JPH0616406B2 - ストロボ電子ビームによる電圧波形測定方法 - Google Patents
ストロボ電子ビームによる電圧波形測定方法Info
- Publication number
- JPH0616406B2 JPH0616406B2 JP61044672A JP4467286A JPH0616406B2 JP H0616406 B2 JPH0616406 B2 JP H0616406B2 JP 61044672 A JP61044672 A JP 61044672A JP 4467286 A JP4467286 A JP 4467286A JP H0616406 B2 JPH0616406 B2 JP H0616406B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- voltage waveform
- voltage
- delay
- delay time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 電子ビーム装置による試料の電圧波形測定には時間誤差
が含まれている。本発明はトリガパルスに対する電子ビ
ームパルスの遅延時間の誤差を測定して、電子ビームパ
ルスの照射のタイミングを補正する。あるいは得られた
電圧波形の時間軸を補正する。これにより、時間誤差の
少ない測定が行なえる。
が含まれている。本発明はトリガパルスに対する電子ビ
ームパルスの遅延時間の誤差を測定して、電子ビームパ
ルスの照射のタイミングを補正する。あるいは得られた
電圧波形の時間軸を補正する。これにより、時間誤差の
少ない測定が行なえる。
本発明は、電子ビームによって試料の電圧を測定する電
子ビーム装置に係り、特に試料のくりかえし動作に同期
して電子ビームパルスを試料に照射して電圧測定を行
い、試料の電圧波形を求めるストロボ電子ビーム装置に
関する。
子ビーム装置に係り、特に試料のくりかえし動作に同期
して電子ビームパルスを試料に照射して電圧測定を行
い、試料の電圧波形を求めるストロボ電子ビーム装置に
関する。
電子ビーム装置、特にストロボ電子ビーム装置における
電圧測定は非接触であるので、集積回路等の試料を破壊
することなく測定できる特徴を有している。この特徴に
よりＬＳＩ等の集積回路の内部動作の解析にはストロボ
電子ビーム装置すなわちＥＢプローバによる電圧波形測
定が用いられている。
電圧測定は非接触であるので、集積回路等の試料を破壊
することなく測定できる特徴を有している。この特徴に
よりＬＳＩ等の集積回路の内部動作の解析にはストロボ
電子ビーム装置すなわちＥＢプローバによる電圧波形測
定が用いられている。
一般的に、ストロボ電子ビーム装置における電圧測定
は、試料の繰り返し周期動作に同期したトリガパルスに
対して遅延時間を設けて電子ビームパルスを試料に照射
し、それによって発生する２次電子量を用いて電圧を求
めている。そして、前述した遅延時間を可変にして、試
料の動作周期の波形を測定している。
は、試料の繰り返し周期動作に同期したトリガパルスに
対して遅延時間を設けて電子ビームパルスを試料に照射
し、それによって発生する２次電子量を用いて電圧を求
めている。そして、前述した遅延時間を可変にして、試
料の動作周期の波形を測定している。
従来のストロボ電子ビーム装置においては、ストロボ電
子ビームパルスの照射制御を行なう制御回路のストロボ
パルス発生回路に時間的なドリフトすなわち不安定性が
あると、電子ビームパルスの照射位相にゆらぎが生じ、
取得電圧波形の時間分解能が制限される。すなわち時間
分解能が低下してしまう。
子ビームパルスの照射制御を行なう制御回路のストロボ
パルス発生回路に時間的なドリフトすなわち不安定性が
あると、電子ビームパルスの照射位相にゆらぎが生じ、
取得電圧波形の時間分解能が制限される。すなわち時間
分解能が低下してしまう。
たとえば、第８図のＥＢパルスのドリフトを説明する図
で明確な様に、位相φo、φi、φnに対し、時間的に前
後したドリフトが発生している。このドリフトが発生す
る場合には、特に立上りの急しゅんなパルス波形を測定
すると、Ｓ／Ｎの良好な波形を得るための複数回測定し
た結果を平均して求めるので、ドリフトによって等価的
に高域フィルタが挿入されたごとくの波形となる。たと
えば第９図点線の波形を測定した場合には第９図実線の
様な波形となってしまう。
で明確な様に、位相φo、φi、φnに対し、時間的に前
後したドリフトが発生している。このドリフトが発生す
る場合には、特に立上りの急しゅんなパルス波形を測定
すると、Ｓ／Ｎの良好な波形を得るための複数回測定し
た結果を平均して求めるので、ドリフトによって等価的
に高域フィルタが挿入されたごとくの波形となる。たと
えば第９図点線の波形を測定した場合には第９図実線の
様な波形となってしまう。
また、ゆらぎすなわちドリフトの他に、トリガパルスに
対してストロボパルス発生回路が応答して特定時間遅ら
してストロボ電子ビームパルスを発生する時に、目的の
特定時間遅れに誤差があると、求めた電圧波形の時間軸
