JPH0454852B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は既存の建物の室内に簡単かつ短期間に
施工できるクリーンルームに関する。

（従来の技術） 従来のクリーンルームは、気密室に隣接して機
械室を別に設け、この機械室に空調器を設置し
て、例えば気流が垂直流方式の場合には天井と格
子床とをそれぞれダクトで空調器と結合して、気
密室の空気を循環させるものであつた。

（発明の解決しようとする問題点） 従来例では、空調器の設備機器類の据付け、配
管類やダクトの設置等多数の作業項目及び手間を
必要とするため施工が複雑となり、そして短期間
に施工が行えず、またスペースは、機械室の占有
スペースを必要とする分だけ広くなり、規模が大
型化する問題がある。

ところで、各種の産業において、その要求され
るクリーンルームの清浄度はクラスが高いものか
ら低いものまで様々である。例えば半導体の組立
や微生物、細菌を扱う先端技術産業におけるクリ
ーンルームではクラス１のように高い清浄度が要
求されるのに対し、例えば無塵衣の洗濯、食品の
包装等を扱う産業ではクラス10000程度の清浄度
でよく、先端技術産業のような高い清浄度は必ず
しも要求されない。高い清浄度が求められる特殊
な分野におけるクリーンルームでは、性能を高め
るところに重点があるので、上記問題点を具備す
る従来例を用いることもやむを得ないが、低い清
浄度でも十分な一般の分野については、従来例で
は適合しない。また、近時、安価にしかも短期間
に小スペースで建設できるクリーンルームの開発
が期待されている。

本発明の目的は、簡単に短期間で安価に小スペ
ースで建設できるクリーンルームを提供すること
にある。

（問題点を解決するための手段） 本発明のクリーンルームにおいて、複数の門型
フレーム５が建物の床面９上に間隔を置いて所定
方向に並設している。このフレームがクリーンル
ームの主要な構造部材として機能している。隣り
合うフレーム５の側部５ａと５ａとの間、また５
ｂと５ｂとの間に空調ユニツトＡ１，Ａ２が組込
んであり、他の側部間には上記空調ユニツトの作
動を制御するための制御ユニツトＢが組込んであ
る。１の側部間に１台の空調ユニツトＡまたは制
御ユニツトＢが組込まれるものであり、側部間と
ユニツトとは１対１の対応関係にある。空調ユニ
ツトを複数台設けている場合、１台の空調ユニツ
トは熱交換器８ｅ，８ｆを具備することが望まし
い。上記空調ユニツトＡ１，Ａ２が位置する側部
間を除くすべての側部間と側部内とは壁パネル１
３で被覆している。外側に位置するフレームの外
側部内は壁パネル１３で覆つている。壁パネル１
３及び空調ユニツトＡ１，Ａ２が気密室１の内壁
を構成している。気密室１の上部は天井板２４で
覆い、この天井板をフレームの水平部５Ｃに支持
手段６，７，２５で支持している。気密室１内は
密閉手段２６，２７，２９により密閉してある。
空調ユニツトＡ１，Ａ２は薄形の外装ケーシング
８を具備し、このケーシングの室内側の下部に吸
込口８a₁を設け、上部に高性能フイルター８ｊを
備えた吹出口８b₁を設け、ケーシング内に送風機
８ｈを配設し、送風機からの吹出気流を上記吹出
口へ吹出可能としている。空調ユニツトが熱交換
器８ｅ，８ｆを具備する場合には、熱交換器はケ
ーシング８内の吸込口８a₁側に設置し、送風機８
ｈは吹出口８b₁側に位置する。上記制御ユニツト
Ｂは薄形の外装ケーシング１２内に制御機器類を
組込んである。

（作 用） 気密室１内の空気は、空調ユニツトＡ１，Ａ２
の吸込口８a₁からケーシング８内に入り、送風機
８ｈで吹出気流となつてガイド８ｉに案内されて
吹出口のフイルター８ｊを経て、吹出口８b₁から
再び気密室１内に吹出される。空気に含まれるじ
んあいは高性能フイルター８ｊでろ過されて清浄
な空気となつて室内へ吹出される。

（実施例） 第１〜４図において、クリーンルームは気密室
１とその外側に隣接して設けた予備室２とを備
え、この予備室は中央のエアシヤワー室２ａを挟
んで第１図右側が前室２ｂ、左側が後室２ｃとな
つている。仕切壁３に設けたドア４を通じて各室
１，２の出入りができる。

