JPS6364038U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6364038U JPS6364038U JP15691986U JP15691986U JPS6364038U JP S6364038 U JPS6364038 U JP S6364038U JP 15691986 U JP15691986 U JP 15691986U JP 15691986 U JP15691986 U JP 15691986U JP S6364038 U JPS6364038 U JP S6364038U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support block
- semiconductor wafer
- target portion
- suction
- suction target
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
Description
第１図乃至第３図はこの考案に係る半導体ウエ
ーハのローダ・アンローダ装置を連続式常圧ＣＶ
Ｄ装置に於ける半導体ウエーハの供給及び取出し
に適用した実施例を示す図面で、第１図は要部平
面図、第２図及び第３図は第１図のＡ―Ａ線及び
Ｂ―Ｂ線に於ける断面図である。第４図及び第５
図は連続式常圧ＣＶＤ装置を示す図面で、第４図
は全体概略図、第５図はトレーの拡大斜視図であ
る。第６図及び第７図は上記ＣＶＤ装置に於ける
半導体ウエハの供給及び取出しに従来使用されて
いた真空吸着ペン及びベルヌーイチヤツクを示す
断面図である。 １１……半導体ウエーハ、１２，１２……支受
ブロツク、１３……吸着ヘツド、１７……トレー
、１８，１８……凹部。
ーハのローダ・アンローダ装置を連続式常圧ＣＶ
Ｄ装置に於ける半導体ウエーハの供給及び取出し
に適用した実施例を示す図面で、第１図は要部平
面図、第２図及び第３図は第１図のＡ―Ａ線及び
Ｂ―Ｂ線に於ける断面図である。第４図及び第５
図は連続式常圧ＣＶＤ装置を示す図面で、第４図
は全体概略図、第５図はトレーの拡大斜視図であ
る。第６図及び第７図は上記ＣＶＤ装置に於ける
半導体ウエハの供給及び取出しに従来使用されて
いた真空吸着ペン及びベルヌーイチヤツクを示す
断面図である。 １１……半導体ウエーハ、１２，１２……支受
ブロツク、１３……吸着ヘツド、１７……トレー
、１８，１８……凹部。
Claims (1)
- 半導体ウエーハが載置支受される載置部の任意
位置に被吸着部を突出形成した支受ブロツクと、
該支受ブロツクの被吸着部を吸着して上記支受ブ
ロツクを所定位置に移動させる吸着ヘツドとを具
備したことを特徴とする半導体ウエーハのローダ
・アンローダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15691986U JPS6364038U (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15691986U JPS6364038U (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364038U true JPS6364038U (ja) | 1988-04-27 |
Family
ID=31078988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15691986U Pending JPS6364038U (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6364038U (ja) |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP15691986U patent/JPS6364038U/ja active Pending
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