JPS6228487B2 - - Google Patents
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- JPS6228487B2 JPS6228487B2 JP8013179A JP8013179A JPS6228487B2 JP S6228487 B2 JPS6228487 B2 JP S6228487B2 JP 8013179 A JP8013179 A JP 8013179A JP 8013179 A JP8013179 A JP 8013179A JP S6228487 B2 JPS6228487 B2 JP S6228487B2
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
従来、ｒ−Fe2O3粉末やCrO2粉末をバインダ
ーで非磁性基材面に塗着せしめたいわゆる塗布型
磁気記録体は古くから知られているが、保磁力そ
の他の磁気特性が劣るので、最近之を改良するた
め、斜め入射蒸着法や斜め入射イオンプレーテイ
ング法によりCo、Ni、Feやこれらの合金を非磁
性基材面に蒸着せしめる蒸着膜型磁気記録体の研
究開発がすゝめられ、これは、高い保磁力等が得
られ、高密度記録が可能な磁気記録体として期待
されているが、バルクイレースノイズ及びバイア
スノイズが大きい欠点を有することが判つた。
我々は種々の検討、実験を繰り返した結果、良好
な磁気特性を維持し乍ら而もノイズを著しく減少
せしめた蒸着膜型磁気記録体並びにその製造法を
開発したもので、その磁気記録体は、斜め入射蒸
着法等により作成した磁性金属又はその合金の少
なくとも１種の蒸着を主体とし、これに、Al、
Cr、Tiのうちから撰んだ少なくとも１種の窒化
物を混在せしめて成る蒸着膜を非磁性基材面に形
成して成る。 その製造法は、非磁性基材面に、磁性金属又は
その合金の少なくとも１種を斜め入射蒸着や斜入
射イオンプレーテイグ等を行なう際、これと同時
に、Al、Cr、Tiのうちから選んだ少なくとも１
種を10at％以下の比率で蒸発させると共に窒素ガ
ス導入により之を窒化せしめて蒸着せしめるよう
にしたことを特徴とする。 次に本発明の製造法の実施例を添付図面につき
説明する。第１図はその実施の１例を示し、真空
槽内にその上部に、非磁性基材、例えばポリエス
テルフイルムのテープ１を斜めに走行せしめるよ
うにテープ走行装置２を配置し、これにより、テ
ープ１を矢示方向へ所定速度で走行せしめる。そ
の斜め配置テープａの直下に之と対面して２個の
電子ビーム蒸発源３，３を配置し、その一方には
Co、Ni、Fe又はこれらの合金から撰んだ磁性金
属又は合金Ａを収容し、その他方には、これらよ
り窒化され易い金属、即ち、Al、Cr、Tiから撰
んだ少くとも１種、即ち窒化せしめるべき添加金
属Ｂを収容し、磁性金属（合金）Ａに対し該添加
金属Ｂを10at％以下の比率で蒸発させる１方１×
10-5〜５×10-3トールの分圧になるように窒素を
導入する。窒素導入源はガス状又は液状窒素ボン
ベである。前記比率の調整は、加熱蒸発させてい
る２個の電子ビームの出力を相互に調節すること
により行なう。４は遮へい板を示す。かくして、
微量の窒素ガス導入により添加金属Ｂの蒸気は窒
化し窒化物蒸気となり、大部分の磁性金属Ａの蒸
気中に分散し、これら混合蒸気が前記走行中のテ
ープ１面に斜め入射蒸着して本発明磁気テープが
得られる。この実施例では、両原料Ａ，Ｂを各別
に配設し加熱蒸発せしめたものであるが、蒸気の
発生源が２個所に離れているため、両者蒸気が均
一に混合されない傾向がある。第２図示の実施例
は、之を改良したもので、予め、磁性金属材料Ａ
に対し添加金属材料Ｂを10at％以下添加したもの
を真空溶解その他の方法で溶解し全体に上記配合
割合に混合した合金を棒状等につくり、この合金
材料Ｍを図示の如く１個の加熱源３で加熱蒸発す
るようにする。尚図面で、５は窒素導入管を示
す。かゝる合金材料Ｍの使用で、ノイズが更に極
めて小さい磁気記録体が得られた。上記は、基材
としてテープを用いたが金属、ガラス等のデイス
ク等も用いられる。 本発明により得られた磁気記録体は、磁性粒子
間に添加金属の非磁性窒化物粒子が均一に分散し
たものが得られた。これを、単に、磁性金属粒子
のみから成る磁気記録体に比し、下記するよう
に、ノイズの著しい減少が認められた。これはお
そらく、本発明のものは、該窒化物粒子が磁性粒
子間に介在することにより磁性粒子相互の接触が
少なくなり、結果として、磁区を微細化する結果
ではないかと思われる。又本法によれば、蒸着磁
性金属粒子は、比較的微細化することもノイズ減
