JPS59220982A - 光素子用パッケ−ジ - Google Patents
光素子用パッケ−ジInfo
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- JPS59220982A JPS59220982A JP58097628A JP9762883A JPS59220982A JP S59220982 A JPS59220982 A JP S59220982A JP 58097628 A JP58097628 A JP 58097628A JP 9762883 A JP9762883 A JP 9762883A JP S59220982 A JPS59220982 A JP S59220982A
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10H—INORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
- H10H20/00—Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
- H10H20/80—Constructional details
- H10H20/85—Packages
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4248—Feed-through connections for the hermetical passage of fibres through a package wall
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/50—Encapsulations or containers
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5522—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising gold [Au]
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
本発明は、発光ダイオードやフ第1・ダイオードに代表
される光素子を収納する光素子用パッケージに関するも
のである。
される光素子を収納する光素子用パッケージに関するも
のである。
(従来の技術)
光素子を収納する光素子用パッケージに要求される主な
技術要素は、■光を取り入れるか又は光を取り出す為に
対象とを6光t7:、対して透明となる光導入用の構造
を有する事、■光素子にダイボンド及びワイヤーボンド
等の配線を行い、光素子から電極を取り出す構造を有す
る事、及び■光素子の耐環境性及び信頼性を向上させる
為の気密封止の構造を有する事である。以下従来用いら
れて゛きた構造についてフォトダイオードへの適用を例
に説明する。
技術要素は、■光を取り入れるか又は光を取り出す為に
対象とを6光t7:、対して透明となる光導入用の構造
を有する事、■光素子にダイボンド及びワイヤーボンド
等の配線を行い、光素子から電極を取り出す構造を有す
る事、及び■光素子の耐環境性及び信頼性を向上させる
為の気密封止の構造を有する事である。以下従来用いら
れて゛きた構造についてフォトダイオードへの適用を例
に説明する。
図1 a)及び図1b)Ic従来用いられてきた構造の
第1の例を示す。To−18型パツケージ11°a+=
11bにフォトダイオード15a、15bが、エポキシ
樹脂や、共晶ハンダ等によりグイボンドされ、金線14
、a、14bがワイヤーボンドされた後、コバールガラ
ス13aヤサフアイア板18、bの光透過用の窓が設け
られたキャップ12a、12bが、To−18パッケー
ジIla、llbに図1 a)及び図i b)に示す如
く溶接された構造になっている。この場合、キャップ1
2a、12b とTO−IRパッケージlla、llb
の製造」二の寸法精度及び、金線14a、14bが障害
となり、フォトダイオード15a、15bの上面と、コ
バールガラス13a、サファイア板13bとの距離が太
ぎくなり、フォトダイオード15a、15b と光フ
ァイバi6a、1(ib との結合効率が悪くなるとい
う欠点を有している。
第1の例を示す。To−18型パツケージ11°a+=
11bにフォトダイオード15a、15bが、エポキシ
樹脂や、共晶ハンダ等によりグイボンドされ、金線14
、a、14bがワイヤーボンドされた後、コバールガラ
