JPH0273733U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0273733U
JPH0273733U JP15348988U JP15348988U JPH0273733U JP H0273733 U JPH0273733 U JP H0273733U JP 15348988 U JP15348988 U JP 15348988U JP 15348988 U JP15348988 U JP 15348988U JP H0273733 U JPH0273733 U JP H0273733U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding
wafer
rods
holding device
wafers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP15348988U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0632679Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1988153489U priority Critical patent/JPH0632679Y2/ja
Publication of JPH0273733U publication Critical patent/JPH0273733U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0632679Y2 publication Critical patent/JPH0632679Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本考案の実施例に係る縦型
構造の石英ガラス製ボードを示し第１図はその全
体斜視図、第２図ａ，ｂは正面断面図と横断面図
である。第３図は他の実施例に係る横型構造の石
英ガラス製ボードを示す全体斜視図である。第４
図は従来技術に係る縦型構造の石英ガラス製ボー
ドを示す全体斜視図である。 １，２：ボート、３：ウエーハ、１１，１２，
２１，２２：保持棒、１０，２０：保持溝、１３
，１４，２３〜２５：棒体。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数枚の半導体ウエーハを整列保持するウ
    エーハ保持装置において、ウエーハ整列方向への
    位置規制を行いつつ所定位置へ位置決め保持を行
    う保持手段と、該ウエーハの取り出し方向への移
    動を阻止する阻止手段を備え、該阻止手段を着脱
    自在に構成した事を特徴とするウエーハ保持装置
    。 (2) 複数枚の半導体ウエーハを整列保持するウ
    エーハ保持装置において、ウエーハ整列方向への
    位置規制を行いつつ所定位置へ位置決め保持を行
    う保持手段と、該ウエーハに半径方向に押圧力を
    付勢する付勢手段を備え、該付勢手段が付勢力を
    解除可能に構成した事を特徴とするウエーハ保持
    装置。 (3) 前記保持手段が、軸方向に多数の保持溝を
    刻設した複数の保持棒からなり、又前記阻止手段
    を、前記保持棒とウエーハ半径方向で交差する少
    なくとも一対以上の棒体から構成し、該棒体の内
    少なくとも一の棒体を装置本体に対し着脱自在に
    構成された棒体である請求項(1)記載のウエーハ
    保持装置。 (4) 前記保持手段が、軸方向に多数の保持溝を
    刻設した複数の保持棒からなり、又前記付勢手段
    がウエーハを挾んで対面可能に配置した一対以上
    の棒体であり、そして該一の棒体がウエーハ半径
    方向に変位可能に構成した事を特徴とする請求項
    (2)記載のウエーハ保持装置。 (5) 複数枚の半導体ウエーハを整列保持するウ
    エーハ保持装置において、ウエーハの軸方向の位
    置規制と半径方向の位置規制を分離させ、前者の
    位置規制を、ウエーハ周縁と対面する複数の保持
    棒に刻設した保持溝で行い、一方後者の位置規制
    を前記保持棒とともに、該保持棒とウエーハ半径
    方向で交差する少なくとも一対以上の棒体で行う
    事を特徴とするウエーハ保持装置。 (6) 請求項(3)，(4)、若しくは(5)項に記載した
    一対以上の棒体の内、装置本体側に固定されてい
    る少なくとも一の棒体に軸方向に多数の保持溝を
    刻設した事を特徴とするウエーハ保持装置。
JP1988153489U 1988-11-28 1988-11-28 ウエーハ保持装置 Expired - Fee Related JPH0632679Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1988153489U JPH0632679Y2 (ja) 1988-11-28 1988-11-28 ウエーハ保持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1988153489U JPH0632679Y2 (ja) 1988-11-28 1988-11-28 ウエーハ保持装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0273733U true JPH0273733U (ja) 1990-06-05
JPH0632679Y2 JPH0632679Y2 (ja) 1994-08-24

Family

ID=31429374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1988153489U Expired - Fee Related JPH0632679Y2 (ja) 1988-11-28 1988-11-28 ウエーハ保持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0632679Y2 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS434952Y1 (ja) * 1965-03-03 1968-03-02
JPS5067558A (ja) * 1973-10-15 1975-06-06
JPS5878423A (ja) * 1981-10-16 1983-05-12 ヘルムト・ザイエル・ゲ−エムベ−ハ− 半導体物品の熱処理方法及びその装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS434952Y1 (ja) * 1965-03-03 1968-03-02
JPS5067558A (ja) * 1973-10-15 1975-06-06
JPS5878423A (ja) * 1981-10-16 1983-05-12 ヘルムト・ザイエル・ゲ−エムベ−ハ− 半導体物品の熱処理方法及びその装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0632679Y2 (ja) 1994-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH02135127U (ja)
JPH0328U (ja)
JPH0267644U (ja)
JPH01107392U (ja)
JPS5844836U (ja) 半導体製造治具
USD227838S (en) Dresser with sculptured lattice motif or the like
JPH0220351U (ja)
JPS6368417U (ja)
JPS6333630U (ja)
JPS60187532U (ja) ウエハ−ホルダ−
JPS6321904U (ja)
JPS62178508U (ja)
JPH0381299U (ja)
JPS62193832U (ja)
JPH022828U (ja)
JPH0348150U (ja)
JPH042022U (ja)
JPH025701U (ja)
JPS58179974U (ja) 鋼板ガス切断用バ−ナ装置
JPS635641U (ja)
JPH0460527U (ja)
JPH01108926U (ja)
JPH032648U (ja)
JPH0290678U (ja)
JPS63107539U (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees