JPH0481953B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はレーザ光によつて情報を記録再生する
ことのできる光記録媒体の製造方法に関するもの
である。

［従来の技術］ レーザ光によつて情報を媒体に記録し、かつ再
生する光デイスクメモリは、記録密度が高いこと
から大容量記録装置として優れた特徴を有してい
る。この光記録媒体材料としては、最初にタンタ
ルと鉛が使用された｛サイエンス（Science）
154、1550、1966）｝。それ以来種々の材料が使用
されているが、テルル（Te）等のカルコゲン元
素又はこれらの化合物はよく使用されており（特
公昭47−26897号公報）、とくにテルル−セレン系
合金はよく使用されている（特公昭54−41902号
公報、特公昭57−7919号公報、特公昭57−56058
号公報）。

近年、記録装置を小型化するため、レーザ光源
としては半導体レーザが使用されてきている。半
導体レーザは発振波長が8000Å前後であるが、テ
ルル−セレン系合金はこの波長帯にも比較的よく
適合し、適度な反射率と適度な吸収率が得られる
｛フイジカ・ステイタス・ソリダイ、７、189、
1964（phys.stat.sol.７、189、1964）｝。

このテルル−セレン系合金を光記録層として用
いた光記録媒体は第１図に示すような構成になつ
ている。すなわち基板１に隣接してテルル−セレ
ン系合金よりなる記録層２１が設けられている。
記録用レーザ光は基板１を通して記録層２１に集
光照射され、ピツト２２が形成される。基板１と
してはポリカーボネート、ポリオレフイン、ポリ
メチルペンテン、アクリル、エポキシ樹脂等の合
成樹脂やガラスが使用され、基板１にはピツトが
同心円状あるいはスパイラル状に一定間隔で精度
よく記録されるように通常案内溝が設けられてい
る。

レーザビーム径程度の幅の溝に光が入射すると
光は回折され、ビーム中心が溝からずれるにつれ
て回折光強度の空間分布が変化するので、これを
検出してレーザビームを溝の中心に入射させるよ
うにサーボ系が構成されている。溝の幅は通常
0.3〜1.3μｍであり、溝の深さは使用するレーザ
波長の1/12から1/4の範囲に設定される。集光に
関しても同様にサーボ系が構成されている。情報
の読み出しは、記録のときよりも弱いパワーのレ
ーザ光をピツト上を通過するように照射すること
により、ピツトの有無に起因する反射率の変化を
検出して行なう。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、テルル−セレン合金層を記録層
として用いた光記録媒体では耐候性と感度と信号
品質のすべてを満足するものではなかつた。

本発明は以上のような問題点を解決するために
なされたもので、耐候性がよく、かつ高感度で信
号品質が良好で安定な光記録媒体の製造方法を提
供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は基板上に、レーザ光によつて一部が選
択的に除去されて情報を記録する記録層を形成す
ることよりなる光記録媒体の製造方法において、
前記記録層中に、テルルとセレンを含む物質をタ
ーゲツトとし、アンモニアガスを含むガス中でス
パツタリングしてテルルとセレンと窒素とを主成
分とする層を少なくとも設けることを特徴とする
光記録媒体の製造方法である。

テルルとセレンと窒素とを主成分とする層（以
下、テルル−セレン−窒素層と略す）の厚さは
100Åから1000Åの範囲が記録再生特性の観点か
ら望ましい。セレンの含有量は原子数パーセント
で２パーセントから50パーセントの範囲が記録再
生特性、耐候性の観点から望ましく、窒素の含有
量は原子数パーセントで２パーセント以上20パー
セント未満が記録再生特性、耐候性の観点から望
ましい。また、テルル−セレン−窒素層中の元素
の組成比は、ターゲツトの組成比やNH₃ガス分
圧に依存するのは勿論であるが、スパツタ装置の
大きさ（スパツタ室の表面積等）やスパツタ時間
等にも依存するので、所望の記録膜組成を得るた
めには各スパツタ装置ごとにNH₃分圧等を適宜
設定することが望ましい。

テルルとセレンと窒素とを主成分とする層に
は、鉛、アンチモン、ヒ素、イオウ、スズ、ゲル
マニウム、タリウム、リン、カドミウム、インジ
ウム、ガリウム、亜鉛、ビスマス、アルミニウ
ム、銅、銀、マグネシウム、タンタル、金、パラ
ジウム、コバルトの群から選ばれた少なくとも１
種の元素が添加されていてもよい。この場合、ピ
ツトの形状を良好に整える場合がある。ただし、
添加量は原子数パーセントで20パーセント未満が
望ましい。

スパツタガスはアンモニア（NH₃）ガスのみ
でもよいが、放電や成膜の安定性の観点からは不
活性ガスとの混合ガスが望ましい。また、さらに
その他のガスを混合してもよい。

テルル−セレン−窒素層と基板との間に、酸化
物、窒化物、フツ化物、炭化物、硫化物またはホ
ウ化物で形成された層を少なくとも１層設けても
よい。この場合記録パワー変動に対する余裕度が
大きくなり、トラツキングやフオーカスのサーボ
が安定になることがある。

また、基板としてはポリカーボネート、ポリオ
レフイン、ポリメチルペンテン、アクリル、エポ
キシ樹脂等の合成樹脂やガラスなど通常使用され
ているものが用いられる。

［実施例］ 以下本発明の実施例について説明する。

100℃で２時間アニール処理した内径15mm、外
径130mm、厚さ1.2mmの案内溝付きポリカーボネー
ト樹脂デイスク基板上に、テルル−セレン合金タ
ーゲツトをアルゴン（Ar）とNH₃との混合ガス
でマグネトロンスパツタして、テルル（Te）と
セレン（Se）と窒素（Ｎ）の比が原子数パーセ
ントで85対９対６のテルル−セレン−窒素層を約
250Å厚形成し、しかる後、温度85℃、相対湿度
90％の環境に12時間保存して光記録媒体を作製し
た。この光デイスクの波長8300Åにおける基板入
射の反射率を測定したところ、約26％であつた。
波長8300Åの半導体レーザ光を基板を通して入射
して記録層上で1.6μｍφ程度に絞り、媒体線速度
5.65ｍ／sec、記録周波数3.77MHz、記録パルス幅
70nsec、記録パワー6.0ｍＷの条件で記録し、0.7
ｍＷで再生した。バンド幅30kHzのキヤリアーと
ノイズとの比（Ｃ／Ｎ）は49dBと良好であつた。
この光デイスクを70℃、80％の高温高湿度の環境
に60時間保存した後、上記特性を調べたが変化は
なく、耐候性に優れた光記録媒体であることが確
認された。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の方法によれば耐候
性がよく、かつ高感度で信号品質が良好で安定な
光記録媒体を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は光記録媒体の１例を示す部分断面図で
ある。 １……基板、２１……記録層、２２……ピツ
ト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 基板上に、レーザ光によつて一部が選択的に
   除去されて情報を記録する記録層を形成すること
   よりなる光記録媒体の製造方法において、前記記
   録層中に、テルルとセレンを含む物質をターゲツ
   トとし、アンモニアガスを含むガス中でスパツタ
   リングしてテルルとセレンと窒素とを主成分とす
   る層を少なくとも設けることを特徴とする光記録
   媒体の製造方法。