ス13aヤサフアイア板18、bの光透過用の窓が設け
られたキャップ12a、12bが、To−18パッケー
ジIla、llbに図1 a)及び図i b)に示す如
く溶接された構造になっている。この場合、キャップ1
2a、12b とTO−IRパッケージlla、llb
の製造」二の寸法精度及び、金線14a、14bが障害
となり、フォトダイオード15a、15bの上面と、コ
バールガラス13a、サファイア板13bとの距離が太
ぎくなり、フォトダイオード15a、15b と光フ
ァイバi6a、1(ib との結合効率が悪くなるとい
う欠点を有している。
次に、第1の従来技術と異なる光の導入方式を用いた第
2の従来技術の例を図2に示す。通常のTo−46型パ
ッケージ21に貫通穴23が設けられ、貫通穴23の中
心に軸を合わせてフォトダイオード25がダイボンドさ
れ、金線24がワイヤーボンドされた後、キャップ22
が図2に示す如く、溶接された構造になっている。本方
式においても第1の従来技術と同様に)第1・ダイオー
ド25と光ファイバ26の距ril!、が大きくなり、
フォトダイオード25と光ファイバ26との結合効率が
悪くなるという欠点を有する。
2の従来技術の例を図2に示す。通常のTo−46型パ
ッケージ21に貫通穴23が設けられ、貫通穴23の中
心に軸を合わせてフォトダイオード25がダイボンドさ
れ、金線24がワイヤーボンドされた後、キャップ22
が図2に示す如く、溶接された構造になっている。本方
式においても第1の従来技術と同様に)第1・ダイオー
ド25と光ファイバ26の距ril!、が大きくなり、
フォトダイオード25と光ファイバ26との結合効率が
悪くなるという欠点を有する。
図3には、第2の従来技術の欠点を改善する為に成され
た第3の従来技術の例を示す。この構造は第2の従来技
術に対して貫通穴33に光ファイバ86を挿−人可能な
様にしたもので、フォトダイオード35と光ファイバ3
6の距臨を短かくする事が可能であるが、光ファイバ3
6の挿入時に光ファイバ36がフォトダイオード35に
接触し、フォトダイオード85を破損する危険が有り、
組立てが困難であるという欠点を有している。
た第3の従来技術の例を示す。この構造は第2の従来技
術に対して貫通穴33に光ファイバ86を挿−人可能な
様にしたもので、フォトダイオード35と光ファイバ3
6の距臨を短かくする事が可能であるが、光ファイバ3
6の挿入時に光ファイバ36がフォトダイオード35に
接触し、フォトダイオード85を破損する危険が有り、
組立てが困難であるという欠点を有している。
次に図4には、第2の従来技術に加えて貫通部をコバー
ルガラス43で封止した第4の従来技術の例を示す。こ
れについても第2の従来技術と同様の欠点を有する事は
容易に判断できる。
ルガラス43で封止した第4の従来技術の例を示す。こ
れについても第2の従来技術と同様の欠点を有する事は
容易に判断できる。
他の金属やセラミックに貫通穴を設け、以上述べてきた
5つの従来技術例と類似の構造を採用した場合について
も、同様の欠点は避けられない事は言うまでもない。
5つの従来技術例と類似の構造を採用した場合について
も、同様の欠点は避けられない事は言うまでもない。
ここで、第2の従来技術、第3の従来技術及び第4の従
来技術に共通する欠点について説明する。
来技術に共通する欠点について説明する。
図5は第2、第3及び第4の従来技術の光の導入部を示
す模式図である。図5 a)は金属又はセラミックの基
体L9a上に受光領域51aを有するフォトダイオード
52aをダイボンドした状況を示すものである。導入さ
れる光は基体53aのエッヂ部54aが障害となり、開
口角が制限されている。次に図5 b)にダイボンド時
にフォトダイオード52bが位置ずれを起した図を示す
。開口角が片側で大きく制限され、非常に精密なダイボ
ンド技術が要求される事がわかる。
す模式図である。図5 a)は金属又はセラミックの基
体L9a上に受光領域51aを有するフォトダイオード
52aをダイボンドした状況を示すものである。導入さ
れる光は基体53aのエッヂ部54aが障害となり、開
口角が制限されている。次に図5 b)にダイボンド時
にフォトダイオード52bが位置ずれを起した図を示す
。開口角が片側で大きく制限され、非常に精密なダイボ
ンド技術が要求される事がわかる。
すなわち、前記開口角を広くする為には基体53a。
53bの厚さを薄くし、かつ貫通穴55a、5.5bの
断面積を広くしなければならない。しかしながら、基体
