JPH06101028A - 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置及び製造方法Info
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- JPH06101028A JPH06101028A JP24934292A JP24934292A JPH06101028A JP H06101028 A JPH06101028 A JP H06101028A JP 24934292 A JP24934292 A JP 24934292A JP 24934292 A JP24934292 A JP 24934292A JP H06101028 A JPH06101028 A JP H06101028A
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Abstract
(57)【要約】
磁気特性に優れ、高密度記録可能な磁気記録媒体を効率
良く製造することができる技術を提供することである。 【構成】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、基体
に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒体
の製造装置であって、前記容器は炭素系繊維を介在させ
たセラミックスで構成されてなる磁気記録媒体の製造装
置。
良く製造することができる技術を提供することである。 【構成】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、基体
に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒体
の製造装置であって、前記容器は炭素系繊維を介在させ
たセラミックスで構成されてなる磁気記録媒体の製造装
置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置及び製造方法に関するものである。
置及び製造方法に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
【０００３】すなわち、無電解メッキといった湿式メッ
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
【０００４】ところで、このような蒸着手段による磁気
記録媒体の製造装置は、図６のように構成されているも
のが一般的である。尚、図６中、２１は冷却キャン、２
２はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの
供給側ロール、２３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、
２４は遮蔽板、２５はルツボ、２６は磁性合金、２７は
電子銃、２８は真空容器である。すなわち、真空容器２
８内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃２７を
作動させてルツボ２５内の磁性合金２６を蒸発させ、Ｐ
ＥＴフィルムに対して磁性合金２６を蒸着させることに
よって磁気記録媒体が製造されている。
記録媒体の製造装置は、図６のように構成されているも
のが一般的である。尚、図６中、２１は冷却キャン、２
２はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの
供給側ロール、２３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、
２４は遮蔽板、２５はルツボ、２６は磁性合金、２７は
電子銃、２８は真空容器である。すなわち、真空容器２
８内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃２７を
作動させてルツボ２５内の磁性合金２６を蒸発させ、Ｐ
ＥＴフィルムに対して磁性合金２６を蒸着させることに
よって磁気記録媒体が製造されている。
【０００５】このような磁気記録媒体の製造装置におい
て、ルツボ２５は、例えばＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，Ａ
ｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，ＢＮ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，Ｓｉ
Ｏ2等のセラミックスで構成されている。しかしなが
ら、これらのセラミックス材料で構成されてなる蒸発源
用のルツボを用いて磁性膜を構成する磁気記録媒体の製
造が繰り返して行われているうちに、ルツボの破損が起
き、製造能率の低下を来している。
て、ルツボ２５は、例えばＭｇＯ，ＺｒＯ，ＢｅＯ，Ａ
ｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，ＢＮ，ＴｈＯ2 ，ＣａＯ，Ｓｉ
Ｏ2等のセラミックスで構成されている。しかしなが
ら、これらのセラミックス材料で構成されてなる蒸発源
用のルツボを用いて磁性膜を構成する磁気記録媒体の製
造が繰り返して行われているうちに、ルツボの破損が起
き、製造能率の低下を来している。
【０００６】又、ルツボの破損時に発生した粉などが蒸
発粒子に紛れ込み、共にＰＥＴフィルムに蒸着し、これ
に起因してと思われる磁気特性の低下がもたらされるこ
とも有った。
発粒子に紛れ込み、共にＰＥＴフィルムに蒸着し、これ
に起因してと思われる磁気特性の低下がもたらされるこ
とも有った。
【０００７】
【発明の開示】本発明の目的は、磁気特性に優れ、高密
度記録可能な磁気記録媒体を効率良く製造することがで
きる技術を提供することである。この本発明の目的は、
容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、基体に堆積させ
ることにより磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置
であって、前記容器は炭素系繊維を介在させたセラミッ
クスで構成されてなることを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置によって達成される。
度記録可能な磁気記録媒体を効率良く製造することがで
きる技術を提供することである。この本発明の目的は、
