイッチは、水滴
除去スイッチSW1、霜・曇除去第1スイツチSW2 
、霜・曇除去第2スイツチSW3からなるものであるが
、本発明を実施する場合には、スイッチの数と選択され
るモードとは、必ずしも一致させる必要はない。結果的
に、超音波振動子を駆動する複数の駆動時間制御モード
を択一的に選択できればよい。
更に、上記実施例のミラー12の温度上昇を検出する温
度センサは、温度を検出する手段としてサーミスタ13
を使用しているが、本発明を実施する場合には、他の温
度によって応動するスイッチを含む温度センサも同様に
使用できる。また、前記温度セン勺の配設個所において
も、上記実施例ではミラー12に配設したものでおるが
、本発明を実施する場合には、温度上昇によって劣化が
加速されるミラーまたは前記超音波振動子、ミラー及び
超音波振動子に配設することができる。
更にまた、上記実施例の温度センナの出力によって、選
択スイッチで選択した制御モード設定回路の出力を拘束
するゲート回路は、トランジスタQ1からなるアナログ
ゲートで構成したものであるが、本発明を実施する場合
には、論理ゲート、或いはパルスパターン発生回路23
をマイクロコンピュータとしたときには、プログラム的
に制御モード設定回路の出ツノを拘束することができる
[発明の効果] 以上のように、第一発明のミラーのクリーニング装置は
、ミラーの裏面に接合した超音波振動子と、ミラーの裏
面に接合した超音波振動子の駆動時間制御モードを形成
する制御モード設定回路と、前記超音波撮動子の駆動時
間制御モードを択一的に選択する選択スイッチとからな
るものであるから、超音波振動子の駆動時間制御モード
を超音波振動の発生を主体とするモード、駆動時間制御
モードを超音波撮動子の加熱を主体とするモード、或い
は超音波振動の発生及び超音波撮動子の加熱を主体とす
るモードに設定でき、ミラー面に付着した水滴、氷、霜
、曇等に対応して自由にそのモードが選択できるので、
ミラー面に付着した水滴、氷、霜、曇等を効率良く除去
できる。
また、第二発明のミラーのり・リーニング装置は、前記
発明に更に、前記ミラー及び/または前記超音波撮動子
の温度上昇を検出する温度センサ及びその出ノJによっ
て前記選択スイッチで選択した制御モード設定回路の出
力を拘束するゲート回路とを附加したものであるから、
前記ミラー及び/または前記超音波振動子の温度上昇を
検出する温度センサによって、ミラー及び/または前記
超音波振動子の温度上昇がミラー及び超音波振動子を劣
化させない程度の温度に設定しておけば、前記温度セン
Vの出力によって前記選択スイッチで選択した制御モー
ド設定回路の出力をゲート回路で拘束でき、ミラー及び
/または超音波撮動子の温度上昇を所定の温度以下に抑
えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例のミラーのクリーニング装置
の仝体構成回路図、第2図は本発明の一実施例のミラー
のクリーニング装置を示す断面図、第3図は第2図の実
施例の超音波撮動子の配置を示した正面からみた説明図
、第4図は第1図の実施例で用いたパルスパターン発生
回路によるパルスパターン出力例を示すタイミングヂャ
ート、第5図は超音波振動子による加熱と従来のジュー
ル熱による加熱との温度特性図、第6図は従来の車輌の
外部に配設されたバックミラーの断面図である。 図において、 10:超音波振動子、  12:ミラー、13:サーミ
スタ、   20:発振回路、23:パルスパターン発
生回路、 SWI  :水滴除去スイッチ、 SW2 :霜・曇除去第1スイツチ、 SW3 :霜・曇除去第2スイツチ、 である。 なお、図中、同−符号及び同一記号は同一または相当部
分を示すものである。 特許出願人 アイシン精機株式会社

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ミラーの裏面に接合した超音波振動子と、前記超
    音波振動子の駆動時間制御モードを形成する制御モード
    設定回路と、 前記超音波振動子の駆動時間制御モードを択一的に選択
    する選択スイッチと、 を具備することを特徴とするミラーのクリーニング装置
  2. (2)ミラーの裏面に接合した超音波振動子と、前記超
    音波振動子の駆動時間制御モードを形成する制御モード
    設定回路と、 前記超音波振動子の駆動時間制御モードを択一的に選択
    する選択スイッチと、 前記ミラー及び/または前記超音波振動子の温度上昇を
    検出する温度センサと、 前記温度センサの出力によって前記選択スイッチで選択
    した制御モード設定回路の出力を拘束するゲート回路と
    、 を具備することを特徴とするミラーのクリーニング装置
  3. (3)前記ミラーの裏面に接合した超音波振動子は、1
    MHz以上の振動周波数としたことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項に記載のミラーのクリーニング装置。
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