JPH09212845A

JPH09212845A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH09212845A
Application number: JP2253196A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Sato; 諭佐藤; Shinichi Matsumura; 伸一松村
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-02-08
Filing date: 1996-02-08
Publication date: 1997-08-15

Abstract

(57)【要約】【課題】原反を巻き出すときに帯電や放電が生じない
ようなＰＥＮフィルムよりなる非磁性支持体を用いるこ
とにより、傷や熱負けのない、信頼性の高い磁気記録媒
体を提供する。【解決手段】非磁性支持体２を２層以上のＰＥＮ層を
積層して構成し、一方の主面での表面粗さＳＲａが２５
ｎｍ以上とする。そして、この非磁性支持体２を用いて
磁気記録媒体を作成するに際しては、この主面を金属磁
性薄膜２７の形成面とは反対側の面（バック面）２ｂと
して用いる。一方、非磁性支持体２における金属磁性薄
膜２７の形成面２ａの表面粗さＳＲａは１０ｎｍ以下と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ポリエチレンナフ
タレートよりなる非磁性支持体上に少なくとも金属磁性
薄膜が形成されてなる磁気記録媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、非磁
性支持体上に、酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等
の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、
ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等
の有機結合剤中に分散させた磁性塗料を塗布、乾燥する
ことにより作成される塗布型の磁気記録媒体が広く使用
されている。

【０００３】これに対して、高密度磁気記録への要求の
高まりと共に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ
−Ｏ等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段
（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティン
グ法等）によってポリエステルフィルムやポリアミド、
ポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着し
た、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案され
注目を集めている。

【０００４】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできるた
め、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、
磁性層中に非磁性材である結合剤を混入する必要が無い
ため、磁性材料の充填密度を高めることができることな
ど、数々の利点を有している。

【０００５】さらに、この種の磁気記録媒体の電磁変換
特性を向上させ、より大きな出力を得ることができるよ
うにするために、該磁気記録媒体の磁性層を形成する場
合、磁性層を斜めに蒸着するいわゆる斜方蒸着が提案さ
れ実用化されている。

【０００６】この種の磁気記録媒体、特に磁気テープに
おいては、高記録密度化と共に、小型化、長時間記録化
が要求されており、非磁性支持体の薄膜化が進んでい
る。最近では、この非磁性支持体の薄膜化に対応して、
厚さが６〜１０μｍ程度のポリエチレンテレフタレート
（以下、ＰＥＴと称す。）フィルムが一般的に用いられ
ている。

【０００７】しかし、ＰＥＴフィルムは、さらなる小型
化、長時間記録化のために４〜５μｍまで薄膜化する
と、十分な強度が得られなくなることから、ＰＥＴフィ
ルムに代わってポリエチレンナフタレート（以下、ＰＥ
Ｎ）フィルムを用いることが検討されるようになってき
ている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな金属磁性薄膜型の磁気テープを製造するに際して
は、連続巻取り式の真空蒸着装置を用いることが一般に
行われる。具体的には、例えば１０^-3〜１０^-4Ｔｏｒｒ
に減圧された成膜室内にて、長尺状の非磁性支持体がロ
ール状に巻き取られてなる原反を巻出しロールから連続
的に巻き出し、冷却キャンの周面に走行させ、巻取りロ
ールへ巻取らせる。そして、冷却キャンの下方に配設さ
れたルツボ内の金属磁性材料を、電子線の照射によって
蒸発させ、冷却キャンの周面に走行する非磁性支持体上
に被着させることによって金属磁性薄膜を連続成膜す
る。

【０００９】しかしながら、非磁性支持体としてＰＥＮ
フィルムを用いた場合、ＰＥＮの帯電量が大きいため、
ＰＥＮフィルムを原反から巻き出す際に、剥離により生
じる摩擦によって、該ＰＥＮフィルムが帯電したり、放
電が起こったりする。ＰＥＮフィルムの帯電は、冷却キ
ャンとの間に斥力を生じさせ、該冷却キャンとの密着性
を劣化させる。このため、ＰＥＮフィルムの一部が冷却
されず、例えばフィルムの長手方向にスジ状の熱変形
（以下、熱負けと称す。）が生じてしまう。また、放電
が起こると、ＰＥＮフィルム表面に傷が生じたり、ＰＥ
Ｎフィルムがばたついて、巻取り後のロールに縦ジワ等
の形状不良が発生したり、といった問題が生じる。

