JPH0766939B2 - 半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ - Google Patents
半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージInfo
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- JPH0766939B2 JPH0766939B2 JP2087300A JP8730090A JPH0766939B2 JP H0766939 B2 JPH0766939 B2 JP H0766939B2 JP 2087300 A JP2087300 A JP 2087300A JP 8730090 A JP8730090 A JP 8730090A JP H0766939 B2 JPH0766939 B2 JP H0766939B2
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- wafers
- wafer carrier
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- H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はパッケージに関し、より詳細には、ロボット式
ウエハーキャリヤにおいて複数のウエハー、ディスク若
しくは基板を貯蔵し且つ輸送するための２分割体から成
るパッケージに関する。
ウエハーキャリヤにおいて複数のウエハー、ディスク若
しくは基板を貯蔵し且つ輸送するための２分割体から成
るパッケージに関する。
［従来の技術並びに発明が解決しようとする課題］ 従来技術のパッケージは、一般に端部で持ち上げられて
いる。この端部持上げは、端部ウエハーに対し応力及び
歪を生じさせると共に、しばしば１個若しくは２個以上
のウエハーの平面に対して頂部が摺動するために破損を
生じさせていた。更に、従来技術によるパッケージの殆
どは、側部から開放されるのでなく端部から開放され、
その結果、最後の歯部、次いで最後の半導体ウエハー、
ディスク若しくは基板に対してバネ張力が作用するた
め、破損を生じさせていた。
いる。この端部持上げは、端部ウエハーに対し応力及び
歪を生じさせると共に、しばしば１個若しくは２個以上
のウエハーの平面に対して頂部が摺動するために破損を
生じさせていた。更に、従来技術によるパッケージの殆
どは、側部から開放されるのでなく端部から開放され、
その結果、最後の歯部、次いで最後の半導体ウエハー、
ディスク若しくは基板に対してバネ張力が作用するた
め、破損を生じさせていた。
また、従来技術のパッケージは、収納されたウエハー基
板の周辺に対して摺動するウエハー押え部材を備え、こ
れにより摩滅作用を生じさせる結果、ウエハー基板の周
縁部近傍において剥離した小粒子を脱落させ、しかも基
板用パッケージの清浄な内部に粒子による汚染物をシリ
ンダ侵入させていた。
板の周辺に対して摺動するウエハー押え部材を備え、こ
れにより摩滅作用を生じさせる結果、ウエハー基板の周
縁部近傍において剥離した小粒子を脱落させ、しかも基
板用パッケージの清浄な内部に粒子による汚染物をシリ
ンダ侵入させていた。
本発明は、上記従来技術の不都合を克服するものであ
り、側部から開放できて、ウエハー基板を引っ掻いたり
こすったりすることなくウエハー基板に柔軟に係合する
パッケージを提供する。
り、側部から開放できて、ウエハー基板を引っ掻いたり
こすったりすることなくウエハー基板に柔軟に係合する
パッケージを提供する。
従って、本発明の目的は、側部から開放できて半導体ウ
エハー等の物品を均等に固定すると共にその汚染を防止
するウエハー若しくは基板用パッケージを提供すること
にある。
エハー等の物品を均等に固定すると共にその汚染を防止
するウエハー若しくは基板用パッケージを提供すること
にある。
［課題を解決するための手段］ 本発明の一態様によれば、底部部材と頂部部材とを備え
て封止自在且つ汚染防止可能な半導体ウエハー用パッケ
ージが提供される。その底部部材は、四つの側壁と、こ
れら四つの側壁に連続した垂直壁と、その垂直壁に設け
られた下側リップと、ラッチと、対向する側壁に設けら
れた把持用凹部と、複数個のパッケージを積層するため
の凹部とを備える。頂部部材は、四つの側壁と、これら
四つの側壁をテープ封止し且つ取り囲む連続した垂直壁
と、この垂直壁に設けられた上側リップと、対向するキ
ャッチと、積層用脚部と、この頂部部材の内側に設けら
れた２列の連結式片持ち水平アームとを備える。
て封止自在且つ汚染防止可能な半導体ウエハー用パッケ
ージが提供される。その底部部材は、四つの側壁と、こ
れら四つの側壁に連続した垂直壁と、その垂直壁に設け
られた下側リップと、ラッチと、対向する側壁に設けら
れた把持用凹部と、複数個のパッケージを積層するため
の凹部とを備える。頂部部材は、四つの側壁と、これら
四つの側壁をテープ封止し且つ取り囲む連続した垂直壁
と、この垂直壁に設けられた上側リップと、対向するキ
ャッチと、積層用脚部と、この頂部部材の内側に設けら
れた２列の連結式片持ち水平アームとを備える。
本発明のもう一つの態様によれば、底部部材と頂部部材
とを備えて封止自在且つ汚染防止可能な半導体ウエハー
用パッケージにおいて、その底部部材は、四つの側壁
と、これら四つの側壁に連続した垂直壁と、その垂直壁
に設けられた下側リップと、ラッチと、対向する側壁に
設けられた把持用凹部と、複数個のパッケージを積層す
るための積層用脚部とを有し、さらに頂部部材は、四つ
の側壁と、これら四つの側壁に連続した垂直壁と、この
垂直壁に設けられたリップと、キャッチと、頂部部材を
構成する弧状部と、この弧状部の内側に位置した２列の
対向するウエハー支持バネとを備える。このウエハー支
持バネは心合せ用Ｖ溝を備えた連結式片持ち水平アーム
から成る。
とを備えて封止自在且つ汚染防止可能な半導体ウエハー
用パッケージにおいて、その底部部材は、四つの側壁
と、これら四つの側壁に連続した垂直壁と、その垂直壁
に設けられた下側リップと、ラッチと、対向する側壁に
設けられた把持用凹部と、複数個のパッケージを積層す
るための積層用脚部とを有し、さらに頂部部材は、四つ
の側壁と、これら四つの側壁に連続した垂直壁と、この
垂直壁に設けられたリップと、キャッチと、頂部部材を
構成する弧状部と、この弧状部の内側に位置した２列の
対向するウエハー支持バネとを備える。このウエハー支
持バネは心合せ用Ｖ溝を備えた連結式片持ち水平アーム
から成る。
本発明の特徴事項は、側部から開放し、それによってウ
エハーにバネ圧力を均等に加える、半導体ウエハー、デ
ィスク若しくは基板用パッケージにある。把持部は、ロ
ックされた組立体の下側に位置する。パッケージの周辺
部はテープ封止可能であり、更にロック手段をも封止す
る。ロック手段は、複数の指およびロボット式アクチュ
エータによりロックを解除できるような形状を有する。
最後に、パッケージの底部部材と頂部部材は、積層する
ために他の同様なパッケージと係合する。また、パッケ
ージはパッケージ表面の形態によって美的感覚に優れ、
頂部部材と底部部材の丸み形状が構造的に強度を与え
る。
エハーにバネ圧力を均等に加える、半導体ウエハー、デ
ィスク若しくは基板用パッケージにある。把持部は、ロ
ックされた組立体の下側に位置する。パッケージの周辺
部はテープ封止可能であり、更にロック手段をも封止す
る。ロック手段は、複数の指およびロボット式アクチュ
エータによりロックを解除できるような形状を有する。
最後に、パッケージの底部部材と頂部部材は、積層する
ために他の同様なパッケージと係合する。また、パッケ
ージはパッケージ表面の形態によって美的感覚に優れ、
頂部部材と底部部材の丸み形状が構造的に強度を与え
る。
本発明の他の特徴事項は、弧状の頂部部材の内側に位置
してウエハー、ディスク若しくは基板に柔軟に係合する
心合せ用Ｖ溝を備えた連結式片持ち水平アームから成
り、対向した上部列をなす水平方向に整合したウエハー
支持体にある。ウエハー支持バネは、心合せ用Ｖ溝を備
えた連結式片持ち水平アームから成る。ウエハー、ディ
スク若しくは基板は、ウエハー、ディスク若しくは基板
の端縁部の接触が最小限になるようにしてＶ溝内に捕捉
される。
してウエハー、ディスク若しくは基板に柔軟に係合する
心合せ用Ｖ溝を備えた連結式片持ち水平アームから成
り、対向した上部列をなす水平方向に整合したウエハー
支持体にある。ウエハー支持バネは、心合せ用Ｖ溝を備
えた連結式片持ち水平アームから成る。ウエハー、ディ
スク若しくは基板は、ウエハー、ディスク若しくは基板
の端縁部の接触が最小限になるようにしてＶ溝内に捕捉
される。
本発明の更にもう１つの特徴事項は、ウエハー、ディス
ク若しくは基板に最小の応力と最適な張力とを与えるよ
うな心合せ用Ｖ溝を備えた連結式片持ち水平アームにあ
る。Ｖ溝はウエハー、ディスク若しくは基板の端縁部に
対して心合せをする。Ｖ溝を備えた水平アームは、ウエ
ハー、ディスク若しくは基板をキャリヤ内に保持する強
力な格納装置を与える。Ｖ溝は、連結式片持ち水平アー
ム上に一体的に支持される。
ク若しくは基板に最小の応力と最適な張力とを与えるよ
うな心合せ用Ｖ溝を備えた連結式片持ち水平アームにあ
る。Ｖ溝はウエハー、ディスク若しくは基板の端縁部に
対して心合せをする。Ｖ溝を備えた水平アームは、ウエ
ハー、ディスク若しくは基板をキャリヤ内に保持する強
力な格納装置を与える。Ｖ溝は、連結式片持ち水平アー
ム上に一体的に支持される。
本発明の更にもう１つの特徴事項は、アーム及びＶ溝と
ウエハー、ディスク若しくは基板との整合を確実にする
ためにポリプロピレン等の透光性ポリマー材から成るパ
ッケージにある。
ウエハー、ディスク若しくは基板との整合を確実にする
ためにポリプロピレン等の透光性ポリマー材から成るパ
ッケージにある。
上記のように、本発明の主たる目的は、半導体ウエハ
ー、ディスク若しくは基板を貯蔵し且つ輪送するための
パッケージを提供することである。
ー、ディスク若しくは基板を貯蔵し且つ輪送するための
パッケージを提供することである。
本発明のもう１つの目的は、いずれの側からもロック状
態を解除し且つ開放できる、半導体ウエハー、ディスク
若しくは基板を貯蔵し且つ輸送するための、高度先端技
術に関連するウエハー用パッケージを提供することであ
る。
態を解除し且つ開放できる、半導体ウエハー、ディスク
若しくは基板を貯蔵し且つ輸送するための、高度先端技
術に関連するウエハー用パッケージを提供することであ
る。
本発明の更にもう１つの目的は、ウエハー、ディスク若
しくは基板に柔軟に係合する心合せ用Ｖ溝を備えた連結
式片持ち水平アームから成る水平方向に整合したウエハ
ー支持体を提供することである。
しくは基板に柔軟に係合する心合せ用Ｖ溝を備えた連結
式片持ち水平アームから成る水平方向に整合したウエハ
ー支持体を提供することである。
本発明の更にもう１つの目的は、心合せ用Ｖ溝を備えた
連結式片持ち水平アームを提供することである。
連結式片持ち水平アームを提供することである。
［実施例］ 第１図は、基板若しくはウエハーを貯蔵し且つ輸送する
ための本発明によるパッケージ10の斜視図である。この
パッケージは、第２図に示すウエハーキャリヤ16を包含
して輸送し或は貯蔵するために係合する底部部材12と頂
部部材14とを具備する。
ための本発明によるパッケージ10の斜視図である。この
パッケージは、第２図に示すウエハーキャリヤ16を包含
して輸送し或は貯蔵するために係合する底部部材12と頂
部部材14とを具備する。
