JPH0785473A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0785473A JPH0785473A JP23196993A JP23196993A JPH0785473A JP H0785473 A JPH0785473 A JP H0785473A JP 23196993 A JP23196993 A JP 23196993A JP 23196993 A JP23196993 A JP 23196993A JP H0785473 A JPH0785473 A JP H0785473A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
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- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸発部における液面を乱すことなく磁性材料
を供給でき、均一な厚さの磁性膜を連続して良好に形成
でき、高性能な磁気記録媒体を得ることが出来る技術を
提供することにある。 【構成】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、支持
体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒
体の製造装置であって、前記容器は略環状構造のもので
あり、この略環状構造の容器の第１の位置において容器
内の磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、前記第１の位置
とは異なる第２の位置において磁性材料を供給する供給
手段とを具備する磁気記録媒体の製造装置。
を供給でき、均一な厚さの磁性膜を連続して良好に形成
でき、高性能な磁気記録媒体を得ることが出来る技術を
提供することにある。 【構成】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、支持
体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒
体の製造装置であって、前記容器は略環状構造のもので
あり、この略環状構造の容器の第１の位置において容器
内の磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、前記第１の位置
とは異なる第２の位置において磁性材料を供給する供給
手段とを具備する磁気記録媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
【０００３】すなわち、無電解メッキといった湿式メッ
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
【０００４】このような蒸着手段による磁気記録媒体の
製造装置は、図５のように構成されているものが一般的
である。尚、図５中、３１は冷却キャン、３２はポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給側ロー
ル、３３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、３４は遮蔽
板、３５はルツボ、３６は磁性合金、３７は電子銃、３
８は真空容器、３９は磁性合金を供給する供給装置であ
る。そして、真空容器３８内を所定の真空度のものに排
気した後、電子銃３７を作動させてルツボ３５内の磁性
合金３６を蒸発させ、ＰＥＴフィルムに対して磁性合金
３６を堆積（蒸着）させることによって磁気記録媒体が
製造されている。
製造装置は、図５のように構成されているものが一般的
である。尚、図５中、３１は冷却キャン、３２はポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給側ロー
ル、３３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、３４は遮蔽
板、３５はルツボ、３６は磁性合金、３７は電子銃、３
８は真空容器、３９は磁性合金を供給する供給装置であ
る。そして、真空容器３８内を所定の真空度のものに排
気した後、電子銃３７を作動させてルツボ３５内の磁性
合金３６を蒸発させ、ＰＥＴフィルムに対して磁性合金
３６を堆積（蒸着）させることによって磁気記録媒体が
製造されている。
【０００５】ところで、このような製造装置において長
尺状のＰＥＴフィルムに連続的に磁性材料を蒸着させる
場合、長さ方向の特性が変わらないようにする為に、ル
ツボ３５内の磁性合金３６の液面の高さが常に一定とな
っているようにする必要がある。この為、供給装置３９
によりルツボ３５に磁性合金の粒３６ａを絶えず供給し
ている。
尺状のＰＥＴフィルムに連続的に磁性材料を蒸着させる
場合、長さ方向の特性が変わらないようにする為に、ル
ツボ３５内の磁性合金３６の液面の高さが常に一定とな
っているようにする必要がある。この為、供給装置３９
によりルツボ３５に磁性合金の粒３６ａを絶えず供給し
ている。
【０００６】しかしながら、従来の製造装置にあって
は、ルツボ３５内に磁性合金の粒を供給した際に液面が
波打つようになってしまい、磁性合金の蒸発特性が一定
のものとならず、一定の厚さの磁性膜が形成され難いと
いった問題点があった。
は、ルツボ３５内に磁性合金の粒を供給した際に液面が
波打つようになってしまい、磁性合金の蒸発特性が一定
