JPH02276008A - 垂直磁気記録再生ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は垂直磁気記録再生装置に用いられる（薄膜型）
磁気ヘッド及びその製造方法に関する。

〔従来の技術〕

垂直磁気記録再生方式は、記録波長が短くなればなるほ
ど、反磁界の影響が小さくなり、磁気テープの長手方向
への記録に見られるような記録域磁作用か原理的に無く
、高密度に適した方式として実用化研究が進められてい
る。垂直磁気記録再生ヘッド（以下単に「垂直ヘッド」
とも記載する）としては、従来より各種構造のものが提
案されているが、中でもリターンバスコアを皓えた垂直
へラドの構造が一般的になってきている。

垂直ヘッドの磁気記録再生効率を向上させるなめの手段
の１つは、リターンバスコアを媒体に接触させることで
ある。しかるに、リターンバスコアを磁気記録再生方向
と同じ方向に露出させて媒体に接触させるようにしたの
では、リターンバスコアのエツジ部が擬似的な磁気記録
再生ギャップとして作用し、信号出力に波形歪が生じる
という悪影響がある。かかる欠点に対処するために、リ
ターンバスコアである磁性体ブロックを、記録トラック
方向と垂直なトラック幅方向に接合した垂直ヘッドか、
例えば特開昭６３−７０９０８号公報に開示されている
。

以下かかる従来例について、第７図を参照しながら説明
する。第７図は従来の代表的な磁気ヘッド１の構造を示
す拡大斜視図であり、２は磁性体ブロック、３は主磁極
、４は補助磁極、５はコイル、６は非磁性体よりなる主
磁極挟持部、７は開口、８は対接頭域である。主磁極３
と、この主磁極３の一部を挟持する主磁極挟持部６を備
えた補助磁極（ブロック）４の記録媒体（図示せず）側
に、記録媒体の対接面から所要の厚さに設定した非磁性
体を接合して形成した少なくとも１つのサポートブロッ
クを用いて、補助磁極（ブロック）４の主磁極挟持部６
と非磁性体とによって、主磁極３全体を挟持したサポー
トブロックと、記録媒体との記録トラック方向と直角な
トラック幅方向のサポートブロックのうち、少なくとも
一方に隣接させた磁性体ブロック２を有し、補助磁極（
ブロック）４の主磁極挟持部６の、コイル５を巻回し部
分よりも、記録媒体側の主磁極挟持部６の個所と、磁性
体ブロック２との間を、非磁性体６で磁気的に絶縁する
ことによって、垂直ヘッドを構成している。

〔発明が解決しようとする課題〕

リターンバスコアの効果に関しては、主磁極３とリター
ンバスコアとの距離を小さくするほど感度が向上するこ
とが、１９８６年のテレビジョン学会全国大会で報告さ
れた。ところが、上記従来の垂直ヘッド１においては、
主磁極３とリターンバスコアである磁性体ブロック２と
の距離を小さくするためには、主磁極３と磁性体ブロッ
ク２との距離が所定の寸法になるよう切断または研磨加
工しなければならず、精度の高い加工が困難であり、垂
直ヘッド１の記録２再生感度にバラツキが生じてしまう
。又、サポートブロックの両側にリターンバスコアを接
合した１ｆｆ４造のヘッドを製造しようとした場合には
、主磁極３とリターンバスコアとの距離を小さくすると
、サポートブロックの厚みが不足して、加工中に破損し
てしまう虞れがあり、歩留り良くヘッドを製造すること
が困難である。

また、従来のヘッド構造では、垂直ヘッドを構成する部
品点数が多いので、製造工程数も多くなってコストアッ
プとなり、量産性に乏しいという問題点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、主磁極と、この主磁極を保持する第１補助磁
極と、磁束をリターンバスさせる第２補助磁極とより成
る垂直磁気記録再生ヘッドにおいて、第２補助磁極の媒
体摺接部のうち主磁極の近傍には磁性体を存在させず、
主磁極のトラック幅方向の少なくとも一方に磁性体を記
録媒体に接するように存在させる等して構成した垂直磁
気記録再生ヘッド及びその製造方法を提供することによ
り、上記問題点を解決した。

