JPH0194459U - - Google Patents
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- JPH0194459U JPH0194459U JP19148887U JP19148887U JPH0194459U JP H0194459 U JPH0194459 U JP H0194459U JP 19148887 U JP19148887 U JP 19148887U JP 19148887 U JP19148887 U JP 19148887U JP H0194459 U JPH0194459 U JP H0194459U
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- JP
- Japan
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- plates
- magnetic fluid
- vacuum
- organic film
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- Prior art date
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- Pending
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- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は従来のフイルムコンデンサー用有機膜
真空蒸着装置の断面概念図、第２図は本考案によ
るフイルムコンデンサー用有機膜真空蒸着装置の
断面概念図、第３図は磁性流体使用部分の断面拡
大図である。１…真空室、２…真空ポンプ排気、
３…真空蒸着源、４…真空蒸着物、５…有機膜供
給ロール、６…有機膜巻取ロール、７…有機膜、
８…定速送り、９ａ，９ｂ…真空室の壁、１０ａ
，１０ｂ…磁界を発生させる永久磁石または電磁
石、１１ａ，１１ｂ…磁性流体、１２ａ…供給側
磁性流体使用部分、１２ｂ…巻取側磁性流体使用
部分。
真空蒸着装置の断面概念図、第２図は本考案によ
るフイルムコンデンサー用有機膜真空蒸着装置の
断面概念図、第３図は磁性流体使用部分の断面拡
大図である。１…真空室、２…真空ポンプ排気、
３…真空蒸着源、４…真空蒸着物、５…有機膜供
給ロール、６…有機膜巻取ロール、７…有機膜、
８…定速送り、９ａ，９ｂ…真空室の壁、１０ａ
，１０ｂ…磁界を発生させる永久磁石または電磁
石、１１ａ，１１ｂ…磁性流体、１２ａ…供給側
磁性流体使用部分、１２ｂ…巻取側磁性流体使用
部分。
Claims (1)
- 有機膜、ガラス板、金属板、セラミツク板、プ
ラスチツク板または、半導体ウエハーを真空室内
で真空蒸着または、プラズマボンバード等の処理
を施すために磁性流体の中を通過させ、連続的に
真空室内に真空を保持したまま導入及び、排出す
るロードロツク機能を持つた連続真空シール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19148887U JPH0194459U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19148887U JPH0194459U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0194459U true JPH0194459U (ja) | 1989-06-21 |
Family
ID=31482395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19148887U Pending JPH0194459U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0194459U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012241265A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Hitachi Zosen Corp | 連続真空蒸着装置 |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP19148887U patent/JPH0194459U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012241265A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Hitachi Zosen Corp | 連続真空蒸着装置 |
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