JPS6221013Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6221013Y2 JPS6221013Y2 JP1982177549U JP17754982U JPS6221013Y2 JP S6221013 Y2 JPS6221013 Y2 JP S6221013Y2 JP 1982177549 U JP1982177549 U JP 1982177549U JP 17754982 U JP17754982 U JP 17754982U JP S6221013 Y2 JPS6221013 Y2 JP S6221013Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- wafer
- stopper
- storage cassette
- stepped portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Packaging For Recording Disks (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は収納用カセツトに係り、特に半導体材
料のシリコンウエハや光デイスク等の薄肉円板状
のウエハの収納に使用される収納用カセツトに関
する。
料のシリコンウエハや光デイスク等の薄肉円板状
のウエハの収納に使用される収納用カセツトに関
する。
第１図乃至第３図は従来の収納用カセツトを示
したもので、２枚の側板１，１のそれぞれ一面側
に、横方向にかつ平行に複数（例えば10，25，30
等）の溝２，２…が設けられるとともに、これら
の溝２，２…に直交するストツパ溝３が、溝２の
一端側から約1/3付近に設けられている。上記ス
トツパ溝３には丸棒状のストツパ４が係合固定さ
れている。そして、２枚の側板１，１は、上記溝
２が設けられた面が対向し、かつウエハの径より
やや小さい間隙を有するように配置され、側板１
の上部両端部および下部中央部の３箇所を、それ
ぞれ支柱５，５，５により結合して固定されてい
る。
したもので、２枚の側板１，１のそれぞれ一面側
に、横方向にかつ平行に複数（例えば10，25，30
等）の溝２，２…が設けられるとともに、これら
の溝２，２…に直交するストツパ溝３が、溝２の
一端側から約1/3付近に設けられている。上記ス
トツパ溝３には丸棒状のストツパ４が係合固定さ
れている。そして、２枚の側板１，１は、上記溝
２が設けられた面が対向し、かつウエハの径より
やや小さい間隙を有するように配置され、側板１
の上部両端部および下部中央部の３箇所を、それ
ぞれ支柱５，５，５により結合して固定されてい
る。
上記収納用カセツトにおいてウエハ６は、側板
１，１の対向する溝２，２にウエハ６の縁部を係
合させて第３図において右側から摺動することに
より収納され、上記ストツパ４，４にウエハ６の
縁が当接することにより反対側への抜け出しが防
止されている。
１，１の対向する溝２，２にウエハ６の縁部を係
合させて第３図において右側から摺動することに
より収納され、上記ストツパ４，４にウエハ６の
縁が当接することにより反対側への抜け出しが防
止されている。
上記収納用カセツトは、複数のウエハを収納し
た状態で移動や運搬等が行なわれるが、ストツパ
４が一方にしか設けられていないため、ウエハの
挿入側に収納用カセツトが傾いてしまうと、収納
されたウエハがすべり出て破損してしまうという
欠点を有している。この収納用カセツトに収納さ
れるシリコンウエハや光デイスク等は非常に高価
なものであり、ウエハ類の破損は多大な損害とな
つてしまう。
た状態で移動や運搬等が行なわれるが、ストツパ
４が一方にしか設けられていないため、ウエハの
挿入側に収納用カセツトが傾いてしまうと、収納
されたウエハがすべり出て破損してしまうという
欠点を有している。この収納用カセツトに収納さ
れるシリコンウエハや光デイスク等は非常に高価
なものであり、ウエハ類の破損は多大な損害とな
つてしまう。
本考案は上記欠点に鑑みてなされたもので、ウ
エハのすべり出しを容易に防止することが可能な
収納用カセツトを提供することを目的とするもの
である。
エハのすべり出しを容易に防止することが可能な
収納用カセツトを提供することを目的とするもの
である。
〔考案の概要〕
上記目的を達成するため本考案に係る収納用カ
セツトは、側板の一面側に横方向の溝を複数設け
るとともに、この溝に直交するストツパ溝を設
け、２枚の上記側板を上記溝が対向するように一
定間隙を有するように固定し、上記ストツパ溝に
ストツパを係合固着してなる収納用カセツトにお
いて、上記側板の少なくとも一方の各溝の下面に
収納物挿入端側をわずかに高くした段部を設けて
構成され、上記段部がストツパの役目を果たすよ
うになされている。
セツトは、側板の一面側に横方向の溝を複数設け
るとともに、この溝に直交するストツパ溝を設
け、２枚の上記側板を上記溝が対向するように一
定間隙を有するように固定し、上記ストツパ溝に
ストツパを係合固着してなる収納用カセツトにお
いて、上記側板の少なくとも一方の各溝の下面に
収納物挿入端側をわずかに高くした段部を設けて
構成され、上記段部がストツパの役目を果たすよ
うになされている。
以下、本考案の実施例を第４図乃至第７図を参
照し、第１図乃至第３図と同一部分には同一符号
を付して説明する。
照し、第１図乃至第３図と同一部分には同一符号
を付して説明する。
第４図乃至第６図は本考案の一実施例を示した
もので、側板１に設けられた溝２，２…の下面の
ウエハ挿入側には、その挿入端側がわずかに高く
された段部７，７…がそれぞれ設けられている。
この段部７は、第６図に示すように端部が円弧状
に形成されており、かつウエハ６の外周円弧とほ
ぼ同形状とされている。また、上記段部７は、ウ
エハ６が段部７よりも内側の溝２に収納される位
置、すなわちウエハ６が溝２に係合する縁部の弦
の長さよりも、上記ストツパ４と段部７との間の
距離が長くなるように設けられる。さらに、第７
図に示すように段部７の高さｄは、ウエハ６の厚
さｔの半分程度とされ、ｔを超える必要はない。
もので、側板１に設けられた溝２，２…の下面の
ウエハ挿入側には、その挿入端側がわずかに高く
された段部７，７…がそれぞれ設けられている。
この段部７は、第６図に示すように端部が円弧状
に形成されており、かつウエハ６の外周円弧とほ
ぼ同形状とされている。また、上記段部７は、ウ
エハ６が段部７よりも内側の溝２に収納される位
置、すなわちウエハ６が溝２に係合する縁部の弦