も同様の誤差となり、求める時間に対する精度が低下す
る。
対してストロボパルス発生回路が応答して特定時間遅ら
してストロボ電子ビームパルスを発生する時に、目的の
特定時間遅れに誤差があると、求めた電圧波形の時間軸
も同様の誤差となり、求める時間に対する精度が低下す
る。
本発明は上記従来の欠点に鑑み、時間的分解能と精度が
高いストロボ電子ビーム装置を提供することを目的とす
る。
高いストロボ電子ビーム装置を提供することを目的とす
る。
本発明は上記目的を達成するために、トリガパルス信号
に対して順次遅延時間を設けて電子ビームパルスを試料
に照射し、該試料により発生する二次電子をエネルギー
分析して試料の電圧を遅延時間に対応して求め、前記試
料の電圧波形を測定する電子ビームによる電圧波形測定
方法におけるものである。
に対して順次遅延時間を設けて電子ビームパルスを試料
に照射し、該試料により発生する二次電子をエネルギー
分析して試料の電圧を遅延時間に対応して求め、前記試
料の電圧波形を測定する電子ビームによる電圧波形測定
方法におけるものである。
そして、本願の第１の発明は、前記トリガパルス信号に
対する電子ビームパルスの遅延時間の誤差をあらかじめ
求め、電圧波形を測定して遅延時間に対応させてアドレ
スを変化させて電圧波形を記憶する際に、前記誤差を補
正したアドレスで指示して測定した電圧値を記憶して補
正することを特徴とする。また、第２の発明は、前記ト
リガパルス信号に対する電子ビームパルスの遅延時間の
ドリフトによる誤差を電圧波形を測定する前にあらかじ
め求め、電圧波形の測定時に前記あらかじめ求めたドリ
フトによる誤差に応じて補正を行って前記電子ビームパ
ルスを試料に照射することを特徴とする。
対する電子ビームパルスの遅延時間の誤差をあらかじめ
求め、電圧波形を測定して遅延時間に対応させてアドレ
スを変化させて電圧波形を記憶する際に、前記誤差を補
正したアドレスで指示して測定した電圧値を記憶して補
正することを特徴とする。また、第２の発明は、前記ト
リガパルス信号に対する電子ビームパルスの遅延時間の
ドリフトによる誤差を電圧波形を測定する前にあらかじ
め求め、電圧波形の測定時に前記あらかじめ求めたドリ
フトによる誤差に応じて補正を行って前記電子ビームパ
ルスを試料に照射することを特徴とする。
トリガパルス信号に対して遅延時間を有する電子ビーム
パルスを試料に照射し、該試料より発生する二次電子を
エネルギー分析して試料の電圧を測定する。この電圧測
定に先立ち、トリガパルス信号に対する電子ビームパル
スの遅延時間の誤差を求める。そして、電圧測定結果を
記憶する記憶手段に、前記遅れ時間に対応して格納する
アドレス値を補正して格納する。あるいは、得られた誤
差データに応じて前記電子ビーム照射の遅延時間を補正
する。
パルスを試料に照射し、該試料より発生する二次電子を
エネルギー分析して試料の電圧を測定する。この電圧測
定に先立ち、トリガパルス信号に対する電子ビームパル
スの遅延時間の誤差を求める。そして、電圧測定結果を
記憶する記憶手段に、前記遅れ時間に対応して格納する
アドレス値を補正して格納する。あるいは、得られた誤
差データに応じて前記電子ビーム照射の遅延時間を補正
する。
以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。
｛第１の補正｝ 第１図は本発明の第１の実施例の回路構成図である。Ｉ
Ｃドライバ１は電子ビーム鏡筒の下部に設けられた試料
台３上のＩＣ４を動作させる。このＩＣ４は、ＩＣドラ
イバ１によってくりかえし動作する。ＩＣドライバ１
は、このＩＣをくりかえし動作される他にＩＣ４のくり
かえし動作の開始を表わすクロックパルスをディレイユ
ニット５に出力する。ディレイユニット５は後述する記
憶回路６より加わるディレイデータで指示される時間分
の遅れを有するクロックパルスを出力する回路である。
Ｃドライバ１は電子ビーム鏡筒の下部に設けられた試料
台３上のＩＣ４を動作させる。このＩＣ４は、ＩＣドラ
イバ１によってくりかえし動作する。ＩＣドライバ１
は、このＩＣをくりかえし動作される他にＩＣ４のくり
かえし動作の開始を表わすクロックパルスをディレイユ
ニット５に出力する。ディレイユニット５は後述する記
憶回路６より加わるディレイデータで指示される時間分
の遅れを有するクロックパルスを出力する回路である。
一般的に電子ビームによる電圧測定は被測定部をくりか
えし動作させ、そのくりかえし動作中のＥＢパルスを照
射するタイミングを前述したディレイユニット５で変化
して、くりかえし動作における被測定部の電圧波形を求
めている。第１図に示した本発明の実施例においても前
述した様に同様であり、ディレイユニット５からはＩＣ
ドライバ１より出力される基本クロック（ＩＣ４の動作
開始のクロックパルス）に対して記憶回路６より出力さ
れるディレイデータ分遅れて出力される。そして、ディ
レイユニット５より出力されたクロックパルスの入力に
よって偏向器駆動手段７はパルス状の偏向電圧を電子ビ
ーム鏡筒内の副偏向器８に印加する。また、更にディレ