53a、53bの厚さを薄くするとパッケージ自体の強
度的な問題が生じ、又、貫通穴55a、55bの断面積
を広くすると、それに伴いフォトダイオード52a+5
2bのサイズを太きくしなければならないという問題が
生じる。
断面積を広くしなければならない。しかしながら、基体
53a、53bの厚さを薄くするとパッケージ自体の強
度的な問題が生じ、又、貫通穴55a、55bの断面積
を広くすると、それに伴いフォトダイオード52a+5
2bのサイズを太きくしなければならないという問題が
生じる。
また、七ラミックや金属に貫通穴を何らかの方法で加工
する必要が有るが、機械加工による精度でパッケージの
構造が制限されるという欠点も有するのである。
する必要が有るが、機械加工による精度でパッケージの
構造が制限されるという欠点も有するのである。
(発明の構成)
本発明は、以上述べてきた様な従来のパッケージの問題
点及び欠点を除き、サファイア基体上に、欠損部を設け
たグイボンド用パッドを有し、該ダイボンド用パッド上
に光素子がダイボンドされ、前記サファイア基体側から
入射した光を該欠損部を介して光素子に取り入れる構造
を含んで成る事を特徴とする新規な光素子用パッケージ
を提供するものである。
点及び欠点を除き、サファイア基体上に、欠損部を設け
たグイボンド用パッドを有し、該ダイボンド用パッド上
に光素子がダイボンドされ、前記サファイア基体側から
入射した光を該欠損部を介して光素子に取り入れる構造
を含んで成る事を特徴とする新規な光素子用パッケージ
を提供するものである。
以下、本発明を実施例を用い詳細に説明する。
図6 a)及び図6 b)に本発明の基本図を示す。図
6 a)は上面図、図6 b)は側面図である。サファ
イア基体61上に欠損部63を設けたダイボンド用パッ
ド62がメタライズされている。欠損部の形状は、円形
にしなくても良く、いかなる形状にも適用できる。
6 a)は上面図、図6 b)は側面図である。サファ
イア基体61上に欠損部63を設けたダイボンド用パッ
ド62がメタライズされている。欠損部の形状は、円形
にしなくても良く、いかなる形状にも適用できる。
図’7 a)及び図7b丹ζ本発明の実施例を示す。サ
ファイア基体71上に欠損部73を有するグイボンド用
パッド72を有し、アルミナ74.76より成る周辺部
と、電極引出し用のリード75a、75bを図7 a)
及び図7 b)に示す如く形成した。サファイア基体7
1とアルミナ76との接着は、ロウ利け、アルミナ74
・とアルミナ76の接着には絶縁1生の1111力行を
用いた。
ファイア基体71上に欠損部73を有するグイボンド用
パッド72を有し、アルミナ74.76より成る周辺部
と、電極引出し用のリード75a、75bを図7 a)
及び図7 b)に示す如く形成した。サファイア基体7
1とアルミナ76との接着は、ロウ利け、アルミナ74
・とアルミナ76の接着には絶縁1生の1111力行を
用いた。
また図8にフ第1・ダイオードを実装した本発明の実施
例の断面図を示す。フォトダイオード82は例えばAu
Sn 共晶のようなリングハンダを用いグイボンドを
行い、金線の如きリード・ワイヤ83を図に示す如くワ
イヤーボンドした。気密封止を行うには、アルミナ84
・上にアルミナキャップを用いて封止すれば良い。
例の断面図を示す。フォトダイオード82は例えばAu
Sn 共晶のようなリングハンダを用いグイボンドを
行い、金線の如きリード・ワイヤ83を図に示す如くワ
イヤーボンドした。気密封止を行うには、アルミナ84
・上にアルミナキャップを用いて封止すれば良い。
(発明の効果)
本発明は、光素子と光ファイバーとの結合を容易にする
為に成されたものである。以下、図面を用いて本発明の
効果について説明する。
為に成されたものである。以下、図面を用いて本発明の
効果について説明する。
図9 a)及び図9 b)に従来技術と本発明のパッケ
ージの光導入部の断面模式図を示す。従来技術の基体9
3は金属や七ラミック等の不透明材質を用いているのに
対し、本発明の基体94・はサファイアを利質としてい
る為、光に対し透明である。その為、入射光に対する開
1」角が大中に広くなっている。すなわち光ファイバー
との結合効率が太[1]に改善される事になる。また本
発明ではサファイアを基体として用いている為、基体の
厚さの制約がなく、自由にパッケージを設計する事がで
きる。
ージの光導入部の断面模式図を示す。従来技術の基体9
3は金属や七ラミック等の不透明材質を用いているのに