【００１０】そこで、本発明はかかる従来の実情に鑑
み、原反を巻き出すときに帯電や放電が生じないような
非磁性支持体を用いることにより、信頼性の高い磁気記
録媒体を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上述の目的
を達成せんものと鋭意検討を行った結果、ＰＥＮよりな
る非磁性支持体の一方の主面における表面粗さを大きく
することにより、巻き出し時の摩擦を低減させれば、帯
電や放電を防止できるようになることを見い出し、本発
明を完成するに至った。

【００１２】即ち、本発明は、非磁性支持体上に少なく
とも金属磁性薄膜が形成されてなる磁気記録媒体におい
て、非磁性支持体を、２層以上のポリエチレンナフタレ
ート層の積層体とし、金属磁性薄膜が形成される面と反
対側の面での表面粗さＳＲａを２５ｎｍ以上としたもの
である。

【００１３】非磁性支持体の金属磁性薄膜の形成面とは
反対側の面（以下、「バック面」と称す。）における表
面粗さＳＲａが２５ｎｍ未満であると、真空室内で原反
の巻き出し時に、摩擦により非磁性支持体が帯電し、放
電が起こってしまう。これに対して、本発明のごとく、
非磁性支持体のバック面の表面粗さＳＲａを２５ｎｍ以
上とすると、非磁性支持体がロール状に巻き取られてな
る原反を巻き出すに際して、剥離に伴う摩擦を低減させ
ることができるようになる。そして、これにより、非磁
性支持体の帯電、放電が防止できるため、傷や熱負け等
のない信頼性の高い磁気記録媒体を得ることができるよ
うになる。

【００１４】但し、非磁性支持体は、ロール状に巻き取
られた状態で保存されるので、表面粗さＳＲａを大きく
設定しすぎると、他方の面に凹凸転写の影響が表れてし
まう。このため、バック面の表面粗さＳＲａは８０ｎｍ
以下として好適である。

【００１５】一方、金属磁性薄膜の形成面は、スペーシ
ング・ロスを抑制するために平滑化される必要がある。
このため、金属磁性薄膜の形成面においては、表面粗さ
ＳＲａが１０ｎｍ以下となされて好適である。

【００１６】ここで、表面粗さＳＲａとは、中心面に対
する３次元の平均粗さであり、ＬX、ＬY を表面のＸ、
Ｙ方向の寸法とし、ｆ（ｘ，ｙ）を中心面に対するラフ
ネス曲面として、下記の数１にて示されるものである。

【００１７】

【数１】

【００１８】なお、表面粗さＳＲａは、例えば、小坂研
究所社製の非接触式表面粗さ計（商品名：ＥＴ−３０Ｈ
Ｋ）を用いて、拡大倍率１０万倍、カットオフ０．０８
ｍｍの条件にて測定すればよい。

【００１９】また、所望の表面粗さＳＲａを持たせるご
とく非磁性支持体に表面突起を形成するには、非磁性支
持体内に微粒子を内添すればよく、この微粒子の粒径お
よび添加量によって表面粗さＳＲａを制御できる。本発
明にて用いる非磁性支持体は、２層以上のＰＥＮ層が積
層されてなるものであるため、両主面を形成するＰＥＮ
層に内添させる微粒子の粒径および添加量を別々に設定
することができ、非磁性支持体の一方の主面と他方の主
面とを別々の表面粗さＳＲａに制御することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気記録媒体
を適用した実施の形態について図面を参照しながら説明
する。

【００２１】図１に示されるように、本実施の形態に係
る磁気記録媒体は、第１のＰＥＮ層２１と第２のＰＥＮ
層２２が積層されてなる非磁性支持体２上に、金属磁性
薄膜２７が成膜されてなる。

