JPH0170331U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0170331U JPH0170331U JP1987165541U JP16554187U JPH0170331U JP H0170331 U JPH0170331 U JP H0170331U JP 1987165541 U JP1987165541 U JP 1987165541U JP 16554187 U JP16554187 U JP 16554187U JP H0170331 U JPH0170331 U JP H0170331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching liquid
- spin etcher
- nozzle
- diagram showing
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の概略を示す図、第
２図ａ，ｂは本考案の一実施例に用いたエツチン
グノズルを示す図、第３図は本考案の他の実施例
に用いるエツチングノズルを示す図、第４図ａ，
ｂは従来のエツチングノズルを示す図、第５図ａ
，ｂは従来の他のエツチングノズルを示す図であ
る。 １……ロード室、２……主処理室、３……水洗
乾燥室、４……アンロード室、５，５′……エレ
ベータ、６……基板、７，７′……カセツト、８
……ベルト搬送、９，９′……真空吸着ステージ
、１０……エツチングノズル、１１……ＥＰＤ（
終点検出器）、１２……水洗乾燥ヘツド、１３…
…エツチング液噴射穴、１４……中心部の噴射穴
、１５，１５′……外周部の噴射穴、１６，１６
′……カツトバルブ、１７，１７′……流量コン
トローラ、１８，１８′……圧力調整弁、１９，
１９′……エツチング液供給ポンプ。
２図ａ，ｂは本考案の一実施例に用いたエツチン
グノズルを示す図、第３図は本考案の他の実施例
に用いるエツチングノズルを示す図、第４図ａ，
ｂは従来のエツチングノズルを示す図、第５図ａ
，ｂは従来の他のエツチングノズルを示す図であ
る。 １……ロード室、２……主処理室、３……水洗
乾燥室、４……アンロード室、５，５′……エレ
ベータ、６……基板、７，７′……カセツト、８
……ベルト搬送、９，９′……真空吸着ステージ
、１０……エツチングノズル、１１……ＥＰＤ（
終点検出器）、１２……水洗乾燥ヘツド、１３…
…エツチング液噴射穴、１４……中心部の噴射穴
、１５，１５′……外周部の噴射穴、１６，１６
′……カツトバルブ、１７，１７′……流量コン
トローラ、１８，１８′……圧力調整弁、１９，
１９′……エツチング液供給ポンプ。
Claims (1)
- 半導体製造工程に於て、半導体基板上の各種電
極メタル及び各種薄膜をウエツト方式にてエツチ
ングするスピンエツチヤーに関して、エツチング
液スプレーノズルを複数個にし、かつ各ノズルの
エツチング液の流量と圧力を制御可能にしたこと
を特徴とするスピンエツチヤー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165541U JPH0170331U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165541U JPH0170331U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0170331U true JPH0170331U (ja) | 1989-05-10 |
Family
ID=31452120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987165541U Pending JPH0170331U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0170331U (ja) |
-
1987
- 1987-10-28 JP JP1987165541U patent/JPH0170331U/ja active Pending
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