底部部材12は、側面18、20、22及び24と、平らな面26
a、26b、26c及び26dを含み且つそれらの間に丸みのつい
た垂直なコーナー部を有するテーピング用の連続した垂
直部材26と、平らな面26a内に配置されたラッチ用凹部2
8及びこれに対応して平らな面26c内に配置されたラッチ
用凹部30とを備える。側面18から把持用凹部32が引っ込
んでおり、これに対応して、第３図に示すように側面22
から同様な把持用凹部33が引っ込んでいる。側面20に
は、ウエハーキャリヤ16を案内するための位置決め用凹
部案内部材34が引っ込んで形成されており、これは、壁
部材20a、20bと、この壁部材20aと20bの間に設けられた
壁部材34aと、これらの壁部材20a、20b及び34aと交わる
水平な平面部材34bとを含む。また、第３図に示すよう
に、連続したリップ部材36が、連続した垂直部材26の上
部に位置し、後で詳述する頂部部材14の対応するリップ
と係合するようになっている。上側の平坦な底部表面39
及び41は、それらの間にあって下方に延びた端部40a及
び40bを有する円筒部40を形成し、第３図に示すように
側面20と24の間の下部に位置している。また、ウエハー
キャリヤ16を収容するために、溝部42及び44が側面18及
び22と平行に且つ下側の平坦な底部38と円筒部40の長さ
方向の縁部に沿って配置されている。側面18〜24の交差
部と平坦な底部38の下側各コーナー部には、それぞれ積
層用のコーナー凹部部材45a〜45bが設けられている。
a、26b、26c及び26dを含み且つそれらの間に丸みのつい
た垂直なコーナー部を有するテーピング用の連続した垂
直部材26と、平らな面26a内に配置されたラッチ用凹部2
8及びこれに対応して平らな面26c内に配置されたラッチ
用凹部30とを備える。側面18から把持用凹部32が引っ込
んでおり、これに対応して、第３図に示すように側面22
から同様な把持用凹部33が引っ込んでいる。側面20に
は、ウエハーキャリヤ16を案内するための位置決め用凹
部案内部材34が引っ込んで形成されており、これは、壁
部材20a、20bと、この壁部材20aと20bの間に設けられた
壁部材34aと、これらの壁部材20a、20b及び34aと交わる
水平な平面部材34bとを含む。また、第３図に示すよう
に、連続したリップ部材36が、連続した垂直部材26の上
部に位置し、後で詳述する頂部部材14の対応するリップ
と係合するようになっている。上側の平坦な底部表面39
及び41は、それらの間にあって下方に延びた端部40a及
び40bを有する円筒部40を形成し、第３図に示すように
側面20と24の間の下部に位置している。また、ウエハー
キャリヤ16を収容するために、溝部42及び44が側面18及
び22と平行に且つ下側の平坦な底部38と円筒部40の長さ
方向の縁部に沿って配置されている。側面18〜24の交差
部と平坦な底部38の下側各コーナー部には、それぞれ積
層用のコーナー凹部部材45a〜45bが設けられている。
頂部部材14は、側面46、48、50及び52と、これらの側面
から下方に延びて平面54a〜54dを含み且つそれらの間に
丸みのついた垂直なコーナー部を有するテーピング用の
連続した垂直リップ部材54と、側面46及び50の上部に各
側面46、50と平行に位置してウエハーキャリヤ16の上部
領域に係合する溝部56及び58と、各溝部56及び58に隣接
し且つ各側面46及び50の上部に沿った平面部材53及び55
と、側面46〜52の各交差部から上方に延びて各溝部56及
び58の両端に位置する積層用脚部60a〜60dと、溝部56及
び58と側面48及び52の上部との間に形成された平面62
と、この平面62から上方に延びた端部64a、64bを含む隆
起した円筒部64とを備える。平面62から下方にはウエハ
ー支持バネが延び、ウエハー基板をウエハーキャリヤ16
に緩く固定するようになっている。これについては、特
に第10図〜第12図を参照して後で詳細に説明する。連続
した垂直リップ部材54は、底部部材12の連続したリップ
部材36に被嵌して基板用パッケージ10を封止する。第６
図及び第９図に示すように、頂部部材14はキャッチ部材
70及び72を備える一方、底部部材12は把持用凹部32及び
33に隣接したラッチ部材74及び76を備え、ウエハーキャ
リヤ16を収納した底部部材12に頂部部材14を係合させる
ようになっている。
から下方に延びて平面54a〜54dを含み且つそれらの間に
丸みのついた垂直なコーナー部を有するテーピング用の
連続した垂直リップ部材54と、側面46及び50の上部に各
側面46、50と平行に位置してウエハーキャリヤ16の上部
領域に係合する溝部56及び58と、各溝部56及び58に隣接
し且つ各側面46及び50の上部に沿った平面部材53及び55
と、側面46〜52の各交差部から上方に延びて各溝部56及
び58の両端に位置する積層用脚部60a〜60dと、溝部56及
び58と側面48及び52の上部との間に形成された平面62
と、この平面62から上方に延びた端部64a、64bを含む隆
起した円筒部64とを備える。平面62から下方にはウエハ
ー支持バネが延び、ウエハー基板をウエハーキャリヤ16
に緩く固定するようになっている。これについては、特
に第10図〜第12図を参照して後で詳細に説明する。連続
した垂直リップ部材54は、底部部材12の連続したリップ
部材36に被嵌して基板用パッケージ10を封止する。第６
図及び第９図に示すように、頂部部材14はキャッチ部材
70及び72を備える一方、底部部材12は把持用凹部32及び
33に隣接したラッチ部材74及び76を備え、ウエハーキャ
リヤ16を収納した底部部材12に頂部部材14を係合させる
ようになっている。
第２図はウエハーキャリヤ16の斜視図である。このキャ
リヤ16は、対向する側面80及び82と、側面80の一端部に
沿って垂直方向及び外方向に延びた支持バー84と、側面
82の一端部に沿って垂直方向及び外方向に延びた支持バ
ー86と、支持バー84と86の間にあってこれらの支持バー
から引っ込んだ“H"形状の部材88及び分割されたロッド
部90と、側面80と82の後部の間にあってこれらの後部に
接合すると共に垂直方向に配設された平面部材92と、各
側面80及び82の底部に沿って延びた底縁部94及び96と、
側面80の上端部に沿って且つ支持バー84の上部と平面部
材92の上側外部との間に位置する平面状の頂縁部98と、
側面82の上端部に沿って且つ支持バー86の上部と平面部
材92の上側外部との間に延びた同様な平面状の頂縁部10
0とを備える。
リヤ16は、対向する側面80及び82と、側面80の一端部に
沿って垂直方向及び外方向に延びた支持バー84と、側面
82の一端部に沿って垂直方向及び外方向に延びた支持バ
ー86と、支持バー84と86の間にあってこれらの支持バー
から引っ込んだ“H"形状の部材88及び分割されたロッド
部90と、側面80と82の後部の間にあってこれらの後部に
接合すると共に垂直方向に配設された平面部材92と、各
側面80及び82の底部に沿って延びた底縁部94及び96と、
側面80の上端部に沿って且つ支持バー84の上部と平面部
材92の上側外部との間に位置する平面状の頂縁部98と、
側面82の上端部に沿って且つ支持バー86の上部と平面部
材92の上側外部との間に延びた同様な平面状の頂縁部10
0とを備える。
平面状の頂縁部98と側面80の下部との間には、その距離
においてリブ102a〜102n及びそれらと交互に配設された
ウエハーポケット104a〜104nが垂直方向に延び、側面80
の下部近くで湾曲断面を形成して側面80の下部と交わっ
ている。同様に、平面状の頂縁部100と側面82の下部と
の間には、その距離においてリブ106a〜106n及びそれら
と交互に配設されたウエハーポケット108a〜108nが垂直
方向に延び、側面82の下部近くで湾曲断面を形成して側
面82の下部と交わっている。また、第13図及び第14図に
示すように、丸みのついたウエハーポケット背部109a〜
109n及び119a〜119nが、寸法において安全性を与えると
共に、ウエハーポケットと同様に延びて湾曲断面を形成
し、それぞれ側面80及び82の下部と交わっている。平面
状の頂縁部98及び100は、各々の外側端部近傍において
垂直方向に向いた位置決め用穴部110a、110bとピン111
a、111bを含む。更に、ウエハーキャリヤ16はそれぞれ
支持バー84及び86に配設されたロボット用ハンドルスロ
ット112及び113を備えると共に平面部材92の頂縁部と側
面80及び82の上部に隣接してウエハーキャリヤ16の後部
に配設されたロボット用ハンドルスロット116及び118を
備える。側面80及び82の上部には、ロボット用タブ部材
121a及び121bが位置する。
においてリブ102a〜102n及びそれらと交互に配設された
ウエハーポケット104a〜104nが垂直方向に延び、側面80
の下部近くで湾曲断面を形成して側面80の下部と交わっ
ている。同様に、平面状の頂縁部100と側面82の下部と
の間には、その距離においてリブ106a〜106n及びそれら
と交互に配設されたウエハーポケット108a〜108nが垂直
方向に延び、側面82の下部近くで湾曲断面を形成して側
面82の下部と交わっている。また、第13図及び第14図に
示すように、丸みのついたウエハーポケット背部109a〜
109n及び119a〜119nが、寸法において安全性を与えると
共に、ウエハーポケットと同様に延びて湾曲断面を形成
し、それぞれ側面80及び82の下部と交わっている。平面
状の頂縁部98及び100は、各々の外側端部近傍において
垂直方向に向いた位置決め用穴部110a、110bとピン111
a、111bを含む。更に、ウエハーキャリヤ16はそれぞれ
支持バー84及び86に配設されたロボット用ハンドルスロ
ット112及び113を備えると共に平面部材92の頂縁部と側
面80及び82の上部に隣接してウエハーキャリヤ16の後部
に配設されたロボット用ハンドルスロット116及び118を
備える。側面80及び82の上部には、ロボット用タブ部材
121a及び121bが位置する。
第３図は底部部材12の平面図で、参照符号は全て前述の
部材に対応する。ラッチ凹部28はラッチ部材74を含み、
第１図にも示すように、角度のついた中央の支持部材12
0aと、その両側の角度のついた支持部材120b及び120cと
が、ラッチ凹部28の下側の最内部領域に対し所定の角度
をもってラッチ部材74の中間部から延びている。ラッチ
部材74は、角度のついた支持部材120aによりラッチ表面
74aと74bに分割されている。これに対応して、角度のつ
いたラッチ支持部材122a〜122cが、同様にラッチ部材76
の下側から把持用凹部33の上方に位置するラッチ凹部30
へ延びている。ラッチ部材76は、角度のついた支持部材
122aによりラッチ表面76aと76bに分割されている。
部材に対応する。ラッチ凹部28はラッチ部材74を含み、
第１図にも示すように、角度のついた中央の支持部材12
0aと、その両側の角度のついた支持部材120b及び120cと
が、ラッチ凹部28の下側の最内部領域に対し所定の角度
をもってラッチ部材74の中間部から延びている。ラッチ
部材74は、角度のついた支持部材120aによりラッチ表面
74aと74bに分割されている。これに対応して、角度のつ
いたラッチ支持部材122a〜122cが、同様にラッチ部材76
の下側から把持用凹部33の上方に位置するラッチ凹部30
へ延びている。ラッチ部材76は、角度のついた支持部材
122aによりラッチ表面76aと76bに分割されている。
