JPS60202511A - 磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は磁気ヘッドに関するものである。

〔従来技術〕

従来、磁気ヘッド用コア材として、パーマロイ、センダ
スト等の合金磁性体およびＭｎ−Ｚｎフェライト等の酸
化物磁性体等が用いられているが、それぞれに一長一短
があり、現在のところ、耐摩耗性と磁気特性の両方に優
れた材料は得られていない。

近年、液体超急冷法により磁気特性の優れた非晶質磁性
合金が得られるようになった。この合金にはメタル−メ
タロイド系のものと、メタル−メタル系のものとがある
。メタル−メタロイド系の合金は、耐摩耗性が充分でな
く、メタル−メタル系の合金は、酸化性が激しいため、
製作が困難である。

これらの欠点を踏まえて、メタル−メタル系の非晶質磁
性合金をスパッタリングにより製作することが提案され
ている。例えば、特開昭５８−１１８０１５号公報等で
提案されている。

それらの中で提案されている非晶質磁性合金は、次の組
成で示される。

ＣｏｘＭｙＴＺ ただし、ＭはＦ’、Ｎｉｓ　Ｃｒｓ　ＭＯ％　Ｗ％　Ｍ
ｎのうち１種もしくは２種以上の元素、ＴはＮｂ５Ｚｒ
ｓ　Ｆ　１ｓＨｆのうち１種もしくは２種以上の元素、
！　、　３１＋　。

２はそれぞれ７０≦３≦９５，０≦ｙ≦２０，５≦２≦
２０で、：ｔ　＋　ｙ　十Ｋ　＝　１００である。

このうち、合金が非晶質化するためには７ｏ≦Ｘ≦９５
、かつ５≦２≦２０であることが必要であるが、メタル
系磁気ヘッドとしてフェライトより飽和磁束密度Ｂｓが
高いという条件を満足するためにはＸ≧７５であること
が望ましい。Ｍは磁歪を調整するのに有効であり、かつ
非晶質化を妨げない添加物であるが、Ｆ・とＭｎについ
ては、磁歪をあまり正にずらさないために、また他の元
素については、飽和磁束密度Ｂｓをあまり低下させない
ために２０％以下にするのが望ましい。

〔発明の目的〕

この発明は、このような従来の磁気ヘッド用コア材を改
良すべくなされたもので、さらに耐摩耗性に優れ、かつ
飽和磁束密度Ｂ−が高く、シかも周波数特性の優れた磁
気ヘッドを提供するものである。

〔発明の構成〕

この発明による磁気ヘッドは、少なくともその１部がＣ
ＯａＰｂＴｃＭｄなる原子組成を有する非晶質磁性合金
膜によって構成されたもので、その膜を従来の原子組成
範囲よりも狭く、シかも白金族元素を含む合金膜によっ
て形成したところに特徴がある。

ただし、上記ＰはＲｕ５Ｒｈｓ　Ｐｄｓ　０８％　Ｉｒ
ｑ　Ｐｔのうち１種もしくは２種以上の金属、ＭはＦ・
、Ｎ　ｉ、Ｃｒ　ｓ　Ｍ　Ｏ１部％　Ｍ　ｎのうち１種
もしくは２種以上の金属であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれ
ぞれ７０≦１≦９４．０．５≦ｂ≦１０．５≦Ｃ≦２０
，０≦ｄ≦２０で、ａ＋ｂ＋ａ＋ｄ＝１　ｏ’ｏである
。

上記原子組成の範囲のうち、ａおよびＣはこの系の合金
が非晶質化するのに必要な範囲であり、また飽和磁束密
度Ｂａがフェライトより高いという条件を満足するには
ａ≧７５であることが望ま１部％− Ｐは、白金族の元素であり、耐摩耗性、耐食性を向上さ
せるのに特に有用な元素である。中でもＲｕが磁気特性
を劣化させずに上記効果を得るのに有用である。上記組
成中Ｔとして、Ｔ＆、Ｈｆを含むものは高価になるので
許される範囲でその使用を避けるのが望ましい。Ｔとし
ては主にＮｂ。

ｚｒＳＴｉを含むものが実際的であると考えられる。

磁気ヘッド用コア材として耐食性を向上させる元素とし
てはＴｌ５Ｃｒが有用である。Ｍは、前述したように、
磁歪を零にするのに有効なものである。

磁気ヘッドのギャップ面のガラス接着を行なうためには
、結晶化温度が高いことが望まれる。この温度を上げる
元素は、Ｚｒ５Ｔａである。

以上の考察により、磁気ヘッド用コア材、つまり非晶質
磁性合金膜として次の原子組成のものがより好ましいと
言い得る。

（Ａ）　ＣｏｚＲｕｙＴｉｌｌ＋Ｔ’ｕＭｖただし、Ｔ
′はＺ　ｒ　％　Ｔ　ａ　ｓ　Ｎ　ｂのうちの１種もし
くは２種以上の金属、ＭはＦ　＠　％　Ｎ　ｉ　ＳＣｒ
ＳＭｎ、Ｍｏ。

