JPH06350010A - 半導体装置、その製造方法、及びリードフレーム - Google Patents

半導体装置、その製造方法、及びリードフレーム

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JPH06350010A
JPH06350010A JP5165248A JP16524893A JPH06350010A JP H06350010 A JPH06350010 A JP H06350010A JP 5165248 A JP5165248 A JP 5165248A JP 16524893 A JP16524893 A JP 16524893A JP H06350010 A JPH06350010 A JP H06350010A
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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 マウントパッド31をＩＣチップ10よりも小さ
くしたリードフレームを使用した半導体パッケージ53
と、マウントパッド嵌入凹部51を有するヒータインサー
ト38を用いたワイヤボンディングによるパッケージ製造
方法。 【効果】 マウントパッド−樹脂間の剥離がなく、クラ
ックが樹脂に入ることがなく、或いはクラックが大幅に
減少し、また、封止樹脂の反りを阻止できる。また、ボ
ンディングを安定かつ効率よく行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置（特に半導
体集積回路（ＩＣ）チップを樹脂封止したパッケージ構
造）、その製造方法、及びリードフレームに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣチップの実装構造として、図
19〜図20に示すものが知られており、この実装に際して
図21に示すリードフレーム材１が使用されることがあ
る。
【０００３】このリードフレーム材１は全体が金属（例
えば42アロイ、銅合金、銅など）で形成されており、リ
ードフレーム外枠２と、これらの内側位置に四方に放射
状に延びる多数のインナーリード７からなるリードフレ
ーム部８とがエッチング等により一体成形されている。
【０００４】即ち、リードフレーム部８においては、そ
の各辺側で各アウターリード６が線状の連結部（ダムバ
ー）９によって連結されており、これらの連結部はリー
ドフレーム部８の各隅部で外枠２に一体化されている。
【０００５】そして、ＩＣチップ10は、これよりも面積
の大きい四角形状のマウントパッド（ダイパッド）11上
にマウントされている。マウントパッド11には、これを
支持するサポートピン12が連設され、上記隅部にて外枠
２に一体化されている。なお、図中の４はリードフレー
ム材位置決め用穴である。
【０００６】こうしたリードフレーム材１を用いて図22
〜図24に示すように固定、ワイヤボンディング、更には
樹脂封止された半導体パッケージ13は、図19〜図21のよ
うに、マウントパッド11上に銀ペースト14でマウント
（固着）され、ワイヤ15によってパッド17がインナーリ
ード７にボンディングされ、更に全体がエポキシ系等の
樹脂16で封止された構造となっている。図20中、一点鎖
線は封止樹脂16の外部ライン、二点鎖線はＩＣチップ10
の位置を示す。
【０００７】このパッケージ13を製造するには、まず、
図22に拡大図示したように、マウントパッド11上に銀ペ
ースト14によってＩＣチップ10をマウントする。
【０００８】そして次に、図23のように、ワイヤボンデ
ィング時には、マウントパッド11に対して下側からヒー
タ部材（ヒータインサート又はヒータブロック）18を接
触させ、マウントパッド11を支持すると同時にヒータの
熱がボンディング部（パッド17）に伝達されるようにし
ている。
【０００９】ワイヤボンディングは、熱及び超音波エネ
ルギーを加えながら、ワイヤ15をキャピラリ19によって
ボンディングパッド17に結合し、更に矢印20のようにイ
ンナーリード７へ導き、圧着することによって行う。
