JPS5868652A - 表面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面検査装置、特に娯動作を防ぐようにし九表
面検査装置に関するものである。

従来の表面検査装置においては検出部エレメントの受光
面上あるいは光学系のレンズ上に塵埃等が耐着した場合
には被検体、例えばウェブに傷がなくても被検体に欠陥
があるとして検出されてしまう（オーバーアクション）
欠点があった。コノような欠点を除くため検出信号の下
限を定めるじきか値を上げれば検出感度が悪くなり、ウ
ェブの実際の欠陥までも検出できなくなるおそれがある
。

特に被検体が感光材料である場合、引伸機により拡大し
て焼付けたり、もしくは投映機、映写機を用−て拡大投
影して使用するような場合では感光材料面の非常に小さ
なまた不鮮明な欠陥まで拡大されるので実際上問題とな
り、欠陥の検出精度を高める必要があり検出信号の下限
を定めるしきい値をあまり上げることはできない。

本発明は上記のような欠点を除くため検出部エレメント
の受光面上あるいはレンズ上に塵埃等が耐着した場合こ
の結果により異常信号を定期的に発生する特定のエレメ
ントからの出方信号を取り消すようにし九ものである。

即ちＦ記のような事故の場合にはウェブ検査の各サイク
ル毎に特定のアドレスのエレメントのみから必らず異常
信号が発生するようになるから本発明においてはこのよ
うなエレメントを見つけこのエレメントからの出力をマ
スクすることによって上述の欠点を除去せんとするもの
である。

本発明の表面検査装置は、被検体表面を走査して得たビ
デオ信号から所望のレベル以上のパルス出力を取り出す
検出手段と、複数のエレメントから成る検出部の各エレ
メントに対応するアドレス毎に前記検出手段から得られ
たパルス出力を各走査サイクル毎に加算する加算手段と
、この加算手段の加算値が所望のカウントしきい値以上
のときこれを前記アドレス毎に記憶するメモリと、前記
ビデオ信号から表示部に加えられるパルス出力を各走査
サイクル毎に前記メモリで記憶され九アドレスにおいて
取り消す消去手段とより成ることを特徴とする。

上記検出手段はビデオ信号と不良レベル設定値を比較し
て前記レベル以上の信号を取り出すコンパレータより成
る。を丸くに上記消去手段はアンドゲートより成る。

る０ ＠１図は表面検査装置における光学系を示し、人は被検
体を照明するタングステンランプでハロゲンランプ等の
光源である。Ｂは赤外線透過フィルター、Ｃは光量を有
効に用いる第１コンデンサレンズ、Ｄはシリンドリカル
レンズ、Ｅけ第２コンデンサレンズ、Ｆは被検体を搬送
するロール、ＧけこのロールＦの表ｒｌｉＤを通る被検
体、Ｈは１個の光源で照明される被検査域、■は被検体
表面の傷等の欠陥、Ｊは被検体ａＯ衣表面らの反射光を
集光する検出レンズ、Ｋは検出部全示し、この検出部Ｋ
からは被検査域Ｈの欠陥箇所を見い出したときに欠陥を
示すビデオ信号が取り出される。

本発明においては第２図に示すように検出部Ｋから得た
ビデオ信号１１に第１コンパレータ２に加えて所望の不
良レベル設定値１ａと比較しこのレベル以上の信号、即
ち異常パルス信号を加算器３に加える。

前記ビデオ信号１によってウェブの表面の傷吟の表面異
常を検出する検出部には多数のフォトエレメントから構
成されるＣＯＤ、７オトダイオードアイレ等を用いる。

前記加算器３の出力はセレクター４、前記ビデオ信号と
同期関係にあるクロックパルス５番で駆動されるアドレ
スカウンター５、このアドレスカウンター５によって前
記検出部ＫＯエレメントの数に対応して設定したアドレ
ス毎に操作される第１メモリ６、レジスター７を介して
前記加算器３に加え、これをウェブ検査のための走査に
おける次回の走査サイクルで検出され′加算器３に加え
られた互に同一なアドレスの異常パルス信号と加算せし
める。

