JPH0261825U - - Google Patents

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JPH0261825U
JPH0261825U JP13913488U JP13913488U JPH0261825U JP H0261825 U JPH0261825 U JP H0261825U JP 13913488 U JP13913488 U JP 13913488U JP 13913488 U JP13913488 U JP 13913488U JP H0261825 U JPH0261825 U JP H0261825U
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JP
Japan
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path
parts
stopper
stopping
along
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Pending
Application number
JP13913488U
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Publication date
Application filed filed Critical
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Priority to US07/421,351 priority patent/US5052884A/en
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  • Feeding Of Workpieces (AREA)
  • Special Conveying (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案による部品等の停止位置決め
装置の第１の実施例を示す略図である。第２図は
、本考案の第２の実施例である斜運動するストツ
パを用いた半導体ウエーハの停止位置決め装置を
示す斜視図である。第３図は、本考案による前記
第２の実施例装置が使用される半導体ウエーハの
微少位置ずれ測定装置の平面配置図である。第４
図は、従来の部品等の停止位置決め装置の例を説
明するための略図である。 １…部品、２…斜運動するストツパ、３…搬送
ベルト、４…ストツパ駆動源、５…ストツパ、６
…Ｘ駆動源、８…Ｙ駆動源、１０…アーム駆動モ
ータ、１１…環節つきアーム、１２…吸着ホーク
、１３…斜め運動するストツパ、１５…半導体ウ
エーハ、Ａ…ウエーハバスケツト昇降装置、Ｂ…
停止位置微調整部、Ｃ…ウエーハ・トランスフア
・アーム（ウエーハ出し入れロボツト）、Ｄ…ア
ライメントステージ、Ｅ…回転アーム（チエンジ
ングアーム）、Ｆ…ＸＹステージ、Ｇ…Ｚ−θス
テージ、Ｈ…光学顕微鏡、Ｉ…位置合わせ部材（
アライメント）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 部品等の移動経路の前方向から前記経路に向か
    つて斜め方向に上昇して部品経路に達し、前記部
    品等を静止させた後に同一の経路を移動して退避
    して部品等の再移動を許容するように駆動される
    斜め移動ストツパと、前記ストツパを前記経路に
    沿つて駆動する単一の駆動手段を用いて構成した
    部品等の停止位置決め装置。
JP13913488U 1988-10-25 1988-10-25 Pending JPH0261825U (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13913488U JPH0261825U (ja) 1988-10-25 1988-10-25
US07/421,351 US5052884A (en) 1988-10-25 1989-10-13 Transferring device for semiconductor wafers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13913488U JPH0261825U (ja) 1988-10-25 1988-10-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0261825U true JPH0261825U (ja) 1990-05-09

Family

ID=31402113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13913488U Pending JPH0261825U (ja) 1988-10-25 1988-10-25

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0261825U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3254997A1 (de) * 2016-06-06 2017-12-13 ALTRATEC Automation GmbH Vorrichtung zum stoppen eines fördergutes auf einem förderer

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61206720A (ja) * 1985-03-05 1986-09-13 エス　ケイ　エフ　ノーバ　エービー コンベア上の物品の停止装置

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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