【００１０】
【発明に至る経過】上記したように、従来のパッケージ
構造においては、ＩＣチップ10のマウントパッド11はＩ
Ｃチップ10よりも大きく形成されていたが、これは主と
して次の如き理由によるものである。
【００１１】まず、上記のボンディングに際し、図24に
示すように、仮に、マウントパッド11がＩＣチップ10よ
りも小さくした場合、マウントパッド11の周辺部がヒー
タインサート18に接触しなくなるため、キャピラリ19に
よる超音波作用時にＩＣチップ10が傾いてその保持が不
安定となり、超音波エネルギーが有効に使われず、ま
た、ヒータインサート18からの熱がＩＣチップ10へ効率
よく伝達されないため、不完全なボンディングが行われ
ることになる。このため、マウントパッド11をＩＣチッ
プ10よりも小さくすることは、当業者をして常識的に考
えつくものではなかった。
【００１２】また、樹脂封止されたパッケージ13を図25
又は図26に示すようにしてプリント配線板21上の回路パ
ターン22に対しハンダ付けするに際し、ハンダ23をハン
ダリフロー（例えば赤外線照射によるＩＲリフロー）に
よって溶融させ、更に固化させるが、図示の如くに樹脂
16中にクラック24が入ってしまうことがある。
【００１３】これまで、パッケージ13の全厚が十分であ
ると、上記の如きクラック24は入り難いが、特に近年の
ように薄型化、大チップ化が求められると、上記の如き
マウントパッド11では図25のように樹脂16との界面で剥
離部25が生じ易くなり、パッド11のエッジ11ａからクラ
ック24が入る現象がしばしば観察される。
【００１４】これは、パッケージが保存されている周囲
の水蒸気をモールド樹脂中に吸い込み、この水蒸気はリ
ードフレームと樹脂との間で凝縮して水となり、ＩＲリ
フロー時にこの水が水蒸気となって急激に膨張し、所謂
水蒸気爆発を起こし、樹脂をリードフレームから剥がす
ためである。また、上述の現象を助長させる原因として
マウントパッド、ＩＣチップ及び樹脂の異なる熱膨張係
数の差によって、樹脂成型、硬化完了後にパッケージ内
部に歪みが残存し、反りを生じ、パッケージ自体が変形
してしまう程になることもある。
【００１５】また、上記したクラックの他の原因とし
て、ＩＣチップ10を固着する銀ペースト14は極めて吸湿
性の大きい物質であるため、その吸湿水分がＩＲリフロ
ー等の加熱時に水蒸気爆発を起こすことが挙げられる。
【００１６】即ち、図26に示すように、銀ペースト14の
部分に上述と同様の現象によって凝縮した水が水蒸気爆
発を起こすことによってパッド11を変形させ、樹脂16に
も多大なストレスを与え、クラック24が特にパッド11の
エッジ11ａから生じてしまうのである。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、封止
樹脂のクラックや反りの発生を著しく減少させ或いは防
止できる半導体装置とそのリードフレームを提供するこ
とにある。
【００１８】本発明の他の目的は、この半導体装置の製
造に際し、半導体素子とリードとのボンディングを安定
かつ効率よく行える製造方法を提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、半導体
素子がこれよりも小さいマウント部（例えばマウントパ
ッド及び／又はサポートピンの付加的なマウント部）上
に固定された状態で樹脂封止されている半導体装置、及
び上記マウント部を有するリードフレームに係るもので
ある。
【００２０】本発明の半導体装置及びリードフレームに
おいては、上記マウントパッドのマウント面に凹部が形
成され、この凹部に半導体素子固定用の固着剤が充填さ
れていることが望ましい。そして、マウントパッドの側
面が半導体素子マウント面からその反対面にかけて内向
きに傾斜していることが望ましい。
【００２１】また、マウントパッドを支持するサポート
ピンの側面が半導体素子マウント側からその反対面にか
けて内向きに傾斜していることもよい。また、サポート
ピンに付加的なマウント部が設けられ、このマウント部
にも半導体素子が固定されることができる。この場合、