【００２２】第１のＰＥＮ層２１には、粒径５０〜１０
０ｎｍの第１の微粒子２３が内添され、第２のＰＥＮ層
２２には、粒径１５０〜３００ｎｍの第２の微粒子２４
が内添されている。このため、非磁性支持体２における
第１のＰＥＮ層２１が露出する主面（これを金属磁性薄
膜形成面とする。）２ａでは、第１の微粒子２３に起因
する第１の表面突起２５が形成され、第２のＰＥＮ層２
２が露出する主面（これをバック面とする。）２ｂで
は、第２の微粒子２４に起因する第２の表面突起２６が
形成されている。ここでは、金属磁性薄膜形成面２ａで
の表面粗さＳＲａが１０ｎｍ以下、バック面２ｂでの表
面粗さＳＲａが２５ｎｍ以上となされている。

【００２３】そして、このような非磁性支持体２を作成
するには、例えば、第１の微粒子２３を分散させた液状
のＰＥＮと、第２の微粒子２４を分散させた液状のＰＥ
Ｎとを、それぞれダイスリットから共押出しし、ローラ
手段によって、重ね合わせるようにして引き出し、その
後冷却することによって、２層のＰＥＮ層（第１のＰＥ
Ｎ層２１および第２のＰＥＮ層２２）が積層された長尺
状の非磁性支持体２を得る。そして、逐次二軸延伸法で
長手方向に延伸した後、幅方向に延伸して非磁性支持体
２を完成する。なお、作成された非磁性支持体２は、ロ
ール状に巻回されて原反とされる。

【００２４】ここで、第１の微粒子２３、第２の微粒子
２４としては、架橋性高分子よりなるミクロゲル粒子の
他、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｚｎ、Ｂａ等の酸
化物、炭酸塩、リン酸塩、硫酸塩、あるいはこれらの錯
塩よりなる粒子等が使用できる。例えば、ＣａＣＯ₃、
ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、天然クレー、カオリナイト、カ
ーボン等の不活性無機粒子や、Ｃａ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｍ
ｇ、Ｓｂ、Ｇｅ、Ｐ、Ｌｉ、Ｋ、Ｎａ等の触媒残渣等を
含むポリマー不溶解組成物の粒子によって構成できる。
また、これらは単独で用いても組み合わせて用いてもよ
い。

【００２５】なお、第１のＰＥＮ層２１、第２のＰＥＮ
層２２上には、熱可塑性ポリエステル樹脂よりなる表面
処理層を形成してもよい。この場合、例えば、逐次二軸
延伸法により長手方向に延伸した後に、熱可塑性ポリエ
ステル水溶液の塗布、熱処理を行い、その後、幅方向の
延伸を行えばよい。

【００２６】また、第１のＰＥＮ層２１、第２のＰＥＮ
層２２に第１の微粒子２３、第２の微粒子２４を内添さ
せる代わりに、これら微粒子２３、２４を水溶性高分子
に分散させたコロイド溶液を、非磁性支持体２の金属磁
性薄膜形成面２ａ、バック面２ｂにそれぞれ塗布するこ
とによって表面突起を形成しても構わない。

【００２７】上述したような非磁性支持体２の金属磁性
薄膜形成面２ａには、金属磁性薄膜２７が成膜される。
この金属磁性薄膜２７の表面には、非磁性支持体２の金
属磁性薄膜形成面２ａに形成されていた第１の表面突起
２５が反映された凹凸が形成されている。金属磁性薄膜
２７表面がこのような表面形状となされると、磁気記録
媒体に対する記録／再生を行う際に、走行駆動ローラ等
の摺動部材との接触面積が小さくなるため、走行性が向
上する。

【００２８】金属磁性薄膜２７としては、通常、磁気記
録媒体の磁性層を構成するものであれば如何なるもので
あってもよく、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉなどの強磁性金属材料
膜、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ
−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍｎ−
Ｂｉ，Ｍｎ−Ａｌ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃ
ｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ等の強磁性合金材料膜が挙げられる。な
お、成膜される金属磁性薄膜２７は、単層膜であっても
多層膜であってもよい。また、この金属磁性薄膜２７の
膜厚は、耐久性を確保するために４０ｎｍ以上となされ
て好適である。

【００２９】このような金属磁性薄膜２７を成膜するに
は、真空蒸着装置を用いて好適である。ここで、真空蒸
着装置の一構成例を図２に示す。この真空蒸着装置にお
いては、図示しない排気口から排気されて内部が減圧可
能となされた成膜室１内に、図中ａ方向に定速回転する
巻出しロール３と、図中ｂ方向に定速回転する巻取りロ
ール４とが設けられ、これら巻出しロール３から巻取り
ロール４にテープ状の非磁性支持体２が順次走行するよ
うになされている。

