JPH0423317Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は試料ウエハをたとえば電子ビーム露光
装置のテーブル上に搬送し、セツトするためのウ
エハカセツトに関する。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

電子ビーム露光装置によりウエハに直接複数層
のパターンを描画する場合、第１層のパターンと
それ以後の層のパターンを目的通りに重ね合せて
描画しなければ所望するパターンを得ることがで
きない。このため、試料ウエハは第１層描画時と
それ以後の層の描画のときと同じ姿勢で露光装置
の試料テーブル上にローデイングされる必要があ
る。そして、電子線によるマークサーチ機能によ
り若干の誤差は補正されて理想状態に等しい状態
での描画が実行されるが、この時許される試料の
姿勢はおおむね回転精度で１〜２×10^-4rad程度
という小さな値である。

従来、ウエハの一端部に設けた切欠部をクラン
パーによりウエハカセツトの基準用突起に押圧す
ることにより、所定の姿勢でウエハカセツトに取
付け、これを試料テーブルにセツトするようにし
ていたが、従来のウエハカセツトのクランパー
は、単に押圧する方向にのみ移動可能であつたた
め、クランパーとウエハならびにウエハと基準用
突起との間の摩擦力によつてウエハの回転を阻止
してしまうことがあり、このためウエハカセツト
へのセツト毎に姿勢が変化してしまう。そこで、
従来においては試料テーブル上でウエハを回転さ
せてその回転方向のずれを調整していた。

しかしながら、試料テーブル上でウエハを回転
させるには回転機構が特別に必要となり、装置の
構造が複雑化するとともにウエハの芯出時間に無
駄を生じるといつた不都合があつた。

なお、ウエハのＸ，Ｙ方向のずれは試料テーブ
ルの移動により、所定の誤差範囲内に納められる
ようになつている。

〔考案の目的〕

本考案は上記事情に着目してなされたもので、
その目的とするところは、簡単な構成でウエハの
回転方向のセツトを容易にかつ的確に行なうこと
ができるようにしたウエハカセツトを提供しよう
とするものである。

〔考案の概要〕

本考案は上記目的を達成するため、ウエハの一
端部に設けた切欠部をカセツト本体のウエハ載置
面に設けた基準用突起に押圧するクランパーを、
押圧方向のみならず前記ウエハ載置面内で前記押
圧方向と直交する方向へも所定量移動自在にし、
ウエハの前記切欠部を基準用突起に確実に当接さ
せて保持できるようにしたものである。

〔考案の実施例〕

以下、本考案を図面に示す一実施例を参照して
説明する。図中１はカセツト本体で、このカセツ
ト本体１の上面部はウエハ載置面１ａとなつてい
る。前記ウエハ載置面１ａの一側には基準用突起
２が突設され、他側には透孔３が穿設されてい
る。また、上記カセツト本体１内にはクランパー
４が設けられこのクランパー４は付勢部材として
のスプリング５によつて付勢され、第１図および
第２図において左方へ引張られるようになつてい
る。上記クランパー４の先端部はＬ字状に折曲さ
れ上記透孔３を介して上記ウエハ載置面１ａに突
出されている。このクランパー４はスプリング５
による付勢方向だけでなく、第１図に矢印で示す
ように、ウエハ載置面１ａに沿つて透孔３内で前
記付勢方向と直交する方向へも自由に移動できる
ようになつている。

しかして、ウエハ６はカセツト本体１のウエハ
載置面１ａ上にその切欠部６ａを基準用突起２に
対向させて載置されその他端側にクランパー４の
先端部が係止されることにより弾性的に押圧され
るが、このときクランパー４は第１図に示す矢印
方向へ自由に動き得るため、ウエハ６に対するク
ランパー４の接触位置が中心から若干ずれていて
もウエハ６の回転に対して従動的に移動し、この
ためウエハ６の切欠部６ａが基準用突起２に無理
なく確実に当接されて保持される。

このように、カセツト本体１に保持されたウエ
ハ６は図示しない電子ビーム露光装置の試料テー
ブル上に搬送され、所望するパターンが順次形成
される。

上述したように、カセツト本体の基準用突起２
にウエハ６の切欠部６ａを確実に合せて固定した
状態で試料テーブル上に搬送するため、カセツト
本体１を試料テーブルの基準マークに合せること
により自動的にウエハ６を所定の姿勢で試料テー
ブル上にセツトすることができる。したがつて、
試料テーブル上でウエハ６の回転方向のずれを調
整する必要がなく、その回転方向の位置調整の作
業に手間取ることがないとともにウエハ６の回転
機構を特別に必要とすることがなく、構造的にも
簡略化できることになる。

〔考案の効果〕

本考案は以上説明したように、カセツト本体に
基準用突起を突設するとともにクランパーを備
え、カセツト本体上に載置したウエハを前記クラ
ンパーによつて押圧してウエハの切欠部を上記基
準用突起に当接させて保持するようにしたウエハ
カセツトにおいて、ウエハをウエハカセツトに対
して所定の姿勢で保持できるようにしたため、従
来のようにテーブル上においてウエハの回転方向
のずれを調整するといつた必要がなく、装置の構
造を簡略化できるとともにウエハの位置決め時間
も短縮化できる。また、クランパーとウエハとの
接点ですべりを発生することがなく、すべりによ
る塵埃の発生を防止しウエハを良好に処理でき
る。

さらに、クランパーはウエハの動きに伴つて従
動的に移動するから、特別な駆動源を必要とする
ことがなく構造的に簡略化しコストを低減できる
という効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
はウエハカセツトを示す平面図、第２図はその側
断面図である。 １……カセツト本体、１ａ……ウエハ載置面、
２……基準用突起、４……クランパー、６……ウ
エハ、６ａ……切欠部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一端部に切欠部を有したウエハを載置するカセ
   ツト本体と、このカセツト本体のウエハ載置面に
   突設された基準用突起と、前記カセツト本体に設
   けられ前記ウエハの他端部に係止してこれを弾性
   的に押圧しその切欠部を前記基準用突起に当接さ
   せてこれを保持するクランパーとからなるウエハ
   カセツトにおいて、前記クランパーは前記ウエハ
   載置面内で押圧方向と直行する方向へ所定量移動
   自在に設けられ、前記基準用突起に対する前記ウ
   エハの当接時に該ウエハの動きに伴つて従動的に
   移動することを特徴とするウエハカセツト。