の長さよりも、上記ストツパ４と段部７との間の
距離が長くなるように設けられる。さらに、第７
図に示すように段部７の高さｄは、ウエハ６の厚
さｔの半分程度とされ、ｔを超える必要はない。
その他の構成は第１図乃至第３図と同様である
ので、その説明を省略する。
ので、その説明を省略する。
本実施例においては、ウエハ６を段部７の上面
を摺動させて挿入し、さらに挿入するとウエハ６
は段部７から溝２に落ち、ストツパ４に当接す
る。このようにウエハ６が収納された状態で、段
部７はストツパの役目を果たすものであり、した
がつて、収納用カセツトがウエハ挿入側へ傾いた
場合でも、ウエハ６は段部７の端面に当接して、
ウエハの抜け出しが防止される。しかも、溝２の
幅Ｄはウエハ６の厚さｔの５〜６倍とされるの
で、段部７により、ウエハ６の出入れが妨げられ
ることはない。
を摺動させて挿入し、さらに挿入するとウエハ６
は段部７から溝２に落ち、ストツパ４に当接す
る。このようにウエハ６が収納された状態で、段
部７はストツパの役目を果たすものであり、した
がつて、収納用カセツトがウエハ挿入側へ傾いた
場合でも、ウエハ６は段部７の端面に当接して、
ウエハの抜け出しが防止される。しかも、溝２の
幅Ｄはウエハ６の厚さｔの５〜６倍とされるの
で、段部７により、ウエハ６の出入れが妨げられ
ることはない。
なお、本実施例においては段部の端部形状を円
弧状に形成したが、直線状に形成してもよい。ま
た、段部は一方の側板の溝に設けても、段部端面
と他方の側板の溝側面とにウエハの縁が当接する
ことにより、同様にウエハの抜け出しを防ぐこと
が可能である。
弧状に形成したが、直線状に形成してもよい。ま
た、段部は一方の側板の溝に設けても、段部端面
と他方の側板の溝側面とにウエハの縁が当接する
ことにより、同様にウエハの抜け出しを防ぐこと
が可能である。
以上述べたように本考案に係る収納用カセツト
は、一面側に横方向の溝が複数設けられた側板の
少なくとも一方の各溝の下面に収納物挿入端側を
わずかに高くした段部を設けて構成されており、
上記段部がストツパの役目を果すようになされて
いるので、収納用カセツトが収納側に傾いた場合
でも、ウエハの抜け出しを防止することができ、
その結果、ウエハの損傷を防ぐことができる。ま
た、段部の高さはわずかでるので、ウエハの出入
れを容易に行なうことが可能である等の効果を奏
する。
は、一面側に横方向の溝が複数設けられた側板の
少なくとも一方の各溝の下面に収納物挿入端側を
わずかに高くした段部を設けて構成されており、
上記段部がストツパの役目を果すようになされて
いるので、収納用カセツトが収納側に傾いた場合
でも、ウエハの抜け出しを防止することができ、
その結果、ウエハの損傷を防ぐことができる。ま
た、段部の高さはわずかでるので、ウエハの出入
れを容易に行なうことが可能である等の効果を奏
する。
第１図、第２図、第３図は従来の収納用カセツ
トを示すそれぞれ正面図、側面断面図、平面図、
第４図乃至第７図は本考案の一実施例を示したも
ので、第４図は側板の一部の正面断面図、第５図
は第４図の側面図、第６図は第４図のＡ−Ａ線に
おける断面図、第７図は第４図の一部の拡大図で
ある。 １……側板、２……溝、３……ストツパ溝、４
……ストツパ、５……支柱、６……ウエハ、７…
…段部。
トを示すそれぞれ正面図、側面断面図、平面図、
第４図乃至第７図は本考案の一実施例を示したも
ので、第４図は側板の一部の正面断面図、第５図
は第４図の側面図、第６図は第４図のＡ−Ａ線に
おける断面図、第７図は第４図の一部の拡大図で
ある。 １……側板、２……溝、３……ストツパ溝、４
……ストツパ、５……支柱、６……ウエハ、７…
…段部。
Claims (1)
- 側板の一面側に横方向の溝を複数設けるととも
に、この溝に直交するストツパ溝を設け、２枚の
上記側板を上記溝が対向するように一定間隙を有
するように固定し、上記ストツパ溝にストツパを
係合固着してなる収納用カセツトにおいて上記側
板の少なくとも一方の各溝の下面に収納物挿入端
側をわずかに高く形成し上記収納物挿入時に上記
収納物の外周縁に当接する段部を設けたことを特
徴とする収納用カセツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982177549U JPS5981027U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 収納用カセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982177549U JPS5981027U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 収納用カセツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981027U JPS5981027U (ja) | 1984-05-31 |
| JPS6221013Y2 true JPS6221013Y2 (ja) | 1987-05-28 |
Family
ID=30385705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982177549U Granted JPS5981027U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 収納用カセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5981027U (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5645144Y2 (ja) * | 1975-10-06 | 1981-10-22 | ||
| JPS52144664U (ja) * | 1976-04-23 | 1977-11-02 | ||
| JPS57134844U (ja) * | 1981-02-16 | 1982-08-23 |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP1982177549U patent/JPS5981027U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5981027U (ja) | 1984-05-31 |
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