少の原因となつていると思われる。 実際、本発明で得られた蒸着膜は、添加金属を
混入しないものに比し、黒色を帯び、金属光沢を
減じていた。これは、磁性金属粒子が微細化した
ためである。 更に、詳述するに、ノイズの減少効果は、理由
が明らかでないが、磁性粒子間の磁気的相互作用
を減少させることや磁性粒子を小さくすることな
どにより、磁区を小さくすることにより得られ
る。本発明によれば、Al、Cr、Tiを窒素ガスに
より夫々の非磁性窒化物粒子として、Co、Ni、
Feなどの磁性粒子間に混入介在させることによ
り磁性粒子間を隔離し、磁性粒子間の磁気的相互
作用を減少させ、磁性粒子個々が独立した小径の
磁化回転型単磁区が構成される。その結果、下記
表１に明らかなように、窒化物粒子で磁性粒子間
を隔離しない従来の磁気記録体に比し、ノイズの
減少効果を表わす。尚、前記の窒素ガスの分圧下
でAl、Cr、Tiは、その夫々の窒化物となつて、
Fe、Co、Niなどの磁性粒子間に夫々の窒化物が
析出分散介在していることが、電子顕微鏡観察、
スペクトルアナライザーなどにより確認された。 本法に於いて、特に、添加金属（合金）の蒸発
を、磁性金属（合金）のそれの10at％以下とす
る。それ以上では含有量が多い程ノイズが減少す
るが、反面角型性、飽和磁化、残留磁化が劣化
し、再生出力が幾分減少し、好ましくない。
0.1at％でも効果があるが、0.5at％〜5at％程度が
最適でる。この場合、導入窒素ガス圧は、１×
10-5トール〜５×10-3トール程度が好ましく、５
×10-2以上ともなれば磁性特性が著しく悪くな
る。金属の蒸発手段は、抵抗加熱、高周波加熱等
の他の加熱方法でもよいが、磁性金属と添加金属
の入射角は出来るだけ同じが望ましく、このため
に、上記第２図示の如く蒸発源を同じくすると、
一定方向に粒子が生長し、角型性が悪化すること
なく蒸着できる。尚、前記合金ロツドフイード型
電子ビーム蒸発源の場合は、蒸気圧が異なる元素
を含んでいる合金でも、ロツドの合金組成に近い
蒸着膜が得られ、蒸発組成についての操作も極め
て容易である。更に、本発明方法で得た製品の各
特性と、比較のため代表的な磁性合金Co−20％
Niを使用して、窒素導入を行なわないで蒸着せ
しめて得た対照製品S1、窒素を本発明方法と同
じように導入した条件で蒸着せしめて得た対照製
品S2の各特性の比較試験した。なお保磁力が約
900Oeになるように、入射角を調節して実験した
ものである。基材テープは25μポリエステルフイ
ルム、残留ガス圧３×10-5以下、膜厚3000Å、入
射角76゜〜80゜、本法の場合前記第１図示の装置
を使用し、Co−20％Niと他の各種添加金属とを
蒸発組成が前記割合で得られるよう、各電子ビー
ム出力を夫々調節して同時蒸着作業を行なつた。
窒素ガスは調節バルブを通して分圧５×10-3トー
ル以下の種々の値に設定して種々の製品を得た。
その対比試験の結果の数例を下記表１に示す。こ
こでノイズおよびＳ／Ｎ比は、S1を基準値OdB
として示してある。
ーで非磁性基材面に塗着せしめたいわゆる塗布型
磁気記録体は古くから知られているが、保磁力そ
の他の磁気特性が劣るので、最近之を改良するた
め、斜め入射蒸着法や斜め入射イオンプレーテイ
ング法によりCo、Ni、Feやこれらの合金を非磁
性基材面に蒸着せしめる蒸着膜型磁気記録体の研
究開発がすゝめられ、これは、高い保磁力等が得
られ、高密度記録が可能な磁気記録体として期待
されているが、バルクイレースノイズ及びバイア
スノイズが大きい欠点を有することが判つた。
我々は種々の検討、実験を繰り返した結果、良好
な磁気特性を維持し乍ら而もノイズを著しく減少
せしめた蒸着膜型磁気記録体並びにその製造法を
開発したもので、その磁気記録体は、斜め入射蒸
着法等により作成した磁性金属又はその合金の少
なくとも１種の蒸着を主体とし、これに、Al、
Cr、Tiのうちから撰んだ少なくとも１種の窒化
物を混在せしめて成る蒸着膜を非磁性基材面に形
成して成る。 その製造法は、非磁性基材面に、磁性金属又は
その合金の少なくとも１種を斜め入射蒸着や斜入
射イオンプレーテイグ等を行なう際、これと同時
に、Al、Cr、Tiのうちから選んだ少なくとも１
種を10at％以下の比率で蒸発させると共に窒素ガ
ス導入により之を窒化せしめて蒸着せしめるよう
にしたことを特徴とする。 次に本発明の製造法の実施例を添付図面につき
説明する。第１図はその実施の１例を示し、真空
槽内にその上部に、非磁性基材、例えばポリエス
テルフイルムのテープ１を斜めに走行せしめるよ
うにテープ走行装置２を配置し、これにより、テ
ープ１を矢示方向へ所定速度で走行せしめる。そ
