JPS62158449U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62158449U JPS62158449U JP1986047300U JP4730086U JPS62158449U JP S62158449 U JPS62158449 U JP S62158449U JP 1986047300 U JP1986047300 U JP 1986047300U JP 4730086 U JP4730086 U JP 4730086U JP S62158449 U JPS62158449 U JP S62158449U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- marks
- pattern
- projection exposure
- reduction projection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Description
第１図ないし第５図は本考案の一実施例を示す
図で、第１図ａはレテイクルの平面図、同図ｂは
レテイクル支持台の平面図、第２図は縮小投影露
光装置の構成図、第３図および第４図はレテイク
ルの位置合せ角度と形成されるパターンとの関係
を示す平面図、第５図は形成可能なパターンを示
す平面図、第６図は本考案の他の実施例により形
成可能なパターンを示す平面図、第７図は本考案
の他の実施例を示すレテイクルおよびレテイクル
支持台の平面図、第８図および第９図は従来例を
示す平面図である。 １ａ，１ｂ…レテイクル、３ａ，３ｂ…レテイ
クル支持台、５…被転写基板、１１…ガラス基板
、１２…遮光性膜、１３ａ〜１３ｄ，１４ａ〜１
４ｄ，１５ａ〜１５ｆ…位置合せ用マーク、３１
，３２，３４，３５…マーク。
図で、第１図ａはレテイクルの平面図、同図ｂは
レテイクル支持台の平面図、第２図は縮小投影露
光装置の構成図、第３図および第４図はレテイク
ルの位置合せ角度と形成されるパターンとの関係
を示す平面図、第５図は形成可能なパターンを示
す平面図、第６図は本考案の他の実施例により形
成可能なパターンを示す平面図、第７図は本考案
の他の実施例を示すレテイクルおよびレテイクル
支持台の平面図、第８図および第９図は従来例を
示す平面図である。 １ａ，１ｂ…レテイクル、３ａ，３ｂ…レテイ
クル支持台、５…被転写基板、１１…ガラス基板
、１２…遮光性膜、１３ａ〜１３ｄ，１４ａ〜１
４ｄ，１５ａ〜１５ｆ…位置合せ用マーク、３１
，３２，３４，３５…マーク。
Claims (1)
- 所定のパターンを有し、縮小投影露光法により
上記パターンを被転写物に転写するためのレテイ
クルにおいて、縮小投影露光装置のレテイクル支
持台上に設けた１組のマークをそれぞれに対応す
る位置合せ用マークを、上記パターンのまわりに
相互に角度θ（θ〓〓 〓０°）だけ回転させて
複数組配置したことを特徴とするレテイクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986047300U JPH0132045Y2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986047300U JPH0132045Y2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62158449U true JPS62158449U (ja) | 1987-10-08 |
| JPH0132045Y2 JPH0132045Y2 (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=30867775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986047300U Expired JPH0132045Y2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0132045Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP1986047300U patent/JPH0132045Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0132045Y2 (ja) | 1989-10-02 |
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