【００３０】これら巻出しロール３から巻取りロール４
に向かって非磁性支持体２が走行する中途部には、上記
各ロール３，４の径よりも大径となされた冷却キャン５
が設けられている。この冷却キャン５は、上記非磁性支
持体２を図中側方に引き出すように設けられ、図中ｃ方
向に定速回転する構成とされる。

【００３１】なお、巻出しロール３、巻取りロール４お
よび冷却キャン５は、それぞれ非磁性支持体２の幅と略
同じ長さからなる円筒状をなすものである。また、冷却
キャン５には、内部に図示しない冷却装置が設けられ、
非磁性支持体２の温度上昇による変形等を抑制し得るよ
うになされている。

【００３２】したがって、この真空蒸着装置の成膜室１
内では、非磁性支持体２が、巻出しロール３から順次巻
き出され、さらに上記冷却キャン５の周面を通過し、巻
取りロール４に巻取られるようになされている。

【００３３】また、成膜室１内には、冷却キャン５の下
方にルツボ８が設けられ、このルツボ８内に金属磁性材
料９が充填されている。さらに、このルツボ８には、図
示しないペレット供給手段からペレットが供給されるよ
うになされている。

【００３４】一方、成膜室１の上壁部には、上記ルツボ
８内に充填された金属磁性材料９を加熱蒸発させるため
の電子銃１０が取り付けられる。この電子銃１０は、当
該電子銃１０より放出される電子線Ｘが上記ルツボ８内
の金属磁性材料９に照射されるように配設される。そし
て、この電子銃１０によって蒸発した金属磁性材料９が
上記冷却キャン５の周面を定速走行する非磁性支持体２
上に磁性層として被着形成されるようになっている。

【００３５】また、冷却キャン５とルツボ８との間であ
って該冷却キャン５の近傍には、シャッタ１１が、上記
冷却キャン５の周面を定速走行する非磁性支持体２の所
定領域を覆う形で配設されている。このシャッタ１１に
より、蒸発した金属磁性材料９が非磁性支持体２に対し
て所定の角度範囲で斜めに蒸着されるようになる。

【００３６】さらに、成膜室１にはガス導入口１２が設
けられ、成膜室１内に所望のガスを所望の流量にて供給
できるようになされている。

【００３７】以上のような構成を有する真空蒸着装置に
よって、非磁性支持体２に金属磁性薄膜２７を成膜する
には、排気口より成膜室１内の排気を行って所定の真空
度を保つ一方、金属磁性薄膜の磁気特性、耐久性、耐候
性の向上を目的として、ガス導入口１２より酸素ガスを
所定の流量にて導入する。そして、巻出しロール３、冷
却キャン５、巻取りロール４をそれぞれ所定の速度で回
転させ、非磁性支持体２を冷却キャン５の周面に走行さ
せる。また、電子銃１０から放出される電子線Ｘによっ
てルツボ８内の金属磁性材料９を加熱蒸発させ、シャッ
タ１１により入射角度を規制しながら、走行する非磁性
支持体２に被着させればよい。

【００３８】なお、金属磁性材料９としては、成膜開始
前に予めルツボ８内に予め入れておいたインゴットを溶
融したものが用いられ、成膜によって消費された分がペ
レットとして補給される。

【００３９】ところで、磁気記録媒体は上述した構成の
ものに限定されず、非磁性支持体２と金属磁性薄膜２７
との間にＴｉ、Ｃｒ、Ｎｉ等の酸化物よりなる下地層を
設けたり、金属磁性薄膜２７が多層膜よりなる場合に中
間層を設けたりして、各層間の付着力向上や抗磁力の制
御を図ってもよい。また、例えば、磁性層表面近傍を耐
蝕性改善等のために酸化物としてもよい。

