JPS5892730U - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
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- JPS5892730U JPS5892730U JP18822881U JP18822881U JPS5892730U JP S5892730 U JPS5892730 U JP S5892730U JP 18822881 U JP18822881 U JP 18822881U JP 18822881 U JP18822881 U JP 18822881U JP S5892730 U JPS5892730 U JP S5892730U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- rotates
- deposition equipment
- semiconductor wafer
- film thickness
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
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Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は蒸着装置の概略を示す断面図、第２図及び第３
図は本考案の原理を説明するための説明図である。 ２０・・・・・・膜厚センサ、２０ａ・・・・・・検出
面、２１ 。 ・・・・・・遮蔽板、２３・・・・・・窓。
図は本考案の原理を説明するための説明図である。 ２０・・・・・・膜厚センサ、２０ａ・・・・・・検出
面、２１ 。 ・・・・・・遮蔽板、２３・・・・・・窓。
Claims (1)
- 半導体ウェーハを保持した状態で自転しながら公転する
プラネタリウムを真空容器の内部上方に収納し、°ム空
容−の内部下方に電子銃にて蒸着金属を飛散さすための
装置を有する蒸着装置に於いて、半導体ウェーハ上に形
成される蒸着膜の膜厚を測定する膜厚センサの下方に、
所定の回転数で回転し、且つ当該膜厚センサの検出面と
対向する窓を有する遮蔽板を配置したことを特徴とする
蒸着装置。
□−
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18822881U JPS5892730U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18822881U JPS5892730U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892730U true JPS5892730U (ja) | 1983-06-23 |
Family
ID=29991620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18822881U Pending JPS5892730U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5892730U (ja) |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP18822881U patent/JPS5892730U/ja active Pending
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