JPS6238818B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6238818B2 JPS6238818B2 JP53152601A JP15260178A JPS6238818B2 JP S6238818 B2 JPS6238818 B2 JP S6238818B2 JP 53152601 A JP53152601 A JP 53152601A JP 15260178 A JP15260178 A JP 15260178A JP S6238818 B2 JPS6238818 B2 JP S6238818B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pyroelectric
- target
- layer
- vidicon
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
- H01J29/36—Photoelectric screens; Charge-storage screens
- H01J29/39—Charge-storage screens
- H01J29/45—Charge-storage screens exhibiting internal electric effects caused by electromagnetic radiation, e.g. photoconductive screen, photodielectric screen, photovoltaic screen
- H01J29/458—Charge-storage screens exhibiting internal electric effects caused by electromagnetic radiation, e.g. photoconductive screen, photodielectric screen, photovoltaic screen pyroelectrical targets; targets for infrared or ultraviolet or X-ray radiations
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はパイロ電気ビジコン用ターゲツトの製
造方法に関するものである。
造方法に関するものである。
パイロ電気ビジコンで解像度を高める為には、
ターゲツト材料を網目状に配列して相対的に分離
された領域を形成するようにしていた。この目的
の為に、パイロ電気材料の層を網目状にする技術
は1976年12月８日に出願された米国特許出願第
748640号明細書に記載されている。
ターゲツト材料を網目状に配列して相対的に分離
された領域を形成するようにしていた。この目的
の為に、パイロ電気材料の層を網目状にする技術
は1976年12月８日に出願された米国特許出願第
748640号明細書に記載されている。
本発明の目的は、パイロ電気ビジコンのターゲ
ツトとして用いるパイロ電気材料の層を網目状に
する処理を改善し、解像度および画質を改善せん
とするにある。
ツトとして用いるパイロ電気材料の層を網目状に
する処理を改善し、解像度および画質を改善せん
とするにある。
本発明の他の目的は、パイロ電気ビジコンに用
いられるのに適したターゲツトの歩どまりを改善
する処理方法を提供せんとするにある。
いられるのに適したターゲツトの歩どまりを改善
する処理方法を提供せんとするにある。
本発明によれば、まず、最初にパイロ電気材料
の層を基板、通常はガラスに接着する。この接着
後、パイロ電気材料の層の厚さを化学腐食或いは
プラズマ腐食技術により約20μｍに減少させる。
次に、パイロ電気材料の層の露出面上にマスクを
配置し、露出領域を更に腐食してパイロ電気材料
の層を網目状にする。次に、マスクを除去し、電
子を透過するのに充分薄肉なポリマー層を網目状
の層上に配置する。最後に、網目状の層を基板か
ら分離し、真空容器内に装着する前の他の処理を
行なうのに供する。
の層を基板、通常はガラスに接着する。この接着
後、パイロ電気材料の層の厚さを化学腐食或いは
プラズマ腐食技術により約20μｍに減少させる。
次に、パイロ電気材料の層の露出面上にマスクを
配置し、露出領域を更に腐食してパイロ電気材料
の層を網目状にする。次に、マスクを除去し、電
子を透過するのに充分薄肉なポリマー層を網目状
の層上に配置する。最後に、網目状の層を基板か
ら分離し、真空容器内に装着する前の他の処理を
行なうのに供する。
網目状の層に電気接触を行なう為には、赤外線
を透過するアンチモンの極めて薄肉な層を露出面
に被覆する。
を透過するアンチモンの極めて薄肉な層を露出面
に被覆する。
さらに、網目状の層を支持し、電子ビームに対
向するポリマー層を、過剰電荷を放出させるよう
にわずかに導電性とした酸化珪素（SiOx、１＜
ｘ＜２）の薄肉層で被覆する。
向するポリマー層を、過剰電荷を放出させるよう
にわずかに導電性とした酸化珪素（SiOx、１＜
ｘ＜２）の薄肉層で被覆する。
図面につき本発明を説明する。
本発明によれば、硫酸トリグリシン或いはフル
オロベリリウム酸トリグリシン或いは重水素置換
フルオロベリリウム酸トリグリシンのようなパイ
ロ電気材料の層１を、溶融させて次に固化したワ
ツクスの層３によりガラス基板２に接着させる
（第１および２図）。次に、パイロ電気材料層１の