〔実施例〕 本発明の垂直磁気記録再生ヘッドの第１実施例について
、第１図を参照し乍ら説明する。第１図は垂直ヘッド１
０の（拡大）斜視図であり、この図において第７図に示
した従来の垂直ヘッド１と同一構成部分には同一符号を
付してその詳細な説明を省略する。１１は非磁性剤を被
着した強磁性酸化物磁性体から成る第１の補助磁極であ
り、この補助磁極１１に主磁極３は保持されている。１
２は強磁性酸化物磁性体から成る第２の補助ａ極であり
、この補助磁極１２は主磁極３に対向して接合されてお
り、リターンバスコアとして作用する。又、媒体摺接面
１３においては磁気記録再生方向であって、主磁極３と
対向した部分の、補助磁極１２の一部磁性体が切除され
た態様となっており、磁束を媒体に戻すための補助磁極
１２の摺接面に設けられたリターンバス部１４が、上記
主磁極３のトラック幅方向の少なくとも一方側に形成さ
れている。１６．１７は強磁性酸化物磁性体（以下単に
「磁性体」とも記載する）であり、夫々第１．第２の補
助磁極の主要部を形成している。

１８は磁性体１６の一部に形成された巻線ガイド、１９
は磁性体１７の一部に形成された巻線窓、２１は主磁極
３を固定するために磁性体１６及び１７の間にモールド
されたガラスである。なお、コイルの図示は省略した。

次に、本発明の垂直ヘッド１０の製造方法について、第
２図と共に説明する。まず、第２図（Ａ）に示すように
、強磁性酸化物磁性体１６の媒体対向面１３側の端面に
非磁性材６を接合又は成膜被着させて、第１の補助磁極
ブロック１１′を形成する。続いて、同図（Ｂ）に示す
ように、第１の補助磁極ブロック１１′の第２補助磁極
１２対向面側の側面１５に、非磁性材６から磁性体１６
に跨って主磁極３を形成する。次に、同図（Ｃ）に示す
ように、第１の補助磁極ブロック１１′のうち少なくと
も媒体摺接面１３近傍で且つ主磁極３を挾んで両サイド
を切除して所定の幅の突起部２２を設け、第１補助磁極
１１を形成する。また、側面１５とは反対側に巻線ガイ
ド１８を形成するが、この巻線ガイド１８は省略しても
構わない。

一方、同図（Ｄ）に示すような強磁性酸化物磁性体１７
（第２の補助磁極ブロック１２′）を用意し、その第１
補助磁極対向面２５に巻線用溝１９′を形成する。続い
て、同図（Ｅ）に示すように、磁性体１７（補助磁極ブ
ロック１２′）の、記録媒体摺接面１３より巻線溝１９
′に達する個所に、所望の幅の溝２３を設けて、第２補
助磁極１２を形成する。

非磁性材６から磁性体１６に跨って主磁極３を形成する
。

最後に、同図ｆＦ）に示すように、第１補助磁極１１と
第２補助磁ｔ７Ｉｉ１１２とを、上記主磁極３と溝２３
とを対向させて突合せ、第２補助磁極１２の巻線用溝（
巻線窓１つ）の媒体摺接面１３側端部に低融点のガラス
２１を充填して一体化する。その後、媒体摺接面１３を
所望の形状に加工すると、第１図に示したような形状の
垂直磁気記録再生ヘッド１０が完成する。

次に、本発明の垂直磁気記録再生ヘッドの第２実施例に
ついて、第３図を参照し乍ら説明する。

第３図は垂直ヘッド２０の拡大斜視図であり、この図に
おいて第１図に示した第１実施例の垂直ヘッド１０と同
一構成部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略
する。なお、本図においてもコイルの図示は省略した。