気密室１において、３つの門型フレーム５が
1000mmの間隔をもつて奥行方向（第２図上下方
向）並設し、このフレームが気密室の主要な構造
部材となつている。

各門型フレーム５は、第５〜７図に示すように
側部を構成する口形の側枠５ａ，５ｂと水平部５
ｃを構成する３つの口形の水平枠５c₁，５c₂，５
c₃とを組合わせたものであり、スパン（対向する
側枠５ａ，５ｂの間の距離）が7000mm、高さが
3000mである。水平枠５c₁，５c₂，５c₃のうち、
中央に位置する水平枠５c₁の両側端は、両側に位
置する水平枠５c₂，５c₃の一端と、連結板５ｄ，
５ｄ及びアングル５ｅ，５ｅとボルト５ｆとによ
り連結している。両側の水平枠５c₂，５c₃の他端
は、側枠５ａ，５ｂの上端内側に固着してあるア
ングル５ｇ，５ｇ上にボルト５ｈで固定してある
と共に外側面を側枠に固着してある連結板５ｉ，
５ｉで保持し、ボルト５ｈにより連結板に固定し
てある。各フレーム５の各水平部５ｃは、下面に
位置するチヤンネル材からなる長尺支持材６（第
１８，１９図）で連結し、水平部と長尺支持材と
はクリツプ（図示せず）で相互に結合している。
長尺支持材６はその下面で、断面Ｍ形のバー７
（第１図）を支持している。

また第１〜４図に示すように、隣り合うフレー
ム５の側枠５ａと側枠５ａ，５ｂと５ｂで仕切ら
れた空間（側枠間）のうち、第１図右側の側枠間
には第１空調ユニツトＡ１が組込んであり、第１
図左側の側枠５ｂ間に第２空調ユニツトＡ２が組
込んである。そして第１空調ユニツトＡ１と同一
側の側枠５ａ間には、両空調ユニツトＡ１，Ａ２
の作動を制御するための制御ユニツトＢが組込ん
である。制御ユニツトＢはフレームの側枠５ａを
挟んで第１空調ユニツトＡ１と隣り合い、また第
２空調ユニツトＡ２とは対向位置関係にある。

第１空調ユニツトＡ１は、第８，９図に示すよ
うに高さが約2730mm、幅が995mm、厚みが250mmの
外装ケーシング８を具備し、ケーシング内面にグ
ラスウールを貼つてある。ケーシング８の前面
（第９図左側面）は下部前面板８ａと上部前面板
８ｂとで覆い、ボルト８ｃで各前面板は固定して
ある。下部前面板８ａの下部に吸込口８a₁を設
け、上部前面板８ｂに吹出口８b₁を設けてある。
そしてケーシング８内には吸込口８a₁の背部に近
接して粗じんフイルター８ｄが取り付けてある。
このフイルターの背部に冷房コイル８ｅが取り付
けてあり、コイルの上方に電気ヒーター８ｆが設
けてあり、ヒーターの側方上部に加湿器８ｇが配
設してある。さらに電気ヒーター８ｆの上方に送
風機８ｈが取り付けてあり、この送風機の吹出筒
８h₁に近接してガイドベーン８ｉが設けてある。
このガイドベーンで送風機８ｈからの吹出気流は
整流されて吹出口８b₁へ案内される。送風機８ｈ
は送風機ケーシングを薄形に形成し、羽根は大き
く設定しかつ低速回転モーターで駆動させて、作
動時における騒音発生を抑制している。吹出口８
b₁の背面にはHEPA（High Effciency
Penetration Air）フイルター８ｊが取り付けて
ある。フイルター８ｄの交換、送風機８ｈの補修
等の作業は、ケーシング８の下部前面板８ａを外
すことにより行い、高性能フイルター８ｊの交換
は上部前面板８ｂを外すことにより行う。ケーシ
ング８の取付け状態について説明する。ケーシン
グ８の底面はアンカー部材（図示せず）で床面９
（第４図）に固定してあり、ケーシング側部は第
１０図に示すように固定板１０とボル１１とによ
つてフレーム５の側枠５ａに固定してある。