対し、本発明の基体94・はサファイアを利質としてい
る為、光に対し透明である。その為、入射光に対する開
1」角が大中に広くなっている。すなわち光ファイバー
との結合効率が太[1]に改善される事になる。また本
発明ではサファイアを基体として用いている為、基体の
厚さの制約がなく、自由にパッケージを設計する事がで
きる。
次に光の導入部の形成方法であるが、従来技術では貫通
穴を形成する為、機械加工を用いる必要が有ったが、本
発明によると、グイボンド用パッドのフォトリソグラフ
ィーによるメタライズ加工で良く、任意の微細加工が容
易に出来る。
穴を形成する為、機械加工を用いる必要が有ったが、本
発明によると、グイボンド用パッドのフォトリソグラフ
ィーによるメタライズ加工で良く、任意の微細加工が容
易に出来る。
以上、本発明をフォトダイオード用に適用した例につい
て説明してきたが、発光ダイオードにも適用しうる事は
自明であり、光を取り込んだり、又は取り出したりする
事の必要な光素子すべてに適用する事が出来る。
て説明してきたが、発光ダイオードにも適用しうる事は
自明であり、光を取り込んだり、又は取り出したりする
事の必要な光素子すべてに適用する事が出来る。
図1 a)及び図1 b)、図2、図3並びに図4は、
それぞれ従来の光素子用パッケージの第1の例、第2の
例、第3の例並びに第4の例を示す為の図、図5 a)
及び図5 b)は従来の光素子用パッケージの欠点を説
゛明する為の図、 図6 a)及び図6 t5)は、本発明の基本措造を示
す為の図(上面図、側面図)、 図7 a)及び図7 b)は本発明の実施例を示す為の
図(上面図、側面図)、 図8は本発明の実施例をフォトダイオードに適用した例
を示すための図、 図9 a)及び図9 b)は従来技術と本発明の詳細な
説明する為の図である。 11a、11b ・・・・・TO−18型パツケージ1
2a+12bt2i32,4+2 ””’キャップ13
a、4・3.・・・・・透明コバールガラス13b 、
61.71.81.94 ・・・・・サファイア板1
4a+14Ib+244+34+414tt83 ””
”金線15a+15b+25+35t45+52a+5
2b+82+91a+91b・・・・・フ第1・ダイオ
ード 16a、16b、26,36.’46 ”・光ファイバ
21.31,41・・・・・To−46型パッケージ2
:L33,55a+55’b +++++貫通穴51a
、51b、92a、92b ・”・・フォトダイオー
ドの受光領域 53a、53b・・・・・金属又はセラミックの基体5
4a、54b、93・・・・・金属又はセラミック基体
に設けた貫通穴エッチ部 62.72.95 ・・・・・ グイボンド用パッド6
3.73・・・・・ グイボンド用パッド中の欠損部?
4,76.84.86 ・・・・・ アルミナ75a
、75bs85at85b +++*+ リードα)
b) 回1 圓2 図3 ・図4図 5 図面の1)・岩(内容、こ変更なし) 図6 図面の浄書(内容に変更なし) 1 図7 図 8 図面の浄書(内容に変更なし) b’) 92b 図9 手続補正帯(方式) %式% 1、事件の表示 昭和58年特許願 第 97628 号2、発明の名
称 光素子用バンクージ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪市東区北浜5丁目15番地名称(21
3)住友電気工業株式会社 社長 用上哲部 4・1代理人 住所 大阪市此花区島屋1丁目1番3号住友電
気工業株式会社内 (電話 大阪461−1ost) 氏名(7881)弁理士 上代哲司 6、補正の対象 明細書中図面の簡単な説明の欄及び図面7補正の内容 (1)明細書中第8頁第20行乃旨第9頁第3行の1−
図6 a)及び図6 b)は、本発明の基本構造を示す
為の図(上面図、側面図)、図7 a)及び図7 b)
は本発明の実施例を示す為の図(」二面図、側面図)」
を「図6a)2図6 b)は、それぞれ本発明の基本構
造の上面を示すだめの図、側面を示すだめの図、図73
)1図7 b)は、それぞれ本発明の実施例の上面を示
すだめの図、側面を示すための図」と補正する。 (2)明細書中温9頁第6行目乃至第7行目の「図9a
)及び図91〕)は従来技術と本発明の違を説明する為
の図である。」を「図9a)9図9 b)は、それぞれ
従来技術を示すための図、本発明の技術を示すだめの図
である。」と補正する。 (3)図面中説明文字を削除した第6.7.9図を別紙
の如く提出します。
それぞれ従来の光素子用パッケージの第1の例、第2の