把持用凹部32は、垂直方向に整合して向い合う壁部124
及び126と、この壁部124と126の間に位置する垂直壁部1
28と、底部部材12の中心に向かって傾斜すると共に壁部
124〜128と交わる傾斜壁部130とを含む。把持用凹部33
は、同様に整合して向い合う壁部132及び134と、この壁
部132と134の間に位置する垂直壁部136と、これらの壁
部132〜136と交わる傾斜壁部138とを含む。上記の壁部2
8及び136と溝部42及び44の内側部材との間に位置決め用
のリブ140及び142が延び、構造を補助する役割を果たし
ている。
及び126と、この壁部124と126の間に位置する垂直壁部1
28と、底部部材12の中心に向かって傾斜すると共に壁部
124〜128と交わる傾斜壁部130とを含む。把持用凹部33
は、同様に整合して向い合う壁部132及び134と、この壁
部132と134の間に位置する垂直壁部136と、これらの壁
部132〜136と交わる傾斜壁部138とを含む。上記の壁部2
8及び136と溝部42及び44の内側部材との間に位置決め用
のリブ140及び142が延び、構造を補助する役割を果たし
ている。
第４図は底部部材12の底面図で、参照符号は全て前述の
部材に対応する。
部材に対応する。
第５図は底部部材12の端面図で、参照符号は全て前述の
部材に対応する。この図では、特に側面20における位置
決め用凹部案内部材34が示されている。更に、連続した
リップ部材36の輪郭部が36a及び36bで示されており、各
輪郭部において、連続したリップ部材36はラッチ部材74
及び76に隣接した領域を通っている。リップ部36a及び3
6bは、第17図に示すように、パッケージの頂部における
連続した平面リム59の水平方向下側に封止する。
部材に対応する。この図では、特に側面20における位置
決め用凹部案内部材34が示されている。更に、連続した
リップ部材36の輪郭部が36a及び36bで示されており、各
輪郭部において、連続したリップ部材36はラッチ部材74
及び76に隣接した領域を通っている。リップ部36a及び3
6bは、第17図に示すように、パッケージの頂部における
連続した平面リム59の水平方向下側に封止する。
第６図は頂部部材14の底面図で、参照符号は全て前述の
部材に対応する。可撓性のウエハー支持バネの列150及
び152が平面62から下方に延び、ウエハーキャリヤ16に
支持されたウエハー基板を緩く抑える。可撓性のウエハ
ー支持バネ列150及び152は、それぞれ複数のウエハー支
持バネ150a〜150n及び152a〜152nを含む。キャッチ部材
70及び72は、それぞれ平面54a及び54c上に位置してい
る。キャッチ部材70は傾斜したキャッチ部70a及び70bを
含み、キャッチ部材72は傾斜したキャッチ部72a及び72b
を含む。この頂部部材14のキャッチ部材70及び72は、第
17図に示すように、それぞれ底部部材12のラッチ部材74
及び76に係合する。
部材に対応する。可撓性のウエハー支持バネの列150及
び152が平面62から下方に延び、ウエハーキャリヤ16に
支持されたウエハー基板を緩く抑える。可撓性のウエハ
ー支持バネ列150及び152は、それぞれ複数のウエハー支
持バネ150a〜150n及び152a〜152nを含む。キャッチ部材
70及び72は、それぞれ平面54a及び54c上に位置してい
る。キャッチ部材70は傾斜したキャッチ部70a及び70bを
含み、キャッチ部材72は傾斜したキャッチ部72a及び72b
を含む。この頂部部材14のキャッチ部材70及び72は、第
17図に示すように、それぞれ底部部材12のラッチ部材74
及び76に係合する。
第７図は頂部部材14の平面図で、参照符号は全て前述の
部材に対応する。
部材に対応する。
第８図は係合前の基板用パッケージ10の部分断面切欠分
解側面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。
解側面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。
第９図は係合前の基板用パッケージ10の部分断面切欠分
解端面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。底
部部材12は、第３図の９−９線に沿う断面図で示されて
いる。
解端面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。底
部部材12は、第３図の９−９線に沿う断面図で示されて
いる。
第10図は、ウエハー支持バネ列152におけるウエハー支
持バネ152a〜152nを示す。ここで、バネの歯部152aにつ
いて説明する。平面62から長手方向のバー部材154が水
平に延びると共に、この長手方向のバー部材154から、
垂直方向に向いたバー部材156が下方に延びている。第1
1図に示すように、可撓性のウエハー支持バネ152aは、
垂直バー部材154の下部から水平方向に延びている。こ
の可撓性ウエハー支持バネ152aは、傾斜した立上がり壁
部158及び160を含み、２本のバーを連結した連接部材を
形成している。第12図に示すように、上記の傾斜した立
上がり壁部158と160の間で、Ｖ溝162が角度のついた端
部164及び166まで可撓性のバネ歯部152aの下側に沿って
延びている。可撓性のウエハー支持バネ152a〜152nは柔
軟で、基板用パッケージ10に収納されている上記の傾斜
した立上がり壁158と160の間のＶ溝162内でウエハー基
板の周縁部に係合するような所定の可撓性を有する。こ
れらのウエハー支持バネは、ウエハー若しくは基板に接
触して屈曲する。
持バネ152a〜152nを示す。ここで、バネの歯部152aにつ
いて説明する。平面62から長手方向のバー部材154が水
平に延びると共に、この長手方向のバー部材154から、
垂直方向に向いたバー部材156が下方に延びている。第1
1図に示すように、可撓性のウエハー支持バネ152aは、
垂直バー部材154の下部から水平方向に延びている。こ
の可撓性ウエハー支持バネ152aは、傾斜した立上がり壁
部158及び160を含み、２本のバーを連結した連接部材を
形成している。第12図に示すように、上記の傾斜した立
上がり壁部158と160の間で、Ｖ溝162が角度のついた端
部164及び166まで可撓性のバネ歯部152aの下側に沿って
延びている。可撓性のウエハー支持バネ152a〜152nは柔
軟で、基板用パッケージ10に収納されている上記の傾斜
した立上がり壁158と160の間のＶ溝162内でウエハー基
板の周縁部に係合するような所定の可撓性を有する。こ
れらのウエハー支持バネは、ウエハー若しくは基板に接
触して屈曲する。
第11図はウエハー支持バネ列152の第10図における11−1
1線に沿った側面図で、参照符号は全て前述の部材に対
応する。
1線に沿った側面図で、参照符号は全て前述の部材に対
応する。
第12図はウエハー支持バネ列152の第11図における12−1
2線に沿った底面図である。
2線に沿った底面図である。
第13図はウエハーキャリヤ16の平面図で、参照符号は全
て前述の部材に対応する。
て前述の部材に対応する。
第14図は、歯部106nとウエハーポケット108nとを含む分
割リブ部分の、第13図における14−14線に沿う断面図で
ある。リブ106n及びウエハーポケット108nの先端部は円
滑で、丸みを有する。
割リブ部分の、第13図における14−14線に沿う断面図で
ある。リブ106n及びウエハーポケット108nの先端部は円
滑で、丸みを有する。
第15図はウエハーキャリヤ16の切欠側面図で、参照符号
は全て前述の部材に対応する。
は全て前述の部材に対応する。
［作用及び効果］ 第16図及び第17図は、動作モードを最もよく示してい
る。
る。
第16図は、パッケージ10内に係合させた基板若しくはウ
エハー170a〜170nの切欠側面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。頂部部材14と底部部材12は、全体が
断面図で示されている。ウエハーキャリヤ16は、傾斜し
た壁部138の上方におけるラッチ部材76を表わすために
切り欠かれている。底部部材のラッチ凹部30は、頂部部
材の連続した垂直リップ部材54に対してシールする。ロ
ボット式ウエハーキャリヤは、輸送且つ貯蔵用及び／又
は加工用とすることができると共に、ポリエチレン、テ
フロン（登録商標）、その他同様な材料の適当な重合体
から成るものとすることができる。
エハー170a〜170nの切欠側面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。頂部部材14と底部部材12は、全体が
断面図で示されている。ウエハーキャリヤ16は、傾斜し
た壁部138の上方におけるラッチ部材76を表わすために
切り欠かれている。底部部材のラッチ凹部30は、頂部部
材の連続した垂直リップ部材54に対してシールする。ロ
ボット式ウエハーキャリヤは、輸送且つ貯蔵用及び／又
は加工用とすることができると共に、ポリエチレン、テ
フロン（登録商標）、その他同様な材料の適当な重合体
から成るものとすることができる。
第17図は、ウエハーキャリヤ16内の基板若しくはウエハ
ー170a〜170nに対して夫々互いに係合した頂部部材14と
底部部材12の断面図で、参照符号は全て前述の部材に対
応する。図示のキャッチ部材70及び72はそれぞれラッチ
部材74及び76と摩擦係合し、これにより、連続したリッ
プ部材の輪郭部36a、36bは連続した平面リム59に密着
し、キャッチ部材70及び72とラッチ部材74及び76の領域
において、頂部部材14と底部部材12を封止する。図面に
は、頂部部材14に対するウエハーキャリヤ16と、ウエハ
ーキャリヤ16、頂部部材14及び底部部材12の間に係合し
た基板若しくはウエハー170a〜170nに対する底部部材12
との、相互の固定状態及び相互の係合関係が示されてい
る。基板若しくはウエハー170a〜170nは、複数のリブ10
6a〜106nと向い合うリブ102a〜102nとの間に係合し、こ
れにより、各基板若しくはウエハーが各分割歯の対の中
央に位置するように運動を規制する。
ー170a〜170nに対して夫々互いに係合した頂部部材14と
底部部材12の断面図で、参照符号は全て前述の部材に対
応する。図示のキャッチ部材70及び72はそれぞれラッチ
部材74及び76と摩擦係合し、これにより、連続したリッ
プ部材の輪郭部36a、36bは連続した平面リム59に密着
し、キャッチ部材70及び72とラッチ部材74及び76の領域
において、頂部部材14と底部部材12を封止する。図面に
は、頂部部材14に対するウエハーキャリヤ16と、ウエハ
ーキャリヤ16、頂部部材14及び底部部材12の間に係合し
た基板若しくはウエハー170a〜170nに対する底部部材12
との、相互の固定状態及び相互の係合関係が示されてい
る。基板若しくはウエハー170a〜170nは、複数のリブ10
6a〜106nと向い合うリブ102a〜102nとの間に係合し、こ
れにより、各基板若しくはウエハーが各分割歯の対の中
央に位置するように運動を規制する。
基板若しくはウエハー170a〜170nを収納したウエハーキ
ャリヤ16は、初めに底部部材12内に設置され、底縁部94
及び96を底部部材12の溝部42及び44に静置する。次い
で、頂部部材14を基板若しくはウエハー170a〜170nを収
納したキャリヤ16の上に位置させる。頂部部材14の連続
した垂直リップ部材54は、第１図に示すように、連続し
たリップ部材36の上に整合する。次いで、可撓性のウエ