容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、基体に堆積させ
ることにより磁性膜を構成する磁気記録媒体の製造装置
であって、前記容器は炭素系繊維を介在させたセラミッ
クスで構成されてなることを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置によって達成される。
【０００８】又、容器に入れられた磁性材料を蒸発さ
せ、基体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気
記録媒体の製造方法であって、前記容器に炭素系繊維を
介在させたセラミックスで構成されてなる容器を用いる
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成
される。尚、この発明における容器は、炭素系繊維を、
例えば平織クロスやしゅす織クロスのように織った布が
介在されてなるセラミックスで構成されてなるものが好
ましい。
せ、基体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気
記録媒体の製造方法であって、前記容器に炭素系繊維を
介在させたセラミックスで構成されてなる容器を用いる
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成
される。尚、この発明における容器は、炭素系繊維を、
例えば平織クロスやしゅす織クロスのように織った布が
介在されてなるセラミックスで構成されてなるものが好
ましい。
【０００９】以下、本発明について更に詳しく説明す
る。図１は磁気記録媒体の製造装置（蒸着装置）であ
り、１は冷却キャン、２はＰＥＴフィルム等の基板１１
の供給側ロール、３はＰＥＴフィルム１１の巻取側ロー
ル、４は遮蔽板、５はルツボ、６はＣｏ−Ｎｉなどの磁
性合金、７は電子銃、８は真空容器である。
る。図１は磁気記録媒体の製造装置（蒸着装置）であ
り、１は冷却キャン、２はＰＥＴフィルム等の基板１１
の供給側ロール、３はＰＥＴフィルム１１の巻取側ロー
ル、４は遮蔽板、５はルツボ、６はＣｏ−Ｎｉなどの磁
性合金、７は電子銃、８は真空容器である。
【００１０】ところで、ルツボ５は、例えばＭｇＯ，Ｚ
ｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3Ｎ4 ，ＢＮ，ＴｈＯ
2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 等のセラミックス材料を用いて構
成されているのであるが、図２に示される如く、炭素系
繊維からなる平織クロスＣ1、図３に示される如く、炭
素系繊維からなるしゅす織りクロスＣ2 を用い、そして
図４に示す如く、予めＭｇＯ等のセラミックス材料で所
定の形状に成形した内型５ａと外型５ｂとの間に炭素系
繊維製のクロスＣ1 （又はＣ2 ）を配設し、これらの上
下から力を加えると共に、加熱・焼成することにより構
成されたものを用いる点に特徴を有する。
ｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3Ｎ4 ，ＢＮ，ＴｈＯ
2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 等のセラミックス材料を用いて構
成されているのであるが、図２に示される如く、炭素系
繊維からなる平織クロスＣ1、図３に示される如く、炭
素系繊維からなるしゅす織りクロスＣ2 を用い、そして
図４に示す如く、予めＭｇＯ等のセラミックス材料で所
定の形状に成形した内型５ａと外型５ｂとの間に炭素系
繊維製のクロスＣ1 （又はＣ2 ）を配設し、これらの上
下から力を加えると共に、加熱・焼成することにより構
成されたものを用いる点に特徴を有する。
【００１１】これにより、ルツボ５が強化され、加熱
（例えば、２０００℃）・冷却（室温）が繰り返して行
われても、熱歪みによる破損が起き難いものであった。
そして、上記のように構成させた装置において、真空容
器８内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃７を
作動させてルツボ５内の磁性合金６を蒸発させ、ＰＥＴ
フィルム等の基板１１に対して磁性合金６を斜め蒸着さ
せることによって磁気記録媒体が製造される。
（例えば、２０００℃）・冷却（室温）が繰り返して行
われても、熱歪みによる破損が起き難いものであった。
そして、上記のように構成させた装置において、真空容
器８内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃７を
作動させてルツボ５内の磁性合金６を蒸発させ、ＰＥＴ
フィルム等の基板１１に対して磁性合金６を斜め蒸着さ
せることによって磁気記録媒体が製造される。
【００１２】図５に本発明により得られた磁気記録媒体
の概略断面図を示す。同図中、１１は非磁性の基板であ
り、この基板１１はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミ
ド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、
ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系
の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラ
スやセラミック等の無機系材料、アルミニウム合金など
の金属材料が用いられる。
の概略断面図を示す。同図中、１１は非磁性の基板であ
り、この基板１１はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミ
ド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、
ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系
の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラ
スやセラミック等の無機系材料、アルミニウム合金など
の金属材料が用いられる。
【００１３】基板１１面上には磁性層の密着性を向上さ
せる為のアンダーコート層１２が設けられている。すな
わち、表面の粗さを適度に粗すことにより斜め蒸着法に
より構成される磁性層の密着性を向上させ、さらに磁気
