JPS6283947U - - Google Patents

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JPS6283947U
JPS6283947U JP17453685U JP17453685U JPS6283947U JP S6283947 U JPS6283947 U JP S6283947U JP 17453685 U JP17453685 U JP 17453685U JP 17453685 U JP17453685 U JP 17453685U JP S6283947 U JPS6283947 U JP S6283947U
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JP
Japan
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pipe
guide mechanism
pipe shaft
magnetically coupled
holes
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JP17453685U
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  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例であるころがり案内機
構を取付けた磁気結合式試料交換棒の断面図、第
２図は第１図のＡ―Ａ断面図、第３図はころがり
案内機構の組立状況を説明する斜視図、第４図は
従来の磁気結合式試料交換棒の断面図、第５図は
集束イオンビーム装置の概略構成図、第６図はイ
オンビームの軌跡を示す図である。 １…永久磁石、２…ポールピース、３，２４…
パイプ、４…パイプ軸、５…リニヤモーシヨンベ
アリング、６…回転軸、７…回転軸ベアリング、
８…Ｏリング、９…ねじ、１０…試料運搬台、１
１…試料、１２…試料台、２０…ころがり案内機
構、２２…移動体、２３…回転ベアリング、２５
…ベアリング軸、３２…エミツタ、３３…引出し
電極、３４…電源、３５…加速管、３６，４２…
分圧器、３７…コンデンサレンズ、３９…対物レ
ンズ、４０…偏向器、４１…試料。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 集束イオンビーム装置等高真空装置内の試料を
    外部から無接触で交換するための磁気結合式試料
    交換棒において、永久磁石によつて非接触に移動
    させられるポールピース近傍にパイプ軸に挿入し
    たころがり案内機構を設け、該ころがり案内機構
    は移動体の長手方向の横面に上下２ケの貫通穴を
    有し、該貫通穴にはパイプ、パイプにはパイプ軸
    をそれぞれ挿通し、該パイプ軸両端には回転ベア
    リングを取付けたことを特徴とする磁気結合式試
    料交換棒。
JP17453685U 1985-11-12 1985-11-12 Expired JPH043247Y2 (ja)

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JP17453685U JPH043247Y2 (ja) 1985-11-12 1985-11-12

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JP17453685U JPH043247Y2 (ja) 1985-11-12 1985-11-12

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Publication Number Publication Date
JPS6283947U true JPS6283947U (ja) 1987-05-28
JPH043247Y2 JPH043247Y2 (ja) 1992-02-03

Family

ID=31113010

Family Applications (1)

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JP17453685U Expired JPH043247Y2 (ja) 1985-11-12 1985-11-12

Country Status (1)

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JP (1) JPH043247Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1130573A (ja) * 1997-05-20 1999-02-02 Jeol Ltd ホルダ保持装置
JP2009115652A (ja) * 2007-11-07 2009-05-28 Institute Of Physical & Chemical Research サンプルピン保持アタッチメント

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1130573A (ja) * 1997-05-20 1999-02-02 Jeol Ltd ホルダ保持装置
JP2009115652A (ja) * 2007-11-07 2009-05-28 Institute Of Physical & Chemical Research サンプルピン保持アタッチメント

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JPH043247Y2 (ja) 1992-02-03

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