サポートピンの付加的なマウント部に凹部が形成され、
この凹部に半導体素子固定用の固着剤が充填されている
のがよい。
【００２２】本発明の半導体装置は、上記したリードフ
レーム（特に、半導体素子よりも小さいマウントパッド
を有するリードフレーム）に対し、ヒータ部材に形成さ
れた嵌入凹部にマウントパッド及び／又はサポートピン
を嵌入させ、この状態で、前記マウントパッド及び／又
はサポートピンに固定された半導体素子の裏面に前記ヒ
ータ部材を接触させ、前記半導体素子と前記リードフレ
ームのインナーリード部とをボンディングする方法によ
って製造することが望ましい。
【００２３】この製造方法に用いる上記ヒータ部材に
は、上記マウントパッドのサポートピンの嵌入凹部も形
成するのがよい。そして、マウントパッド嵌入凹部をマ
ウントパッドよりも大きくすることが望ましい。
【００２４】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【００２５】図１〜図８は、本発明の第１の実施例を示
すものである。本実施例においては、既述した従来例と
共通する部分には共通符号を付してその説明を省略する
ことがある。
【００２６】本実施例の半導体パッケージ53及びリード
フレーム41によれば、ＩＣチップ10をマウント（固定）
する四角形状のマウントパッド（ダイパッド）31が、既
述した当業者の常識に反し、ＩＣチップ10よりも小さく
形成されていることが大きな特徴である。
【００２７】また、もう一つの重要な特徴は、マウント
パッド31のチップマウント面に四角形状の凹部30が形成
され、この凹部内に銀ペースト等の固着剤34が充填され
てＩＣチップ10の固着に供されると共に、マウントパッ
ド31とＩＣチップ10との接合面50には固着剤34が付着し
ていないこと（即ち、固着剤34による固着面はマウント
パッド31のマウント面とほぼ同一平面内に存在するこ
と）である。
【００２８】マウントパッド31の面積は、ＩＣチップ10
のチップサイズの15〜40％としてよいが、後述するハン
ドリング時にＩＣチップ10が位置ずれしたり或いは銀ペ
ースト量による影響や応力を考慮すると、小さい程好ま
しいと考えられる。例えば、ＩＣチップ10のサイズを８
mm×８mmとしたとき、マウントパッド31は４mm×４mm程
度（ＩＣチップ10の約25％の面積）が適当であると思わ
れる。
【００２９】このようなマウントパッド31はこのサポー
トピン32（更には各リード６、７等）と共に、図５のよ
うにリードフレーム41としてエッチング等により一体成
形されるものである。そして、マウントパッド31の凹部
30は、図３に斜線で示すようにハーフエッチングで形成
可能であるが、その深さｄは図４に示すように、銀ペー
スト34の厚み分（例えば約30μｍ程度）としてよい。
【００３０】なお、上記のリードフレーム41において
は、リードフレーム部８の４つの隅部のうち１つの隅部
（図５では右上の隅部）のみが図21のものと同様にリー
ドフレーム外枠２に直接的に固定されるが、他の３つの
隅部は夫々３つの蛇行状折曲部22、23、24を介してリー
ドフレーム外枠２に連結されている。このリードフレー
ム41によれば、ワイヤボンディングの如き熱工程におい
て外枠２とリードフレーム部８との間に温度差が生じて
も、上下、左右等の方向に生じ得る歪み応力が折曲部2
2、23、24の弾性変形によって効果的に吸収されること
になる。この結果、リードフレーム部８自体の寸法位置
精度（リードの間隔等）が向上し、またリードフレーム
材自体の歪みがなくなるので、搬送性が良くなり、スム
ーズな搬送が可能となる。
【００３１】しかも、ＩＣチップのマウント後に樹脂封
止したとき、樹脂の収縮によってリード６、７を引っ張
ろうとする力が生じても、これは折曲部22、23、24の変
形によって吸収され、このためにリードフレーム材の歪
みや変形を防止でき、耐湿性等の信頼性も向上する。
【００３２】次に、上記のリードフレーム41を使用して
ＩＣチップ10をマウント及びボンディングする工程を説
明する。
【００３３】まずＩＣチップ10を図４の如くにマウント
パッド31上に銀ペースト34によって固着（マウント）す