イユニット５より出力されたクロックパルスは固定ディ
レイ回路９に加わり、特定の遅延が設けられて偏向器駆
動手段１０に入力され、パルス状の偏向電圧が主偏向器
１１に加わる。電子ビーム鏡筒２内のビーム装置の原理
は一般的であるので、説明は略す。副偏向器８ならびに
主偏向器１１は絞り板（図中には記載されていない）上
で電子ビームを偏向することによって電子ビームパルス
を発生するものであり、ディレイユニット５によって出
力されるクロックパルスに同期してＥＢパルスが発生さ
れる。尚、主偏向器１１の下部はビームの位置の集束を
制御するコイル等１２が設けられている。
えし動作させ、そのくりかえし動作中のＥＢパルスを照
射するタイミングを前述したディレイユニット５で変化
して、くりかえし動作における被測定部の電圧波形を求
めている。第１図に示した本発明の実施例においても前
述した様に同様であり、ディレイユニット５からはＩＣ
ドライバ１より出力される基本クロック（ＩＣ４の動作
開始のクロックパルス）に対して記憶回路６より出力さ
れるディレイデータ分遅れて出力される。そして、ディ
レイユニット５より出力されたクロックパルスの入力に
よって偏向器駆動手段７はパルス状の偏向電圧を電子ビ
ーム鏡筒内の副偏向器８に印加する。また、更にディレ
イユニット５より出力されたクロックパルスは固定ディ
レイ回路９に加わり、特定の遅延が設けられて偏向器駆
動手段１０に入力され、パルス状の偏向電圧が主偏向器
１１に加わる。電子ビーム鏡筒２内のビーム装置の原理
は一般的であるので、説明は略す。副偏向器８ならびに
主偏向器１１は絞り板（図中には記載されていない）上
で電子ビームを偏向することによって電子ビームパルス
を発生するものであり、ディレイユニット５によって出
力されるクロックパルスに同期してＥＢパルスが発生さ
れる。尚、主偏向器１１の下部はビームの位置の集束を
制御するコイル等１２が設けられている。
ＩＣ４に照射された電子ビームによってＩＣ４からは２
次電子が発生し、エネルギー分析器１３を介して２次電
子検出器１４で検出される。エネルギー分析器１３には
電圧測定回路１５より特定の電圧が印加されており、２
次電子検出器１４で検出される２次電子信号量は、この
エネルギー分析器１３に加わる電圧に依存した値とな
る。本発明の実施例においては２次電子検出器１４から
得られる２次電子信号量が特定値となる様なエネルギー
分析器１３に加える電圧を求めることにより電子ビーム
パルス照射点の照射タイミングにおける電圧値を算出し
ている。よって電圧測定回路１５は固定ディレイ回路９
より出力されるクロックパルスによって、２次電子検出
器１４からの信号量を求め、その値が特定値となる様に
クロックパルス単位でエネルギー分析器１３に加える電
圧を制御している。そして、２次電子信号量が特定値と
なった時のエネルギー分析器１３の電圧値より、試料す
なわちＩＣ４の電圧値を算出している。一般的には前述
した電圧値を電子ビームパルス照射点の電子ビームパル
ス照射位相の電圧値としているが、本発明の実施例にお
いては目的の時間遅れで電子ビームがＩＣ４に照射され
ているかを検出する電圧波形モニタ１６を有している。
遅れ時間の誤差や変動は、回路からも明確な様にＩＣド
ライバ１ディレイユニット５、固定ディレイ９、偏向器
ドライバ１０より発生する。電圧波形モニタ１６は、Ｉ
Ｃ４を駆動する駆動波形をトリガにして偏向電圧波形を
モニタする機能を有し、このモニタ機能によって前述し
た遅延時間の誤差や変動を検出することができる。そし
て、ここで得られた遅延時間の誤差データは記憶回路６
に加わる。
次電子が発生し、エネルギー分析器１３を介して２次電
子検出器１４で検出される。エネルギー分析器１３には
電圧測定回路１５より特定の電圧が印加されており、２
次電子検出器１４で検出される２次電子信号量は、この
エネルギー分析器１３に加わる電圧に依存した値とな
る。本発明の実施例においては２次電子検出器１４から
得られる２次電子信号量が特定値となる様なエネルギー
分析器１３に加える電圧を求めることにより電子ビーム
パルス照射点の照射タイミングにおける電圧値を算出し
ている。よって電圧測定回路１５は固定ディレイ回路９
より出力されるクロックパルスによって、２次電子検出
器１４からの信号量を求め、その値が特定値となる様に
クロックパルス単位でエネルギー分析器１３に加える電
圧を制御している。そして、２次電子信号量が特定値と
なった時のエネルギー分析器１３の電圧値より、試料す
なわちＩＣ４の電圧値を算出している。一般的には前述
した電圧値を電子ビームパルス照射点の電子ビームパル
ス照射位相の電圧値としているが、本発明の実施例にお
いては目的の時間遅れで電子ビームがＩＣ４に照射され
ているかを検出する電圧波形モニタ１６を有している。
遅れ時間の誤差や変動は、回路からも明確な様にＩＣド
ライバ１ディレイユニット５、固定ディレイ９、偏向器
ドライバ１０より発生する。電圧波形モニタ１６は、Ｉ
Ｃ４を駆動する駆動波形をトリガにして偏向電圧波形を
モニタする機能を有し、このモニタ機能によって前述し