また第２空調ユニツトＡ２、第１１図に示すよ
うに第１空調ユニツトＡ１と主要部において実質
的に同一であるが、第１空調ユニツトＡ１が有す
る熱交換器８ｅ，８ｆと加湿器８ｇとは具備して
いない。なお、第２空調ユニツトＡ２の構成部分
を示す符号を、第１空調ユニツトＡ１と対応する
部分について一致させてある。第２空調ユニツト
Ａ２の取付け方法も第１空調ユニツトＡ１と同様
である。

制御ユニツトＢは、第１，２図及び第１２，１
３図に示すようにケーシング１２が空調ユニツト
Ａ１，Ａ２のケーシング８とほぼ同一の大きさ
で、内部に組込んだ制御機器類を通じて、空調ユ
ニツトＡ１，Ａ２の送風機８ｈ、熱交換器８ｅ，
８ｆ及びエアシヤワー室２ａの電気的制御を行
う。制御ユニツトＢの取付け状態も上記空調ユニ
ツトＡ１，Ａ２と同様で、ケーシング１２の側部
は第１３図に示すように固定板１０とボルト１１
とによりフレーム５の側枠５ａに固定してある。
ケーシング１２の前面にプレート１２ａが突設し
てあり、背面に裏蓋１２ｂが開閉可能に取り付け
てある。機器数等の点検は、裏蓋１２ｂを外して
行う。

気密室１の内壁は、第１〜４図に示すように壁
パネル１３と空調ユニツトＡ１，Ａ２の前面とで
構成している。

気密室１の第１図左右両側の内壁の構成を説明
する。空調ユニツトＡ１，Ａ２が位置するフレー
ム５の側枠間を除くすべての側枠間を壁パネル１
３で覆つている。壁パネル１３は、第１０図及び
第１３〜１７図に示すように化粧鋼板１３ａとこ
の鋼板の背面全面に貼着してあるプラスターボー
ド１３ｂとからなり、ボードの背面外周及び中央
の上下２段を溝形鋼からなる補強枠１３ｃで補強
してある。そして各フレーム５の両側枠に対応し
て、側枠前方に床面９上に起立したポスト１４が
位置している。ポスト１４は角パイプからなり、
下端部に保持金具１５（第１５，１６図）が取り
付けてあり、この金具をボルト１６で床面９に固
定することによりポストを床面上に固定してい
る。各ポスト間には壁パネル１３が組んである。
ポスト１４の両側から、壁パネル１３の両側部に
取り付けてある側部補強枠１３c₁がこのポストを
抱持し、壁パネルの側部における安定的な保持を
図つている。また壁パネル１３の下部は、第１
４，１５図及び第１７図に示すように床面９に設
置した座板１７上に直立する支持ボルト１８にナ
ツト１９で固定したベース兼用受部材２０上で支
持している。１枚の壁パネル１３に対して２個の
支持ボルト１８が対応している。受部材２０は溝
形鋼からなり、支持ボルト１８によつて水平状態
に取り付けてあり、受部材の上部で壁パネル１３
の下部補強枠１３c₂を嵌合状態に受けている（第
１７図）。壁パネル１３の高さ調整は、ナツト１
９を回して受部材２０のレベルを上下動させるこ
とにより行う。また壁パネル１３の上部は第４図
及び第１８図に示すように断面溝形の長い保持部
材２１で支持してある。

また第２図及び第１９図に示すように気密室１
の外側面を覆う壁パネルのうち、第３図及び第１
９図右側の内壁を構成する壁パネルの支持方法は
上記空調ユニツトＡ１側の壁パネルのそれと実質
的に同一である。左側の壁パネル１３は予備室２
の壁パネル２２と結合して、気密室１と予備室２
とを仕切る仕切壁３を構成している。壁パネル２
２の構成は第１９〜２２図に示すように壁パネル
１３のそれと実質的に同一構成である。壁パネル
１３を２２とは、補強枠１３ｃと２２ｃとを介し
て嵌合し、両パネルの側部の補強枠１３c₁，２２
c₁は床面９に起立固定したポスト１４を抱持して
いる。床面９へのポスト１４の固定方法は上述し
たポストの固定方法（第１６図）と実質的に同一
である。パネル１３，２２の下部は、第２２図に
示すようにボルト１８に取り付けたベース兼用受
部材２０上に下部補強枠１３c₁を嵌合させること
により支持してある。２２c₂は下部補強枠であ
る。ナツト１９の動作によつて受部材２０のレベ
ル調整ができる。パネル１３，２２の上部は、上
記保持部材２１と実質的には同一構成の保持部材
２３で保持している（第１８図）。