る。銀ペースト34は予めマウントパッド31の凹部30内に
充填されている。
【００３４】次に図６及び図７に示すように、マウント
パッド31及びサポートピン32を嵌入させるための四角形
状の凹部51及び放射状の線状凹部（溝）52を設けたヒー
タ部材（ヒータインサート）38を用意する。図７では、
凹部51、52を斜線で図示している。
【００３５】そして、図８のように、ヒータ部材（ヒー
タインサート又はヒータブロック）38に設けられた各凹
部51及び52にマウントパッド31及びサポートピン32を嵌
入させると、ＩＣチップ裏面はヒータ部材に接触するこ
とになる。また、ＩＣチップの周囲では、インナーリー
ド７の先端領域部は、ヒータ部材表面の段差39が設けら
れているため、インナーリードクランプ70（図６参照）
により押圧されると確実にヒータ部材に接触することに
なり、既述のように熱的にも機械的にも安定した接触が
確保され、安定したボンディングが行われることにな
る。ＩＣチップ周囲では、ヒータ部材の各凹部51及び52
とマウントパッド31及びサポートピン32との間には約 5
00μｍ弱の隙間を設けておくのがよい。
【００３６】ワイヤボンディングは、既述したと同様
に、熱及び超音波エネルギーを加えながら、ワイヤ15を
キャピラリ19によってパッド17に結合し、更に矢印20の
ようにインサートリード７へ導き、圧着する。
【００３７】この際、マウントパッド31が上記したよう
に小さく形成されていてもヒータインサート38に十分に
支持されるため、安定にワイヤボンディングを行え、か
つ、ヒータの熱をヒータインサート38からＩＣチップ10
へ直接伝達でき、熱効率が損なわれることはない。
【００３８】なお、ヒータインサート38に破線で示すよ
うな貫通孔54を設け、この貫通孔を通して真空吸引する
ことによってＩＣチップ10をヒータインサート38上に吸
着させ、安定に支持することができる。また、これ以外
にも、ＩＣチップ10をヒータインサート38に対しクラン
パ（図示せず）等によって機械的に固定してもよい。
【００３９】ワイヤボンディング終了後は、常法に従っ
て、図１に示したように樹脂16によって封止し、アウタ
ーリード６の不要部分を切断し、半導体パッケージ53を
作製する。
【００４０】上記したことから明らかなように、本実施
例によるパッケージ及びリードフレームは、マウントパ
ッド31がＩＣチップ10よりも小さく形成され、かつ、凹
部30内に銀ペースト34を充填しているため、次の (1)〜
(5) の如き顕著な作用効果を得ることができる。
【００４１】(1) マウントパッド31が小さいため、その
分だけパッド31の近傍での水分が少なくなり、かつパッ
ド31による熱膨張、収縮の差による歪みも少なくなり、
加熱したとき（例えばＩＲリフローや樹脂封止時）に図
25で説明したような水蒸気爆発によるパッド31−樹脂16
間の剥離がなく、クラックが樹脂に入ることがなく、或
いはクラックが大幅に減少する。
【００４２】(2) この場合、パッド31の周囲においてＩ
Ｃチップ10に対し樹脂16が直接接着しているので、一般
にシリコン（ＩＣチップ10）とエポキシ樹脂（封止樹脂
16）との接着性が非常に良好であることによって、樹脂
16とＩＣチップ10の界面剥離が起き難く、既述の水がこ
の界面に集まり、水蒸気爆発を起こすチャンスを一層減
ずることになる。
【００４３】(3) しかも、銀ペースト34はパッド31の凹
部30内に充填され、ＩＣチップ10−パッド31の接合面50
上にはみ出すことがなく、また、銀ペースト量も減少さ
せることができるため、コストダウンを図れる上に、銀
ペーストに寄因する水分の放出、拡散、更には吸蔵ガス
の放出が少なく、図26で示した如き水蒸気爆発により樹
脂16にクラックが入ることがなく、或いはクラックが大
幅に減少する。そして、樹脂16として低応力のエポキシ
樹脂を使用しなくてすみ、これによって銀ペーストから
放出されようとするガス量を更に少なくできる。
【００４４】(4) 銀ペースト34が凹部30に充填されるた
め、マウントパッド31と銀ペースト34とＩＣチップ10と
の合計厚みが、図19の従来例に比べて銀ペーストの厚み