た遅延時間の誤差や変動を検出することができる。そし
て、ここで得られた遅延時間の誤差データは記憶回路６
に加わる。
記憶回路６からは前述した様にクロックパルスを指定時
間だけ遅らせるディレイデータがディレイユニットに加
わっており、それぞれのディレイデータに対応した電圧
測定値が電圧測定回路１５より記憶回路６に加わるが、
記憶回路６は電圧波形モニタ１６より出力される遅延時
間誤差を考慮して記憶回路６内のメモリに記憶する。
尚、電圧測定回路１５には、固定ディレイ回路９の出力
が加わっており、電圧測定回路はこの出力からのクロッ
クパルスによって２次電子信号データをサンプリングす
る。
間だけ遅らせるディレイデータがディレイユニットに加
わっており、それぞれのディレイデータに対応した電圧
測定値が電圧測定回路１５より記憶回路６に加わるが、
記憶回路６は電圧波形モニタ１６より出力される遅延時
間誤差を考慮して記憶回路６内のメモリに記憶する。
尚、電圧測定回路１５には、固定ディレイ回路９の出力
が加わっており、電圧測定回路はこの出力からのクロッ
クパルスによって２次電子信号データをサンプリングす
る。
第２図は電圧波形モニタ１６で得られる主偏向器をドラ
イブする波形（主偏向電圧波形）を表わす電圧波形図で
ある。破線は電圧波形測定開始時においてディレイユニ
ット５に例えば遅延時間φｏを指定した場合の、また実
線は測定途中の遅延時間φｉを指定した場合の主偏向電
圧波形とする。電子ビームパルスは主偏向電圧の立上り
部が０Ｖを横切る瞬間に発生するのでそれぞれの指定遅
延時間に対する電子ビームパルス発生タイミングは
ｔｏ，ｔｉであることがわかるクロックパルスに対して
加えられた遅延時間に誤差や変動がなければφｉ−φ０
＝ｔｉ−ｔｏが正確に成立するはずである。言い換える
と遅延時間φｉを指定してもφｏ＋（ｔｉ−ｔｏ）＝φ
ｊが成立するならばクロックパルスに対して実際に加え
られた遅延は誤差や変動のためφｊになっていることが
検出される。
イブする波形（主偏向電圧波形）を表わす電圧波形図で
ある。破線は電圧波形測定開始時においてディレイユニ
ット５に例えば遅延時間φｏを指定した場合の、また実
線は測定途中の遅延時間φｉを指定した場合の主偏向電
圧波形とする。電子ビームパルスは主偏向電圧の立上り
部が０Ｖを横切る瞬間に発生するのでそれぞれの指定遅
延時間に対する電子ビームパルス発生タイミングは
ｔｏ，ｔｉであることがわかるクロックパルスに対して
加えられた遅延時間に誤差や変動がなければφｉ−φ０
＝ｔｉ−ｔｏが正確に成立するはずである。言い換える
と遅延時間φｉを指定してもφｏ＋（ｔｉ−ｔｏ）＝φ
ｊが成立するならばクロックパルスに対して実際に加え
られた遅延は誤差や変動のためφｊになっていることが
検出される。
前述した様に記憶回路６はこの誤差を考慮して電圧測定
値をメモリに格納するが、この考慮すなわち誤差補正
は、メモリへ格納するアドレス位置を変化させて行って
いる。なぜならば、指定遅延時間を変化させながら求め
た一連の電圧測定データは上記モニタ手段によって検出
された実際の遅延時間に対応するアドレス位置のメモリ
に格納されるからである。すなわち、遅延時間φｏ，
…，φｉ，…，φｊ，…，φｎ，…に対応して第３図に
示す様にアドレスｏ…ｉ…ｊ…ｎ…に、それぞれデータ
Ｓｏ…Ｓｉ…Ｓｊ…Ｓｎ…が格納されるが、指定遅延時
間φｉに対して測定された電圧値データは、アドレスｉ
に格納するのではなく、上記のモニタ手段で検出された
実際の遅延時間φｊに対応するアドレスに格納すること
により遅延時間の誤差が補正される。
値をメモリに格納するが、この考慮すなわち誤差補正
は、メモリへ格納するアドレス位置を変化させて行って
いる。なぜならば、指定遅延時間を変化させながら求め
た一連の電圧測定データは上記モニタ手段によって検出
された実際の遅延時間に対応するアドレス位置のメモリ
に格納されるからである。すなわち、遅延時間φｏ，
…，φｉ，…，φｊ，…，φｎ，…に対応して第３図に
示す様にアドレスｏ…ｉ…ｊ…ｎ…に、それぞれデータ
Ｓｏ…Ｓｉ…Ｓｊ…Ｓｎ…が格納されるが、指定遅延時
間φｉに対して測定された電圧値データは、アドレスｉ
に格納するのではなく、上記のモニタ手段で検出された
実際の遅延時間φｊに対応するアドレスに格納すること
により遅延時間の誤差が補正される。
尚、２次電子信号に含まれるノイズによる電圧測定値の
バラツキを低減するため、電圧測定回路１５は同一の指
定遅延時間に対し複数回の電圧測定を行ない、得られる
電圧データを記憶回路６内で加算平均する。
バラツキを低減するため、電圧測定回路１５は同一の指
定遅延時間に対し複数回の電圧測定を行ない、得られる
電圧データを記憶回路６内で加算平均する。
すなわち上記の補正と併せて説明すると、遅延時間φｉ
を指定して得られた電圧測定値データを、上記モニタ手
段で検出された実際の遅延時間φｊに対応するアドレス
ｊの前回までの加算デーＳｊに加算したものをアドレス
ｊに格納すると共にアドレスｊに対するデータ加算個数
カウンタの内容を１つ進める。この一連の動作を同一の
指定遅延時間φｉで繰り返すと共に指定遅延時間を順次