記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走行性を改
善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが
０．０１〜０．５μｍの塗膜を設けることによってアン
ダーコート層１２が構成されている。
せる為のアンダーコート層１２が設けられている。すな
わち、表面の粗さを適度に粗すことにより斜め蒸着法に
より構成される磁性層の密着性を向上させ、さらに磁気
記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走行性を改
善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが
０．０１〜０．５μｍの塗膜を設けることによってアン
ダーコート層１２が構成されている。
【００１４】アンダーコート層１２の上に、上記した蒸
着装置により金属薄膜型の磁性層１３が設けられる。例
えば、１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空雰囲気下で強
磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱
などにより蒸発させ、基板１１のアンダーコート層１２
面上に堆積（蒸着）させることにより、磁性層１３が
０．０４〜１μｍ厚形成される。尚、より高い保磁力を
得る為、基板に対して強磁性金属材料を斜めに蒸着させ
る斜め蒸着法によることが好ましい。
着装置により金属薄膜型の磁性層１３が設けられる。例
えば、１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空雰囲気下で強
磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱
などにより蒸発させ、基板１１のアンダーコート層１２
面上に堆積（蒸着）させることにより、磁性層１３が
０．０４〜１μｍ厚形成される。尚、より高い保磁力を
得る為、基板に対して強磁性金属材料を斜めに蒸着させ
る斜め蒸着法によることが好ましい。
【００１５】磁性層１３を構成する材料としては、例え
ばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合
金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合
金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたもの等
が挙げられる。
ばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合
金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合
金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたもの等
が挙げられる。
【００１６】磁性層１３の形成に際して、蒸着部分に酸
素を供給し、強制酸化させることによって磁性層１３の
表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層１４を形成す
る。尚、この酸化膜から構成される保護層１４の厚さは
数十Å程度のものであり、この程度の厚さの酸化膜は自
然酸化で構成される場合もあり、このような時には強制
酸化の手段を講じなくても良い場合がある。
素を供給し、強制酸化させることによって磁性層１３の
表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層１４を形成す
る。尚、この酸化膜から構成される保護層１４の厚さは
数十Å程度のものであり、この程度の厚さの酸化膜は自
然酸化で構成される場合もあり、このような時には強制
酸化の手段を講じなくても良い場合がある。
【００１７】１５は酸化膜からなる保護層１４の上に設
けられた潤滑剤層である。すなわち、潤滑剤層１５が、
潤滑剤を含有させた塗料を所定の手段で塗布することに
より、約５〜５０Å、好ましくは約１０〜３０Å程度の
厚さ設けられる。１６は、基板１１の他面に設けられた
カーボンブラック等を含有させたバックコート層であ
る。
けられた潤滑剤層である。すなわち、潤滑剤層１５が、
潤滑剤を含有させた塗料を所定の手段で塗布することに
より、約５〜５０Å、好ましくは約１０〜３０Å程度の
厚さ設けられる。１６は、基板１１の他面に設けられた
カーボンブラック等を含有させたバックコート層であ
る。
【００１８】以下、具体的な実施例を挙げて説明する。
【００１９】
【実施例】図１に示される如くの真空蒸着装置に厚さ
９．３μｍのＰＥＴフィルム１１を装着した。尚、用い
たルツボ５は図４のようにして製造されたものであっ
て、炭素系繊維からなる平織クロスＣ1 を介在させたＭ
ｇＯ製のものである。そして、先ず、真空容器８内を所
定の真空度のものに排気した後、電子銃７を作動させて
ルツボ５内の磁性金属６を蒸発させ、斜め蒸着法により
ＰＥＴフィルム１１に対して磁性金属６を１５００Å厚
蒸着させた。そして、酸素ガス導入管より酸素を供給
し、蒸着膜の表面層を強制酸化させ、数十Å厚の酸化膜
による表面保護層を形成した。
９．３μｍのＰＥＴフィルム１１を装着した。尚、用い
たルツボ５は図４のようにして製造されたものであっ
て、炭素系繊維からなる平織クロスＣ1 を介在させたＭ
ｇＯ製のものである。そして、先ず、真空容器８内を所
定の真空度のものに排気した後、電子銃７を作動させて
ルツボ５内の磁性金属６を蒸発させ、斜め蒸着法により
ＰＥＴフィルム１１に対して磁性金属６を１５００Å厚
蒸着させた。そして、酸素ガス導入管より酸素を供給
し、蒸着膜の表面層を強制酸化させ、数十Å厚の酸化膜
による表面保護層を形成した。
【００２０】この後、テープを取り出し、平均粒径２０
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側のＰＥＴフィルム１１に塗布し、乾燥
厚さが０．５μｍのバックコート層を設けた。この後、
フッ素パーフルオロポリエーテル（グレード：ＦＯＭＢ
ＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシル基変性、日本モンテ
ジソン社製）をフッ素不活性液体（フロリナート、ＦＣ
−８４、住友スリーエム社製）に０．１％となるよう希
釈・分散させた塗料をダイ塗工方式により乾燥後の厚さ