のものとならず、一定の厚さの磁性膜が形成され難いと
いった問題点があった。
【０００７】
【発明の開示】本発明の目的は、蒸発部における液面を
乱すことなく磁性材料を供給でき、均一な厚さの磁性膜
を連続して良好に形成でき、高性能な磁気記録媒体を得
ることが出来る技術を提供することにある。この本発明
の目的は、容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、支持
体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒
体の製造装置であって、前記容器は略環状構造のもので
あり、この略環状構造の容器の第１の位置において容器
内の磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、前記第１の位置
とは異なる第２の位置において磁性材料を供給する供給
手段とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置によって達成される。
乱すことなく磁性材料を供給でき、均一な厚さの磁性膜
を連続して良好に形成でき、高性能な磁気記録媒体を得
ることが出来る技術を提供することにある。この本発明
の目的は、容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、支持
体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記録媒
体の製造装置であって、前記容器は略環状構造のもので
あり、この略環状構造の容器の第１の位置において容器
内の磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、前記第１の位置
とは異なる第２の位置において磁性材料を供給する供給
手段とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置によって達成される。
【０００８】尚、この装置において、第１の位置（蒸発
位置）と第２の位置（供給位置）とは、容器内に対応し
てあり、互いに最も離れた位置関係にあるよう設定され
ていることが好ましい。又、容器は回転できるように構
成されていることが、すなわち容器の回転駆動手段が設
けられていることが好ましい。
位置）と第２の位置（供給位置）とは、容器内に対応し
てあり、互いに最も離れた位置関係にあるよう設定され
ていることが好ましい。又、容器は回転できるように構
成されていることが、すなわち容器の回転駆動手段が設
けられていることが好ましい。
【０００９】すなわち、上記のように構成させている
と、特に、容器が略環状に構成されていると、磁性材料
の粒子を供給した際に波が起きたとしても、蒸発部分に
直進して伝わるといったことは妨げられ、従って磁性材
料の粒子を供給した際に起きる液面の波動が蒸発部分に
伝わり難いものとなっている。又、磁性材料が供給され
る位置は磁性材料を蒸発させる位置から離れており、こ
の位置では磁性材料の温度は比較的低くなっていて粘度
が高くなっており、従って磁性材料が供給されても波打
つようなことは一層少なく、従って蒸発特性に変動が引
き起こされ難いのである。よって、高性能な磁気記録媒
体が得られる。
と、特に、容器が略環状に構成されていると、磁性材料
の粒子を供給した際に波が起きたとしても、蒸発部分に
直進して伝わるといったことは妨げられ、従って磁性材
料の粒子を供給した際に起きる液面の波動が蒸発部分に
伝わり難いものとなっている。又、磁性材料が供給され
る位置は磁性材料を蒸発させる位置から離れており、こ
の位置では磁性材料の温度は比較的低くなっていて粘度
が高くなっており、従って磁性材料が供給されても波打
つようなことは一層少なく、従って蒸発特性に変動が引
き起こされ難いのである。よって、高性能な磁気記録媒
体が得られる。
【００１０】そして、磁性材料が常に補給されるから、
均一な厚さの磁性膜を連続して良好に形成でき、高性能
な磁気記録媒体を得ることが出来る。
均一な厚さの磁性膜を連続して良好に形成でき、高性能
な磁気記録媒体を得ることが出来る。
【００１１】
【実施例】図１〜図３は本発明に係る磁気記録媒体の製
造装置の一実施例を示す図であり、図１は磁気記録媒体
の製造装置（蒸着装置）の概略図、図２は製造装置の要
部（ルツボ）の部分の斜視図、図３は製造装置の要部
（ルツボ）の部分の概略断面図である。
造装置の一実施例を示す図であり、図１は磁気記録媒体
の製造装置（蒸着装置）の概略図、図２は製造装置の要
部（ルツボ）の部分の斜視図、図３は製造装置の要部
（ルツボ）の部分の概略断面図である。
【００１２】各図中、１は冷却キャン、２はＰＥＴフィ
ルム等の非磁性の支持体２１の供給側ロール、３は支持
体２１の巻取側ロール、４は遮蔽板、５はＣｏ−Ｎｉな
どの磁性合金、６は電子銃、７は真空容器であり、これ
らの部分については従来からも知られているので詳細な
説明は省略する。８はルツボであり、例えばＭｇＯ，Ｚ
ｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3 Ｎ4，ＢＮ，ＴｈＯ
2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 等のセラミックス材料を用いて所
定の形状に成形した内型と外型との間に炭素系繊維材
料、特に炭素系繊維布を配設し、これらの上下から力を
加えると共に、加熱・焼成することにより構成されたも