変化させる。
を指定して得られた電圧測定値データを、上記モニタ手
段で検出された実際の遅延時間φｊに対応するアドレス
ｊの前回までの加算デーＳｊに加算したものをアドレス
ｊに格納すると共にアドレスｊに対するデータ加算個数
カウンタの内容を１つ進める。この一連の動作を同一の
指定遅延時間φｉで繰り返すと共に指定遅延時間を順次
変化させる。
以上の動作によれば各アドレスのデータ加算個数が不揃
いとなるので本発明では第４図に示す様にそれぞれの遅
延時間φｏ〜φｎに対応するアドレス０，…，ｎに対
し、電圧測定データの加算個数がＡより大となった時に
そのアドレスに対する加算を終了し、得られた加算値を
加算されたデータ個数Ａで割って、その電圧値としてい
る。
いとなるので本発明では第４図に示す様にそれぞれの遅
延時間φｏ〜φｎに対応するアドレス０，…，ｎに対
し、電圧測定データの加算個数がＡより大となった時に
そのアドレスに対する加算を終了し、得られた加算値を
加算されたデータ個数Ａで割って、その電圧値としてい
る。
制御用計算機１７と記憶回路６とは接続されており、制
御用計算機１７より記憶回路６内のメモリに格納された
データをアドレス順に読出すことによって、遅れ誤差が
補正されたデータを読出すことになる。例えば制御用計
算機１７に接続されている表示装置１８に電圧波形を表
示しても、その表示装置で表示される電圧波形は時間の
遅れ誤差が補正された波形となる。
御用計算機１７より記憶回路６内のメモリに格納された
データをアドレス順に読出すことによって、遅れ誤差が
補正されたデータを読出すことになる。例えば制御用計
算機１７に接続されている表示装置１８に電圧波形を表
示しても、その表示装置で表示される電圧波形は時間の
遅れ誤差が補正された波形となる。
以上の動作によってディレイ・ユニットの誤差や電気回
路の不安定性によるドリフトの影響を除去でき、時間軸
の精度が高い電圧波形データが得られる。
路の不安定性によるドリフトの影響を除去でき、時間軸
の精度が高い電圧波形データが得られる。
｛第２の補正｝ 本発明の第１の実施例においては、時間の誤差を求め、
結果が格納されるアドレス値を変更して補正を行なって
いる。第５図は本発明の第２の実施例の回路構成図であ
り、この場合には、後述するが主偏向器ならびに副偏向
器に加える信号を遅延して補正を行なっている。尚、第
１図と同じ回路は同一符号を付して、説明を略す。
結果が格納されるアドレス値を変更して補正を行なって
いる。第５図は本発明の第２の実施例の回路構成図であ
り、この場合には、後述するが主偏向器ならびに副偏向
器に加える信号を遅延して補正を行なっている。尚、第
１図と同じ回路は同一符号を付して、説明を略す。
試料４すなわちＩＣは、ＩＣドライバ１でくりかえし駆
動され、その繰り返し駆動の初期時点を表わすクロック
パルスがディレイユニット５と電圧波形モニタ１６に加
わる。ディレイユニット５は制御用計算機１７′より出
力されるディレイデータに対応して加わるクロックパル
スを遅延する回路である。そして、目的の時間遅らせた
クロックパルス５はさらに補正用ディレイユニット１９
に加わり、さらに補正時間遅れてクロックパルスが偏向
器ドライバ７と固定ディレイ回路９に加わる。以後の電
圧測定動作は第１の実施例と同様であり、電圧測定回路
１５で測定された電圧データが記憶回路６′に加わる。
第１図に示した本発明の実施例においては記憶回路６に
おけるメモリの格納アドレスで時間補正を行なっている
が、第５図に示す本発明の実施例においては、ここでの
補正は行なわず、測定結果を順次記憶回路６′内のメモ
リの指定遅延時間に対応するアドレスに格納する。そし
て、制御用計算機１７′で記憶回路６′の内容を読出す
ことによって電圧波形を読出すことができる。一方、電
圧波形モニタ１６′にはＩＣドライバ１のクロックパル
ス出力がトリガとして、また増幅器１０の出力がモニタ
波形として加わっている。制御用計算機１７′からの制
御信号でドライバ１から出力されたクロックパルスに対
し、主偏向器ドライバ１０からの出力が目的の時間遅れ
て加わっており、この時間遅れが電圧波形モニタ１６′
で検出されて制御用計算機１７′に加わる。制御用計算
機はその遅れ時間データが目的の遅れ時間であるかを求
め、その差分値分、補正用ディレイユニット１９に加え
る補正遅延データを変化させ、前述した遅延時間を目的
の値となるようにする。
動され、その繰り返し駆動の初期時点を表わすクロック
パルスがディレイユニット５と電圧波形モニタ１６に加
わる。ディレイユニット５は制御用計算機１７′より出
力されるディレイデータに対応して加わるクロックパル
スを遅延する回路である。そして、目的の時間遅らせた
クロックパルス５はさらに補正用ディレイユニット１９
に加わり、さらに補正時間遅れてクロックパルスが偏向
器ドライバ７と固定ディレイ回路９に加わる。以後の電
圧測定動作は第１の実施例と同様であり、電圧測定回路
１５で測定された電圧データが記憶回路６′に加わる。
第１図に示した本発明の実施例においては記憶回路６に