Ｗのうちの１種もしくは２種以上の金属であり、ｘ、’
３／、Ｚ、ｕＨＶはそれぞれ７４≦Ｘ≦９０゜１≦ｙ≦
１０，４≦２≦２０，５≦Ｕ≦１５．０≦Ｖ≦１５で、
ｘ　＋　ｙ　十Ｚ　十ｕ＋マ；１００である。

（ｌ　ＣｏｋＲｕｔＣｒｍＴ”ｎＭｐ ただし、τは’ｌ’ｉ、　Ｚｒ、　Ｎｂのうちの１種も
しくは２種以上の金属、ＭはＦ・、ＮｉｌＭＮｌｌＭｎ
５のうち１種もしくは２種以上の金属であり、ｋ、ｔ、
ｍ。

ｎ、ｐはそれぞれ７４≦に≦８９．１≦ｔ≦１０゜５≦
ｍ≦１５，５≦ｎ≦２０ＩＯ≦ｐ≦１０で、ｋ＋ｔ＋ｍ
＋ｎ＋ｐ＝１００である。

上記原子組成（Ａ）においては、耐摩耗性および耐蝕性
を向上させるためにＲｕを１％以上、Ｔｉは５％以上必
要とし、τのＺ　ｒ　Ｎ　Ｔ　＆は結晶化温度を上げる
のに有効なものである。一方、原子組１ｍ（Ｂ）におい
ては、Ｃｒが非晶質化を進めないようにするために、Ｚ
ｒを５−以上、Ｎｂを８襲以上、Ｔｉを１５％以上添加
するので、飽和磁束密度Ｂｓを低下させないためにｍ≦
１５とすることが望ましい。

［実施例１］ まず、この発明の第１実施例を説明する。

Ｉ　Ｘ　１　Ｇ−’Ｐａ以下に排気した後、高純度Ａｒ
ガスを導入して０．８Ｐａに保持した真空槽内で、あら
かじめ鏡面研摩し、十分洗浄しておいたＣｕ基板上に、
第１表に示す組成の非晶質磁性合金を約２０時間スパッ
タした。

次にＣｕ基板にスパッタした非晶質磁性合金膜１をクロ
ム硫酸により除去し、第１図に示すように、基板２に貼
り付け、磁気テープとの摺動面１ａを研摩仕上げして擬
似ヘッドを作製した。そして、これを市販のＶＴＲデツ
キに取り付け、市販のＣｏドープＦｖｌＯ１テープによ
る１００走行後の摩耗量を七ンダストと比較した。ヘッ
ド形状は幅２゜３−で、厚みは１４５μｍであった。比
較結果を第１表に示す。試料Ａ６．７は比較のために挙
げたものである。

第１表 第１表より明らかなように、この実施例の磁気ヘッドは
、従来の非晶質磁性合金膜よりも摩耗量が少なく、フェ
ライトよりも優れていることが判った。

〔実施例２〕 次に、第２実施例を説明する。

この実施例の磁気ヘッドは、第２表に示す原子組成の磁
性合金膜をスパッタしたものである。この薄膜を温度４
５℃、相対湿度９０〜９５％の雰囲気中に２４０時間放
置し、その耐食試験を行ない、試験後の変色度を調べた
ところ、第２表の結果を得た。この結果から、この実施
例の磁気ヘッドは、その耐食性において向上しているこ
とが判った。

第２表 〔実施例３〕 最後に、第３実施例について説明する。

この実施例の磁気ヘッドは、第２図のような構成とした
。すなわち、第２図において、１１はフォルステライト
部、１２はＭ　ｎ　−Ｚ　ｎ　７工ライト部からなるバ
ック６ア、１３はフロントコア部、１４は結晶ガラス基
板、１５はガラスからなる磁気ギャップ接合部、１６は
磁気ギャップであり、これらによって複合フロントコア
が構成されている。

１７は春線である。

上記フロントコア部１３は、以下の手順で作製した。す
なわち、まず、０．８Ｐａの高純度Ａｒガス中で、第３
表に示す原子組成の非晶質磁性合金膜を結晶化ガラス基
板上に形成し、その厚みを５．５μｍとした。そして、
この膜の上に厚さ０．１μｍのＳｉ０ｇ膜をスパッタリ
ング法により形成し、さらにこの上に厚さ５．５μｍの
同種の非晶質磁性合金膜、続いて、また厚さ０．１μｍ
の８１へ膜というように順次積層して作成し、かつその
）ラック幅を２８μｍとしたものである。