ハー支持バネ150a〜150n及び152a〜152nが接線方向に位
置して、基板若しくはウエハー170a〜170nの外周に柔軟
に係合し、更に、傾斜したキャッチ部70a、70b及び72
a、72bが部分的にラッチ部材74及び76に対して係合す
る。頂部部材14は、複数のウエハー支持バネ150a〜150n
及び152a〜152nによって基板若しくはウエハー170a〜17
0nに対し僅かに下向きの圧力を及ぼすように位置決めさ
れ、更に、頂部部材14は、基板若しくはウエハー170a〜
170nの上方に整合した際に、ラッチ部材74a、74b及び76
a、76bが完全にキャッチ部70及び72と係合するまで、図
のように上方向に移動する。基板若しくはウエハー170a
〜170nの上部は、Ｖ溝162内の傾斜した立上がり壁158と
160との間に位置して、基板若しくはウエハーの上部の
溝方向間隔を互いに均等にさせる。角度の付いた端部16
4と166の間のＶ溝162は、上側の基板若しくはウエハー
周面を捕捉するように働く。
ャリヤ16は、初めに底部部材12内に設置され、底縁部94
及び96を底部部材12の溝部42及び44に静置する。次い
で、頂部部材14を基板若しくはウエハー170a〜170nを収
納したキャリヤ16の上に位置させる。頂部部材14の連続
した垂直リップ部材54は、第１図に示すように、連続し
たリップ部材36の上に整合する。次いで、可撓性のウエ
ハー支持バネ150a〜150n及び152a〜152nが接線方向に位
置して、基板若しくはウエハー170a〜170nの外周に柔軟
に係合し、更に、傾斜したキャッチ部70a、70b及び72
a、72bが部分的にラッチ部材74及び76に対して係合す
る。頂部部材14は、複数のウエハー支持バネ150a〜150n
及び152a〜152nによって基板若しくはウエハー170a〜17
0nに対し僅かに下向きの圧力を及ぼすように位置決めさ
れ、更に、頂部部材14は、基板若しくはウエハー170a〜
170nの上方に整合した際に、ラッチ部材74a、74b及び76
a、76bが完全にキャッチ部70及び72と係合するまで、図
のように上方向に移動する。基板若しくはウエハー170a
〜170nの上部は、Ｖ溝162内の傾斜した立上がり壁158と
160との間に位置して、基板若しくはウエハーの上部の
溝方向間隔を互いに均等にさせる。角度の付いた端部16
4と166の間のＶ溝162は、上側の基板若しくはウエハー
周面を捕捉するように働く。
頂部部材14は、キャッチ部材70及び72がラッチ部材74及
び76に摩擦係合した際に、ウエハーキャリヤ16と係合し
てこれを頂部部材14と底部部材12との間に固定保持す
る。詳細には、平面部材53及び55がウエハーキャリヤ16
の平面状の頂縁部98及び100に接触してこれに均一な下
方向の圧力を加える。この下方向の圧力は、ウエハーキ
ャリヤ16の構造を介して、底部部材12の溝部42及び44に
着座したウエハーキャリヤの底縁部94及び96に伝達さ
れ、更には溝部42及び44すなわち底部部材12まで伝達さ
れる。
び76に摩擦係合した際に、ウエハーキャリヤ16と係合し
てこれを頂部部材14と底部部材12との間に固定保持す
る。詳細には、平面部材53及び55がウエハーキャリヤ16
の平面状の頂縁部98及び100に接触してこれに均一な下
方向の圧力を加える。この下方向の圧力は、ウエハーキ
ャリヤ16の構造を介して、底部部材12の溝部42及び44に
着座したウエハーキャリヤの底縁部94及び96に伝達さ
れ、更には溝部42及び44すなわち底部部材12まで伝達さ
れる。
可撓性ウエハー支持バネ150a〜150n及び152a〜152nは、
それぞれ接線方向で基板若しくはウエハー170a〜170nの
各々の外周に対して緩く接触し、ウエハーキャリヤ16の
内部及び係合した頂部部材14と底部部材12の内部に、基
板若しくはウエハー170a〜170nをその移動が最小になる
ように着座させる。
それぞれ接線方向で基板若しくはウエハー170a〜170nの
各々の外周に対して緩く接触し、ウエハーキャリヤ16の
内部及び係合した頂部部材14と底部部材12の内部に、基
板若しくはウエハー170a〜170nをその移動が最小になる
ように着座させる。
ウエハーキャリヤ16と、基板若しくはウエハー170a〜17
0nは、頂部部材14及びその構成要素により所定位置に保
持される。バネ作用により、ウエハーキャリヤ16内に基
板若しくはウエハーが固定されると共に、底部部材12に
は頂部部材14に向かう上向きの圧力が与えられ、キャッ
チ部とラッチ部とが互いに係合を解除した時、基板若し
くはウエハーに対するウエハー支持バネ150a〜150n及び
152a〜152nの作用により、頂部部材14が上方向に弾発さ
れるようにする。
0nは、頂部部材14及びその構成要素により所定位置に保
持される。バネ作用により、ウエハーキャリヤ16内に基
板若しくはウエハーが固定されると共に、底部部材12に
は頂部部材14に向かう上向きの圧力が与えられ、キャッ
チ部とラッチ部とが互いに係合を解除した時、基板若し
くはウエハーに対するウエハー支持バネ150a〜150n及び
152a〜152nの作用により、頂部部材14が上方向に弾発さ
れるようにする。
第18図は、ウエハーキャリヤ16を底部部材12に対して一
つの位置においてのみ適切に方向付け且つ整合させ得る
ことを示している。位置決め用凹部案内部材34が、その
唯一の適切な方向への設定を可能にする。ウエハーキャ
リヤ16のＨ形状の部材88が、この位置決め用凹部案内部
材34に係合する。垂直な支持バー84及び86は、位置決め
用凹部案内部材34の周辺に位置する。同時に、ウエハー
キャリヤ16の平面部材92が側面24に隣接する。ウエハー
キャリヤ16をその縦軸線を中心としていずれかの方向に
180°回転させると、ウエハーキャリヤ16の平面部材92
は、位置決め用凹部案内部材34により占められた領域に
嵌合してウエハーキャリヤ16を底部部材12内に嵌合させ
る。勿論、分割したロッド部90の下で且つ垂直な支持バ
ー84と86の間に位置するＨ形状部材88の部分は、位置決
め用凹部案内部材34によって収容される。
つの位置においてのみ適切に方向付け且つ整合させ得る
ことを示している。位置決め用凹部案内部材34が、その
唯一の適切な方向への設定を可能にする。ウエハーキャ
リヤ16のＨ形状の部材88が、この位置決め用凹部案内部
材34に係合する。垂直な支持バー84及び86は、位置決め
用凹部案内部材34の周辺に位置する。同時に、ウエハー
キャリヤ16の平面部材92が側面24に隣接する。ウエハー
キャリヤ16をその縦軸線を中心としていずれかの方向に
180°回転させると、ウエハーキャリヤ16の平面部材92
は、位置決め用凹部案内部材34により占められた領域に
嵌合してウエハーキャリヤ16を底部部材12内に嵌合させ
る。勿論、分割したロッド部90の下で且つ垂直な支持バ
ー84と86の間に位置するＨ形状部材88の部分は、位置決
め用凹部案内部材34によって収容される。
頂部部材14は、その端部のいずれかを底部部材12のいず
れか一方の端部に隣接させるように置くことができる。
れか一方の端部に隣接させるように置くことができる。
上側リップは下側リップに、ラッチ部はキャッチ部にそ
れぞれ係合し、更にウエハーキャリヤと底部部材12と頂
部部材14との間の、基板若しくはウエハー170a〜170nの
周囲の相互係合関係が生ずる。この相互係合関係は、特
に、パッケージが相乗的組合せによってウエハーの汚染
を減少させ且つ除去することの反映であり、更に、基板
若しくはウエハーの貯蔵及び輸送を可能にすると共に、
それぞれ頂部部材14及び底部部材12をテーピングするた
めに整合した外周部を与え、輸送及び貯蔵を確実にす
る。頂部部材14は、ウエハー支持バネ150a〜150n及び15
2a〜152nが分割リブ102a〜102n及び106a〜106nの中心線
上でウエハーキャリヤ16内の基板若しくはウエハー170a
〜170nと整合する前に、底部部材12とほぼ整合すること
ができる。
れぞれ係合し、更にウエハーキャリヤと底部部材12と頂
部部材14との間の、基板若しくはウエハー170a〜170nの
周囲の相互係合関係が生ずる。この相互係合関係は、特
に、パッケージが相乗的組合せによってウエハーの汚染
を減少させ且つ除去することの反映であり、更に、基板
若しくはウエハーの貯蔵及び輸送を可能にすると共に、
それぞれ頂部部材14及び底部部材12をテーピングするた
めに整合した外周部を与え、輸送及び貯蔵を確実にす
る。頂部部材14は、ウエハー支持バネ150a〜150n及び15
2a〜152nが分割リブ102a〜102n及び106a〜106nの中心線
上でウエハーキャリヤ16内の基板若しくはウエハー170a
〜170nと整合する前に、底部部材12とほぼ整合すること
ができる。
また、ラッチ部が合致することにより、容器がテーピン
グされるだけでなく、ポリエステル、ポリエチレン若し
くはマイラーフィルム等の適当な種類のフィルムで収縮
ラップされ或は袋詰めされることを可能にし、更に、構
造的に一体性を有する汚染防止密閉容器を形成すること
が、特に重要である。これは又、容器のコストを低減さ
せると共に、内部に支持されたウエハーの構造的一体性
を保持する。頂部部材と底部部材に対し、ウエハーキャ
リヤが各構成要素と係合して、基板若しくはウエハーを
基板用パッケージ全体に摩擦係合させるようになる。
グされるだけでなく、ポリエステル、ポリエチレン若し
くはマイラーフィルム等の適当な種類のフィルムで収縮
ラップされ或は袋詰めされることを可能にし、更に、構
造的に一体性を有する汚染防止密閉容器を形成すること
が、特に重要である。これは又、容器のコストを低減さ
せると共に、内部に支持されたウエハーの構造的一体性
を保持する。頂部部材と底部部材に対し、ウエハーキャ
リヤが各構成要素と係合して、基板若しくはウエハーを
基板用パッケージ全体に摩擦係合させるようになる。
第19図は互いに積層された同様な基板用パッケージ10の
側面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。同様
な複数のパッケージは、底部部材12の積層用コーナー凹
部部材45a〜45dと、上側に位置する別の基板用パッケー
ジ10の頂部部材14における積層用脚部60a〜60dとの係合
により、積層することができる。
側面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。同様
な複数のパッケージは、底部部材12の積層用コーナー凹
部部材45a〜45dと、上側に位置する別の基板用パッケー
ジ10の頂部部材14における積層用脚部60a〜60dとの係合
により、積層することができる。
［他の実施例］ 第20図は、基板若しくはウエハーを貯蔵し且つ輸送する
ための本発明によるパッケージ210の斜視図である。こ
のパッケージは、第21図に示すウエハーキャリヤ216を
包含して輸送し或は貯蔵するために係合する底部部材21
2と頂部部材214とを具備する。
ための本発明によるパッケージ210の斜視図である。こ
のパッケージは、第21図に示すウエハーキャリヤ216を
包含して輸送し或は貯蔵するために係合する底部部材21
2と頂部部材214とを具備する。
底部部材212は、側面218、220、222及び224と、平らな
面226a、226b、226c及び226dを含み且つそれらの間に丸
みのついた垂直なコーナー部を有するテーピング用の連
続した垂直部材226と、平らな面226a内に配置されたラ
ッチ用凹部228及びこれに対応して平らな面226c内に配
置されたラッチ用凹部230とを備える。側面218から把持