おけるメモリの格納アドレスで時間補正を行なっている
が、第５図に示す本発明の実施例においては、ここでの
補正は行なわず、測定結果を順次記憶回路６′内のメモ
リの指定遅延時間に対応するアドレスに格納する。そし
て、制御用計算機１７′で記憶回路６′の内容を読出す
ことによって電圧波形を読出すことができる。一方、電
圧波形モニタ１６′にはＩＣドライバ１のクロックパル
ス出力がトリガとして、また増幅器１０の出力がモニタ
波形として加わっている。制御用計算機１７′からの制
御信号でドライバ１から出力されたクロックパルスに対
し、主偏向器ドライバ１０からの出力が目的の時間遅れ
て加わっており、この時間遅れが電圧波形モニタ１６′
で検出されて制御用計算機１７′に加わる。制御用計算
機はその遅れ時間データが目的の遅れ時間であるかを求
め、その差分値分、補正用ディレイユニット１９に加え
る補正遅延データを変化させ、前述した遅延時間を目的
の値となるようにする。
前述した動作によって、ディレイユニット５の誤差や電
気回路系の不安定性による遅延時間のドリフトが検出さ
れ、補正用ディレイユニット１９で補正される。よって
電圧測定回路１５で測定され、記憶回路６′に格納され
たデータは目的の時間遅れに対する電圧値となる。すな
わち制御用計算機１７′で記憶回路６′の内容を読取っ
た時には精度の高い波形データを得ることができる。
気回路系の不安定性による遅延時間のドリフトが検出さ
れ、補正用ディレイユニット１９で補正される。よって
電圧測定回路１５で測定され、記憶回路６′に格納され
たデータは目的の時間遅れに対する電圧値となる。すな
わち制御用計算機１７′で記憶回路６′の内容を読取っ
た時には精度の高い波形データを得ることができる。
第６図に示す様に、波形データ測定開始時の指定遅延時
間φ０に対する電子ビームパルス発生タイミングを
ｔ０、測定途中における指定遅延時間φｉに対する電子
ビームパルス発生タイミングをｔｉとする。尚、前者に
対する主偏向電圧波形を破線で、また後者に対する主偏
向電圧波形を実線で示した。
間φ０に対する電子ビームパルス発生タイミングを
ｔ０、測定途中における指定遅延時間φｉに対する電子
ビームパルス発生タイミングをｔｉとする。尚、前者に
対する主偏向電圧波形を破線で、また後者に対する主偏
向電圧波形を実線で示した。
指定遅延時間をφｉとしても誤差やドリフトがあるとφ
ｉ−φ０＝ｔｉ−ｔ０が成立しない。言い換えるとφｉ
を指定した時の電子ビームパルスの発生タイミング（主
偏向電圧が０Ｖを横切る瞬間）がｔ０＋（φｉ−φ０）
であれば（主偏向電圧波形を一点鎖線で示す）、誤差の
無い遅延が行われていることになる。
ｉ−φ０＝ｔｉ−ｔ０が成立しない。言い換えるとφｉ
を指定した時の電子ビームパルスの発生タイミング（主
偏向電圧が０Ｖを横切る瞬間）がｔ０＋（φｉ−φ０）
であれば（主偏向電圧波形を一点鎖線で示す）、誤差の
無い遅延が行われていることになる。
従って本発明の第２の実施例では必要な補正量＝ｔ０＋
（φｉ−φ０）−ｔｉを算出し、補正用ディレイユニッ
ト１９によってこの補正を行う。
（φｉ−φ０）−ｔｉを算出し、補正用ディレイユニッ
ト１９によってこの補正を行う。
第７図は、前述した補正用ディレイユニットの回路構成
図である。ディレイユニット５の出力は増幅器２０を介
して同軸線２１に加わり、増幅器２２をさらに介して固
定ディレイ回路９、偏向器ドライバ７へ出力される。ま
た、同軸線２１と増幅器２２の接続点にはバリキャップ
２３が接続されており、このバリキャップ２３の容量の
変化に対応して増幅器２０に加わったパルスの遅延時間
が調整される。このパリキャップ２３の容量はデジタル
アナログ変換回路ＤＡＣの出力電圧によって決定される
ものであり、デジタルアナログ変換回路には制御用計算
機１７′からの補正デジタルデータが加わっているの
で、このデジタルデータによって遅延時間が可変可能と
なる。尚、本発明の第２の実施例においては、第７図に
示した回路における遅延時間は、波形測定の初期状態に
おいては、遅延時間の調整範囲の中央付近に設定するこ
とが望ましい。なぜならば補正用ディレイユニット１９
には負の補正（遅延時間を減じる）が指定されることが
あるからである。
図である。ディレイユニット５の出力は増幅器２０を介
して同軸線２１に加わり、増幅器２２をさらに介して固
定ディレイ回路９、偏向器ドライバ７へ出力される。ま
た、同軸線２１と増幅器２２の接続点にはバリキャップ
２３が接続されており、このバリキャップ２３の容量の
変化に対応して増幅器２０に加わったパルスの遅延時間
が調整される。このパリキャップ２３の容量はデジタル
アナログ変換回路ＤＡＣの出力電圧によって決定される
ものであり、デジタルアナログ変換回路には制御用計算
機１７′からの補正デジタルデータが加わっているの
で、このデジタルデータによって遅延時間が可変可能と
なる。尚、本発明の第２の実施例においては、第７図に
示した回路における遅延時間は、波形測定の初期状態に
おいては、遅延時間の調整範囲の中央付近に設定するこ
とが望ましい。なぜならば補正用ディレイユニット１９