また気密室１の天井板２４はグラスウール板か
らなる。第１図及び第１８，１９図に示すように
天井板２４を保持する保持バー２５は長尺支持材
６に吊持した断面Ｍ形のバー７で支持している。

さらに気密室１の密閉方法下記のとおりであ
る。すなわち第１空調ユニツトＡ１と壁パネル１
３との間隙は、第１０図に示すようにケーシング
８の側面とポスト１４との間隙にバツクアツプ材
の前面に弾性シーリング材２７を充填して上記間
隙をシールしている。同様の方法で第２空調ユニ
ツトＡ２と壁パネル１３との間隙をシールしてい
る。壁パネル１３同士のジヨイント部分の間隙
は、第１３，１４図及び第２１図に示すように隣
り合うパネルの間隙にバツクアツプ材２６及び弾
性シーリング材２７を配することによりシールし
ている。さらに気密室１のコーナー部分、例えば
窓付き壁パネル１３Ａ（第１図）と壁パネル１３
との交点部分の間隙は、第２３図に示すように壁
パネルの側面と壁パネルの側端部前面との間にバ
ツクアツプ材２６と弾性シーリング材２７とを配
設することにより、シールしている。２８はカバ
ー板である。他のコーナー部分も実質的に同様の
方法でシールしている。

また床面９と内壁下部との間隙のシール方法
は、第３，４図、第１２図及び第１４〜１７図に
示すように床面９上面全面に塩化ビニール製シー
リングシート２９を敷き、シートの外周辺部を内
壁の下面に接着して、上記間隙を封止するもので
ある。シート２９の外周辺部が幅木を兼用してい
る。天井板２４の外周も第１８，１９図に示すよ
うに弾性シーリング材２７でシールしている。

なお、予備室２の入口ドア３０を有する壁３１
は上記仕切壁３と同一構成であり、他の壁は気密
室１の仕切壁と対向する外側の壁と実質的に同一
構成である。

次にクリーンルームの組立について説明する。

まず３つのフレーム５を床面９上に等間隔を置
いて設置し、フレーム水平部５ｃ間を長尺支持材
６で連結する。つぎにポスト１４を第２図に示す
ようにフレーム５の各側枠５ａ及び５ｂに沿つて
等間隔を置いて立設し、そして最外側のフレーム
の対向する側枠５ａと５ｂとの間にも等間隔を置
いて立設し、ポスト下端部をボルト１６で床面９
に固定する。その後第１空調ユニツトＡ１と制御
ユニツトＢとを一方の側枠５ａ側の所定の側枠間
に組込み、他方の側枠５ｂ側には制御ユニツトＢ
と対向位置する側枠間に第２空調ユニツトＡ２を
組込む。この際、空調ユニツトＡ１と制御ユニツ
トＢとは隣り合わせにならないようにし、常に側
枠５ａを挟んで位置するようにする。

そしてポスト１４間の床面９上に支持ボルト１
８及び受部材２０をセツトし、セツト後ポスト間
に壁パネル１３を組込み、パネル下部を受部材上
に載せ、側部の補強枠１３c₁をポストの両側に当
て、パネル上部を保持部材２１，２３で支持す
る。その後天井板２４を張設し、床面９上全面に
シーリングシート２９を敷き、シートの外周辺部
を内壁の下部に接着し、さらに気密室内をバツク
アツプ材２６及び弾性シーリング材２７を用いて
密閉する。予備室２の組立は、気密室１の組立と
並行して行う。

次に作用について説明する。

制御ユニツトＢを操作して、第１空調ユニツト
Ａ１の送風機８ｈ、熱交換器８ｅ，８ｆ、加湿器
８ｇが第２空調ユニツトＡ２の送風機８ｈを作動
させると、気密室１内の空気は第１空調ユニツト
Ａ１のケーシング８の吸込口８a₁から第８図矢印
に示すようにフイルター８ｄを経て却コイル８ｅ
及び電気ヒーター８ｆを通過して、送風機８ｈに
入り、吹出気流となつてガイドバー８ｉによつて
上昇し、HEPAフイルター８ｊを通過して、清
浄な空気となつて吹出口８b₁から室内へ水平に吹
出される。空気は冷却コイル８ｅにより冷却さ
れ、また電気ヒーター８ｆにより緩められる。