分だけ（例えば、約30μｍ）小さくなり、パッケージ化
したときの全厚を薄くすることができる。
【００４５】(5) マウントパッド31が小さいために、そ
の上にマウントするＩＣチップ10のサイズはマウントパ
ッド31のサイズに依存しないことになり、マウントでき
るチップサイズの自由度が大きくなる。
【００４６】また、本実施例によるパッケージの製造方
法は、マウントパッド嵌入凹部51を設けたヒータインサ
ート38を使用し、かつ、ＩＣチップ10を周辺で直接支持
してボンディングを行うものであるため、次の (6)〜
(7) の顕著な作用効果を奏する。
【００４７】(6) ワイヤボンディングに際しては、図６
〜図９に示したように、マウントパッド31が小さくても
これをヒータインサート38上に確実に支持でき、しか
も、ヒータインサート38の凹部51及び52内にパッド31及
びピン32を嵌入させているために支持が一層安定する。
従って、ワイヤボンディングを安定に行えることにな
る。
【００４８】(7) また、この場合、ヒータインサート38
に対してＩＣチップ10が直接接しているので、ヒータか
らＩＣチップ（特にパッド17）への熱伝達、そして超音
波エネルギーが損なわれず、ボンディング強度は良好に
保たれ、ヒータの熱やキャピラリ19の超音波エネルギー
を低くしても、十分なボンディングを行えることにもな
る。
【００４９】次に、上記した本実施例による作用効果、
特に耐クラック性について具体的なテストを下記の条件
で行い、結果を下記表１に示した。
【００５０】樹脂封止後に更に硬化（キュア）を行った
パッケージを85℃、85％RHで所定時間（下記表１参照）
放置。→その後、プリント配線板上に載せ、ＩＲリフロ
ー炉（最高温度 245℃／５秒）に１回通す。→その後、
超音波探傷によって樹脂内部のクラックを観察。
【００５１】ここで使用した材質等は次の通りであっ
た。 パッケージ：１７６ピン ＱＦＰ（樹脂部24mm×24mm×
1.4mm 厚） モールド樹脂：ビフェニル系エポキシ樹脂 銀ペースト：低応力エポキシ系銀ペースト ワイヤ：Ａｕワイヤ、２７μｍ径
【００５２】 ＊クラック発生数：クラックが発生したパッケージ個数
／サンプル数
【００５３】この結果から、本発明に基いてマウントパ
ッドのサイズをＩＣチップのサイズよりも小さくしたこ
と（上記では、ＩＣチップの面積の17％又は24％）によ
って、従来のパッケージに比べて耐クラック性が著しく
向上することが明らかである。
【００５４】更に、前述した試料を用い、本実施例によ
る作用効果、特に半導体製品に要求される耐温度衝撃性
の試験の一つである温度サイクル試験を下記の条件で行
い、結果を下記表２に示す。
【００５５】樹脂封止後、更に硬化（キュア）を行った
パッケージを85℃／30％ＲＨで 168時間吸湿させる。→
その後、ＩＲリフロー炉（最高温度 245℃／５秒）に３
回通す。→その後、温度サイクル試験(150℃／−65℃、
時間は各温度に10分間保持）を所定回数行う。→その
後、外観検査及び前述したと同様の超音波探傷によっ
て、樹脂内部のクラックを観察。
【００５６】 ＊クラック発生数：クラックの発生したパッケージ個数
／サンプル数
【００５７】これも、前記結果と同様に、従来のパッケ
ージに比べて耐クラック性が著しく向上することを明ら
かに示している。
【００５８】また、パッケージの反りについても測定し
た。即ち、図１に示した如くパッケージの裏面（図面で
は下側の面）中心位置での深度を０とし、パッケージの
４コーナー位置での深度をそれぞれ測定した（パッケー
ジ厚は 1.4mm、ＩＣチップサイズは 8.1mm×8.3mm 、Ｉ
Ｃチップ厚は0.28mm）。パッケージ表面側への反りを−
の深度で、裏面側への反りを＋の深度で表し、４コーナ
ーの測定深度の平均値を「パッケージの反り」として評
価した。結果を下記表３に示す（但し、深度の単位はμ
ｍ）。
【００５９】
【００６０】この結果は、本発明に基づくパッケージで
は従来例に比べて反りが大幅に減少していることを示し
ている。
【００６１】図９〜図18は、本発明の他の実施例を種々
に示すものである。