のである。そして、その形状は、図２や図３に示される
如く、略環（リング）状に構成されている。又、電子銃
６からの電子線が照射される部分を除いては遮蔽部材
（蓋）９によって上方開口部は覆われており、不要な部
分からの蒸散が起きないようになっている。尚、ルツボ
８の所定の位置には誘導加熱用のコイル１０が配置され
ていて、ルツボ８内の磁性合金５は予備加熱されてお
り、電子銃６からの電子線が照射されると、その部分か
ら蒸発が直ちに起きるようになっている。
ルム等の非磁性の支持体２１の供給側ロール、３は支持
体２１の巻取側ロール、４は遮蔽板、５はＣｏ−Ｎｉな
どの磁性合金、６は電子銃、７は真空容器であり、これ
らの部分については従来からも知られているので詳細な
説明は省略する。８はルツボであり、例えばＭｇＯ，Ｚ
ｒＯ，ＢｅＯ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3 Ｎ4，ＢＮ，ＴｈＯ
2 ，ＣａＯ，ＳｉＯ2 等のセラミックス材料を用いて所
定の形状に成形した内型と外型との間に炭素系繊維材
料、特に炭素系繊維布を配設し、これらの上下から力を
加えると共に、加熱・焼成することにより構成されたも
のである。そして、その形状は、図２や図３に示される
如く、略環（リング）状に構成されている。又、電子銃
６からの電子線が照射される部分を除いては遮蔽部材
（蓋）９によって上方開口部は覆われており、不要な部
分からの蒸散が起きないようになっている。尚、ルツボ
８の所定の位置には誘導加熱用のコイル１０が配置され
ていて、ルツボ８内の磁性合金５は予備加熱されてお
り、電子銃６からの電子線が照射されると、その部分か
ら蒸発が直ちに起きるようになっている。
【００１３】そして、このように構成されたルツボ８
は、図示していないモーターやギア等の駆動力伝達機構
によって矢印で示す方向に回転させられるよう構成され
ている。尚、この回転速度は、電子銃６からの電子線が
照射されて溶融している部分での液面が、遠心力の作用
によって約１５〜６０°、好ましくは３０〜４５°程度
傾斜しているようになる程度である。
は、図示していないモーターやギア等の駆動力伝達機構
によって矢印で示す方向に回転させられるよう構成され
ている。尚、この回転速度は、電子銃６からの電子線が
照射されて溶融している部分での液面が、遠心力の作用
によって約１５〜６０°、好ましくは３０〜４５°程度
傾斜しているようになる程度である。
【００１４】１１は、磁性合金の粒子５ａをルツボ８内
に供給する供給装置である。この供給装置１１は、供給
制御装置１１ａと供給路１１ｂとから構成されており、
供給制御装置１１ａによって磁性合金の粒子５ａが供給
されると、磁性合金の粒子５ａが供給路１１ｂに導かれ
てルツボ８内に供給されるようになっている。尚、供給
路１１ｂの底面は、図３に示す如く、緩やかな曲面に設
計されていて、磁性合金の粒子５ａは緩やかにルツボ８
に供給される。更に、この供給装置１１（供給路１１
ｂ）の設置位置は、電子銃６からの電子線が照射される
位置とは反対側の位置、つまり１８０°の位置関係にあ
るよう設定されていて、最も遠い位置にある。すなわ
ち、磁性合金の粒子５ａを供給した際に起きる液面の波
動が蒸発部分に最も伝わり難い位置に配設されているの
である。特に、ルツボ８が略環状に構成されているか
ら、磁性合金の粒子５ａを供給した際に波が起きたとし
ても、蒸発部分に直進して伝わるといったことは妨げら
れ、従って磁性合金の粒子５ａを供給した際に起きる液
面の波動が蒸発部分に伝わり難いものとなっている。し
かも、ルツボ８は回転しているので、溶融していた磁性
合金５も、供給装置１１の位置に達する頃には温度が下
がり、粘度も上昇している為、液が跳ねたり、液面の振
動が起きたりすることは一層なくなり、蒸発部分の液面
が安定しているのである。
に供給する供給装置である。この供給装置１１は、供給
制御装置１１ａと供給路１１ｂとから構成されており、
供給制御装置１１ａによって磁性合金の粒子５ａが供給
されると、磁性合金の粒子５ａが供給路１１ｂに導かれ
てルツボ８内に供給されるようになっている。尚、供給
路１１ｂの底面は、図３に示す如く、緩やかな曲面に設
計されていて、磁性合金の粒子５ａは緩やかにルツボ８
に供給される。更に、この供給装置１１（供給路１１
ｂ）の設置位置は、電子銃６からの電子線が照射される
位置とは反対側の位置、つまり１８０°の位置関係にあ
るよう設定されていて、最も遠い位置にある。すなわ
ち、磁性合金の粒子５ａを供給した際に起きる液面の波
動が蒸発部分に最も伝わり難い位置に配設されているの
である。特に、ルツボ８が略環状に構成されているか
ら、磁性合金の粒子５ａを供給した際に波が起きたとし
ても、蒸発部分に直進して伝わるといったことは妨げら
れ、従って磁性合金の粒子５ａを供給した際に起きる液
面の波動が蒸発部分に伝わり難いものとなっている。し
かも、ルツボ８は回転しているので、溶融していた磁性
合金５も、供給装置１１の位置に達する頃には温度が下
がり、粘度も上昇している為、液が跳ねたり、液面の振
動が起きたりすることは一層なくなり、蒸発部分の液面
が安定しているのである。
【００１５】そして、上記のように構成させた装置にお
いて、真空容器７内を所定の真空度のものに排気した
後、電子銃６を作動させてルツボ８内の磁性合金５を蒸
発させ、ＰＥＴフィルム等の支持体２１に対して磁性合
金５を斜め蒸着させると共に、供給装置１１によって磁
性合金の粒子５ａを供給するようにする。これによっ
