JPH0346497Y2 - - Google Patents
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- JPH0346497Y2 JPH0346497Y2 JP1984151361U JP15136184U JPH0346497Y2 JP H0346497 Y2 JPH0346497 Y2 JP H0346497Y2 JP 1984151361 U JP1984151361 U JP 1984151361U JP 15136184 U JP15136184 U JP 15136184U JP H0346497 Y2 JPH0346497 Y2 JP H0346497Y2
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- loop
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本考案は半導体装置、詳しくは一対の半導体ペ
レツトのパツドとリードフレームのリードとの間
に金属細線による複数本のループを設けた半導体
装置に関する。
レツトのパツドとリードフレームのリードとの間
に金属細線による複数本のループを設けた半導体
装置に関する。
(ロ) 従来の技術
第2図イ及び第2図ロに従来の半導体装置の要
部を示す。1は半導体ペレツト、2は半導体ペレ
ツト表面にパターニングされたパツド、3はリー
ドフレームのリード、4はパツド2とリード3を
電気的に接続する金属細線である。同図は大電力
を要する配線部のため、一対のパツド2とリード
3との間に3本の金属細線4によるループが平行
して設けられている。
部を示す。1は半導体ペレツト、2は半導体ペレ
ツト表面にパターニングされたパツド、3はリー
ドフレームのリード、4はパツド2とリード3を
電気的に接続する金属細線である。同図は大電力
を要する配線部のため、一対のパツド2とリード
3との間に3本の金属細線4によるループが平行
して設けられている。
上記の3本のループの形成方法を第3図イ〜ト
を用いて説明する。同図はボンデイングするワイ
ヤーボンダーの要部を、1本のループを形成する
工程順に示している。11は金属細線4の圧着を
行うキヤピラリ、12は金属細線4を引張るクラ
ンプ、13は金属細線の先端に形成された球状の
ボール、14はボール13を形成する放電電極で
ある。先ずキヤピラリ11がペレツト1のパツド
上に移動し(第3図イ参照)、キヤピラリ11が
下降してボール13を圧着し(第3図ロ参照)、
キヤピラリ11が上昇し(第3図ハ参照)、キヤ
ピラリ11がリード3上に移動し(第3図ニ参
照)、キヤピラリ11がリード3上に下降して圧
着し(第3図ホ参照)、キヤピラリ11が一定位
置に上昇してからクランプ14が閉じるとともに
上昇し(第3図ヘ参照)、放電電極14により金
属細線4の先端にボール13を形成する(第3図
ト参照)。
を用いて説明する。同図はボンデイングするワイ
ヤーボンダーの要部を、1本のループを形成する
工程順に示している。11は金属細線4の圧着を
行うキヤピラリ、12は金属細線4を引張るクラ
ンプ、13は金属細線の先端に形成された球状の
ボール、14はボール13を形成する放電電極で
ある。先ずキヤピラリ11がペレツト1のパツド
上に移動し(第3図イ参照)、キヤピラリ11が
下降してボール13を圧着し(第3図ロ参照)、
キヤピラリ11が上昇し(第3図ハ参照)、キヤ
ピラリ11がリード3上に移動し(第3図ニ参
照)、キヤピラリ11がリード3上に下降して圧
着し(第3図ホ参照)、キヤピラリ11が一定位
置に上昇してからクランプ14が閉じるとともに
上昇し(第3図ヘ参照)、放電電極14により金
属細線4の先端にボール13を形成する(第3図
ト参照)。
上記の工程で1本のループを形成した後、再び
第3図イ〜トまでの工程を繰り返し、3本のルー
プを形成する。なお、ループがn本の場合は上記
工程をn回繰り返して形成する。
第3図イ〜トまでの工程を繰り返し、3本のルー
プを形成する。なお、ループがn本の場合は上記
工程をn回繰り返して形成する。
(ハ) 考案が解決しようとする問題点
従来の構造では、そのn本の平行したループを
形成するために第3図イ〜トの工程をn回繰り返
して形成しなければならない。そのため特に多数
のループをボンデイングする場合は時間的な短縮
が難しく、高速化の防げによるという欠点があつ
た。
形成するために第3図イ〜トの工程をn回繰り返
して形成しなければならない。そのため特に多数
のループをボンデイングする場合は時間的な短縮
が難しく、高速化の防げによるという欠点があつ
た。
(ニ) 問題点を解決するための手段
本考案は斯上した欠点に鑑みてなされ、複数本
のループを連続し、折り返して形成することによ