用凹部232が引込み形成されており、これに対応して、
第22図に示すように側面222から同様な把持用凹部233が
引込み形成されている。側面220には、ウエハーキャリ
ヤ216を案内するための位置決め用凹部案内部材234が引
込み形成されており、これは、壁部材220a、220bと、こ
の壁部材220aと220bの間に設けられた壁部材234aと、こ
れら壁部材220a、220b及び234aと交わる水平な平面部材
234bとを含む。また、第22図に示すように連続したリッ
プ部材236が、連続した垂直部材226の上部に位置し、後
で詳述する頂部部材214の対応するリップと係合するよ
うになっている。上側の平坦な底部表面239及び241は、
それらの間にあって下方に延びた端部240a及び240bを有
する円筒部240を形成し、第22図に示すように側面220と
224の間の下部に位置している。また、ウエハーキャリ
ヤ216を収容するために、溝部242及び244が側面218及び
222と平行に且つ下側の平坦な底部238と円筒部240の長
さ方向の縁部に沿って配置されている。側面218〜224の
交差部と平坦な底部238の下側各コーナー部には、それ
ぞれ積層用のコーナー凹部部材245a〜245bが設けられて
いる。
面226a、226b、226c及び226dを含み且つそれらの間に丸
みのついた垂直なコーナー部を有するテーピング用の連
続した垂直部材226と、平らな面226a内に配置されたラ
ッチ用凹部228及びこれに対応して平らな面226c内に配
置されたラッチ用凹部230とを備える。側面218から把持
用凹部232が引込み形成されており、これに対応して、
第22図に示すように側面222から同様な把持用凹部233が
引込み形成されている。側面220には、ウエハーキャリ
ヤ216を案内するための位置決め用凹部案内部材234が引
込み形成されており、これは、壁部材220a、220bと、こ
の壁部材220aと220bの間に設けられた壁部材234aと、こ
れら壁部材220a、220b及び234aと交わる水平な平面部材
234bとを含む。また、第22図に示すように連続したリッ
プ部材236が、連続した垂直部材226の上部に位置し、後
で詳述する頂部部材214の対応するリップと係合するよ
うになっている。上側の平坦な底部表面239及び241は、
それらの間にあって下方に延びた端部240a及び240bを有
する円筒部240を形成し、第22図に示すように側面220と
224の間の下部に位置している。また、ウエハーキャリ
ヤ216を収容するために、溝部242及び244が側面218及び
222と平行に且つ下側の平坦な底部238と円筒部240の長
さ方向の縁部に沿って配置されている。側面218〜224の
交差部と平坦な底部238の下側各コーナー部には、それ
ぞれ積層用のコーナー凹部部材245a〜245bが設けられて
いる。
頂部部材214は、側面246、248、250及び252と、これら
の側面から下方に延びて平面254a〜254dを含み且つそれ
らの間に丸みのついた垂直なコーナー部を有するテーピ
ング用の連続した垂直リップ部材254と、側面246及び25
0の上部に各側面246、250と平行に位置してウエハーキ
ャリヤ216の上部領域に係合する溝部256及び258と、各
溝部256及び258に隣接し且つ各側面246及び250の上部に
沿った平面部材253及び255と、側面246〜252の各交差部
から上方に延びて各溝部256及び258の両端に位置する積
層用脚部260a〜260dと、溝部256及び258と側面248及び2
52の上部との間に形成された弧状の円筒部264と、この
弧状円筒部264の両端から下方に延びた円筒端部264a、2
64bとを備える。側面248及び252の上部から水平方向に
整合した平面262及び263が延び、それぞれ円筒端部264
a、264bと交わっている。平面の下側から下方に向かっ
て水平方向に整合したウエハー支持バネの列が延び、ウ
エハー基板をウエハーキャリヤ216に緩く固定するよう
になっている。これについては、特に第29図〜第31図を
参照して後で詳細に説明する。連続した垂直リップ部材
254は、底部部材212の連続したリップ部材236に被嵌し
て基板パッケージ210を封止する。第25図及び第28図に
示すように、頂部部材214はキャッチ部材270及び272を
備える一方、底部部材212は把持用凹部232及び233に隣
接したラッチ部材274及び276を備え、ウエハーキャリヤ
216を収納した底部部材212に頂部部材214を係合させる
ようになっている。
の側面から下方に延びて平面254a〜254dを含み且つそれ
らの間に丸みのついた垂直なコーナー部を有するテーピ
ング用の連続した垂直リップ部材254と、側面246及び25
0の上部に各側面246、250と平行に位置してウエハーキ
ャリヤ216の上部領域に係合する溝部256及び258と、各
溝部256及び258に隣接し且つ各側面246及び250の上部に
沿った平面部材253及び255と、側面246〜252の各交差部
から上方に延びて各溝部256及び258の両端に位置する積
層用脚部260a〜260dと、溝部256及び258と側面248及び2
52の上部との間に形成された弧状の円筒部264と、この
弧状円筒部264の両端から下方に延びた円筒端部264a、2
64bとを備える。側面248及び252の上部から水平方向に
整合した平面262及び263が延び、それぞれ円筒端部264
a、264bと交わっている。平面の下側から下方に向かっ
て水平方向に整合したウエハー支持バネの列が延び、ウ
エハー基板をウエハーキャリヤ216に緩く固定するよう
になっている。これについては、特に第29図〜第31図を
参照して後で詳細に説明する。連続した垂直リップ部材
254は、底部部材212の連続したリップ部材236に被嵌し
て基板パッケージ210を封止する。第25図及び第28図に
示すように、頂部部材214はキャッチ部材270及び272を
備える一方、底部部材212は把持用凹部232及び233に隣
接したラッチ部材274及び276を備え、ウエハーキャリヤ
216を収納した底部部材212に頂部部材214を係合させる
ようになっている。
第21図は、ウエハーキャリヤ216の斜視図である。この
キャリヤ216は、対向する側面280及び282と、側面280の
一端部に沿って垂直方向及び外方向に延びた支持バー28
4と、側面282の一端部に沿って垂直方向及び外方向に延
びた支持バー286と、支持バー284と286の間にあってこ
れらの支持バーから引っ込んだ“H"形状の部材88及び分
割されたロッド部290と、側面280と282の後部の間にあ
ってこれらの後部に接合すると共に垂直方向に配設され
た平面部材292と、各側面280及び282の底部に沿って延
びた底縁部294及び296と、側面280の上端部に沿って且
つ支持バー284の上部と平面部材292の上側外部との間に
位置する平面状の頂縁部298と、側面282の上端部に沿っ
て且つ支持バー286の上部と平面部材292の上側外部との
間に延びた同様な平面状の頂縁部300とを備える。
キャリヤ216は、対向する側面280及び282と、側面280の
一端部に沿って垂直方向及び外方向に延びた支持バー28
4と、側面282の一端部に沿って垂直方向及び外方向に延
びた支持バー286と、支持バー284と286の間にあってこ
れらの支持バーから引っ込んだ“H"形状の部材88及び分
割されたロッド部290と、側面280と282の後部の間にあ
ってこれらの後部に接合すると共に垂直方向に配設され
た平面部材292と、各側面280及び282の底部に沿って延
びた底縁部294及び296と、側面280の上端部に沿って且
つ支持バー284の上部と平面部材292の上側外部との間に
位置する平面状の頂縁部298と、側面282の上端部に沿っ
て且つ支持バー286の上部と平面部材292の上側外部との
間に延びた同様な平面状の頂縁部300とを備える。
平面状の頂縁部298と側面280の下部との間には、その距
離においてリブ302a〜302n及びそれらと交互に配設され
たウエハーポケット304a〜304nが垂直方向に延び、側面
280の下部近くで湾曲断面を形成して側面280の下部と交
わっている。同様に、平面状の頂縁部300と側面282の下
部との間には、その距離においてリブ302a〜302n及びそ
れらと交互に配設されたウエハーポケット308a〜308nが
垂直方向に延び、側面282の下部近くで湾曲断面を形成
して側面282の下部と交わっている。また、第32図及び
第34図に示すように、丸みのついたウエハーポケット背
部309a〜309n及び319a〜319nが、寸法において安定性を
与えると共にウエハーポケットと同様に延びて湾曲断面
を形成し、それぞれ側面280及び282の下部と交わってい
る。平面状の頂縁部298及び300は、各々の外側端部近傍
において垂直方向に向いた位置決め用穴部310a、310bと
ピン311a、311bを含む。更に、ウエハーキャリヤ216
は、それぞれ支持バー284及び286に配設されたロボット
用ハンドルスロット312及び313を備えると共に、平面部
材292の頂縁部と側面280及び282の上部に隣接してウエ
ハーキャリヤ216の後部に配設されたロボット用ハンド
ルスロット316及び318を備える。側面280及び282の上部
には、ロボット用タブ部材321a及び321bが位置する。
離においてリブ302a〜302n及びそれらと交互に配設され
たウエハーポケット304a〜304nが垂直方向に延び、側面
280の下部近くで湾曲断面を形成して側面280の下部と交
わっている。同様に、平面状の頂縁部300と側面282の下
部との間には、その距離においてリブ302a〜302n及びそ
れらと交互に配設されたウエハーポケット308a〜308nが
垂直方向に延び、側面282の下部近くで湾曲断面を形成
して側面282の下部と交わっている。また、第32図及び
第34図に示すように、丸みのついたウエハーポケット背
部309a〜309n及び319a〜319nが、寸法において安定性を
与えると共にウエハーポケットと同様に延びて湾曲断面
を形成し、それぞれ側面280及び282の下部と交わってい
る。平面状の頂縁部298及び300は、各々の外側端部近傍
において垂直方向に向いた位置決め用穴部310a、310bと
ピン311a、311bを含む。更に、ウエハーキャリヤ216
は、それぞれ支持バー284及び286に配設されたロボット
用ハンドルスロット312及び313を備えると共に、平面部
材292の頂縁部と側面280及び282の上部に隣接してウエ
ハーキャリヤ216の後部に配設されたロボット用ハンド
ルスロット316及び318を備える。側面280及び282の上部
には、ロボット用タブ部材321a及び321bが位置する。
第22図は底部部材212の平面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。ラッチ凹部228はラッチ部材274を含
み、第20図にも示すように、角度のついた中央の支持部
材320aと、その両側の角度のついた支持部材320b及び32
0cとが、ラッチ凹部228の下側の最内部領域に対し所定
の角度をもってラッチ部材274の中間部から延びてい
る。ラッチ部材274は、角度のついた支持部材320aによ
りラッチ表面274aと274bに分割されている。これに対応
して、角度のついたラッチ支持部材322a〜322cが、同様
にラッチ部材276の下側から把持用凹部233の上方に位置
するラッチ凹部230へ延びている。ラッチ部材276は、角
度のついた支持部材322aによりラッチ表面276aと276bに
