JPH0373436U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0373436U JPH0373436U JP13522489U JP13522489U JPH0373436U JP H0373436 U JPH0373436 U JP H0373436U JP 13522489 U JP13522489 U JP 13522489U JP 13522489 U JP13522489 U JP 13522489U JP H0373436 U JPH0373436 U JP H0373436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positive pressure
- vacuum suction
- groove
- vacuum
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
第１図ａは本考案の実施例１を示す平面図、第
１図ｂは同縦断面図、第１図ｃは実施例１の基板
チヤツクを示す詳細平面図、第１図ｄは同縦断面
図、第２図ａは本考案の実施例２を示す平面図、
第２図ｂは同縦断面図、第２図ｃは実施例２の基
板チヤツクを示す詳細平面図、第２図ｄは同縦断
面図、第３図ａは従来例を示す平面図、第３図ｂ
は同縦断面図、第３図ｃは従来の基板チヤツクを
示す詳細平面図、第３図ｄは同縦断面図である。 １……基板、２ａ，２ｂ……基板チヤツク、３
ａ，３ｂ……スピンシヤフト、４……スピンモー
タ、５……表面ノイズ、６……裏面ノイズ、７ａ
，７ｂ……シールブロツク、８ａ，８ｂ……シー
ル、９ａ……真空吸着溝、９ｂ……陽圧溝、１０
ａ……真空配管系、１０ｂ……陽圧配管系、１１
ａ……真空源、１１ｂ……ガス供給源。
１図ｂは同縦断面図、第１図ｃは実施例１の基板
チヤツクを示す詳細平面図、第１図ｄは同縦断面
図、第２図ａは本考案の実施例２を示す平面図、
第２図ｂは同縦断面図、第２図ｃは実施例２の基
板チヤツクを示す詳細平面図、第２図ｄは同縦断
面図、第３図ａは従来例を示す平面図、第３図ｂ
は同縦断面図、第３図ｃは従来の基板チヤツクを
示す詳細平面図、第３図ｄは同縦断面図である。 １……基板、２ａ，２ｂ……基板チヤツク、３
ａ，３ｂ……スピンシヤフト、４……スピンモー
タ、５……表面ノイズ、６……裏面ノイズ、７ａ
，７ｂ……シールブロツク、８ａ，８ｂ……シー
ル、９ａ……真空吸着溝、９ｂ……陽圧溝、１０
ａ……真空配管系、１０ｂ……陽圧配管系、１１
ａ……真空源、１１ｂ……ガス供給源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体基板を自転させながら、該基板のエツチ
ング、洗浄、現像等の処理を行う装置であつて、 回転可能に設置された基板チヤツクと、 前記基板チヤツク上に半導体基板を真空吸着す
る真空吸着溝と、 前記真空吸着溝の外周を包囲して閉ループ上に
形成され、陽圧のガスを吹き出す陽圧溝と、 前記真空吸着溝を真空源に連通させる真空配管
系と、 前記陽圧溝をガス供給源に連通させる陽圧配管
系とを有することを特徴とするスピン処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13522489U JPH0373436U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13522489U JPH0373436U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373436U true JPH0373436U (ja) | 1991-07-24 |
Family
ID=31682504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13522489U Pending JPH0373436U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0373436U (ja) |
-
1989
- 1989-11-21 JP JP13522489U patent/JPH0373436U/ja active Pending