り従来の欠点を除去した。
のループを連続し、折り返して形成することによ
り従来の欠点を除去した。
(ホ) 作用
本考案では複数本のループを連続し、折り返し
て形成しているので、従来のものと比較して形成
する工程を大幅に省略することができる。
て形成しているので、従来のものと比較して形成
する工程を大幅に省略することができる。
(ヘ) 実施例
第1図イ〜ハに本考案による半導体装置の要部
を示す。1は半導体ペレツト、2はペレツト1表
面にパターニングされたパツド、3はリードフレ
ームのリード、4はパツド2とリード3を電気的
に接続する金属細線である。同図において金属細
線4は第1(5)、第2(6)、第3(7)の計3本
のループを形成している。
を示す。1は半導体ペレツト、2はペレツト1表
面にパターニングされたパツド、3はリードフレ
ームのリード、4はパツド2とリード3を電気的
に接続する金属細線である。同図において金属細
線4は第1(5)、第2(6)、第3(7)の計3本
のループを形成している。
本考案の最も特徴とする点は複数本のループを
連続して折り返すように形成した点にある。この
ことは以下に述べる形成方法において重要な効果
をもたらす。
連続して折り返すように形成した点にある。この
ことは以下に述べる形成方法において重要な効果
をもたらす。
以下に本考案のループの形成方法を従来例と同
様に第3図イ〜トを用いて説明する。先ずキヤピ
ラリ11がペレツトのパツド上に移動し(第3図
イ参照)、キヤピラリが下降してボール13を圧
着し(第3図ハ参照)、キヤピラリ11が上昇し
(第3図ハ参照)、キヤピラリ11がリード3上に
移動し(第3図ニ参照)、キヤピラリ11がリー
ド3上に下降して圧着する(第3図ホ参照)。以
上で第1のループ5は形成される。続いて金属細
線4を切断せずにキヤピラリ11が上昇し(第3
図ハと同様)、キヤピラリ11がパツド上に移動
し(第3図ニと同様)、キヤピラリ11がパツド
上に下降して圧着する(第3図ホと同様)。以上
で第2のループ6が形成される。続いて金属細線
4を切断せずに第1のループ5と同様に第3図ハ
〜ホの手順を繰り返し、続けてキヤピラリ11が
一定位置に上昇してからクランプ12を閉じると
ともに上昇し(第3図ヘ参照)、放電電極14に
より金属細線4の先端にボール13を形成する
(第3図ト参照)。以上で第3のループ7が形成さ
れる。
様に第3図イ〜トを用いて説明する。先ずキヤピ
ラリ11がペレツトのパツド上に移動し(第3図
イ参照)、キヤピラリが下降してボール13を圧
着し(第3図ハ参照)、キヤピラリ11が上昇し
(第3図ハ参照)、キヤピラリ11がリード3上に
移動し(第3図ニ参照)、キヤピラリ11がリー
ド3上に下降して圧着する(第3図ホ参照)。以
上で第1のループ5は形成される。続いて金属細
線4を切断せずにキヤピラリ11が上昇し(第3
図ハと同様)、キヤピラリ11がパツド上に移動
し(第3図ニと同様)、キヤピラリ11がパツド
上に下降して圧着する(第3図ホと同様)。以上
で第2のループ6が形成される。続いて金属細線
4を切断せずに第1のループ5と同様に第3図ハ
〜ホの手順を繰り返し、続けてキヤピラリ11が
一定位置に上昇してからクランプ12を閉じると
ともに上昇し(第3図ヘ参照)、放電電極14に
より金属細線4の先端にボール13を形成する
(第3図ト参照)。以上で第3のループ7が形成さ
れる。
以上で本考案のループが形成される。本実施例
では従来例と同じく3本のループを形成してある
が、従来例と比較するとその工程数は大幅に省略
されている。すなわち、第1のループ5では第3
図におけるヘ,トの工程が、第2のループ6では
第3図におけるイ,ロ,ヘ,トの工程が、第3の
ループ7では同様にイ,ロの工程が省略されてい
る。このことは、従来のものと同数のループを形
成しながらボンデイング時間の短縮化が可能であ
り、その効果はループの本数が多数になるほど多
大になる。
では従来例と同じく3本のループを形成してある
が、従来例と比較するとその工程数は大幅に省略
されている。すなわち、第1のループ5では第3
図におけるヘ,トの工程が、第2のループ6では
第3図におけるイ,ロ,ヘ,トの工程が、第3の
ループ7では同様にイ,ロの工程が省略されてい
る。このことは、従来のものと同数のループを形
成しながらボンデイング時間の短縮化が可能であ
り、その効果はループの本数が多数になるほど多
大になる。
なお、本考案によるループの形成は、キヤピラ
リ11の動作がカム式で制御され、第3図イ〜ト
までの工程を1サイクルとして固定されている従
来のワイヤーボンダーではできないが、デジタル
式で第3図イ〜トまでの工程を別々に自由にシー
ケンス制御する最近のワイヤーボンダーで初めて
可能となる。