には負の補正（遅延時間を減じる）が指定されることが
あるからである。
以上述べた様に本発明は、電圧波形モニタによって、第
１には求めるべき遅延時間の電圧測定に時間誤差が発生
した時に、メモリに格納すべき時間に対応したアドレス
位置を補正して正しい遅れ時間に対する波形をメモリに
格納する様にしたものであり、また、第２には、電子ビ
ームを照射する時間誤差を補正する様にしたものであ
り、本発明によれば時間分解能と精度が高いストロボ電
子ビーム装置を得ることができる。
１には求めるべき遅延時間の電圧測定に時間誤差が発生
した時に、メモリに格納すべき時間に対応したアドレス
位置を補正して正しい遅れ時間に対する波形をメモリに
格納する様にしたものであり、また、第２には、電子ビ
ームを照射する時間誤差を補正する様にしたものであ
り、本発明によれば時間分解能と精度が高いストロボ電
子ビーム装置を得ることができる。
第１図は、本発明の実施例の回路構成図、 第２図は、電圧波形図、 第３図は、メモリ構成図、 第４図は、測定データ回数を説明する図、 第５図は、本発明の第２の実施例の回路構成図、 第６図は、電圧波形図、 第７図は、補正用ディレイユニット回路構成図、 第８図は、ＥＢパルスのドリフトを説明する図、 第９図は、従来回路による電圧波形図である。 ６……記憶回路、 １５……電圧波形モニタ、 １６、１６′……電圧波形モニタ、 １９……補正用ディレイユニット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大窪 和生 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 石塚 俊弘 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−143644（ＪＰ，Ａ)
Claims (7)
- 【請求項１】トリガパルス信号に対して順次遅延時間を
設けて電子ビームパルスを試料に照射し、該試料により
発生する二次電子をエネルギー分析して試料の電圧を遅
延時間に対応して求め、前記試料の電圧波形を測定する
電子ビームによる電圧波形測定方法において、 前記トリガパルス信号に対する電子ビームパルスの遅延
時間の誤差をあらかじめ求め、 電圧波形を測定して遅延時間に対応させてアドレスを変
化させて電圧波形を記憶する際に、前記誤差を補正した
アドレスで指示して測定した電圧値を記憶して補正する
ことを特徴とするストロボ電子ビームによる電圧波形測
定方法。 - 【請求項２】前記遅延時間の誤差を前記電圧波形の観測
の初期に電子ビームパルス発生タイミングをモニタして
求め、 前記補正したアドレスは、前記モニタして求めた遅延時
間の誤差分、遅延時間に対するアドレスの進みを補正し
たものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のストロボ電子ビームによる電圧波形測定方法。 - 【請求項３】前記遅延時間の誤差は電圧波形の観測の初
期に電子ビームパルス発生タイミングをモニタして求め
られ、前記電圧値の記憶は前記誤差を補正したアドレス
への書き込みあるいは、該アドレスのデータへの加算で
あることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のスト
ロボ電子ビームによる電圧波形測定方法。 - 【請求項４】前記電圧値の記憶は、各記憶するアドレス
に対する加算データ個数が特定値となるまでの累算であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のストロ
ボ電子ビームによる電圧波形測定方法。 - 【請求項５】トリガパルス信号に対して順次遅延時間を
設けて電子ビームパルスを試料に照射し、該試料により
発生する二次電子をエネルギー分析して試料の電圧を遅
延時間に対応して求め、前記試料の電圧波形を測定する
電子ビームによる電圧波形測定方法において、 前記トリガパルス信号に対する電子ビームパルスの遅延
時間のドリフトによる誤差を電圧波形を測定する前にあ
らかじめ求め、 電圧波形の測定時に前記あらかじめ求めたドリフトによ
る誤差に応じて補正を行って前記電子ビームパルスを試
料に照射することを特徴とするストロボ電子ビームによ
る電圧波形測定方法。 - 【請求項６】前記誤差に応じた補正は、トリガパルス信
号の前記順次遅延時間を設けるための遅延とは別に遅延
することを特徴とする特許請求の範囲第５項記載のスト
ロボ電子ビームによる電圧波形測定方法。 - 【請求項７】前記遅延の誤差は電子ビームパルス発生タ
イミングをモニタして求められ、 前記補正は観測の初期状態における特定ディレイに対す
る電圧波形データと観測途中の各ディレイに対する電圧
波形データとから求めた各ディレイに対する必要補正量
の遅延であることを特徴とする特許請求の範囲第６項記