第１図及び第３図を比較すると明らかなように、第１．
第２の補助磁極１１．１２の突合せの状態が異なる他は
、両へ・ｙド１０，２０の構造は略同じであるが、製造
方法はかなり異なる。以下、具体的な製法について、第
４図と共に説明する。

まず、第４図（Ａ）に示すように、強磁性酸化物磁性体
基板２６上に所定の幅と深さを有する７Ｒ２４を所要の
ピッチで所望の本数だけ形成する。続いて、同図（Ｂ）
に示すように、磁性体基板２６上の溝２４を形成した表
面に非磁性材６を塗布した後、同図（Ｃ）に示すように
溝２４以外の個所の非磁性材６を除去し、基板２６の表
面が平坦になるようにする。

次に、同図（Ｄ）に示すような形状の主磁極３を、基板
２６の表面に、非磁性材６埋設個所を先端として複数個
形成する。その後、図中のイーロ、ハニ、ホーへの面で
切除して、主磁極３を備えた複数（この図では２ブロッ
ク）の第１補助磁極ブロック１１″を作製する。更に、
同図（Ｅ）に示すように、第１の補助磁極ブロック１１
″のうち少なくとも媒体対向面１３′で且つ主磁極３を
挾んで複数個所を等間隔に切除して所定の幅の突起部２
２を形成し、第１補助磁極整形体２８を形成する。なお
、この図では、主磁極３とは反対側に巻線カイト１８を
形成しているが、この巻線ガイド１８は必ずしも必要で
はなく、省略しても構わない。

一方、同図（「）に示すような強磁性酸化物磁性体１７
（第２の補助磁極整形体２つ）を用意し、その第１補助
磁極対向面２５に巻線用溝１９′を形成する。さらに、
記録媒体対向面１３′より巻線溝１９′に達する深さに
、所望の幅の溝２３を設けて、第２補助磁極整形体２つ
を形成する。最後に、同図（Ｇ）に示すように、第１及
び第２補助磁極整形体２８．２９を、上記主磁［３と清
２３とを対向させて突合せた後、巻線用溝１９′（巻線
窓１つ）の媒体摺接面１３側端部（媒体対向面１３′に
低融点のカラス２１を充填して一体化する。その後、媒
体摺接面１３を所望の形状に加工する。その際、第１補
助磁極整形体２８の媒体摺接面１３に現れた強磁性酸化
物磁性体１６の一部を所望の量だけ切除して媒体摺接面
１３から後退させる。そして、主磁極３を挾んで、所定
の厚みで切除すると、第３図に示したような形状の垂直
磁気記録再生ヘッド２０が完成するわけである。

次に、本発明の垂直磁気記録再生ヘッドの第３実施例に
ついて、第５図乃至第６図を参照し乍ら説明する。第５
図は垂直ヘッド２０の拡大斜視図、第６図（Ａ）〜（Ｈ
）はその製造工程図である。本実施例の垂直ヘッド３０
は、前記第１．第２実施例の垂直ヘッド１０．．２０と
構造が多少異なって薄膜型であるが、第５．第６両図に
おいても第１図乃至第４図に示した第１．第２実施例の
垂直ヘッド１０及び２０と同一構成要素には同一符号を
付してその詳細な説明を省略する。第５図において、３
１は第１及び第２の補助磁極１１．１２の接合部、３２
は引出し線、３３．３４は消、３５は保護材、３６は非
磁性材である。

以下、具体的な製法について、第６図と共に説明する。

まず、第６図ＦＡ）に示すように、強磁性酸化物磁性体
基板２６上に互いに異なる（同じでも構わない）所定の
幅と深さを有する溝３３，３４を、夫々所要のピッチで
所望の本数だけ形成する。なお、溝３４は省略しても差
支えないが、有った方が磁気ヘッドの記録再生効率が向
上する。