分割されている。
の部材に対応する。ラッチ凹部228はラッチ部材274を含
み、第20図にも示すように、角度のついた中央の支持部
材320aと、その両側の角度のついた支持部材320b及び32
0cとが、ラッチ凹部228の下側の最内部領域に対し所定
の角度をもってラッチ部材274の中間部から延びてい
る。ラッチ部材274は、角度のついた支持部材320aによ
りラッチ表面274aと274bに分割されている。これに対応
して、角度のついたラッチ支持部材322a〜322cが、同様
にラッチ部材276の下側から把持用凹部233の上方に位置
するラッチ凹部230へ延びている。ラッチ部材276は、角
度のついた支持部材322aによりラッチ表面276aと276bに
分割されている。
把持用凹部232は、垂直方向に整合して向い合う壁部324
及び326と、この壁部324及び326の間に位置する垂直壁
部328と、底部部材212の中心に向かって傾斜すると共に
壁部324〜328と交わる傾斜壁部320とを含む。把持用凹
部333は、同様に整合して向い合う壁部332及び334と、
この壁部332と334の間に位置する垂直壁部336と、これ
らの壁部332〜336と交わる傾斜壁部338とを含む。上記
の壁部328及び336と溝部242及び244の内側部材との間に
位置決め用のリブ340及び342の延び、構造を補助する役
割を果たしている。
及び326と、この壁部324及び326の間に位置する垂直壁
部328と、底部部材212の中心に向かって傾斜すると共に
壁部324〜328と交わる傾斜壁部320とを含む。把持用凹
部333は、同様に整合して向い合う壁部332及び334と、
この壁部332と334の間に位置する垂直壁部336と、これ
らの壁部332〜336と交わる傾斜壁部338とを含む。上記
の壁部328及び336と溝部242及び244の内側部材との間に
位置決め用のリブ340及び342の延び、構造を補助する役
割を果たしている。
第23図は底部部材212の底面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。
の部材に対応する。
第24図は底部部材212の端面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。この図では、特に側面220における
位置決め用凹部案内部材234が示されている。更に、連
続したリップ部材236の輪郭部が236a及び236bで示され
ており、各輪郭部において、連続したリップ部材236は
ラッチ部材274及び276に隣接した領域を通っている。リ
ップ部236a及び236bは、第36図に示すように、パッケー
ジの頂部における連続した平面リム259の水平方向下側
に封止する。
の部材に対応する。この図では、特に側面220における
位置決め用凹部案内部材234が示されている。更に、連
続したリップ部材236の輪郭部が236a及び236bで示され
ており、各輪郭部において、連続したリップ部材236は
ラッチ部材274及び276に隣接した領域を通っている。リ
ップ部236a及び236bは、第36図に示すように、パッケー
ジの頂部における連続した平面リム259の水平方向下側
に封止する。
第25図は頂部部材214の底面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。可撓性のウエハー支持バネの列350
及び352が、第28図にも示すように弧状円筒部264と溝部
256及び258との間にある半径の小さい表面351及び353か
ら水平方向に延び、ウエハーキャリヤ216に支持された
ウエハー基板を緩く抑える。可撓性のウエハー支持バネ
列350及び352は、それぞれ複数のウエハー支持バネ350a
〜350n及び352a〜352nを含む。これについては、後で第
29図、第30図及び第31図を参照して説明する。キャッチ
部材270及び272は、それぞれ平面254a及び254c上に位置
している。キャッチ部材270は傾斜したキャッチ部270a
及び270bを含み、キャッチ部材272は傾斜したキャッチ
部272a及び272bを含む。この頂部部材214のキャッチ部
材270及び272は、第26図に示すように、それぞれ底部部
材212のラッチ部材274及び276に係合する。壁248及び25
2の内面には、補強用の突起276a〜276dが垂直方向に整
合して設置されている。
の部材に対応する。可撓性のウエハー支持バネの列350
及び352が、第28図にも示すように弧状円筒部264と溝部
256及び258との間にある半径の小さい表面351及び353か
ら水平方向に延び、ウエハーキャリヤ216に支持された
ウエハー基板を緩く抑える。可撓性のウエハー支持バネ
列350及び352は、それぞれ複数のウエハー支持バネ350a
〜350n及び352a〜352nを含む。これについては、後で第
29図、第30図及び第31図を参照して説明する。キャッチ
部材270及び272は、それぞれ平面254a及び254c上に位置
している。キャッチ部材270は傾斜したキャッチ部270a
及び270bを含み、キャッチ部材272は傾斜したキャッチ
部272a及び272bを含む。この頂部部材214のキャッチ部
材270及び272は、第26図に示すように、それぞれ底部部
材212のラッチ部材274及び276に係合する。壁248及び25
2の内面には、補強用の突起276a〜276dが垂直方向に整
合して設置されている。
第26図は頂部部材214の平面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。
の部材に対応する。
第27図は係合前の基板用パッケージ210の部分断面切欠
分解側面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。
分解側面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。
第28図は係合前の基板用パッケージ210の部分断面切欠
分解端面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。
底部部材212は、第22図の28−28線に沿う断面図で示さ
れている。
分解端面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。
底部部材212は、第22図の28−28線に沿う断面図で示さ
れている。
第29図は、ウエハー支持バネ列352におけるウエハー支
持バネ352a〜352nの、第28図の29−29線に沿う端面図で
ある。ここで、バネの歯部352aについて説明する。可撓
性のウエハー支持バネ352aは、第31図に示すように半径
の小さい表面356から水平方向に延びている。この可撓
性ウエハー支持バネ352aは、傾斜した立上がり壁部358
及び360を含む。第30図にも示すように、上記の傾斜し
た立上がり壁部358と360の間でＶ溝362が可撓性のバネ
歯部352aの下側に沿って延びている。可撓性のウエハー
支持バネ352a〜352nは柔軟で、基板用パッケージ210に
収納されている上記の傾斜した立上がり壁358と360の間
のＶ溝362内でウエハー基板の周縁部に係合するような
所定の可撓性を有する。これらのウエハー支持バネは、
ウエハー若しくは基板に接触して屈曲する。
持バネ352a〜352nの、第28図の29−29線に沿う端面図で
ある。ここで、バネの歯部352aについて説明する。可撓
性のウエハー支持バネ352aは、第31図に示すように半径
の小さい表面356から水平方向に延びている。この可撓
性ウエハー支持バネ352aは、傾斜した立上がり壁部358
及び360を含む。第30図にも示すように、上記の傾斜し
た立上がり壁部358と360の間でＶ溝362が可撓性のバネ
歯部352aの下側に沿って延びている。可撓性のウエハー
支持バネ352a〜352nは柔軟で、基板用パッケージ210に
収納されている上記の傾斜した立上がり壁358と360の間
のＶ溝362内でウエハー基板の周縁部に係合するような
所定の可撓性を有する。これらのウエハー支持バネは、
ウエハー若しくは基板に接触して屈曲する。
第30図は、第29図のウエハー支持バネ列352の第31図に
おける30−30線に沿った側面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。
おける30−30線に沿った側面図で、参照符号は全て前述
の部材に対応する。
第31図は、第30図のウエハー支持バネ列352の底面図で
ある。
ある。
第32図はウエハーキャリヤ216の平面図で、参照符号は
全て前述の部材に対応する。
全て前述の部材に対応する。
第33図は、歯部306nとウエハーポケット308nとを含む分
割リブ部分の、第32図における33−33線に沿う断面図で
ある。リブ302n及びウエハーポケット308nの先端部は円
滑で、丸みを有する。
割リブ部分の、第32図における33−33線に沿う断面図で
ある。リブ302n及びウエハーポケット308nの先端部は円
滑で、丸みを有する。
第34図はウエハーキャリヤ216の切欠側面図で、参照符
号は全て前述の部材に対応する。
号は全て前述の部材に対応する。
［作用及び効果］ 第35図及び第36図は、動作モードを最もよく示してい
る。
る。
第35図は、パッケージ210内に係合させた基板若しくは
ウエハー370a〜370nの切欠側面図で、参照符号は全て前
述の部材に対応する。頂部部材214と底部部材212は、全
体が断面図で示されている。ウエハーキャリヤ216は、
傾斜した壁部338の上方におけるラッチ部材276を表わす
ために切り欠かれている。底部部材のラッチ凹部230
は、頂部部材の連続した垂直リップ部材254に対してシ
ールする。ロボット式ウエハーキャリヤは輸送且つ貯蔵
用及び／又は加工用とすることができると共に、ポリエ
チレン、テフロン（登録商標）、その他同様な材料の適
当な重合体から成るものとすることができる。
ウエハー370a〜370nの切欠側面図で、参照符号は全て前
述の部材に対応する。頂部部材214と底部部材212は、全
体が断面図で示されている。ウエハーキャリヤ216は、
傾斜した壁部338の上方におけるラッチ部材276を表わす
ために切り欠かれている。底部部材のラッチ凹部230
は、頂部部材の連続した垂直リップ部材254に対してシ
ールする。ロボット式ウエハーキャリヤは輸送且つ貯蔵
用及び／又は加工用とすることができると共に、ポリエ
チレン、テフロン（登録商標）、その他同様な材料の適
当な重合体から成るものとすることができる。
第36図は、ウエハーキャリヤ216内の基板若しくはウエ
ハー370a〜370nに対して夫々互いに係合した頂部部材21
4と底部部材212の断面図で、参照符号は全て前述の部材
に対応する。図示のキャッチ部材270及び272はそれぞれ
ラッチ部材274及び276と摩擦係合し、これにより、連続
したリップ部材の輪郭部236a、236bは連続した平面リム
259に密着し、キャッチ部材270及び272とラッチ部材274
及び276の領域において、頂部部材214と底部部材212を
封止する。図面には、頂部部材214に対するウエハーキ
ャリヤ216と、ウエハーキャリヤ216、頂部部材214及び
底部部材212の間に係合した基板若しくはウエハー370a
〜370nに対する底部部材212との、相互の固定状態及び
相互の係合関係が示されている。基板若しくはウエハー
370a〜370nは、複数のリブ306a〜306nと向い合うリブ30
2a〜302nとの間に係合し、これにより、各基板若しくは