て、磁性膜が途切れることなく、連続して形成され、高
性能な磁気記録媒体が製造される。
いて、真空容器７内を所定の真空度のものに排気した
後、電子銃６を作動させてルツボ８内の磁性合金５を蒸
発させ、ＰＥＴフィルム等の支持体２１に対して磁性合
金５を斜め蒸着させると共に、供給装置１１によって磁
性合金の粒子５ａを供給するようにする。これによっ
て、磁性膜が途切れることなく、連続して形成され、高
性能な磁気記録媒体が製造される。
【００１６】このようにして得られる磁気記録媒体の概
略断面図を図４に示す。図４中、２１は非磁性の支持体
であり、この支持体２１はＰＥＴ等のポリエステル、ポ
リアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネ
ート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロ
ース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材
料、ガラスやセラミック等の無機系材料、アルミニウム
合金などの金属材料が用いられる。
略断面図を図４に示す。図４中、２１は非磁性の支持体
であり、この支持体２１はＰＥＴ等のポリエステル、ポ
リアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネ
ート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロ
ース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材
料、ガラスやセラミック等の無機系材料、アルミニウム
合金などの金属材料が用いられる。
【００１７】支持体２１面上には磁性層の密着性を向上
させる為のアンダーコート層２２が設けられている。す
なわち、表面の粗さを適度に粗すことにより斜め蒸着法
により構成される磁性層の密着性を向上させ、さらに磁
気記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走行性を
改善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さ
が０．００５〜０．１μｍの塗膜を設けることによって
アンダーコート層２２が構成されている。
させる為のアンダーコート層２２が設けられている。す
なわち、表面の粗さを適度に粗すことにより斜め蒸着法
により構成される磁性層の密着性を向上させ、さらに磁
気記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走行性を
改善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さ
が０．００５〜０．１μｍの塗膜を設けることによって
アンダーコート層２２が構成されている。
【００１８】アンダーコート層２２の上に、上記した蒸
着装置により金属薄膜型の磁性層２３が設けられる。例
えば、１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空雰囲気下で強
磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱
などにより蒸発させ、支持体２１のアンダーコート層２
２面上に蒸着させることにより、磁性層２３が０．０４
〜１μｍ厚形成される。磁性層２３を構成する材料とし
ては、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−
Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆ
ｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、
Ｃｏ−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有
させたもの等が挙げられる。
着装置により金属薄膜型の磁性層２３が設けられる。例
えば、１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空雰囲気下で強
磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱
などにより蒸発させ、支持体２１のアンダーコート層２
２面上に蒸着させることにより、磁性層２３が０．０４
〜１μｍ厚形成される。磁性層２３を構成する材料とし
ては、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−
Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆ
ｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、
Ｃｏ−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有
させたもの等が挙げられる。
【００１９】磁性層２３の形成に際して、蒸着部分に酸
素を供給し、強制酸化させることによって磁性層２３の
表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層２４を形成す
る。尚、この酸化膜から構成される保護層２４の厚さは
数十Å程度のものであり、この程度の厚さの酸化膜は自
然酸化で構成される場合もあり、このような時には強制
酸化の手段を講じなくても良い場合がある。