厚さを化学腐食或いはプラズマ腐食により約20μ
ｍに減少させる。この工程の後に、パイロ電気材
料の露出面上にマスク（図示せず）を設け、腐食
処理を続けて網目状の層（島）４を形成する。次
に、マスクを除去し、網目状の層４を支持する程
度に充分に厚く、しかし電子を透過する程度に充
分に薄くしたポリ塩化ビニルのようなポリマー層
５を網目状の層４の上に形成する。
オロベリリウム酸トリグリシン或いは重水素置換
フルオロベリリウム酸トリグリシンのようなパイ
ロ電気材料の層１を、溶融させて次に固化したワ
ツクスの層３によりガラス基板２に接着させる
（第１および２図）。次に、パイロ電気材料層１の
厚さを化学腐食或いはプラズマ腐食により約20μ
ｍに減少させる。この工程の後に、パイロ電気材
料の露出面上にマスク（図示せず）を設け、腐食
処理を続けて網目状の層（島）４を形成する。次
に、マスクを除去し、網目状の層４を支持する程
度に充分に厚く、しかし電子を透過する程度に充
分に薄くしたポリ塩化ビニルのようなポリマー層
５を網目状の層４の上に形成する。
次に、網目状の層４を基板２から分離し、他の
処理用に供する。
処理用に供する。
第１図に示すように、網目状の層の露出面上に
アンチモンの薄肉層６を堆積する。このアンチモ
ン薄肉層６を設ける目的は、ビジコン管内に装着
した際にこの層６で電気接触させることにある。
更に、このアンチモン薄肉層６は赤外線を充分透
過するように薄肉にする必要がある。このような
アンチモン薄肉層の堆積は従来でも行なわれてお
り、本発明の要部を成すものではない。
アンチモンの薄肉層６を堆積する。このアンチモ
ン薄肉層６を設ける目的は、ビジコン管内に装着
した際にこの層６で電気接触させることにある。
更に、このアンチモン薄肉層６は赤外線を充分透
過するように薄肉にする必要がある。このような
アンチモン薄肉層の堆積は従来でも行なわれてお
り、本発明の要部を成すものではない。
次に、ポリマー層上に酸化珪素（SiOx、１＜
ｘ＜２）の層を堆積し、ビジコン管７内に装着し
うる状態とする。このような酸化珪素の層の堆積
は米国特許第4019084号明細書に記載されてい
る。
ｘ＜２）の層を堆積し、ビジコン管７内に装着し
うる状態とする。このような酸化珪素の層の堆積
は米国特許第4019084号明細書に記載されてい
る。
他の例（第２図参照）では、パイロ電気材料を
スパツタリングにより除去する。この場合、パイ
ロ電気材料の露出面はポリマー層８で被覆し、他
の処理を行つた後に、得られたターゲツトを、ス
パツタリングを行なつた面が電子ビームに対向す
るようにビジコン管内に装着する。
スパツタリングにより除去する。この場合、パイ
ロ電気材料の露出面はポリマー層８で被覆し、他
の処理を行つた後に、得られたターゲツトを、ス
パツタリングを行なつた面が電子ビームに対向す
るようにビジコン管内に装着する。
比較の為に、1976年12月８日に出願された米国
特許出願第748640号明細書に記載されているよう
なターゲツトを製造する方法を第３図に示す。こ
の方法では、パイロ電気材料層１をワツクス層３
によりガラス基板２に接着させる。次に、パイロ
電気材料層１の厚さを減少させ、このパイロ電気
材料層１の表面にポリマー層５を被着する。次
に、ワツクス層を溶融させてパイロ電気材料層１
およびこれに被着されたポリマー層５からガラス
基板を分離させ、パイロ電気材料層１およびポリ
マー層５のアセンブリを反転させる。次に、パイ
ロ電気材料層１にマスクを施こし、マスクされて
いない材料を高エネルギー粒子を用いて除去して
パイロ電気材料の島４を残し、前記のマスクを除
去することによりパイロ電気材料層を網目状にす
る。次に、網目状部分（島）に酸化珪素を被覆
し、ポリマー層５を除去し、電気接点層６を適所
に被着する。このようにして形成された網目状タ
ーゲツトをビジコン管７に装着する。かかる第３
図の方法ではパイロ電気材料層１を網目状にする
際に剛固なガラス基板が分離されている為に、ポ
リマー層上でこの網目状処理をしなければなら
ず、この際パイロ電気材料層は薄肉でもろい為に
破損するおそれが多く、製造歩どまりが低くなる
おそれがある。これに対し本発明では、パイロ電
気材料層の網目状化を剛固なガラス基板上に被着
された状態で行なう為、パイロ電気材料層が破損
されるおそれが少なくなり、製造歩どまりを改善
しうる。
特許出願第748640号明細書に記載されているよう
なターゲツトを製造する方法を第３図に示す。こ
の方法では、パイロ電気材料層１をワツクス層３
によりガラス基板２に接着させる。次に、パイロ
電気材料層１の厚さを減少させ、このパイロ電気
材料層１の表面にポリマー層５を被着する。次
に、ワツクス層を溶融させてパイロ電気材料層１
およびこれに被着されたポリマー層５からガラス
基板を分離させ、パイロ電気材料層１およびポリ
マー層５のアセンブリを反転させる。次に、パイ
ロ電気材料層１にマスクを施こし、マスクされて
いない材料を高エネルギー粒子を用いて除去して
パイロ電気材料の島４を残し、前記のマスクを除
去することによりパイロ電気材料層を網目状にす
る。次に、網目状部分（島）に酸化珪素を被覆
し、ポリマー層５を除去し、電気接点層６を適所
に被着する。このようにして形成された網目状タ
ーゲツトをビジコン管７に装着する。かかる第３
図の方法ではパイロ電気材料層１を網目状にする
際に剛固なガラス基板が分離されている為に、ポ
リマー層上でこの網目状処理をしなければなら
