JPH02288244A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPH02288244A JPH02288244A JP1110235A JP11023589A JPH02288244A JP H02288244 A JPH02288244 A JP H02288244A JP 1110235 A JP1110235 A JP 1110235A JP 11023589 A JP11023589 A JP 11023589A JP H02288244 A JPH02288244 A JP H02288244A
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置の製造方法に関し、特に半導体ペレ
ットのボンディングパッドと端子リード間の結線に関す
る。
ットのボンディングパッドと端子リード間の結線に関す
る。
従来、この種の配線は第4図及び第5図に示すように、
第一ボンドを端子リード4−1.・・・もしくは半導体
ペレット3のボンディングパッド5−1.・・・とじ、
端子リードからペレット、又はペレットから端子リード
へと一方向にボンディング配線を行っていた。図中の矢
印がボンディング経路を示す。
第一ボンドを端子リード4−1.・・・もしくは半導体
ペレット3のボンディングパッド5−1.・・・とじ、
端子リードからペレット、又はペレットから端子リード
へと一方向にボンディング配線を行っていた。図中の矢
印がボンディング経路を示す。
上述した従来の半導体装置の製造方法では、第一ボンド
の位置が半導体ペレットもしくは端子リードのいずれか
一方に固定されているので、2点間ボンディングの場合
、ボンディング配線距離よりも、第二ボンド後、次の第
一ボンドまでの移動の距離が長くなるため、生産能力が
低いという欠点があった。又、ループ形状が同一なため
、ワイヤ間の距離が短くなり、配線が傾いた場合は短絡
するという欠点があった。
の位置が半導体ペレットもしくは端子リードのいずれか
一方に固定されているので、2点間ボンディングの場合
、ボンディング配線距離よりも、第二ボンド後、次の第
一ボンドまでの移動の距離が長くなるため、生産能力が
低いという欠点があった。又、ループ形状が同一なため
、ワイヤ間の距離が短くなり、配線が傾いた場合は短絡
するという欠点があった。
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体ペレットのボ
ンディングパッドと端子リード間をボンディングワイヤ
で配線する際に、第一ボンドを交互にボンディングパッ
ド及び端子リードとするというものである。
ンディングパッドと端子リード間をボンディングワイヤ
で配線する際に、第一ボンドを交互にボンディングパッ
ド及び端子リードとするというものである。
次に図面を参照して本発明の実施例について説明する。
第1図は配線中を示す斜視図である。1はボンディング
ツール、2−1.・・・はボンディングワイヤ、3は半
導体ペレット、4−1.・・・は端子リードである。尚
、矢印はボンディング経路を示す。
ツール、2−1.・・・はボンディングワイヤ、3は半
導体ペレット、4−1.・・・は端子リードである。尚
、矢印はボンディング経路を示す。
第2図は半導体ペレット3から端子リード4に配線した
状態を示し、ワイヤループは半導体ペレット3側を高く
する。第3図は端子リード4がら半導体ペレット3に配
線した状態を示し、ワイヤループは端子リード4側を高
くする。
状態を示し、ワイヤループは半導体ペレット3側を高く
する。第3図は端子リード4がら半導体ペレット3に配
線した状態を示し、ワイヤループは端子リード4側を高
くする。
従って、第二ボンド後、次の第一ボンドへの移動距離は
、半導体ペレット及び端子リード間を移動するため、配
線距離よりも短くなり生産能力は向上する。
、半導体ペレット及び端子リード間を移動するため、配
線距離よりも短くなり生産能力は向上する。
更に、ワイヤループ形状が交互になるため、配線後のボ
ンディングワイヤ間の距離が長くなり、配線が傾いても
短絡しにくくなる。
ンディングワイヤ間の距離が長くなり、配線が傾いても
短絡しにくくなる。
以上説明したように本発明は、ワイヤボンディングの第
一ボンドを半導体ペレットのボンディングパッドと端子
リードを交互に行うようにしたので、半導体装置の生産
性及び歩留りを改善できる効果を有する。
一ボンドを半導体ペレットのボンディングパッドと端子
リードを交互に行うようにしたので、半導体装置の生産
性及び歩留りを改善できる効果を有する。
第1図は本発明の一実施例を説明するための斜視図、第
2図は半導体ペレットから端子リードへの配線を示す図
、第3図は端子リードから半導体ペレットへの配線を示
す図、第4.5図はそれぞれ従来例を説明するための斜
視図である。 1・・・ボンディングツール、2.2−1〜2−4・・
・ボンディングワイヤ、3・・・半導体ペレット、4.
4−1〜4−4・・・端子リード、5−1〜5−4・・
・ボンディングパッド。
2図は半導体ペレットから端子リードへの配線を示す図
、第3図は端子リードから半導体ペレットへの配線を示
す図、第4.5図はそれぞれ従来例を説明するための斜
視図である。 1・・・ボンディングツール、2.2−1〜2−4・・
・ボンディングワイヤ、3・・・半導体ペレット、4.
4−1〜4−4・・・端子リード、5−1〜5−4・・
・ボンディングパッド。
Claims (1)
- 半導体ペレットのボンディングパッドと端子リード間を
ボンディングワイヤで配線する際に、第一ボンドを交互
にボンディングパッド及び端子リードとすることを特徴
とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110235A JPH02288244A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110235A JPH02288244A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02288244A true JPH02288244A (ja) | 1990-11-28 |
Family
ID=14530526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1110235A Pending JPH02288244A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02288244A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04241432A (ja) * | 1991-01-14 | 1992-08-28 | Rohm Co Ltd | 半導体チップと、これが搭載される基板との間のワイヤボンディング構造 |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP1110235A patent/JPH02288244A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04241432A (ja) * | 1991-01-14 | 1992-08-28 | Rohm Co Ltd | 半導体チップと、これが搭載される基板との間のワイヤボンディング構造 |
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