JPH02288244A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

半導体装置の製造方法

Info

Publication number
JPH02288244A
JPH02288244A JP1110235A JP11023589A JPH02288244A JP H02288244 A JPH02288244 A JP H02288244A JP 1110235 A JP1110235 A JP 1110235A JP 11023589 A JP11023589 A JP 11023589A JP H02288244 A JPH02288244 A JP H02288244A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding
wiring
semiconductor pellet
terminal lead
distance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1110235A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukihiro Tsuji
辻 幸弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
Priority to JP1110235A priority Critical patent/JPH02288244A/ja
Publication of JPH02288244A publication Critical patent/JPH02288244A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711Apparatus therefor
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/01Manufacture or treatment
    • H10W70/05Manufacture or treatment of insulating or insulated package substrates, or of interposers, or of redistribution layers
    • H10W70/093Connecting or disconnecting other interconnections thereto or therefrom, e.g. connecting bond wires or bumps
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711Apparatus therefor
    • H10W72/07141Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07521Aligning
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07541Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature
    • H10W72/07553Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature changes in shapes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/531Shapes of wire connectors
    • H10W72/536Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/531Shapes of wire connectors
    • H10W72/5363Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/531Shapes of wire connectors
    • H10W72/537Multiple bond wires having different shapes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/90Bond pads, in general
    • H10W72/931Shapes of bond pads
    • H10W72/932Plan-view shape, i.e. in top view
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/756Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の製造方法に関し、特に半導体ペレ
ットのボンディングパッドと端子リード間の結線に関す
る。
〔従来の技術〕
従来、この種の配線は第4図及び第5図に示すように、
第一ボンドを端子リード4−1.・・・もしくは半導体
ペレット3のボンディングパッド5−1.・・・とじ、
端子リードからペレット、又はペレットから端子リード
へと一方向にボンディング配線を行っていた。図中の矢
印がボンディング経路を示す。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の半導体装置の製造方法では、第一ボンド
の位置が半導体ペレットもしくは端子リードのいずれか
一方に固定されているので、2点間ボンディングの場合
、ボンディング配線距離よりも、第二ボンド後、次の第
一ボンドまでの移動の距離が長くなるため、生産能力が
低いという欠点があった。又、ループ形状が同一なため
、ワイヤ間の距離が短くなり、配線が傾いた場合は短絡
するという欠点があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体ペレットのボ
ンディングパッドと端子リード間をボンディングワイヤ
で配線する際に、第一ボンドを交互にボンディングパッ
ド及び端子リードとするというものである。
〔実施例〕
次に図面を参照して本発明の実施例について説明する。
第1図は配線中を示す斜視図である。1はボンディング
ツール、2−1.・・・はボンディングワイヤ、3は半
導体ペレット、4−1.・・・は端子リードである。尚
、矢印はボンディング経路を示す。
第2図は半導体ペレット3から端子リード4に配線した
状態を示し、ワイヤループは半導体ペレット3側を高く
する。第3図は端子リード4がら半導体ペレット3に配
線した状態を示し、ワイヤループは端子リード4側を高
くする。
従って、第二ボンド後、次の第一ボンドへの移動距離は
、半導体ペレット及び端子リード間を移動するため、配
線距離よりも短くなり生産能力は向上する。
更に、ワイヤループ形状が交互になるため、配線後のボ
ンディングワイヤ間の距離が長くなり、配線が傾いても
短絡しにくくなる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、ワイヤボンディングの第
一ボンドを半導体ペレットのボンディングパッドと端子
リードを交互に行うようにしたので、半導体装置の生産
性及び歩留りを改善できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を説明するための斜視図、第
2図は半導体ペレットから端子リードへの配線を示す図
、第3図は端子リードから半導体ペレットへの配線を示
す図、第4.5図はそれぞれ従来例を説明するための斜
視図である。 1・・・ボンディングツール、2.2−1〜2−4・・
・ボンディングワイヤ、3・・・半導体ペレット、4.
4−1〜4−4・・・端子リード、5−1〜5−4・・
・ボンディングパッド。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体ペレットのボンディングパッドと端子リード間を
    ボンディングワイヤで配線する際に、第一ボンドを交互
    にボンディングパッド及び端子リードとすることを特徴
    とする半導体装置の製造方法。
JP1110235A 1989-04-27 1989-04-27 半導体装置の製造方法 Pending JPH02288244A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1110235A JPH02288244A (ja) 1989-04-27 1989-04-27 半導体装置の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1110235A JPH02288244A (ja) 1989-04-27 1989-04-27 半導体装置の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02288244A true JPH02288244A (ja) 1990-11-28

Family

ID=14530526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1110235A Pending JPH02288244A (ja) 1989-04-27 1989-04-27 半導体装置の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02288244A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04241432A (ja) * 1991-01-14 1992-08-28 Rohm Co Ltd 半導体チップと、これが搭載される基板との間のワイヤボンディング構造

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04241432A (ja) * 1991-01-14 1992-08-28 Rohm Co Ltd 半導体チップと、これが搭載される基板との間のワイヤボンディング構造

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6318654A (ja) 電子装置
JPH02288244A (ja) 半導体装置の製造方法
JPS6143436A (ja) ボンデイング方法
JPH0287637A (ja) 半導体集積回路装置の製造方法
JPH0399459A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH05235245A (ja) 半導体集積回路装置
JPH0625958Y2 (ja) 半導体装置
JPS6233343Y2 (ja)
JPS63253635A (ja) 半導体装置
JPH0661289A (ja) 半導体パッケージ及びこれを用いた半導体モジュール
JPH0346497Y2 (ja)
CN223347774U (zh) 多基岛引线框架的封装结构
JPH03152966A (ja) 半導体装置用リードフレーム
JPH03167872A (ja) 半導体装置用リードフレーム
JPS62263663A (ja) 電子装置
JPH03169032A (ja) 半導体装置
JPS6222461A (ja) 積層型セラミツクパツケ−ジ
JPH07161908A (ja) 半導体装置
JPH05235244A (ja) リードフレームおよびそれを用いた半導体装置
JPH08222595A (ja) ワイヤーボンディング方法
JPH02205330A (ja) 半導体集積回路装置
JPS63126257A (ja) 半導体装置
JPH04370942A (ja) ワイヤボンデイング方法
JPH0362564A (ja) 半導体装置
JPH02166759A (ja) リードフレーム