【００６２】図９の例では、上述のマウントパッド31の
断面形状として、その四辺の側面60をチップマウント面
（表側）から反対面（裏側）にかけて内向きに例えば直
線状に傾斜させている。そして、これに対応して図６に
示したヒータインサート38の凹部51の側面も傾斜させ
る。
【００６３】このようにマウントパッド31の側面を傾斜
させていることによって、ヒータインサート38の凹部へ
の嵌入が容易となり、また嵌入後の収まり状態も安定す
る。また、図10に示すＩＲリフロー時に加わる熱で樹脂
16−マウントパッド31間に生じる応力を傾斜面60に沿っ
て分散させることができ、パッド31のエッジ31ａが直角
である場合に比べて応力の集中を緩和し、樹脂16にクラ
ックが入ることを一層効果的に防止することができる。
なお、上記の側面60の傾斜形状は、直線状に限らず、曲
面状等、他の形状であってもよい。
【００６４】図11の例は、上述のサポートピン32の側面
61をＩＣチップマウント側（表側）からその反対側（裏
側）にかけて内向きに例えば曲線状に傾斜させたもので
ある。
【００６５】そして、これに対応して、ヒータインサー
ト38の嵌入凹部52の側面も傾斜させると、ヒータインサ
ート38にリードフレームを載置する際に、サポートピン
32が図の（ａ）→（ｂ）のように嵌入し易くなり、また
その嵌入状態も安定化する。このサポートピン32は、図
９に示した傾斜面60のあるマウントパッド31と組み合わ
せると、より効果的である。なお、上記の側面61の傾斜
形状は曲面状に限らず、直線状等、他の形状であっても
よい。
【００６６】図12（ａ）の例では、マウントパッド31に
対するＩＣチップ10の接着強度が仮に不十分であある場
合、サポートピン32に付加的なマウント部62を円形状に
設け、このマウント部62でもＩＣチップ10を固定するこ
とによって、リードフレーム上でのＩＣチップ10の接着
強度を向上させている。この場合、マウント部62には、
チップ固定用の銀ペーストを充填する凹部63をハーフエ
ッチング等によって形成することが望ましい。
【００６７】更に、本実施例の変形として、図12
（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）があり、図12（ａ）と比較した
場合に中央部のマウントパッドが無い。上述したマウン
ト部62は円形状とは限らず、三角形、四角形、その他の
多角形、または楕円等、種々の形状をとることができ
る。
【００６８】このようなマウント部62付きのサポートピ
ン32に対応して、図13のようにヒータインサート38にも
円形状のマウント部嵌入凹部64を形成している。
【００６９】図14は、上述した各例がサポートピン32を
マウントパッド31の四隅に（合計４本）それぞれ連設し
ているのに対し、マウントパッド31の対角線上で２本連
設した例を示すものである。
【００７０】このようにサポートピン32の本数を２本と
しても、マウントパッド31を十分に支持することができ
る。サポートピン32は更に、マウントパッド31の３つの
隅部に連設し、３本としてもよい。
【００７１】図15の例は、マウントパッド31の形状を上
述した四角形状以外の例えば円形状又は円形に近い丸み
をもたせた形状としたものである。
【００７２】こうした円形状のパッド形状によって、上
述した樹脂−マウントパッド間の応力を分散させ、応力
集中を緩和できることがあり、耐クラック性が向上する
場合がある。パッド形状は、上記以外にも、他の多角形
状、曲線形状等、種々であってよい。
【００７３】図16の例によれば、ワイヤボンディングに
使用する上述のヒータインサート38のマウントパッド嵌
入凹部51をマウントパッド31よりも大きくし、マウント
パッド31が余裕を以て凹部51内に嵌入若しくは挿入され
るようにしている。
【００７４】これによって、マウントパッド31の形状や
サイズにかかわらず、多種類のマウントパッド31に対し
てヒータインサート38を共用することができる。従っ
て、マウントパッド毎にヒータインサート38をその都
度、交換する必要がない。
【００７５】図17及び図18は、上述した各例とは異な