【００４０】また、金属磁性薄膜２７上に保護膜を形成
してもよく、この材料としては、通常の金属磁性薄膜用
の保護膜として一般に使用されるものであれば如何なる
ものであってもよい。例示すれば、カーボンの他、Ｃｒ
Ｏ₂ 、Ａｌ₂ Ｏ₃ 、ＢＮ、Ｃｏ酸化物、ＭｇＯ、ＳｉＯ
₂ 、Ｓｉ₃ Ｏ₄ 、ＳｉＮ_x 、ＳｉＣ、ＳｉＮ_x −ＳｉＯ
₂ 、ＺｒＯ₂ 、ＴｉＯ₂ 、ＴｉＣ等が挙げられる。保護
膜は、これらの単層膜であってもよいし多層膜、あるい
は複合膜であってもよい。

【００４１】さらに、必要に応じて非磁性支持体２上に
下塗層が形成されたり、非磁性支持体２のバック面２ｂ
にバックコート層を設けたり、金属磁性薄膜２７または
保護膜表面に潤滑剤や防錆剤等よりなるトップコート層
を形成したりしてもよい。潤滑剤としては、例えば脂肪
酸、脂肪酸エステル、脂肪酸アミド、金属石鹸、脂肪酸
アルコール、パラフィン、シリコーン、フッ素系界面活
性剤、無機活性剤等が使用できる。上述したように表面
に凹凸が形成された金属磁性薄膜２７上に潤滑剤が塗布
されると、その表面形状による効果と潤滑効果との相乗
作用によって、さらに優れた走行性が得られるようにな
る。

【００４２】この他にも、非磁性支持体２や金属磁性薄
膜２７、あるいはその他の層に帯電防止剤、防カビ剤等
の各種添加剤を保持させても構わず、種々の変形、変更
が可能である。

【００４３】

【実施例】以下、実際に、バック面２ｂの表面粗さＳＲ
ａが互いに異なる非磁性支持体２に対して金属磁性薄膜
２７の成膜を行って磁気テープを作製した。

【００４４】実施例１先ず、粒径が６０ｎｍのミクロゲル粒子よりなる第１の
微粒子２３を添加した液状のＰＥＮと、粒径が３００ｎ
ｍのミクロゲル粒子よりなる第２の微粒子２４を添加し
た液状のＰＥＮとを、それぞれダイスリットより共押出
しして、急冷することにより、２層のＰＥＮ層２１、２
２が積層された長尺状の非磁性支持体２を作成した。そ
して、この非磁性支持体２を逐次二軸延伸法により長軸
方向および幅方向に延伸した後、ロール状に巻回して非
磁性支持体２の原反を得た。

【００４５】この非磁性支持体２は、第１の微粒子２３
が内添されたＰＥＮ層２１が露出する金属磁性薄膜形成
面２ａにおいては、表面粗さＳＲａが３ｎｍであり、第
２の微粒子２４が内添されたＰＥＮ層２２が露出するバ
ック面２ｂにおいては、表面粗さＳＲａが３５ｎｍであ
った。

【００４６】そして、この非磁性支持体２に対してＣｏ
−Ｎｉ系の金属磁性薄膜２７を成膜した。この成膜は、
前述した真空蒸着装置を用い、金属磁性材料：Ｃｏ₈₀Ｎｉ₂₀（数字は重量％）金属磁性薄膜２７の膜厚：１８０（ｎｍ）成膜室１の真空度：１０^-3（Ｐａ）酸素流量：２．０（ｌ／ｍｉｎ）非磁性支持体２の送り速度：５５（ｍ／分）なる条件にて行った。

【００４７】実施例２本実施例では、バック面２ｂにおける表面粗さＳＲａが
３０ｎｍとなるように第２の微粒子２４を添加した以外
は実施例１と同様にして非磁性支持体２を作成し、その
後、実施例１と同様にして金属磁性薄膜２７の成膜し
た。

【００４８】実施例３本実施例では、バック面２ｂにおける表面粗さＳＲａが
２５ｎｍとなるように第２の微粒子２４を添加した以外
は実施例１と同様にして非磁性支持体２を作成し、その
後、実施例１と同様にして金属磁性薄膜２７の成膜し
た。

【００４９】比較例１本比較例では、バック面２ｂにおける表面粗さＳＲａが
２０ｎｍとなるように第２の微粒子２４を添加した以外
は実施例１と同様にして非磁性支持体２を作成し、その
後、実施例１と同様にして金属磁性薄膜２７の成膜し
た。