このようにして作製した第３表に示す種々の非晶質磁性
合金膜を有する磁気ヘッドを、そのテープとの摺接面を
研摩加工して、ＶＴＲの回転シリンダーに搭載し、はぼ
同じトラック幅を有するセンダストのＶＴＲ用ヘッドと
の特性比較を、同じ条件下で行なった。磁気テープとし
ては、保磁力Ｈｃが１１００θｅのメタルテープを使用
した。

第３表は、８ＭＩＩＺにおける自己録再感度の相対比を
上記センダストの磁気ヘッドをＯｄＢとして示したもの
である。

第３表の結果から明らかなように、上記非晶質磁性合金
膜で構成した磁気ヘッドは、自己録再感度において、セ
ンダストの磁気ヘッドを上回っていることが判った。

第３表 〔発明の効果〕 以上説明したように、この発明によれば、磁気ヘッドの
少なくとも一部を構成する非晶質磁性合金膜の原子組成
を、従来のそれより狭く、あるいはこれに白金族元素を
含めるようにしたから、袂の諸効果が得られる。

（１）センダストの磁気ヘッドと同様、もしくはこれよ
り高い飽和磁束密度ｉｓを有する磁気ヘッドが得られる
。

（２）耐摩耗性において、従来の非晶質磁性合金膜ヘッ
ドやフェライト族の磁気ヘッドよりも優れた磁気ヘッド
が得られる。

（３）周波数特性において、フェライト族の磁気ヘッド
より優れた磁気ヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にお、ける第１実施例である擬似ヘッ
ドの斜視図、第２図は第２実施例である磁気ヘッドの斜
視図である。 １・・；・・・・・・非晶質磁性合金膜１３・・・・・
・フロントコア部 第１Ｉ！１ 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　Ｃｏａ　Ｐｂ　Ｔｃ　Ｍｄなる原子組成を有す
   る非晶質磁性合金膜によって、磁気コアの少なくとも一
   部が構成されており、かつ前記原子組成において、Ｐは
   Ｒｕｓ　Ｒｈｓ　Ｐｄｓ　Ｏｓ、Ｉｒおよびｐｔからな
   る群より選ばれる１種もしくは２種以上の金属、ＴはＮ
   ｂ５Ｚｒ、％Ｔｔ、ＴｔＸＨｆおよびＹからなる群より
   選ばれる１種もしくは２種以上の金属、ＭはＦ・、Ｎ　
   ｉ　％　ＣｒＳＭｏ、　ＷおよびＭｎからなる群より選
   ばれる１種もしくは２種以上の金属であり、ａ、ｂ。 ｃ、ｄはそれぞれ７０≦ａ≦９４．０．５≦ｂ≦１０゜
   ５≦Ｃ≦２０，０≦ｄ≦２０で、ａ　＋　ｂ　＋ａ　＋
   　ｄ＝１００であることを特徴とする磁気ヘッド。 （２１ＣｏｚＲｕｙＴｉ！ｉＴ’　ｕＭｖなる原子組成
   を有する非晶質磁性合金膜によって、磁気コアの少なく
   とも一部が構成されてお）、かつ前記原子組成にセし）
   て−　’ｌ”　ｌ−ｔ　７？−〒ａ−）Ｊｈ　’／Ｆｋ
   Ｌ介スＩｌｌ）１１ｍ１イｈる１種もしくは２種以上の
   金属、ＭはＦ・５ＮｌｓＣｒｓ　Ｍｕ）　ＭＯ％　Ｗか
   らなる群より選ばれる１種もしくは２種以上の金属であ
   り、ｇ、ｙ、ｚ、ｕ、ｖはそれぞれ７５≦Ｘ≦８５．ｌ
   ≦ｙ≦１Ｏ２５≦２≦２０，５≦１≦１０，０≦Ｖ≦１
   ０で、ｘ　十ｙｌ十ｕ＋マ＝１００であることを特徴と
   する磁気ヘッド。 （３）　ＣｏｋＲｕＡＣｒｍ’ｒ’ｎＭｐなる原子組成
   を有する非晶質磁性合金膜によって、磁気コアの少なく
   とも一部が構成されており、前記原子組成において、デ
   はＴｉｓ　Ｚｒ５Ｎｂからなる群より選ばれる１種もし
   くは２種以上の金属、ｙはＦ＊、　ＮｉＮ１５Ｍｎ５．
   Ｗからなる群より選ばれる１種もしくは２種以上の金属
   であり、ｋ、Ａ、ｍ、ｎ、ｐはそれぞれ７４≦に≦８９
   ，１≦ｔ≦１０．５≦ｍ≦１５゜５≦ｎ≦２０，０≦ｐ
   ≦１０で、ｋ＋ｔ＋ｍ＋ｎ十ｐ＝１００であることを特
   徴とする磁気ヘッド。