り、マウントパッド31に銀ペースト充填用の凹部を形成
していない例を示すものである。
【００７６】しかし、この例でも、マウントパッド31を
ＩＣチップ10よりも小さくしている点では上述したと同
様の顕著な作用効果を得ることができる。この例の如き
構成は、図９〜図16に示した各例にも同様に適用しても
よい。
【００７７】以上、本発明の実施例を説明したが、上述
の実施例は本発明の技術的思想に基いて更に変形が可能
である。
【００７８】例えば、上述したマウントパッド、サポー
トピン、固着剤充填用の凹部、ヒータインサート及びそ
のマウントパッド嵌入凹部のサイズや形状等は様々に変
化させてよい。また、材質的にも、リードフレーム材は
42アロイ、銅合金、銅等の金属、固着剤は銀ペースト以
外の接着剤、ヒーターインサートはステンレス鋼等、種
々であってよい。
【００７９】また、上述したリードフレームと同様の構
成は、他のタイプのリードフレーム、例えばテープキャ
リア方式に適用することもできる。ボンディングも、上
述したワイヤボンディングに限ることはない。
【００８０】なお、本発明は、４方向に端子（リード）
が出ている上述のＱＦＰパッケージのみならず、デュア
ル・インライン・パッケージ等にも適用してよい。
【００８１】
【発明の作用効果】本発明は上述した如く、マウントパ
ッド等のマウント部を半導体素子よりも小さくしたの
で、マウント部と樹脂との熱膨張、収縮の差による歪み
が少なくなり、反りの発生も著しく低減され、そして更
に、半導体素子に対し樹脂の接着性が非常に良好である
ことと接着面積の増加と相まって、マウント部近傍の半
導体素子と樹脂との接着力が低下し難く、既述の水分が
凝縮し、水蒸気爆発に起因するマウント部−樹脂間の剥
離がなく、クラックが樹脂に入ることがなく、或いはク
ラックが大幅に減少する。
【００８２】また、マウント部が小さいために、その上
にマウントする半導体素子のサイズはマウント部のサイ
ズに依存しないことになり、マウントできる半導体素子
サイズの自由度が大きくなる。
【００８３】半導体リードへのボンディングに際して
は、マウント部が小さくてもこれをヒータインサート上
に確実に支持でき、しかも、ヒータインサートの凹部内
にマウント部を嵌入させているために支持が一層安定す
る。従って、ボンディングを安定に行える。
【００８４】しかも、ヒータインサートに対して半導体
素子が直接接しているので、ヒータから半導体素子への
熱伝達、そして超音波エネルギーが損なわれない等、ボ
ンディング強度は良好に保たれ、ヒータの熱や圧着に要
するエネルギーを低くしても、十分なボンディングを行
えることにもなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による半導体パッケージ（半導
体装置）の断面図である。
【図２】同パッケージのリードフレーム部の平面図であ
る。
【図３】同リードフレーム部のマウントパッドの拡大斜
視図である。
【図４】ＩＣチップを固定した同マウントパッドの拡大
断面図である。
【図５】同リードフレームの一部分の平面図である。
【図６】ワイヤボンディング時の要部断面図である。
【図７】同ワイヤボンディングに使用するヒータインサ
ートの平面図及びその各断面図である。
【図８】同ワイヤボンディング時の要部平面図である。
【図９】本発明の他の実施例によるリードフレームのマ
ウントパッドの一部破断斜視図である。
【図10】同リードフレームを用いた半導体パッケージの
ハンダリフロー時の断面図である。
【図11】本発明の他の実施例によるマウントパッドのサ
ポートピンをヒーターインサートの凹部に嵌入するとき
の拡大断面図である。
【図12】本発明の他の実施例によるリードフレームの要
部平面図である。
【図13】同リードフレームに使用されるヒータインサー
トの平面図である。
【図14】本発明の他の実施例によるリードフレーム部の
要部平面図である。
【図15】本発明の他の実施例によるリードフレーム部の
要部平面図である。
【図16】本発明の他の実施例によるヒータインサートの
凹部にＩＣチップをマウントしたマウントパッドを嵌入
した状態の断面図である。
【図17】本発明の更に他の実施例によるリードフレーム