以下、磁性体基板２６を同図（＾）図示の面Ａ＾’ＢＢ
’で切断した断面図（同図（Ｂ）〜（Ｆ）、　（Ｈ））
で説明する。

同図（Ｂ）に示ずように、磁性体基板２６の表面に形成
した溝３３及び３４に非磁性材６及び３６を塗布（充填
）し、消３３，３４以外の個所の非磁性材６．３６を除
去し、基板２６の表面が平坦になるよう均一にする。次
に、同図（Ｃ）に示すように、基板２６（及び非磁性材
６．３６）の表面に、絶縁膜３７を所望の厚さで形成す
る。その後、絶縁膜３７の表面に導体膜を成膜し、同図
ｆＤ）に示すように、所望の形状の薄膜コイル４０をエ
ツチング形成する。この場合、強磁性酸化物磁性体基板
２６（後で第２補助磁［ｉ１２となる）と第１補助磁極
１１とによって挾まれた部分が、溝３４上に正しく配置
されるように薄膜コイル４０は形成されるものとする。

次に、薄膜コイル４０の線間を、同図（［）に示すよう
に絶縁物３９で埋め、不要な絶縁物材料を除去してコイ
ル上面を平坦化した後、更に絶縁膜３８で覆う。

その後、第１補助磁極１１と磁性体基板２６（後で第２
補助磁極１２となる）との接合部に相当する部分の絶縁
膜３８及び絶縁物３９をエツチング除去してコンタクト
スルーホール４１を形成する。第１補助磁極１１と第２
補助磁極１２とは、コンタクトスルーホール４１を通し
て、渭３３を挾んで少なくとも一方で完全に接続される
ようにする。なお、この工程で同時に、コイル最内周端
と引出し線３２のコンタクトホール４２（同図ｆＧ）参
照）を形成しても良い。

次に、同図（Ｇ）に示すように、溝３３に対応した位置
に、１磁＠３を形成し、更に同図（Ｈ）に示すように、
１磁＠３の後部を覆う態様で、絶縁膜３８を介して、金
属磁性膜から成る第１補助磁極１１を、記録媒体摺接面
（１３）から所定量だけ後退した位置に、例えばフォト
リソグラフィー技術により、成膜エツチング形成する。

なお、主磁極３と第１補助磁極１１の形成順序は逆でも
構わない。

又、主磁極３と第１補助磁極１１との間には特に絶縁膜
は無くても良い。最後に、引出し線３２を形成し、主磁
極３及び第１補助磁極１１を保護するための、非磁性保
護材（図示せず）を被着形成する。そして、ヘッドチッ
プ１単位毎に切り出して、媒体摺接面を所望の形状に加
工することにより、第５図に示した如き薄膜型垂直磁気
記録再生ヘッド３０が完成する。

第８図は本発明になる垂直磁気記録再生ヘッドの使用例
を示したものである。即ち、トラッキングサーボ信号が
、図中のｆ　　＋ｆ　　の如く、予めＰＩ　　　Ｆ２ ピット形成されている磁気記録媒体りから、トラッキン
グサーボ信号を静電容量値の変化として検出し、トラッ
キングサーボをかけながら、情報信号を多数のピットｆ
ａとして磁気記録媒体りに記録、再生するよう構成され
た磁気記録再生装置に使用するもので、上記トラッキン
グサーボ信号を本発明の磁気ヘッド（１０，２０，３０
）の１磁［３で検出してトラッキングサーボをかけなが
ら、情報信号を記録、再生を同一磁気ヘッドの主磁極３
で行なうようにしものである。主磁極３の幅をＴ　Ｖ＋
　トラッキングサーボ信号のピット間隔をｐＰとすると
、高品質な磁気記録、再生を行なうためには、両値が次
式（１）の関係を満たずことが望ましい。

’ｒｖ≦ｐｐ　　・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・（１）なお、本発明の磁気ヘッドの第２補助磁
極１２を、例えばＮｉＺｎフェライトのような高抵抗の
強磁性酸化物磁性体で形成すれば、第２補助磁極のリタ
ーンパス部１４がトラッキングサーボ信号を静電容量値
の変化として検出しないので、主磁極３はトラッキング
サーボ信号の検出素子として作用することがなく、精度
の良いトラッキングサーボが行なえるようになる。