の斜め配置テープａの直下に之と対面して２個の
電子ビーム蒸発源３，３を配置し、その一方には
Co、Ni、Fe又はこれらの合金から撰んだ磁性金
属又は合金Ａを収容し、その他方には、これらよ
り窒化され易い金属、即ち、Al、Cr、Tiから撰
んだ少くとも１種、即ち窒化せしめるべき添加金
属Ｂを収容し、磁性金属（合金）Ａに対し該添加
金属Ｂを10at％以下の比率で蒸発させる１方１×
10-5〜５×10-3トールの分圧になるように窒素を
導入する。窒素導入源はガス状又は液状窒素ボン
ベである。前記比率の調整は、加熱蒸発させてい
る２個の電子ビームの出力を相互に調節すること
により行なう。４は遮へい板を示す。かくして、
微量の窒素ガス導入により添加金属Ｂの蒸気は窒
化し窒化物蒸気となり、大部分の磁性金属Ａの蒸
気中に分散し、これら混合蒸気が前記走行中のテ
ープ１面に斜め入射蒸着して本発明磁気テープが
得られる。この実施例では、両原料Ａ，Ｂを各別
に配設し加熱蒸発せしめたものであるが、蒸気の
発生源が２個所に離れているため、両者蒸気が均
一に混合されない傾向がある。第２図示の実施例
は、之を改良したもので、予め、磁性金属材料Ａ
に対し添加金属材料Ｂを10at％以下添加したもの
を真空溶解その他の方法で溶解し全体に上記配合
割合に混合した合金を棒状等につくり、この合金
材料Ｍを図示の如く１個の加熱源３で加熱蒸発す
るようにする。尚図面で、５は窒素導入管を示
す。かゝる合金材料Ｍの使用で、ノイズが更に極
めて小さい磁気記録体が得られた。上記は、基材
としてテープを用いたが金属、ガラス等のデイス
ク等も用いられる。 本発明により得られた磁気記録体は、磁性粒子
間に添加金属の非磁性窒化物粒子が均一に分散し
たものが得られた。これを、単に、磁性金属粒子
のみから成る磁気記録体に比し、下記するよう
に、ノイズの著しい減少が認められた。これはお
そらく、本発明のものは、該窒化物粒子が磁性粒
子間に介在することにより磁性粒子相互の接触が
少なくなり、結果として、磁区を微細化する結果
ではないかと思われる。又本法によれば、蒸着磁
性金属粒子は、比較的微細化することもノイズ減
少の原因となつていると思われる。 実際、本発明で得られた蒸着膜は、添加金属を
混入しないものに比し、黒色を帯び、金属光沢を
減じていた。これは、磁性金属粒子が微細化した
ためである。 更に、詳述するに、ノイズの減少効果は、理由
が明らかでないが、磁性粒子間の磁気的相互作用
を減少させることや磁性粒子を小さくすることな
どにより、磁区を小さくすることにより得られ
る。本発明によれば、Al、Cr、Tiを窒素ガスに
より夫々の非磁性窒化物粒子として、Co、Ni、
Feなどの磁性粒子間に混入介在させることによ
り磁性粒子間を隔離し、磁性粒子間の磁気的相互
作用を減少させ、磁性粒子個々が独立した小径の
磁化回転型単磁区が構成される。その結果、下記
表１に明らかなように、窒化物粒子で磁性粒子間
を隔離しない従来の磁気記録体に比し、ノイズの
減少効果を表わす。尚、前記の窒素ガスの分圧下
でAl、Cr、Tiは、その夫々の窒化物となつて、
Fe、Co、Niなどの磁性粒子間に夫々の窒化物が
析出分散介在していることが、電子顕微鏡観察、
スペクトルアナライザーなどにより確認された。 本法に於いて、特に、添加金属（合金）の蒸発
を、磁性金属（合金）のそれの10at％以下とす
る。それ以上では含有量が多い程ノイズが減少す
るが、反面角型性、飽和磁化、残留磁化が劣化
し、再生出力が幾分減少し、好ましくない。
0.1at％でも効果があるが、0.5at％〜5at％程度が
最適でる。この場合、導入窒素ガス圧は、１×
10-5トール〜５×10-3トール程度が好ましく、５
×10-2以上ともなれば磁性特性が著しく悪くな
る。金属の蒸発手段は、抵抗加熱、高周波加熱等
の他の加熱方法でもよいが、磁性金属と添加金属
の入射角は出来るだけ同じが望ましく、このため
に、上記第２図示の如く蒸発源を同じくすると、
一定方向に粒子が生長し、角型性が悪化すること
なく蒸着できる。尚、前記合金ロツドフイード型
電子ビーム蒸発源の場合は、蒸気圧が異なる元素
を含んでいる合金でも、ロツドの合金組成に近い
蒸着膜が得られ、蒸発組成についての操作も極め
て容易である。更に、本発明方法で得た製品の各
特性と、比較のため代表的な磁性合金Co−20％
Niを使用して、窒素導入を行なわないで蒸着せ
しめて得た対照製品S1、窒素を本発明方法と同
じように導入した条件で蒸着せしめて得た対照製
品S2の各特性の比較試験した。なお保磁力が約
900Oeになるように、入射角を調節して実験した
ものである。基材テープは25μポリエステルフイ