が２０Å程度となるように塗布し、７０℃で乾燥させ
た。
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側のＰＥＴフィルム１１に塗布し、乾燥
厚さが０．５μｍのバックコート層を設けた。この後、
フッ素パーフルオロポリエーテル（グレード：ＦＯＭＢ
ＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシル基変性、日本モンテ
ジソン社製）をフッ素不活性液体（フロリナート、ＦＣ
−８４、住友スリーエム社製）に０．１％となるよう希
釈・分散させた塗料をダイ塗工方式により乾燥後の厚さ
が２０Å程度となるように塗布し、７０℃で乾燥させ
た。
【００２１】この後、所定の幅にスリットし、図５に示
す如くの磁気テープを作製した。ところで、上記におい
て用いたルツボ５を室温と２０００℃の間で昇温・降温
操作（昇温は５分により達成、降温は３０分で達成）を
繰り返して行ったところ、平均して７回の繰り返しでも
ひび割れが起きないものであった。これに対して、ルツ
ボ５を炭素系繊維からなる平織クロスＣ1 を介在させて
いないＭｇＯ製のものとした場合には、平均して２．５
回の昇温・降温操作でひび割れが起きた。
す如くの磁気テープを作製した。ところで、上記におい
て用いたルツボ５を室温と２０００℃の間で昇温・降温
操作（昇温は５分により達成、降温は３０分で達成）を
繰り返して行ったところ、平均して７回の繰り返しでも
ひび割れが起きないものであった。これに対して、ルツ
ボ５を炭素系繊維からなる平織クロスＣ1 を介在させて
いないＭｇＯ製のものとした場合には、平均して２．５
回の昇温・降温操作でひび割れが起きた。
【００２２】又、ルツボ５を炭素系繊維からなる平織ク
ロスＣ1 を介在させていないＡｌ2Ｏ3 製のものとした
場合には、平均して１．８回の昇温・降温操作でひび割
れが起きた。従って、炭素系繊維を介在させたセラミッ
クスでルツボを構成し、これを用いた装置により磁気記
録媒体を製造した場合には、製造効率が良いものであ
り、それだけ低コストで磁気記録媒体を提供でき、か
つ、ルツボの破損時に発生した粉などが蒸発粒子に紛れ
込み、蒸着・混在するといった事故が起き難く、磁気特
性の低下がもたらされ難く、高性能な磁気記録媒体が得
られるのである。
ロスＣ1 を介在させていないＡｌ2Ｏ3 製のものとした
場合には、平均して１．８回の昇温・降温操作でひび割
れが起きた。従って、炭素系繊維を介在させたセラミッ
クスでルツボを構成し、これを用いた装置により磁気記
録媒体を製造した場合には、製造効率が良いものであ
り、それだけ低コストで磁気記録媒体を提供でき、か
つ、ルツボの破損時に発生した粉などが蒸発粒子に紛れ
込み、蒸着・混在するといった事故が起き難く、磁気特
性の低下がもたらされ難く、高性能な磁気記録媒体が得
られるのである。
【００２３】
【効果】本発明によれば、低コストで高性能な磁気記録
媒体を効率良く提供できる。
媒体を効率良く提供できる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の一実施
例の概略説明図
例の概略説明図
【図２】本発明になる磁気記録媒体の製造装置に用いら
れる炭素繊維布の説明図
れる炭素繊維布の説明図
【図３】本発明になる磁気記録媒体の製造装置に用いら
れる炭素繊維布の説明図
れる炭素繊維布の説明図
【図４】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の要部部
品の製造工程の説明図
品の製造工程の説明図
【図５】本発明による磁気記録媒体の概略断面図
【図６】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
１ 冷却キャン ２ 供給側ロール ３ 巻取側ロール ４ 遮蔽板 ５ ルツボ ６ 磁性合金 ７ 電子銃 ８ 真空容器 Ｃ1 炭素系繊維からなる平織クロス Ｃ2 炭素系繊維からなるしゅす織りクロス
Claims (3)
- 【請求項１】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、
基体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録
媒体の製造装置であって、前記容器は炭素系繊維を介在
させたセラミックスで構成されてなることを特徴とする
磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項２】 容器は炭素系繊維を織った布が介在され
てなるセラミックスで構成されてなることを特徴とする
請求項１の磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項３】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、
基体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録
媒体の製造方法であって、前記容器に炭素系繊維を介在
させたセラミックスで構成されてなる容器を用いること
を特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24934292A JPH06101028A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24934292A JPH06101028A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06101028A true JPH06101028A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17191599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24934292A Pending JPH06101028A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101028A (ja) |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP24934292A patent/JPH06101028A/ja active Pending
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