載のストロボ電子ビームによる電圧波形測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61044672A JPH0616406B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | ストロボ電子ビームによる電圧波形測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61044672A JPH0616406B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | ストロボ電子ビームによる電圧波形測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62202448A JPS62202448A (ja) | 1987-09-07 |
| JPH0616406B2 true JPH0616406B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=12697934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61044672A Expired - Lifetime JPH0616406B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | ストロボ電子ビームによる電圧波形測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616406B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0834089B2 (ja) * | 1990-03-01 | 1996-03-29 | 三菱電機株式会社 | 一次電子着地誤差の補正方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143644A (ja) * | 1983-12-29 | 1985-07-29 | Fujitsu Ltd | 電子ビ−ム装置 |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP61044672A patent/JPH0616406B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62202448A (ja) | 1987-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0124373B2 (ja) | ||
| JPS59148877A (ja) | 掃引波形発生器用自動校正装置 | |
| US5416426A (en) | Method of measuring a voltage with an electron beam apparatus | |
| JPH0616406B2 (ja) | ストロボ電子ビームによる電圧波形測定方法 | |
| JPH0666665B2 (ja) | 傾斜信号校正方法及びデジタル・タイム・ベース回路 | |
| JPS58219465A (ja) | Ｄ／ａコンバ−タ用試験装置 | |
| US4868465A (en) | Sweep generator error characterization | |
| GB2132058A (en) | Waveform display apparatus | |
| US3584309A (en) | Method and means for compensating amplitude and time drifts in sampled waveform systems | |
| JPH06103293B2 (ja) | 超音波測定装置のａ／ｄ変換処理方式 | |
| KR100239928B1 (ko) | 오실로스코프의 수평축 전자눈금 교정하는 방법 및 장치 | |
| JPH0682719B2 (ja) | ストロボ電子ビ−ム装置 | |
| JPH0664158B2 (ja) | 自動時間間隔測定方法 | |
| JPH073775B2 (ja) | ストロボ電子ビ−ム装置 | |
| JPS6176963A (ja) | 電子ビ−ムによる電圧測定装置 | |
| JPH1010206A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JPH01153983A (ja) | 電子ビームによる電位測定方法および装置 | |
| JPS60143642A (ja) | ストロボ電子ビ−ム装置 | |
| JPH0685199B2 (ja) | 高精度移相装置 | |
| JPH05264659A (ja) | 遅延時間発生制御回路 | |
| JPS60143644A (ja) | 電子ビ−ム装置 | |
| JPH0614068B2 (ja) | 遅延掃引装置 | |
| JPS59225539A (ja) | ストロボ電子ビ−ム装置 | |
| JPH0356864A (ja) | 電子ビーム装置 | |
| JPS60113161A (ja) | 出力波形の計測調整装置 |