ウエハーが各分割歯の対の中央に位置するように運動を
規制する。
ハー370a〜370nに対して夫々互いに係合した頂部部材21
4と底部部材212の断面図で、参照符号は全て前述の部材
に対応する。図示のキャッチ部材270及び272はそれぞれ
ラッチ部材274及び276と摩擦係合し、これにより、連続
したリップ部材の輪郭部236a、236bは連続した平面リム
259に密着し、キャッチ部材270及び272とラッチ部材274
及び276の領域において、頂部部材214と底部部材212を
封止する。図面には、頂部部材214に対するウエハーキ
ャリヤ216と、ウエハーキャリヤ216、頂部部材214及び
底部部材212の間に係合した基板若しくはウエハー370a
〜370nに対する底部部材212との、相互の固定状態及び
相互の係合関係が示されている。基板若しくはウエハー
370a〜370nは、複数のリブ306a〜306nと向い合うリブ30
2a〜302nとの間に係合し、これにより、各基板若しくは
ウエハーが各分割歯の対の中央に位置するように運動を
規制する。
基板若しくはウエハー370a〜370nを収納したウエハーキ
ャリヤ216は、初めに底部部材212内に設置され、底縁部
294及び296を底部部材212の溝部242及び246に静置す
る。次いで、頂部部材214を基板若しくはウエハー370a
〜370nを収納したキャリヤ216の上に位置させる。頂部
部材214の連続した垂直リップ部材254は、第20図に示す
ように、連続したリップ部材236上に整合する。次い
で、可撓性のウエハー支持バネ350a〜350n及び352a〜35
2nが接線方向に位置して、基板若しくはウエハー370a〜
370nの外周に柔軟に係合し、更に、傾斜したキャッチ部
270a、270b及び272a、272bが部分的にラッチ部材274及
び276に対して係合する。頂部部材214は、複数のウエハ
ー支持バネ350a〜350n及び352a〜352nによって基板若し
くはウエハー370a〜370nに対し僅かに下向きの圧力を及
ぼすように位置決めされ、更に、頂部部材214は、基板
若しくはウエハー370a〜370nの上方に整合した際に、ラ
ッチ部材274a、274b及び276a、276bが完全にキャッチ部
270及び272と係合するまで、図のように上方向に移動す
る。基板若しくはウエハー370a〜370nの上部は、Ｖ溝36
2内の傾斜した立上がり壁358と360との間に位置して基
板若しくはウエハーの上部の横方向間隔を互いに均等に
させる。角度の付いた端部364と366の間のＶ溝362は、
上側の基板若しくはウエハー周面を捕捉するように働
く。
ャリヤ216は、初めに底部部材212内に設置され、底縁部
294及び296を底部部材212の溝部242及び246に静置す
る。次いで、頂部部材214を基板若しくはウエハー370a
〜370nを収納したキャリヤ216の上に位置させる。頂部
部材214の連続した垂直リップ部材254は、第20図に示す
ように、連続したリップ部材236上に整合する。次い
で、可撓性のウエハー支持バネ350a〜350n及び352a〜35
2nが接線方向に位置して、基板若しくはウエハー370a〜
370nの外周に柔軟に係合し、更に、傾斜したキャッチ部
270a、270b及び272a、272bが部分的にラッチ部材274及
び276に対して係合する。頂部部材214は、複数のウエハ
ー支持バネ350a〜350n及び352a〜352nによって基板若し
くはウエハー370a〜370nに対し僅かに下向きの圧力を及
ぼすように位置決めされ、更に、頂部部材214は、基板
若しくはウエハー370a〜370nの上方に整合した際に、ラ
ッチ部材274a、274b及び276a、276bが完全にキャッチ部
270及び272と係合するまで、図のように上方向に移動す
る。基板若しくはウエハー370a〜370nの上部は、Ｖ溝36
2内の傾斜した立上がり壁358と360との間に位置して基
板若しくはウエハーの上部の横方向間隔を互いに均等に
させる。角度の付いた端部364と366の間のＶ溝362は、
上側の基板若しくはウエハー周面を捕捉するように働
く。
頂部部材214は、キャッチ部材270及び272がラッチ部材2
74及び276に摩擦係合した際、ウエハーキャリヤ216と係
合してこれを頂部部材214と底部部材212との間に固定保
持する。詳細には平面部材253及び255がウエハーキャリ
ヤ216の平面状の頂縁部298及び300に接触して、これに
均一な下方向の圧力を加える。この下方向の圧力は、ウ
エハーキャリヤ216の構造を介して、底部部材212の溝部
242及び244に着座したウエハーキャリヤの底縁部294及
び296に伝達され、更には溝部242及び244すなわち底部
部材212まで伝達される。
74及び276に摩擦係合した際、ウエハーキャリヤ216と係
合してこれを頂部部材214と底部部材212との間に固定保
持する。詳細には平面部材253及び255がウエハーキャリ
ヤ216の平面状の頂縁部298及び300に接触して、これに
均一な下方向の圧力を加える。この下方向の圧力は、ウ
エハーキャリヤ216の構造を介して、底部部材212の溝部
242及び244に着座したウエハーキャリヤの底縁部294及
び296に伝達され、更には溝部242及び244すなわち底部
部材212まで伝達される。
可撓性ウエハー支持バネ350a〜350n及び352a〜352nは、
それぞれ接線方向で基板若しくはウエハー370a〜370nの
各々の外周に対して緩く接触し、ウエハーキャリヤ216
の内部及び係合した頂部部材214と底部部材212の内部
に、基板若しくはウエハー370a〜370nをその移動が最小
になるように着座させる。
それぞれ接線方向で基板若しくはウエハー370a〜370nの
各々の外周に対して緩く接触し、ウエハーキャリヤ216
の内部及び係合した頂部部材214と底部部材212の内部
に、基板若しくはウエハー370a〜370nをその移動が最小
になるように着座させる。
ウエハーキャリヤ216と、基板若しくはウエハー370a〜3
70nは、頂部部材214及びその構成要素により所定位置に
保持される。バネ作用により、ウエハーキャリヤ216内
に基板若しくはウエハーが固定されると共に、底部部材
212には頂部部材214に向かう上向きの圧力が与えられ、
キャッチ部とラッチ部とが互いに係合を解除した時、基
板若しくはウエハーに対するウエハー支持バネ350a〜35
0n及び352a〜352nの作用により、頂部部材214が上方向
に弾発されるようにする。
70nは、頂部部材214及びその構成要素により所定位置に
保持される。バネ作用により、ウエハーキャリヤ216内
に基板若しくはウエハーが固定されると共に、底部部材
212には頂部部材214に向かう上向きの圧力が与えられ、
キャッチ部とラッチ部とが互いに係合を解除した時、基
板若しくはウエハーに対するウエハー支持バネ350a〜35
0n及び352a〜352nの作用により、頂部部材214が上方向
に弾発されるようにする。
第37図は、２つの接点にてウエハー、ディスク若しくは
基板に係合する心合せ用Ｖ溝を備えた連接式片持ち水平
アームの略図である。ウエハー、ディスク若しくは基板
は、Ｖ溝の両側でＶ溝内に支持され、ウエハー、ディス
ク若しくは基板の縁に対するＶ溝の作用によりセンタリ
ングされる。
基板に係合する心合せ用Ｖ溝を備えた連接式片持ち水平
アームの略図である。ウエハー、ディスク若しくは基板
は、Ｖ溝の両側でＶ溝内に支持され、ウエハー、ディス
ク若しくは基板の縁に対するＶ溝の作用によりセンタリ
ングされる。
第38図は、ウエハーキャリヤ216を底部部材212に対して
一つの位置においてのみ適切に方向付け且つ整列させ得
ることを示している。位置決め用凹部案内部材234が、
その唯一の適切な方向への設定を可能にする。ウエハー
キャリヤ216のＨ形状の部材288が、この位置決め用凹部
案内部材234に係合する。垂直な支持バー284及び286
は、位置決め用凹部案内部材234の周辺に位置する。同
時に、ウエハーキャリヤ216の平面部材292が側面224に
隣接する。ウエハーキャリヤ216をその縦軸線を中心と
していずれかの方向に180°回転させると、ウエハーキ
ャリヤ216の平面部材292は、位置決め用凹部案内部材23
4により占められた領域に嵌合してウエハーキャリヤ216
を底部部材212内に嵌合させる。勿論、分割したロッド
部290の下で且つ垂直な支持バー284と286の間に位置す
るＨ形状部材288の部分は、位置決め用凹部案内部材234
により収容される。
一つの位置においてのみ適切に方向付け且つ整列させ得
ることを示している。位置決め用凹部案内部材234が、
その唯一の適切な方向への設定を可能にする。ウエハー
キャリヤ216のＨ形状の部材288が、この位置決め用凹部
案内部材234に係合する。垂直な支持バー284及び286
は、位置決め用凹部案内部材234の周辺に位置する。同
時に、ウエハーキャリヤ216の平面部材292が側面224に
隣接する。ウエハーキャリヤ216をその縦軸線を中心と
していずれかの方向に180°回転させると、ウエハーキ
ャリヤ216の平面部材292は、位置決め用凹部案内部材23
4により占められた領域に嵌合してウエハーキャリヤ216
を底部部材212内に嵌合させる。勿論、分割したロッド
部290の下で且つ垂直な支持バー284と286の間に位置す
るＨ形状部材288の部分は、位置決め用凹部案内部材234
により収容される。
頂部部材214は、その端部のいずれかを底部部材212のい
ずれか一方の端部に隣接させるように置くことができ
る。
ずれか一方の端部に隣接させるように置くことができ
る。
上側リップは下側リップに、ラッチ部はキャッチ部にそ
れぞれ係合し、更にウエハーキャリヤと底部部材212と
頂部部材214との間の、基板若しくはウエハー370a〜370
nの周囲の相互係合関係が生ずる。この相互係合関係
は、特に、パッケージが相乗的組合せによってウエハー
の汚染を減少させ且つ除去することの反映であり、さら
に、基板若しくはウエハーの貯蔵及び輸送を可能にする
と共に、それぞれ頂部部材214及び底部部材212をテーピ
ングするために整合した外周部を与え、輸送及び貯蔵を
確実にする。頂部部材214は、ウエハー支持バネ350a〜3
50n及び352a〜352nが分割リブ302a〜302n及び306a〜306
nの中心線上でウエハーキャリヤ216内の基板若しくはウ
エハー370a〜370nと整合する前に、底部部材212とほぼ
整合することができる。
れぞれ係合し、更にウエハーキャリヤと底部部材212と
頂部部材214との間の、基板若しくはウエハー370a〜370
nの周囲の相互係合関係が生ずる。この相互係合関係
は、特に、パッケージが相乗的組合せによってウエハー
の汚染を減少させ且つ除去することの反映であり、さら
に、基板若しくはウエハーの貯蔵及び輸送を可能にする
と共に、それぞれ頂部部材214及び底部部材212をテーピ
ングするために整合した外周部を与え、輸送及び貯蔵を
確実にする。頂部部材214は、ウエハー支持バネ350a〜3
50n及び352a〜352nが分割リブ302a〜302n及び306a〜306
nの中心線上でウエハーキャリヤ216内の基板若しくはウ
エハー370a〜370nと整合する前に、底部部材212とほぼ
整合することができる。
また、ラッチ部が合致することにより、容器がテーピン
グされるだけでなく、ポリエステル、ポリエチレン若し
くはマイラーフィルム等の適当な種類のフィルムで収縮
ラップされ或は袋詰めされることを可能にし、更に、構
造的に一体性を有する汚染防止密閉容器を形成すること