〔効　果〕

蒸上の如く、本発明の垂直磁気記録再生へ・ンド及びそ
の製造方法によれは、以下のような様々な優れた特長を
有する。

（１）媒体摺接部において、記録再生トラック方向で且
つ主磁極と対向した第２補助磁極のリターンパス部を切
除したので、主磁極とリターンパス部とが記録再生方向
で対向せず、信号出力に波形歪が生じる虞れが無くなり
、且つ第２補助磁極のリターンパス部を、記録再生トラ
ックに対して垂直なトラック幅方向に設け、記録媒体に
接するよう構成したので、磁気記録再生効率の高い垂直
磁気記録再生ヘッドを提供できる。

（２）媒体摺接部において、記録再生トラック方向であ
って、主磁極と対向してリターンパス部が存在しないよ
う、第２補助磁極の媒体摺接部で主磁極対向個所のリタ
ーンパス部を所望の幅、深さで切除したので、その幅を
適当に設定することにより、第１補助磁極に保持された
主磁極との間隔をトラック幅方向に任意に定めることが
でき、又、主磁極を保持した第１補助磁極と、リターン
パス部を備えた第２補助磁極とを突合せて一体化する際
に、主磁極とリターンパス部との間隔がトラック幅方向
に所望の寸法となるように位置決め接合することもでき
、磁気記録再生効率の高い垂直磁気記録再生ヘッドを容
易に作製できる。

（３）主磁極とリターンバスコアのリターンパス部とを
接近させるには、第２補助磁極の媒体摺接部に設けた溝
幅を狭くするか、又は主磁極を保持した第１補助磁極と
、第２補助磁極のリターンパス部とが接近するように突
合せて位置決めすれば良く、従来例のようにサポートブ
ロックを薄く削る必要も無く、従って加工中に磁気ヘッ
ドを破損させる虞れが無いので、歩留りか良く、効率の
高い磁気ヘッドの製造方法を実現できる。

（４）本発明の垂直磁気記録再生ヘッドは、主磁極と、
これを保持する（形成させる）第１補助磁極と、磁束を
リターンパスさせる第２補助磁極の、最少の基本部品よ
り構成されているので、かなり安価なコストで製造でき
る。

（５）トラッキングサーボ信号が予めピット形成されて
いる磁気記録媒体から、トラッキングサーボ信号を静電
容量値の変化として検出し、トラッキングサーボをかけ
ながら、情報信号を磁気記録媒体に記録、再生するよう
構成された磁気記録再生装置に本発明の磁気ヘッドを使
用すれば、その主磁極に、トラッキングサーボ信号の検
出素子として、又情報信号を記録、再生する磁気ヘッド
としての、両方の機能を同時に持たせることかでき、従
ってトラッキングサーボ信号の検出と情報信号の記録、
再生とを同時に同じ位置で行なえるので、トラッキング
精度が向上し、高密度磁気記録再生を実現できる。