例、第3の例並びに第4の例を示す為の図、図5 a)
及び図5 b)は従来の光素子用パッケージの欠点を説
゛明する為の図、 図6 a)及び図6 t5)は、本発明の基本措造を示
す為の図(上面図、側面図)、 図7 a)及び図7 b)は本発明の実施例を示す為の
図(上面図、側面図)、 図8は本発明の実施例をフォトダイオードに適用した例
を示すための図、 図9 a)及び図9 b)は従来技術と本発明の詳細な
説明する為の図である。 11a、11b ・・・・・TO−18型パツケージ1
2a+12bt2i32,4+2 ””’キャップ13
a、4・3.・・・・・透明コバールガラス13b 、
61.71.81.94 ・・・・・サファイア板1
4a+14Ib+244+34+414tt83 ””
”金線15a+15b+25+35t45+52a+5
2b+82+91a+91b・・・・・フ第1・ダイオ
ード 16a、16b、26,36.’46 ”・光ファイバ
21.31,41・・・・・To−46型パッケージ2
:L33,55a+55’b +++++貫通穴51a
、51b、92a、92b ・”・・フォトダイオー
ドの受光領域 53a、53b・・・・・金属又はセラミックの基体5
4a、54b、93・・・・・金属又はセラミック基体
に設けた貫通穴エッチ部 62.72.95 ・・・・・ グイボンド用パッド6
3.73・・・・・ グイボンド用パッド中の欠損部?
4,76.84.86 ・・・・・ アルミナ75a
、75bs85at85b +++*+ リードα)
b) 回1 圓2 図3 ・図4図 5 図面の1)・岩(内容、こ変更なし) 図6 図面の浄書(内容に変更なし) 1 図7 図 8 図面の浄書(内容に変更なし) b’) 92b 図9 手続補正帯(方式) %式% 1、事件の表示 昭和58年特許願 第 97628 号2、発明の名
称 光素子用バンクージ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪市東区北浜5丁目15番地名称(21
3)住友電気工業株式会社 社長 用上哲部 4・1代理人 住所 大阪市此花区島屋1丁目1番3号住友電
気工業株式会社内 (電話 大阪461−1ost) 氏名(7881)弁理士 上代哲司 6、補正の対象 明細書中図面の簡単な説明の欄及び図面7補正の内容 (1)明細書中第8頁第20行乃旨第9頁第3行の1−
図6 a)及び図6 b)は、本発明の基本構造を示す
為の図(上面図、側面図)、図7 a)及び図7 b)
は本発明の実施例を示す為の図(」二面図、側面図)」
を「図6a)2図6 b)は、それぞれ本発明の基本構
造の上面を示すだめの図、側面を示すだめの図、図73
)1図7 b)は、それぞれ本発明の実施例の上面を示
すだめの図、側面を示すための図」と補正する。 (2)明細書中温9頁第6行目乃至第7行目の「図9a
)及び図91〕)は従来技術と本発明の違を説明する為
の図である。」を「図9a)9図9 b)は、それぞれ
従来技術を示すための図、本発明の技術を示すだめの図
である。」と補正する。 (3)図面中説明文字を削除した第6.7.9図を別紙
の如く提出します。
Claims (2)
- (1)サファイア基体上に欠損部を設けたダイボンド用
パッドを有し、該ダイボンド用パッド上に光素子がグイ
ボンドされ、前記サファイア基体側から入射した光を該
欠損部を介して光素子に取り入れるイ11¥造を含んで
成る事を特徴とする光素子用パッケージ。 - (2)前記ダイボンド用パッドが形成されたサファイア
基体とセラミック利料が複合化されて成る事を特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の光素子用パッケージ。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58097628A JPS59220982A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 光素子用パッケ−ジ |
| KR1019840001480A KR890003386B1 (ko) | 1983-05-31 | 1984-03-22 | 광소자용 패키지 |
| CA000454174A CA1242520A (en) | 1983-05-31 | 1984-05-11 | Package for optical element |
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