リ11の動作がカム式で制御され、第3図イ〜ト
までの工程を1サイクルとして固定されている従
来のワイヤーボンダーではできないが、デジタル
式で第3図イ〜トまでの工程を別々に自由にシー
ケンス制御する最近のワイヤーボンダーで初めて
可能となる。
(ト) 考案の効果
本考案により、n本のループを形成する時に一
本のループを形成する工程を全てn回繰り返す必
要がなくなり、ボンデイング時間の大幅な短縮と
高速化が可能となる。
本のループを形成する工程を全てn回繰り返す必
要がなくなり、ボンデイング時間の大幅な短縮と
高速化が可能となる。
本考案の他の効果として、ボンデイングエリア
の縮少があげられる。例えば第1図に示した本考
案による装置において3本のループを形成するの
に非要なパツドとリードの面積(ボンデイングエ
リア)は、第2図に示した従来の装置において3
本のループを平行に形成したボンデイングエリア
のうち約2本分のエリアで済むことが第1図、第
2図から明らかである。このことは、パツドが半
導体ペレツトの中で比較的大きな面積を占めてい
ることから、ペレツトサイズの小型化に寄与する
ものである。
の縮少があげられる。例えば第1図に示した本考
案による装置において3本のループを形成するの
に非要なパツドとリードの面積(ボンデイングエ
リア)は、第2図に示した従来の装置において3
本のループを平行に形成したボンデイングエリア
のうち約2本分のエリアで済むことが第1図、第
2図から明らかである。このことは、パツドが半
導体ペレツトの中で比較的大きな面積を占めてい
ることから、ペレツトサイズの小型化に寄与する
ものである。
第1図イ乃至第1図ハは本考案による半導体装
置の要部を示し、第1図イは要部斜視図、第1図
ロは要部平面図、第1図ハは要部側面図である。
第2図イ及びロは従来の半導体装置の要部を示
し、第2図イは要部平面図、第2図ロは要部側面
図である。第3図イ乃至トはワイヤーボンダーの
キヤピラリ近傍を示し、一本のループを形成する
工程を工程順に示した要部側面図である。 主な図番の説明、1は半導体ペレツト、3はリ
ードフレームのリード、5は第1のループ、6は
第2のループ、7は第3のループ、11はワイヤ
ーボンダーのキヤピラリである。
置の要部を示し、第1図イは要部斜視図、第1図
ロは要部平面図、第1図ハは要部側面図である。
第2図イ及びロは従来の半導体装置の要部を示
し、第2図イは要部平面図、第2図ロは要部側面
図である。第3図イ乃至トはワイヤーボンダーの
キヤピラリ近傍を示し、一本のループを形成する
工程を工程順に示した要部側面図である。 主な図番の説明、1は半導体ペレツト、3はリ
ードフレームのリード、5は第1のループ、6は
第2のループ、7は第3のループ、11はワイヤ
ーボンダーのキヤピラリである。
Claims (1)
- 一対の半導体ペレツトのパツドとリードフレー
ムのリードとの間を金属細線による複数本のルー
プで電気的に接続した半導体装置において、前記
複数本のループは連続し、折り返して形成したこ
とを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984151361U JPH0346497Y2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984151361U JPH0346497Y2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6166939U JPS6166939U (ja) | 1986-05-08 |
| JPH0346497Y2 true JPH0346497Y2 (ja) | 1991-10-01 |
Family
ID=30709476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984151361U Expired JPH0346497Y2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0346497Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0625958Y2 (ja) * | 1987-06-16 | 1994-07-06 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP1984151361U patent/JPH0346497Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6166939U (ja) | 1986-05-08 |
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