ず、この際パイロ電気材料層は薄肉でもろい為に
破損するおそれが多く、製造歩どまりが低くなる
おそれがある。これに対し本発明では、パイロ電
気材料層の網目状化を剛固なガラス基板上に被着
された状態で行なう為、パイロ電気材料層が破損
されるおそれが少なくなり、製造歩どまりを改善
しうる。
第１図は、ターゲツトを製造する本発明の一例
による種々の工程を示す線図、第２図は同じくそ
の他の例による種々の工程を示す線図、第３図
は、従来のターゲツトの製造工程を示す線図であ
る。 １……パイロ電気材料層、２……ガラス基板、
３……ワツクス層、４……網目状の層（島）、５
……ポリマー層、６……アンチモン薄肉層、７…
…ビジコン管。
による種々の工程を示す線図、第２図は同じくそ
の他の例による種々の工程を示す線図、第３図
は、従来のターゲツトの製造工程を示す線図であ
る。 １……パイロ電気材料層、２……ガラス基板、
３……ワツクス層、４……網目状の層（島）、５
……ポリマー層、６……アンチモン薄肉層、７…
…ビジコン管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ パイロ電気ビジコン用のターゲツトを製造す
るに当り、パイロ電気ターゲツト材料の層を支持
基板に付着させる工程と、この層の厚さを約20μ
ｍに減少させる工程と、前記のパイロ電気ターゲ
ツト材料をマスクを介して腐食処理して前記のパ
イロ電気材料より成り互いに分離した複数個の領
域を形成する工程と、互いに分離した複数個の前
記の領域の上に電子透過ポリマー層を形成する工
程と、互いに分離した複数個の前記の領域を層と
して前記の支持基板から分離させ、これら複数個
の前記の領域は前記の電子透過ポリマー層によつ
て支持されているようにする工程とを具えること
を特徴とするパイロ電気ビジコン用ターゲツトの
製造方法。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載のパイロ電気ビ
ジコン用ターゲツトの製造方法において、互いに
分離した複数個の前記の領域の層とは反対側の、
電子透過ポリマー層の面を酸化珪素で被覆するこ
とを特徴とするパイロ電気ビジコン用ターゲツト
の製造方法。 ３ 特許請求の範囲第２項に記載のパイロ電気ビ
ジコン用ターゲツトの製造方法において、腐食処
理された前記のパイロ電気材料の、前記の支持基
板からの分離工程により形成された露出面をアン
チモンの電子透過層で被覆することを特徴とする
パイロ電気ビジコン用ターゲツトの製造方法。 ４ 特許請求の範囲第１項に記載のパイロ電気ビ
ジコン用ターゲツトの製造方法において、腐食処
理された前記のパイロ電気材料の、前記の支持基
板からの分離工程により形成された露出面を前記
の電子透過ポリマー層と同一厚さのポリマー層で
被覆することを特徴とするパイロ電気ビジコン用
ターゲツトの製造方法。 ５ 特許請求の範囲第４項に記載のパイロ電気ビ
ジコン用ターゲツトの製造方法において、パイロ
電気材料の層を接着手段により前記の支持基板に
接着し、このパイロ電気材料の層をスパツタリン
グにより部分的に除去することを特徴とするパイ
ロ電気ビジコン用ターゲツトの製造方法。 ６ 特許請求の範囲第１項に記載のパイロ電気ビ
ジコン用ターゲツトの製造方法において、パイロ
電気材料を硫酸トリグリシン或いはフルオロベリ
リウム酸トリグリシン或いは重水素置換フルオロ
ベリリウム酸トリグリシンとすることを特徴とす
るパイロ電気ビジコン用ターゲツトの製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US05/859,542 US4139444A (en) | 1977-12-12 | 1977-12-12 | Method of reticulating a pyroelectric vidicon target |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54102919A JPS54102919A (en) | 1979-08-13 |
| JPS6238818B2 true JPS6238818B2 (ja) | 1987-08-19 |
Family
ID=25331169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15260178A Granted JPS54102919A (en) | 1977-12-12 | 1978-12-09 | Method of fabricating lattice target for pyroelectric vidicon |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4139444A (ja) |
| JP (1) | JPS54102919A (ja) |
| AU (1) | AU4235878A (ja) |
| DE (1) | DE2853295C2 (ja) |
| FR (1) | FR2411484A1 (ja) |
| GB (1) | GB2011709B (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4321747A (en) * | 1978-05-30 | 1982-03-30 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a solid-state image sensing device |