このような操作を繰り返した場合若し検出部エレメント
の受光面上あるいは光学系のレンズ上に塵埃等が耐着し
た事故の場合には各サイクル毎に同一アドレス部分で異
常パルス信号が生ずるためこれが互に加算されるようＫ
なる。従って本発明においては加算器３の出力をカウン
トしきい値設定器８からの出力と共に第２コンパレータ
９に加えて両者を比較し、加算器３の出力がカウントし
きい値より大きくなったとき前記事故発生と判断してこ
れを第２メモＩＪＩＧの対応するアドレスに記憶せしめ
る。

又前記ビデオ信号１は＠３コンパレータ１１に加えて所
望の検出レベル設定値１ｂと比較し、こ■レベル以上の
パルス信号を前記第２メモリ１゜からの出力と共にアン
トゲ−）１２に加え、このアンドゲート１２からの出力
を表示部に印加するようにし、この際前記第２メモリ１
０に記憶されているアドレスに対応する表示部エレメン
トからのビデオ信号はアンドゲート１２により取り消さ
れるようにする。

本発明装置においてはビデオ信号１０波形は第３図（ａ
）　Ｋ示すようになる。第３図（ａ）において１３は同
期信号、１４はウェブに存在する傷によって発生した信
号、１５は前記塵埃等によって走査の各サイクル毎に同
一アドレス部分で生ずる事故信号である。このような信
号１４．１５が検出レベル設定値１ｂより高い場合には
第３コンバレータ１１から第３図（ｂ）に示すようなパ
ルス信号が取り出される。一方第１コンパレータ２から
は第３図（ｄ）のようなパルス信号が加算器３に加えら
れ第２メモリ１０からは第３図（＊）Ｋ示すような事故
信号のみに対応するパルス信号が取シ出され、結局本発
明によればアンドゲート１２を介して表示部に印加され
る信号は第３図（ｃ）　Ｋ示すようにウェブの傷の検出
信号のみとなり従来の欠点を一掃することができる。

又現在入手し得るＣＯＤやフォトダイオードアレイ等の
各フォトエレメントは感光材料等のウェブの表面検査に
要求される要点を満たす１１ど均一な感度を有するもの
は少なく、特定のフォトエレメントの感度が他のものよ
り大きいものが存在しウェブに傷がなくても各サイクル
毎に出力を生ずることもあり得るがこの様な場合でも前
述した様にそのフォトエレメントからの表示部に対する
出力信号がカットされるようになるので正しい測定を行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は表面検査装置の光学系説明図、第２図は本発明
装置のブロック線図、第３図はその説明用線図である。 １・・・ビデオ信号、１ａ・・・不良レベル設定値、２
・・・第１コンパレータ、３・・・加算器、４・・・セ
レクター、５・・・アドレスカウンター、５＆・・・ｙ
ａｙｐパルス、６・・・第１メモリ、７・・・レジスタ
ー、８・・・しきい値設定器、９・・・第２コンパレー
タ、１０・・・第２メモリ、ｌｌ・・・第３コンパレー
タ、１２・・・アンドゲート、１３・・・同期信号、１
４・・・傷によって発生した信号、１５・・・事故信号
、Ａ・・・光源、Ｂ・・・赤外線透過フィルタ・−１Ｃ
・・・第１コンデンサレンズ、Ｄ・・・シリンドリカル
レンズ、Ｅ・・・第２コンデンサレンズ、Ｆ・・・ロー
ル、Ｇ・・・被検体、Ｈ・・・被検査域、■・・・欠陥
箇所、Ｊ・・・検出レンズ、Ｋ・・・検出部。 ５１−２０ １３日 （ｅ） ２９２−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１１被検体表面を走査して得九ビデオ信号から所望の
   レベル以上のパルス出力を取り出す検出手段と、複数の
   エレメントから成る検出部の各エエメントに対応するア
   ドレス毎に前記検出手段から得られたパルス出力を各走
   査サイクル毎に加算する加算手段と、この加算手段の加
   算値が所望のカウントしきい値以上のときこれを前記ア
   ドレス毎に記憶するメモリと、前記ビデオ信号から表示
   部に加えられるパルス出力を各走査サイクル毎に前記メ
   モリで記憶ｉれたアドレスにおいて取り消す消去手段と
   より成ることを特徴とする表面検査装置。