JPH03114570A

JPH03114570A - 成膜装置

Info

Publication number: JPH03114570A
Application number: JP25302389A
Authority: JP
Inventors: Masanori Matsumoto; 雅則松本; Masayuki Sakamoto; 雅遊亀坂元
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1989-09-28
Filing date: 1989-09-28
Publication date: 1991-05-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（ａ）産業上の利用分野この発明は例えば静電複写機における有機感光体成膜装
置等のように、基体を塗布液中に浸漬することによって
基体表面に膜形成を行う成膜装置に関する。

（ｂ）従来の技術第１図は有機怒光体の成膜装置の構成を示した図であり
、以下、この装置の構成および成膜方法を簡単に説明す
る。

塗布液１が収納された塗工槽２の底面中央部には、基体
４の外径大の侵入孔３が形成されている。なおこの侵入
孔３には周面に弾性ゴムからなるブレードが設けられ、
後述する基体や保持部材が侵入孔３に位置しているとき
にそれらに密着して、内部の塗布液が漏れないようにな
っている。基体４は例えばアルミニウム等からなる円筒
形状のもので、この基体４を侵入孔３から塗工槽中に侵
入させ、さらに上方に引き上げる。すなわち塗工液１中
を通過させるわけであり、これによって基体４の表面に
は塗布液ｌが塗布される。

基体４の押し上げは押上機構によって行われる。押上機
構は、モータにより上下移動する押上治具６と、保持部
材５ａ、５ｂ、係止部７を存している。基体４の上下端
には保持部材５ａ、５ｂが挿入され、その状態で押上治
具６に支持されて上方に押し上げられる。そして、下側
の保持部材５ｂが侵入孔３に位置したときに押上治具６
の移動が停止し、基体４は図示しない引き上げ機構によ
り保持部材５ａごと上方に引き上げられる。このとき下
側の保持部材５ｂは係止部７により係止され、侵入孔３
を塞いで塗布液が漏れないようにしている。この状態で
押上治具６が引き下げられ、保持部材５ｂと押上治具６
との間に新たな基体および保持部材が挿入される。そし
て前回の処理時に下側だった保持部材５ｂが今度は上側
の保持部材として成膜処理が行われる。

（Ｃ）発明が解決しようとする課題ところで上述の成膜装置では、−旦塗工層１中を通過し
て上方に引き上げられた保持部材５ａ５ｂ・・・は何巡
めかの成膜時に再使用される。

ところが従来の装置ではこの保持部材５ａ、５ｂ・・・
の表面に塗布液が付着して膜形成がされてしまっており
、そのままの状態で再使用すると塗工槽２中において基
体表面から膜が剥がれ落ち、それが基体表面に付着して
成膜欠陥を生じさせてしまう不都合がある。この成膜欠
陥を防止するためには保持部材を使用ごとに洗浄するこ
とが必要であり、装置、工程が増加してコストアンプに
なる不都合があった。また、保持部材への塗布は塗布液
の無駄使いでもある。

そこでこの発明は保持部材に塗工液が付着しないように
して、塗布液の無駄使いや装置、工程の増加によるコス
トアップを防止する成膜装置を提供することを目的とす
る。

（ｄ１課題を解決するための手段この発明は、塗布液が収容された塗工槽の底面に侵入孔
を形成し、基体の上下端を保持部材を用いて保持した状
態で前記侵入孔から塗工槽中に侵入させ、塗工槽底面か
ら上部までを通過させるこ前記保持部材表面に、前記塗
布液に対する撥液層を形成したことを特徴とする。

ｔｅ１作用この発明においては成膜時に保持部材が塗布液中を通過
してもその保持部材表面に塗膜が形成されてしまうこと
がない。保持部材表面の撥液層が塗布液を撥くからであ
る。

（ｆ）実施例例えば第１図の成膜装置で使用している保持部材は円筒
または円柱状のものである。この保持部材５ａ、５ｂ・
・・　（以下、保持部材５として示す。）に表面に撥液
層を形成する。

保持部材５０基体部には塗布液により腐食や反応を生じ
ず、かつ加工性の良いものが用いられる。例えばこの例
ではアルミ、；ラム合金を用いている。そしてその基体
部の表面に撥液性を有する層を設けられる。撥液性材と
しては表面自由エネルギーが塗布液の表面自由エネルギ
ーのほぼ７５％以下の材質を用いることが望ましい。例
えばこの実施例では表面自由エネルギーが１８ｄｙｎｅ
／ｃｍ以下のフッ素系樹脂を用いている。例えばＦＥＰ
　（４フッ化エチレン−６フツ化プロピレンの共ｉ合体
）、ＰＦＡ（４フッ化エチレン−パーフロロアルコキシ
エチレンの共重合体）などである。なおこのときに用い
た塗布液は、ジブロムアンスアンスロン−２重量部、ブ
チラール樹脂−２重量部、シクロへキサノン２３０重量
部を調合し、８時間の間ボールミルで十分に撹拌処理し
たものである。保持部材基体の表面にこれらの層を形成
するには例えば以下のような方法が用いられる。

■表面を上記のようなフッ素樹脂、裏面を表面自由エネ
ルギーが４０ｄｙｎｅ／ｃｎ＋程度の接着が可能な層と
し、保持部材基体の表面に接着する。

■樹脂フィルムを円筒状に形成し、保持部材５をこの樹
脂フィルム内に治めて加熱する。すると加熱により樹脂
フィルムが収縮して保持部材基体の表面に貼着される。

■保持部材基体の表面を凹凸状に形成し、樹脂フィルム
を圧着させる。

以上のようにして表面に撥液層が形成された保持部材５
を用いて塗工処理を行ったところ、保持部材５の表面に
は塗布液が付着してしまうことがなかった。

（ｇ１発明の効果以上のようにこの発明によれば、保持部材の表面に膜形
成されることがなく塗布液の無駄使いや、保持部材表面
から剥がれた落ちた膜による基体表面の塗膜欠陥が生じ
ることがなく、さらに、保持部材洗浄装置およびその工
程を省略することができるのでコストアップの解消およ
び製造工程時間の短縮をすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般的な成膜装置の構成を示した図である。１−塗布液、２−塗工槽、３−侵入孔、４−基体、５ａ
、５ｂ−保持部材、６−押上治具。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）塗布液が収容された塗工槽の底面に侵入孔を形成
し、基体の上下端を保持部材を用いて保持した状態で前
記侵入孔から塗工槽中に侵入させ、塗工槽底面から上部
までを通過させることによって前記基体の表面に塗布液
を塗布して成膜を行う成膜装置において、前記保持部材表面に、前記塗布液に対する撥液層を形成
したことを特徴とする塗膜形成装置。