（６）本発明の磁気ヘッドの第２補助磁極を、高抵抗の
強磁性酸化物磁性体で形成すれば、第２補助磁極のリタ
ーンパス部がトラッキングサーボ信号を静電容量値の変
化として検出する検出素子として作用しないので、精度
の良いトラッキングサーボか行なえ、又、各トラック毎
に各々のトラック位置を表わすアドレス信号（トラッキ
ングサーボ信号より高い周波数を使用）が、トラッキン
グサーボ信号同様、記録媒体上に予めピット形成されて
いても、前記の如き本発明の磁気ヘッドの構成にすれば
、トラッキングサーボ信号、及びアドレス信号の検出は
、膜厚の薄い主磁極のみが行なうことになり、精度の高
いトラッキングと、正確なアドレス検出ができるように
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第３図、及び第５図は夫々本発明の第１乃至第
３実施例の垂直磁気記録再生ヘッドの斜親図、第２図、
第４図、及び第６図は夫々本発明の第１乃至第３実施例
ヘッドの製造工程図、第７図は従来の代表的な磁気ヘッ
ドの斜視図、第８図は本発明になる垂直磁気記録再生ヘ
ッドの使用例を示す原理図である。 ３・・・主磁極、５・・・コイル、６．３６・・・非磁
性材、１０・・・磁気ヘッド、１１・・・第１補助磁極
、１２・・・第２補助磁極、１３・・・媒体摺接面、１
３′・・・媒体対向面、１４・・・リターンパス部、１
６．１７・・・強磁性酸化物磁性体、１８・・・巻線ガ
イド、１つ・・・巻線窓、１９′・・・巻線溝、２１・
・・ガラス、２２・・・突起部、２３２４．３３３４・
・・溝、２５・・・第１補助磁極対向面、２８・・・第
１補助磁極整形体、２つ・・・第２袖助磁極整形体、３
０・・・薄膜型垂直磁気記録再生ヘッド、３１・・・接
合部、３２・・・引出し線、３５・・・保護材、３７．
３８・・・絶縁膜、３つ・・・絶縁物、４０・・・薄膜
コイル、４１・・・コンタクトスルーホール、４２・・
・コンタクトホール、Ｄ・・・磁気記録媒体。 特許出願人　　日本ビクター株式会社 代表者　　埋木　邦夫 手続補正書（１劃 平成２年１月１７日 １、事件の表示 平成１年特許願第９８１２７号 ２、発明の名称 垂直磁気記録再生ヘッド及びその製造方法３、補正をす
る者 事件との関係　　特許出願人 住所　神奈川県横浜市神奈用区守屋町 ３丁目１２番地 ４、補正命令の日付 自発補正 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄　び図面６、補正の内容
　　　　　　　　乙 （１）明細書第９頁第１７行の「非磁性剤」を「非磁性
材」と補正する。 （２）同、第１１頁第１９行乃至第２０行の「非磁性・
・・する。」を削除する。 （３）同、第１３頁第５行の「塗布」を「成膜」と補正
する。 （４）同、第１７頁第２行の「絶縁膜」と「３８」との
間にｒ３７．Ｊを挿入する。 （５）同頁第１３行の「３８」を「（図示せず）」と補
正する。 （６）同、第１８頁第８行の「が、・・・ｆ　ｐ２Ｊを
「及びアドレス信号が、図中のｆ　　＋　ｌ＋　ｆ　ａ
　Ｊと補Ｐｌ’Ｐ２ 正する。 （７）同頁第１２行の「多数の・・・とじて」を削除す
る。 （８）第３図、第４図（［）、及び第５図を別紙補正図
面のように補正する６ ４図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）主磁極と、この主磁極を保持する第１補助磁極と
   、磁束をリターンパスさせる第２補助磁極とより成る垂
   直磁気記録再生ヘッドにおいて、該第２補助磁極の媒体
   摺接部のうち上記主磁極の近傍には磁性体を存在させず
   、上記主磁極のトラック幅方向の少なくとも一方に磁性
   体を記録媒体に接するように存在させて構成したことを
   特徴とする垂直磁気記録再生ヘッド。
2. （２）第１の強磁性酸化物磁性体の一側面に非磁性材を
   被着して第１補助磁極ブロックを形成する工程と、該第
   １補助磁極ブロックの上記第２補助磁極対向面に、上記
   非磁性材から上記強磁性酸化物磁性体に跨る主磁極を形
   成する工程と、上記第１補助磁極ブロックの少なくとも
   媒体摺接部であって、該主磁極を挾んで両側を切除して
   所望の幅の突起部を設けて第１補助磁極を形成する工程
   と、第２の強磁性酸化物磁性体から成る第２補助磁極ブ
   ロックの上記第１補助磁極との対向面に巻線用溝を形成
   する工程と、上記第２補助磁極ブロックの少なくとも媒
   体摺接部にあって上記巻線用溝に達する深さの溝を設け
   て第２補助磁極を形成する工程と、該第１及び第２補助
   磁極を、上記主磁極と溝とが対向するようにして突合せ
   、続いて該第２補助磁極の溝に媒体摺接面より上記巻線
   用溝に達する位置に低融点ガラスを充填することにより
   両補助磁極を一体化する工程と、媒体摺接面を所望の形
   状に加工する工程とから成る、特許請求の範囲第１項記
   載の垂直磁気記録再生ヘッドの製造方法。
3. （３）強磁性酸化物磁性体基板上に所望の幅及び深さの
   溝を所要のピッチで所望の本数だけ形成する工程と、該
   溝に非磁性材を充填した後、余分な非磁性材を除去して
   平旦化する工程と、上記溝に埋設された非磁性材から強
   磁性酸化物磁性体基板に跨って主磁極を形成する工程と
   、上記強磁性酸化物磁性体基板を所定個所で切断して主
   磁極を複数個備えた第１補助磁極ブロックを作製する工
   程と、該第１補助磁極ブロックの少なくとも媒体摺接部
   であって、該主磁極を挾んで両側を切除して所望の幅の
   突起部を設けて第１補助磁極整形体を形成する工程と、
   第２の強磁性酸化物磁性体から成る第２補助磁極ブロッ
   クの上記第１補助磁極整形体との対向面に巻線用溝を形
   成する工程と、上記第２補助磁極ブロックの少なくとも
   媒体摺接部にあつて上記巻線用溝に達する深さの溝を複
   数個設けて第２補助磁極整形体を形成する工程と、該第
   １及び第２補助磁極整形体を、上記各々の主磁極と溝と
   が対向するようにして突合せ、続いて該第２補助磁極整
   形体の各溝に媒体摺接面より上記巻線用溝に達する位置
   に低融点ガラスを充填することにより両補助磁極を一体
   化する工程と、一体化された第１及び第２補助磁極整形
   体を所定の個所で切断して複数の磁気ヘッドに分離する
   工程と、該磁気ヘッドの摺接面を所望の形状に加工する
   工程と、第１補助磁極の媒体摺接面に現われた強磁性酸
   化物磁性体を所望の量だけ切除して媒体摺接面から後退
   させる工程とから成る、垂直磁気記録再生ヘッドの製造
   方法。
4. （４）主磁極と、この主磁極を保持する第１補助磁極と
   、磁束をリターンパスさせる第２補助磁極とより成る垂
   直磁気記録再生ヘッドにおいて、該第２補助磁極を強磁
   性酸化物磁性体より作成し、該第２補助磁極上に主磁極
   及び金属磁性膜から成る第１補助磁極を成膜形成し、且
   つこれら両補助磁極に挾まれた態様にて薄膜コイルを絶
   縁膜を介してエッチング形成したことを特徴とする薄膜
   型の垂直磁気記録再生ヘッド。
5. （５）第２補助磁極ブロックである強磁性酸化物磁性体
   の主磁極形成面に対応した面であって、且つ媒体摺接面
   に対応した面に略垂直方向に溝を形成する工程と、該溝
   に非磁性材を充填した後、不要な非磁性材を除去して平
   坦化する工程と、主磁極形成面に対応した面上に所望の
   厚さで絶縁膜を被着形成させる工程と、該絶縁膜の表面
   に導体膜を成膜した後、所望の形状の薄膜コイルをエッ
   チング形成する工程と、該薄膜コイルの線間を絶縁物で
   埋めた後、コイル上面を平坦化する工程と、該薄膜コイ
   ル上を絶縁膜で覆つた後、第１補助磁極と第２補助磁極
   との接合部に相当する部分の絶縁膜及び上記絶縁物をエ
   ッチング除去してスルーホールを形成する工程と、上記
   溝に対応した位置に主磁極を形成する工程と、上記媒体
   摺接面から任意量だけ後退した位置において、金属磁性
   膜より成る第１補助磁極を上記主磁極の後部を覆う態様
   で形成する工程と、該主磁極と第１補助磁極とを保護す
   るための非磁性保護材を被着形成する工程とより成る、
   特許請求の範囲第４項記載の薄膜型垂直磁気記録再生ヘ
   ッドの製造方法。