が、特に重要である。これは又、容器のコストを低減さ
せると共に、内部に支持されたウエハーの構造的一体性
を保持する。頂部部材と底部部材に対し、ウエハーキャ
リヤが各構成要素と係合して、基板若しくはウエハーを
基板用パッケージ全体に摩擦係合させるようになる。
グされるだけでなく、ポリエステル、ポリエチレン若し
くはマイラーフィルム等の適当な種類のフィルムで収縮
ラップされ或は袋詰めされることを可能にし、更に、構
造的に一体性を有する汚染防止密閉容器を形成すること
が、特に重要である。これは又、容器のコストを低減さ
せると共に、内部に支持されたウエハーの構造的一体性
を保持する。頂部部材と底部部材に対し、ウエハーキャ
リヤが各構成要素と係合して、基板若しくはウエハーを
基板用パッケージ全体に摩擦係合させるようになる。
第39図は互いに積層された同様な基板用パッケージ210
の側面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。同
様な複数のパッケージは、底部部材212の積層用コーナ
ー凹部部材245a〜245dと、上側に位置する別の基板用パ
ッケージ210の頂部部材214における積層用脚部260a〜26
0dとの係合により、積層することができる。
の側面図で、参照符号は全て前述の部材に対応する。同
様な複数のパッケージは、底部部材212の積層用コーナ
ー凹部部材245a〜245dと、上側に位置する別の基板用パ
ッケージ210の頂部部材214における積層用脚部260a〜26
0dとの係合により、積層することができる。
以上、好適な実施例を挙げて説明したが、本発明の範囲
を逸脱することなく、多くの改変をなすことができる。
を逸脱することなく、多くの改変をなすことができる。
第１図は本発明による基板用パッケージの斜視図、 第２図はウエハーキャリヤの斜視図、 第３図は底部部材の平面図、 第４図は底部部材の底面図、 第５図は底部部材の端面図、 第６図は頂部部材の底面図、 第７図は頂部部材の平面図、 第８図は基板用パッケージの部分断面切欠分解側面図、 第９図は基板用パッケージの断面切欠分解端面図、 第10図はウエハー支持バネの端面図、 第11図はウエハー支持バネ列の側面図、 第12図はウエハー支持バネの底面図、 第13図はウエハーキャリヤの平面図、 第14図は分割リブ及びウエハーポケットの略断面図、 第15図はウエハーキャリヤの切欠図、 第16図は基板用パッケージにおける基板ウエハーの切欠
側面図、 第17図は組み立てられた基板用パッケージの断面図、 第18図は底部部材内のウエハーキャリヤの平面図、 第19図は積層された基板用パッケージを示す図、 第20図は他の実施例による基板用パッケージの斜視図、 第21図はウエハーキャリヤの斜視図、 第22図は底部部材の平面図、 第23図は底部部材の底面図、 第24図は底部部材の端面図、 第25図は頂部部材の底面図、 第26図は頂部部材の平面図、 第27図は基板用パッケージの部分断面切欠分解側面図、 第28図は基板用パッケージの断面切欠分解端面図、 第29図はウエハー支持バネの端面図、 第30図はウエハー支持バネ列の側面図、 第31図はウエハー支持バネの底面図、 第32図はウエハーキャリヤ平面図、 第33図は分割リブ及びウエハーポケットの略断面図、 第34図はウエハーキャリヤの切欠図、 第35図は基板用パッケージにおける基板ウエハーの切欠
側面図、 第36図は組み立てられた基板用パッケージの断面図、 第37図はウエハー、ディスク若しくは基板に係合する心
合せ用Ｖ溝を備えた連接式片持ち水平アームの略図、 第38図は底部部材のウエハーキャリヤの平面図、 第39図は積層された基板用パッケージを示す図である。 10.210…パッケージ、12.212…底部部材、14.214…頂部
部材、16.216…ウエハーキャリヤ、26.226…垂直部材、
32.232…把持用凹部、34.234…凹部案内部材、40.240…
円筒部、54.254…リップ部材、60a〜60d.260a〜260d…
積層用脚部、64.254…円筒部、70.72.270.272…キャッ
チ部材、74.76.274.276…ラッチ部材、84.284…支持バ
ー、90.290…ロッド部、104a〜104n.304a〜304n…ウエ
ハーポケット、150.152.350.352…ウエハー支持バネ、1
52a〜152n.352a〜352n…可撓性ウエハー支持バネ。
側面図、 第17図は組み立てられた基板用パッケージの断面図、 第18図は底部部材内のウエハーキャリヤの平面図、 第19図は積層された基板用パッケージを示す図、 第20図は他の実施例による基板用パッケージの斜視図、 第21図はウエハーキャリヤの斜視図、 第22図は底部部材の平面図、 第23図は底部部材の底面図、 第24図は底部部材の端面図、 第25図は頂部部材の底面図、 第26図は頂部部材の平面図、 第27図は基板用パッケージの部分断面切欠分解側面図、 第28図は基板用パッケージの断面切欠分解端面図、 第29図はウエハー支持バネの端面図、 第30図はウエハー支持バネ列の側面図、 第31図はウエハー支持バネの底面図、 第32図はウエハーキャリヤ平面図、 第33図は分割リブ及びウエハーポケットの略断面図、 第34図はウエハーキャリヤの切欠図、 第35図は基板用パッケージにおける基板ウエハーの切欠
側面図、 第36図は組み立てられた基板用パッケージの断面図、 第37図はウエハー、ディスク若しくは基板に係合する心
合せ用Ｖ溝を備えた連接式片持ち水平アームの略図、 第38図は底部部材のウエハーキャリヤの平面図、 第39図は積層された基板用パッケージを示す図である。 10.210…パッケージ、12.212…底部部材、14.214…頂部
部材、16.216…ウエハーキャリヤ、26.226…垂直部材、
32.232…把持用凹部、34.234…凹部案内部材、40.240…
円筒部、54.254…リップ部材、60a〜60d.260a〜260d…
積層用脚部、64.254…円筒部、70.72.270.272…キャッ
チ部材、74.76.274.276…ラッチ部材、84.284…支持バ
ー、90.290…ロッド部、104a〜104n.304a〜304n…ウエ
ハーポケット、150.152.350.352…ウエハー支持バネ、1
52a〜152n.352a〜352n…可撓性ウエハー支持バネ。
Claims (9)
- 【請求項１】ウエハーキャリヤにおいて、複数のウエハ
ー、ディスク若しくは基板を貯蔵し且つ輸送するための
パッケージ用底部部材と頂部部材とから成る封止自在な
汚染防止用パッケージにおいて、 a.パッケージ用底部部材は、平面四辺形状の底部壁と、
前記底部壁の各辺と一体的に設けられた四つの側壁と、
前記四つの側壁にそれぞれ連続して設けられた垂直壁
と、該垂直壁に設けられた下側リップと、前記側壁に設
けられたラッチと、対向する１組の前記側壁に設けられ
内側に膨出した把持用凹部と、前記底部壁に設けられ、
内側に膨出した積層用凹部と、前記底部壁の内側面に設
けられたウエハーキャリヤ用位置決め部と、から成り、 b.パッケージ用頂部部材は、平面四辺形状の頂部壁と、
前記頂部壁の各辺と一体的に設けられた四つの側壁と、
前記四つの側壁にそれぞれ連続して設けられた垂直壁
と、該垂直壁に設けられた上側リップと、前記側壁に設
けられたキャッチと、前記頂部壁に設けられ外方へと突
出した弧状部と、前記頂部壁の弧状部の内側にあってそ
の両側に設けられたウエハー、ディスク若しくは基板に
係合する２列の連結式片持ち水平アームと、前記頂部壁
に設けられ、外方へと突出した積層用脚部と、 から成ることを特徴とするパッケージ。 - 【請求項２】請求項（１）記載のパッケージにおいて、
前記パッケージ用頂部部材と底部部材は下側リップと係
合する上側リップに対応し、前記頂部部材のキャッチは
前記底部部材のラッチと係合することを特徴とするパッ
ケージ。 - 【請求項３】請求項（１）記載のパッケージにおいて、
前記パッケージの頂部と底部の各部材が前記パッケージ
側面におけるキャッチ及びラッチの位置に関してウエハ
ーの平面と一致する方向に移動するように構成したこと
を特徴とするパッケージ。 - 【請求項４】請求項（１）記載のパッケージにおいて、
前記パッケージ用頂部部材と底部部材の各側面は互いに
鉛直であり、その周辺を一致させることによってテーピ
ングを容易にすることを特徴とするパッケージ。 - 【請求項５】請求項（１）記載のパッケージにおいて、
前記パッケージ用頂部部材と底部部材が合成樹脂材料か
ら成ることを特徴とするパッケージ。 - 【請求項６】複数のウエハー、ディスク若しくは基板を
貯蔵し且つ輸送するためのパッケージ用底部部材と頂部
部材とウエハーキャリヤとから成る封止自在な汚染防止
用パッケージにおいて、 a.パッケージ用底部部材は、平面四辺形状の底部壁と、
前記底部壁の各辺と一体的に設けられた四つの側壁と、
前記四つの側壁にそれぞれ連続して設けられた垂直壁
と、該垂直壁に設けられた下側リップと、前記側壁に設
けられたラッチと、対向する１組の前記側壁に設けられ
内側に膨出した把持用凹部と、前記底部壁に設けられ、
内側に膨出した積層用凹部と、前記底部壁の内側面に設
けられたウエハーキャリヤ用位置決め部と、から成り、 b.パッケージ用頂部部材は、平面四辺形状の頂部壁と、
前記頂部壁の各辺と一体的に設けられた四つの側壁と、
前記四つの側壁にそれぞれ連続して設けられた垂直壁
と、該垂直壁に設けられた上側リップと、前記側壁に設
けられたキャッチと、前記頂部壁に設けられ外方へと突
出した弧状部と、前記頂部壁の弧状部の内側にあってそ
の両側に設けられた２列のウエハー支持バネと、前記頂
部壁に設けられ、外方へと突出した積層用脚部と、から
成り、 c.ウエハーキャリヤは、互いに対向する側壁部と、該側
壁部を連結するクロスバーと、ロボットの処理のために
前記キャリヤに設けられた手段と、 から成ることを特徴とするパッケージ。 - 【請求項７】複数のウエハー、ディスク若しくは基板を
収納する装置において、 a.把持用の凹部を有する矩形のパッケージ用底部部材
と、 b.複数のウエハーに摩擦係合する複数の離間した垂直方
向の溝を有し、前記矩形のパッケージ用底部部材と係合
して設置される取外し可能なウエハーキャリヤと、 c.前記矩形のパッケージ用底部部材に封止して設置され
る矩形のパッケージ用頂部部材であって、前記複数のウ
エハーが前記取外し可能なウエハーキャリヤ内に摩擦係
合し、前記取外し可能なウエハーキャリヤが前記矩形の
パッケージ用底部部材内に係合して設置され、且つこの
矩形のパッケージ用頂部部材が前記矩形のパッケージ用
底部部材に封止して設置されるとき複数のウエハーを係
合保持する心合せ用Ｖ溝を備えた複数の対向する連結式
片持ち水平アームを有する矩形のパッケージ用頂部とを
具備することを特徴とする装置。 - 【請求項８】請求項（７）記載の複数のウエハー、ディ
スク若しくは基板を収納する装置において、前記矩形の
パッケージ用頂部部材の対向する複数の連結式片持ち水
平アームが、スプラインの付いた複数の対向する連結式
片持ち水平アームの対として配列され、これら複数のス
プライン付きアーム対の各々が前記複数のウエハー、デ
ィスク若しくは基板を個々に係合保持することを特徴と
する装置。 - 【請求項９】請求項（８）記載の装置において、前記ス
プラインの付いた複数の対向する連結式片持ち水平アー
ムの対が、スプラインの付いた２本の対向する連結式片
持ち水平アームであり、これら２本のスプライン付きア
ーム対の各々が前記矩形のパッケージ用頂部部材に個々
に装着されることを特徴とする装置。
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