部のマウントパッドの拡大斜視図である。
【図18】ＩＣチップを固定した同マウントパッドの拡大
断面図である。
【図19】従来例による半導体パッケージ（半導体装置）
の断面図である。
【図20】同パッケージのリードフレーム部の平面図であ
る。
【図21】同リードフレームの一部分の平面図である。
【図22】同リードフレームのマウントパッドにＩＣチッ
プをマウントした状態の拡大斜視図である。
【図23】ワイヤボンディング時の要部断面図である。
【図24】他のマウントパッドを用いたワイヤボンディン
グ時の要部断面図である。
【図25】半導体パッケージのハンダリフロー時の断面図
である。
【図26】半導体パッケージのハンダリフロー時の断面図
である。
【符号の説明】
１、41・・・リードフレーム ６、７・・・リード ８・・・リードフレーム部 10・・・ＩＣチップ 11、31・・・マウントパッド 13、53・・・半導体パッケージ 14、34・・・銀ペースト 15・・・ワイヤ 16・・・封止樹脂 17・・・ボンディングパッド 18、38・・・ヒータインサート（ヒータブロック） 19・・・キャピラリ 21・・・プリント配線板 22・・・回路パターン 23・・・ハンダ 24・・・クラック 25・・・剥離部 30、51、52、63、64・・・凹部 32・・・サポートピン 39・・・段差 60、61・・・傾斜面 62・・・付加的マウント部 70・・・インナーリードクランプ

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体素子がこれよりも小さいマウント
    部上に固定された状態で樹脂封止されている半導体装
    置。
  2. 【請求項２】 マウントパッドのマウント面に凹部が形
    成され、この凹部に半導体素子固定用の固着剤が充填さ
    れている、請求項１に記載した半導体装置。
  3. 【請求項３】 マウントパッドの側面がマウント面から
    その反対面にかけて内向きに傾斜している、請求項１又
    は２に記載した半導体装置。
  4. 【請求項４】 マウントパッドを支持するサポートピン
    の側面が半導体素子マウント側からその反対面にかけて
    内向きに傾斜している、請求項１〜３のいずれかに記載
    した半導体装置。
  5. 【請求項５】 サポートピンに付加的なマウント部が設
    けられ、このマウント部にも半導体素子が固定されてい
    る、請求項１〜４のいずれかに記載した半導体装置。
  6. 【請求項６】 サポートピンの付加的なマウント部に凹
    部が形成され、この凹部に半導体素子固定用の固着剤が
    充填されている、請求項５に記載した半導体装置。
  7. 【請求項７】 請求項１〜３のいずれかに記載したマウ
    ントパッドを有するリードフレーム。
  8. 【請求項８】 請求項４〜６のいずれかに記載したサポ
    ートピンが設けられている、請求項７に記載したリード
    フレーム。
  9. 【請求項９】 請求項７又は８に記載したリードフレー
    ムのマウントパッド及び／又はサポートピンをヒータ部
    材に形成された嵌入凹部に嵌入させ、この状態で、前記
    マウントパッド及び／又は前記サポートピンに固定され
    た半導体素子に前記ヒータ部材を接触させ、前記半導体
    素子と前記リードフレームのインナーリード部とをボン
    ディングする、請求項１〜６のいずれかに記載した半導
    体装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 請求項１〜３のいずれかに記載したマウ
    ントパッドの嵌入凹部と共に、請求項４〜６のいずれか
    に記載したサポートピンの嵌入凹部もヒータ部材に形成
    する、請求項９に記載した製造方法。
  11. 【請求項11】 ヒータ部材に形成するマウントパッド嵌
    入凹部をマウントパッドよりも大きくする、請求項９又
    は10に記載した製造方法。
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