素を供給し、強制酸化させることによって磁性層２３の
表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層２４を形成す
る。尚、この酸化膜から構成される保護層２４の厚さは
数十Å程度のものであり、この程度の厚さの酸化膜は自
然酸化で構成される場合もあり、このような時には強制
酸化の手段を講じなくても良い場合がある。
【００２０】２５は酸化膜からなる保護層２４の上に設
けられた潤滑剤層である。すなわち、潤滑剤を含有させ
た塗料、例えばフッ素パーフルオロポリエーテル（グレ
ード：ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣ カルボキシル基
変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体（フ
ロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に０．
１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方式と
いった所定の手段で塗布することにより、潤滑剤層２５
が約５〜５０Å、好ましくは約１０〜３０Å程度の厚さ
設けられる。
けられた潤滑剤層である。すなわち、潤滑剤を含有させ
た塗料、例えばフッ素パーフルオロポリエーテル（グレ
ード：ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣ カルボキシル基
変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体（フ
ロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に０．
１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方式と
いった所定の手段で塗布することにより、潤滑剤層２５
が約５〜５０Å、好ましくは約１０〜３０Å程度の厚さ
設けられる。
【００２１】２６は、支持体２１の他面に設けられたカ
ーボンブラック等を含有させたバックコート層である。
ーボンブラック等を含有させたバックコート層である。
【００２２】
【効果】本発明によれば、磁性材料が供給された際に、
磁性材料蒸発部分の液面が乱れることなく安定している
ので、磁性材料が一定の厚さで堆積し、高性能な磁気記
録媒体を低コストで効率良く提供できる。
磁性材料蒸発部分の液面が乱れることなく安定している
ので、磁性材料が一定の厚さで堆積し、高性能な磁気記
録媒体を低コストで効率良く提供できる。
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置（蒸着装置）
の一実施例の概略図
の一実施例の概略図
【図２】本発明の磁気記録媒体の製造装置の要部の斜視
図
図
【図３】本発明の磁気記録媒体の製造装置の要部の概略
断面図
断面図
【図４】本発明による磁気記録媒体の概略断面図
【図５】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図
１ 冷却キャン ５ 磁性合金 ５ａ 磁性合金の粒子 ６ 電子銃 ７ 真空容器 ８ ルツボ ９ 遮蔽部材 １０ 誘導加熱用のコイル １１ 供給装置
フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 容器に入れられた磁性材料を蒸発させ、
支持体に堆積させることにより磁性膜を構成する磁気記
録媒体の製造装置であって、 前記容器は略環状構造のものであり、 この略環状構造の容器の第１の位置において容器内の磁
性材料を蒸発させる蒸発手段と、前記第１の位置とは異
なる第２の位置において磁性材料を供給する供給手段と
を具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項２】 第１の位置と第２の位置とは、容器内に
対応してあり、互いに最も離れた位置関係にあるよう設
定されていることを特徴とする請求項１の磁気記録媒体
の製造装置。 - 【請求項３】 容器を回転させる駆動手段を具備するこ
とを特徴とする請求項１の磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23196993A JPH0785473A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23196993A JPH0785473A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0785473A true JPH0785473A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=16931892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23196993A Pending JPH0785473A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785473A (ja) |
-
1993
- 1993-09-17 JP JP23196993A patent/JPH0785473A/ja active Pending
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