同時に、室内の空気は、第２空調ユニツトＡ２
の吸込口８a₁から第１１図矢印に示すようにケー
シング８内に吸込まれて、HEPAフイルター８
ｊで清浄化されて吹出口８b₁から水平に再び室内
に吹出される。

第２空調ユニツトＡ２から吹出される空気の気
密室内の気流分布を第２４図に、じんあい濃度分
布を第２５図にそれぞれ示す。３２は、室内に置
いてある机である。気流は、室内の空調ユニツト
Ａ１側が停滞していることが判る。第２５図にお
いて、円３３がじんあいを表現し、半径が長い程
じんあいは大きくなる。発塵源の近傍に大きなじ
んあいが浮遊していることが判る。

気密室１内の清浄度を、床上の各地点で1500
mm、1000mm及び500mmの３段階のレベルで測定し
た結果を第２６図及び第２７図に示す。第２６図
では空調ユニツトの１台を運転した場合を示し、
第２７図は２台を運転した場合である。そして両
図において室内の35個所で清浄度を測定し、測定
地点を〇印で特定し、各地点に数字１〜３５まで
の番号を付し、奇数番号の地点について清浄度を
記してある。

まず第２６図について説明する。この図では、
空調ユニツトＡ１のみを運転した場合における各
測定地点の清浄度を示している。第２６図(i)は床
上方の1500mmのレベルで測定したもので、清浄度
は例えば測定地点１ではクラス７６０、測定地点
２５ではクラス１１００であり、平均値はクラス
１１９０である。第２６図(ii)では、床上方の1000
mmレベルで測定したもので、清浄度の平均値はク
ラス９６０である。第２６図(iii)では床上方の500
mmレベルで測定したもので、清浄度の平均値はク
ラス７７０である。測定地点２５で清浄度を比較
すると、床上500mmレベルでクラス２６０と最も
清浄度が高く、次いで1000mmレベルでクラス１０
７０で、1500mmレベルの場合が最も低くクラス１
１００である。

ついで第２７図について説明する。この図で
は、空調ユニツトＡ１とＡ２の２台を運転した場
合である。第２７図(i)は床上方の1500mmのレベル
で清浄度を測定したもので、平均値はクラス９７
０であり、第２７図(ii)及び(iii)は床上レベル1000m
及び500mmでそれぞれ測定したもので、平均値は
クラス１１２０及びクラス８５０である。

床上1500mmレベルで、空調ユニツトを２台運転
した場合と、１台運転した場合との清浄度を比較
すると、例えば測定地点２５では前者の場合には
クラス７７０であるのに対し、後者の場合にはク
ラス１１００となつている。このことから空調ユ
ニツトの台数を増せば清浄度が高くなり、さらに
清浄度を高くする必要がある場合には、第２図鎖
線に示すように空調ユニツトＡ１と対向する位置
関係にある側枠間に、空調ユニツトＡ２と同様の
空調ユニツトＡ３を設ける。

空調ユニツトを据付ける台数は、気密室のスパ
ン（側枠５ａと５ｂとの距離）により、要求され
る清浄度により、または発塵量の多少により適宜
選択する。

また気密室１を増設した場合には第２図上方に
延ばして行く。第２図示の例で増設する場合に
は、予備室２側のフレーム５を基準として第３番
目のフレーム（第２図最上部に位置するフレー
ム）から100mm離して第４番目のフレームを設置
すればよい。増設により空調ユニツトが必要とな
れば、第３番目と第４番目のフレームとの両側部
間又は一方の側部間に空調ユニツトを据付ければ
よい。

気密室に設ける空調ユニツトは１台のみであつ
てもよいが、上例のように２台据付ければ清浄度
を高めることができる。そして２台の据付位置を
対向側にそれぞれ設定すれば、気密室のスパンが
長い場合に、また高い清浄度を求められる場合に
それぞれ適合する。気密室の床面９と内壁との密
閉手段として、上記のシーリングシート２９を用
いれば、密閉が確実となり、密閉作業が簡単かつ
迅速に行える。