ルム、残留ガス圧３×10-5以下、膜厚3000Å、入
射角76゜〜80゜、本法の場合前記第１図示の装置
を使用し、Co−20％Niと他の各種添加金属とを
蒸発組成が前記割合で得られるよう、各電子ビー
ム出力を夫々調節して同時蒸着作業を行なつた。
窒素ガスは調節バルブを通して分圧５×10-3トー
ル以下の種々の値に設定して種々の製品を得た。
その対比試験の結果の数例を下記表１に示す。こ
こでノイズおよびＳ／Ｎ比は、S1を基準値OdB
として示してある。
【表】
次に、前記第２図示の予め作成した本発明の蒸
発組成に等しい合金ロツドを使用し、前記と同様
に試験した。更に、10at％を越えて製造したもの
をS3として示す。その結果を下記表２に示す。
表１と対比し明らかなように、予め一定組成の合
金塊を使用し、蒸発源を１つとするときは、一層
磁気特性の改善された安定したものが得られる。
発組成に等しい合金ロツドを使用し、前記と同様
に試験した。更に、10at％を越えて製造したもの
をS3として示す。その結果を下記表２に示す。
表１と対比し明らかなように、予め一定組成の合
金塊を使用し、蒸発源を１つとするときは、一層
磁気特性の改善された安定したものが得られる。
【表】
上記以外の他の先に列挙した各種磁性金属材料
及び添加金属材料の場合でもノイズが減少し且つ
良好な再生出力を維持した磁気記録テープが得ら
れた。 このように本発明によるときは、斜め入射蒸着
又は斜め入射イオンにより磁性金属又はその合金
を非磁性基材面に蒸着し、磁気記録体を製造する
に当り、これと同時に、10at％以下の該磁性金属
より窒化され易い金属又は／及びその合金を、微
量の窒素ガス導入で、蒸発せしめるようにしたも
ので、磁性粒子を主体としこれに窒化物粒子の少
量が混在した蒸着膜をもつた磁気記録体が得ら
れ、磁性金属単独の蒸着膜から成るものより著し
いノイズの減少した而も再生出力も良好に保持さ
れた磁気記録体となる効果を有する。
及び添加金属材料の場合でもノイズが減少し且つ
良好な再生出力を維持した磁気記録テープが得ら
れた。 このように本発明によるときは、斜め入射蒸着
又は斜め入射イオンにより磁性金属又はその合金
を非磁性基材面に蒸着し、磁気記録体を製造する
に当り、これと同時に、10at％以下の該磁性金属
より窒化され易い金属又は／及びその合金を、微
量の窒素ガス導入で、蒸発せしめるようにしたも
ので、磁性粒子を主体としこれに窒化物粒子の少
量が混在した蒸着膜をもつた磁気記録体が得ら
れ、磁性金属単独の蒸着膜から成るものより著し
いノイズの減少した而も再生出力も良好に保持さ
れた磁気記録体となる効果を有する。
第１図は本発明実施の１例の要部の側面線図、
第２図は他例の仝様の図である。 １……テープ基材、２……テープ走行装置、３
……蒸発源、５……窒素導入管、Ａ……磁性金
属、Ｂ……窒化性添加金属、Ｍ……合金ロツド
材。
第２図は他例の仝様の図である。 １……テープ基材、２……テープ走行装置、３
……蒸発源、５……窒素導入管、Ａ……磁性金
属、Ｂ……窒化性添加金属、Ｍ……合金ロツド
材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 斜め入射蒸着法等により作成した磁性金属又
はその合金の少なくとも１種の蒸着を主体とし、
これに、Al、Cr、Tiのうちから撰んだ少なくと
も１種の窒化物を混在せしめて成る蒸着膜を非磁
性基材面に形成して成る蒸着膜型磁気記録体。 ２ 非磁性基材面に、磁性金属又はその合金の少
なくとも１種を斜め入射蒸着や斜入射イオンプレ
ーテイグ等を行なう際、これと同時に、Al、
Cr、Tiのうちから撰んだ少なくとも１種を10at
％以下の比率で蒸発させると共に窒素ガス導入に
より之を窒化せしめて蒸着せしめるようにしたこ
とを特徴とする蒸着膜型磁気記録体の製造法。 ３ 予め、Co、Ni、Fe等の磁性金属又はこれら
の合金の少なくとも１種に、Al、Cr、Tiのうち
から選んだ少なくとも１種を10at％以下添加溶解
してロツドを作成し、これをロツドフイード型蒸
発源により加熱蒸発せしめるようにしたことを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8013179A JPS567231A (en) | 1979-06-27 | 1979-06-27 | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8013179A JPS567231A (en) | 1979-06-27 | 1979-06-27 | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS567231A JPS567231A (en) | 1981-01-24 |
| JPS6228487B2 true JPS6228487B2 (ja) | 1987-06-20 |
Family
ID=13709668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8013179A Granted JPS567231A (en) | 1979-06-27 | 1979-06-27 | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS567231A (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57130405A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Magnetic recording medium |
| JPS58121134A (ja) * | 1982-01-12 | 1983-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS6034007A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-02-21 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
| JPS6035329A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-02-23 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
| JPS6035325A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-02-23 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
| JPS6035327A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-02-23 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
| JPS6035326A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-02-23 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
| JPS6035328A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-02-23 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
| JPS60131576A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-07-13 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 画像調整法 |
| JPH0636115B2 (ja) * | 1985-02-05 | 1994-05-11 | 松下電送株式会社 | 液体現像装置の濃度制御装置 |
| JPS61224121A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-04 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6379231A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-04-09 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH087859B2 (ja) * | 1991-09-06 | 1996-01-29 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
-
1979
- 1979-06-27 JP JP8013179A patent/JPS567231A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS567231A (en) | 1981-01-24 |
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