| GB2028579B (en) * | 1978-08-22 | 1982-12-22 | English Electric Valve Co Ltd | Target for a pyroelectric camera |
| FR2458141A1 (fr) * | 1979-05-29 | 1980-12-26 | Thomson Csf | Cible de prise de vues, tube muni d'une telle cible, et dispositif de prise de vues comprenant un tel tube |
| US4593456A (en) * | 1983-04-25 | 1986-06-10 | Rockwell International Corporation | Pyroelectric thermal detector array |
| US4532424A (en) * | 1983-04-25 | 1985-07-30 | Rockwell International Corporation | Pyroelectric thermal detector array |
| US5653892A (en) * | 1994-04-04 | 1997-08-05 | Texas Instruments Incorporated | Etching of ceramic materials with an elevated thin film |
| US5679267A (en) * | 1994-04-04 | 1997-10-21 | Texas Instruments Incorporated | Dual etching of ceramic materials with an elevated thin film |
| US6080987A (en) * | 1997-10-28 | 2000-06-27 | Raytheon Company | Infrared-sensitive conductive-polymer coating |
| US6083557A (en) * | 1997-10-28 | 2000-07-04 | Raytheon Company | System and method for making a conductive polymer coating |
| CN1222832C (zh) * | 2002-07-15 | 2005-10-12 | 三星电子株式会社 | 使用图案化发射体的电子光刻设备 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2137163B1 (ja) * | 1971-05-14 | 1973-05-11 | Thomson Csf | |
| DE2537599C3 (de) * | 1974-09-02 | 1980-05-08 | N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven (Niederlande) | Verfahren zur Herstellung einer Signalspeicherplatte |
| US4019084A (en) * | 1975-10-02 | 1977-04-19 | North American Philips Corporation | Pyroelectric vidicon having a protective covering on the pyroelectric target |
-
1977
- 1977-12-12 US US05/859,542 patent/US4139444A/en not_active Expired - Lifetime
-
1978
- 1978-12-08 AU AU42358/78A patent/AU4235878A/en active Pending
- 1978-12-08 GB GB7847705A patent/GB2011709B/en not_active Expired
- 1978-12-09 JP JP15260178A patent/JPS54102919A/ja active Granted
- 1978-12-09 DE DE2853295A patent/DE2853295C2/de not_active Expired
- 1978-12-11 FR FR7834816A patent/FR2411484A1/fr not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU4235878A (en) | 1979-06-21 |
| US4139444A (en) | 1979-02-13 |
| DE2853295C2 (de) | 1984-04-12 |
| GB2011709A (en) | 1979-07-11 |
| DE2853295A1 (de) | 1979-06-13 |
| GB2011709B (en) | 1982-06-16 |
| JPS54102919A (en) | 1979-08-13 |
| FR2411484A1 (fr) | 1979-07-06 |
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