（発明の効果） 本発明によれば、フレームの側部間に空調ユニ
ツト及び制御ユニツトを組込み、壁パネルと天井
板とで気密室を仕切るだけで、施工ができ、現場
での設備工事が配線工事だけですむので、施工が
簡単かつ短期間にでき、施工コストも安価とな
る。そして従来のように機械室は不要であるので
建物規模を小さくすることができる。さらに必要
に応じて規模の拡大（増設）、縮少ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一部省略斜視図、第２図は横断面図、
第３図は第１図−線断面図、第４図は第２図
−線断面図、第５図は門型フレームの組立図
及び分解図、第６図は門型フレームの上部の拡大
正面図、第７図は門型フレームの水平部の一部の
拡大平面図、第８図は第１空調ユニツトの一部切
欠正面図、第９図は第８図−線断面図、第１
０図は第１空調ユニツトとフレームとの連結状態
を拡大して示す断面図、第１１図は第２空調ユニ
ツトの一部切欠正面図、第１２図は制御ユニツト
の立設状態を拡大して示す縦断面図、第１３図は
第１２図−線断面図、第１４図は壁パネ
ルのジヨイント部分の横断面図、第１５図は壁パ
ネルのジヨイント部分の下部を示す一部切欠正面
図、第１６図は第１５図−線断面図、第
１７図は第１５図−線断面図、第１８図
は第２図−拡大断面図、第１９図は第２
図−線拡大断面図、第２０図は仕切壁の
一部分解斜視図、第２１図は第２０図−
線拡大断面図、第２２図は第２０図−
線拡大断面図、第２３図は気密室のコーナ
ー部分の納まり状態を拡大して示す横断面図、第
２４図は気密室内の気流分布を示す説明図、第２
５図は気密室内のじんあい濃度分布を示す説明
図、第２６図は空調ユニツトを１台運転した場合
における気密室内の清浄度を３段階のレベルで測
定した値を示す図、第２７図は空調ユニツトを２
台運転した場合における気密室内の清浄度を３段
階のレベルで測定した値を示す図である。 １……気密室、５……フレーム、５ａ，５ｂ…
…側部、５ｃ……水平部、８……外装ケーシン
グ、８a₁……吸込口、８b₁……吹出口、８ｅ，８
ｆ……熱交換器、８ｈ……送風機、８ｊ……高性
能フイルター、９……床面、１２……外装ケーシ
ング、１３……壁パネル、２４……天井板、２
６，２７，２９……密閉手段、Ａ１，Ａ２，Ａ３
……空調ユニツト、Ｂ……制御ユニツト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 建物の床面上に間隔を置いて所定方向に並設
   した複数の門型フレームと、 隣り合うフレームの側部間内に組込み、内壁の
   一部を構成する少なくとも１台の空調ユニツト
   と、この空調ユニツトが位置する側部間を除く他
   の側部間に組込んである上記空調ユニツトを制御
   する制御ユニツトと、 隣り合うフレームの側部間のうち、上記空調ユ
   ニツトが位置する側部間を除く側部間とフレーム
   の側部内とをそれぞれ覆う壁パネルと、外側に位
   置しているフレームの外側部を覆う壁パネルと、 壁パネルで仕切つてある気密室の上部を覆う天
   井板と、 気密室内を密閉する密閉手段と、 を具備し、上記空調ユニツトは薄形の外装ケーシ
   ングを具備し、このケーシングの室内側の下部に
   吸込口を、上部に高性能フイルターを備えた吹出
   口をそれぞれ設け、ケーシング内に送風機を配設
   し、送風機の吹出気流は上記吹出口へ吹出可能で
   あり、上記制御ユニツトは薄形の外装ケーシング
   内に制御機器類を組込んであるものであることを
   特徴とするクリーンルーム。 ２ 特許請求の範囲第１項において、空調ユニツ
   トは少なくとも２台からなり、一方の空調ユニツ
   トのケーシング内に熱交換器を組込んであること
   を特徴とするクリーンルーム。 ３ 特許請求の範囲第２項において、一方の空調
   ユニツトと他方の空調ユニツトとの設置位置が対
   向側であることを特徴とするクリーンルーム。 ４ 特許請求の範囲第１項において、気密室の内
   壁下部と床面との間隙を密閉する密閉手段は、上
   記間隙と床面全面を覆うシートであることを特徴
   とするクリーンルーム。