【００５０】比較例２本比較例では、バック面２ｂにおける表面粗さＳＲａが
１５ｎｍとなるように第２の微粒子２４を添加した以外
は実施例１と同様にして非磁性支持体２を作成し、その
後、実施例１と同様にして金属磁性薄膜２７の成膜し
た。

【００５１】比較例３本比較例では、バック面２ｂにおける表面粗さＳＲａが
１０ｎｍとなるように第２の微粒子２４を添加した以外
は実施例１と同様にして非磁性支持体２を作成し、その
後、実施例１と同様にして金属磁性薄膜２７の成膜し
た。

【００５２】特性の評価ここで、実施例１〜実施例３、比較例１〜比較例３のよ
うにして作製された磁気テープについて種々の評価を行
った。

【００５３】具体的には、先ず、金属磁性薄膜２７の成
膜に際して、成膜室１内での放電発生の有無を観察し
た。ここでは、全く放電が起こらなかった場合を○、幾
分の放電が起こったが、非磁性支持体２にばたつきを生
じさせる程のものではなかった場合を△、非磁性支持体
２をばたつかせる程の顕著な放電が生じた場合を×とし
て評価する。

【００５４】また、非磁性支持体２に対して金属磁性薄
膜２７の成膜がなされ、巻取りロール４に巻き取られた
ロールの形状についても観察し、均一に巻き取られてい
る場合を○、ロール形状が少し劣化している場合を△、
ロール形状の劣化が顕著な場合を×として評価した。

【００５５】さらに、金属磁性薄膜２７の成膜後、非磁
性支持体２に熱負けが生じているか否かについても観察
し、熱負けが全く観察されなかった場合を○、所々に熱
負けが生じている場合を△、熱負けの発生が顕著に観察
された場合を×として評価した。これらの評価結果を表
１に示す。

【００５６】

【表１】

【００５７】表１より、実施例１〜３のように、バック
面２ｂの表面粗さＳＲａが２５ｎｍ以上となされている
場合には、金属磁性薄膜２７の成膜時に放電が生じなか
ったため、ロール形状も良好であった。また、熱負けも
生じていなかったことから、非磁性支持体２が冷却キャ
ン５の周面に密着した状態で走行していた、即ち、巻き
出し時に非磁性支持体２に帯電が生じなかったことがわ
かる。これに対して、比較例１〜３のように、バック面
２ｂの表面粗さＳＲａが２５ｎｍ未満となされている場
合には、金属磁性薄膜２７の成膜時に放電が生じたた
め、ロール形状が劣化している。また、熱負けが生じて
いることから、非磁性支持体２の巻き出し時に帯電を起
こしていることもわかる。

【００５８】以上の結果より、磁気テープのバック面２
ｂの表面粗さＳＲａを２５ｎｍ以上とすることにより、
金属磁性薄膜２７の成膜時に、非磁性支持体２の巻き出
しに際して放電や帯電の発生を防止できることがわかっ
た。即ち、バック面２ｂの表面粗さＳＲａが２５ｎｍ以
上となされた非磁性支持体２を用いることにより、信頼
性の高い磁気テープを製造できることがわかった。

【００５９】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明を適用すると、金属磁性薄膜の成膜時に放電や帯電の
発生が防止されるため、傷や熱負けのない信頼性の高い
磁気記録媒体を提供することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気記録媒体の一構成例を示す模
式的断面図である。

【図２】真空蒸着装置の構成例を示す模式図である。

【符号の説明】

１成膜室２非磁性支持体３巻出しロール４巻取りロール５冷却キャン８ルツボ９金属磁性材料１０電子銃

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性支持体上に少なくとも金属磁性薄
膜が形成されてなる磁気記録媒体において、前記非磁性支持体が、２層以上のポリエチレンナフタレ
ート層が積層されたものであって、金属磁性薄膜が形成
される面と反対側の面での表面粗さＳＲａが２５ｎｍ以
上となされているものであることを特徴とする磁気記録
媒体。
【請求項２】前記非磁性支持体の金属磁性薄膜が形成
される面での表面粗さＳＲａが１０ｎｍ以下となされて
いることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。